Transport device, processing device, transport method, and processing method

本技術は、基板の処理対象物を搬送する搬送装置、この搬送装置を備える処理装置、その搬送方法及び処理方法に関する。

特許文献１には、実装基板の外観検査装置に関する技術が開示されている。 この装置では、基板保持部で保持された基板が、その上部に設けられたカメラにより撮影され、コンピュータによりその画像が解析されることで、基板の外観が検査される。 基板保持部の両側にコンベヤユニットが配設されている。 一側のコンベヤユニットから、基板保持部に基板が搬入され、検査後の基板が他側のコンベアユニットへ搬出される（例えば、特許文献１の明細書段落[００１０]、図１参照）。

特許文献２には、部品実装装置に関する技術が開示されている。 この装置では、コンベヤが複数に分割されている。 各コンベヤの基板の搬送方向は、この装置への搬入側（図４において右側）から搬出側（図４において左側）への方向である。 各コンベヤが、コンベヤ駆動ユニットによりその搬送方向とは直交する方向へ移動可能となっている。 これにより効率の良い基板の搬送が実現される（例えば、特許文献２の明細書段落[００４２]、図４参照）。

特許文献２に記載された搬送装置では、コンベヤ駆動ユニットにより、各コンベヤが、各コンベヤの搬送方向とは直交する方向へそれぞれ移動可能とされているため、コンベヤによる搬送のための駆動が、それぞれのコンベヤで独立せざるを得ない。 その結果、部品点数や機構数が増え、構成が複雑となっている。

以上のような事情に鑑み、本技術の目的は、簡易な構成で、複数のコンベヤを有する搬送機構を実現することができる搬送装置、この搬送装置を備える処理装置、その搬送方法及び処理方法を提供することにある。

上記目的を達成するため、本技術に係る搬送装置は、駆動源と、複数のコンベヤと、移動機構と、伝達機構とを具備する。
前記複数のコンベヤは、前記駆動源により駆動され、処理対象物を第１の方向に沿ってそれぞれ搬送する。
前記移動機構は、前記複数のコンベヤのうち少なくとも１つのコンベヤを、前記第１の方向とは異なる第２の方向に沿って移動させることが可能である。
前記伝達機構は、前記少なくとも１つのコンベヤへの前記駆動源からの動力の伝達及びその遮断を行うクラッチを有し、前記駆動源からの動力を前記複数のコンベヤに伝達可能である。

本技術では、伝達機構にクラッチが設けられることにより、移動機構が少なくとも１つのコンベヤを移動させた場合、駆動源からそのコンベヤへの動力の伝達が遮断される。 これにより、第２の方向に沿ってコンベヤを移動させる機能を持つ搬送装置においても、少ない駆動源で複数のコンベヤの駆動を実現することができる。 つまり、簡易な構成で、複数のコンベヤを有する搬送機構を実現することができる。

前記駆動源は、前記伝達機構に接続された出力部材を有し、前記クラッチは、前記出力部材と同軸で回転するように設けられてもよい。 駆動源の出力部材と同軸で回転するクラッチが設けられることにより、モータからクラッチへの動力伝達時におけるメカニカルロスを抑えることができる。

前記複数のコンベヤは、前記処理対象物をクランプ可能であり、前記クラッチを介して前記動力が入力される作業コンベヤと、前記作業コンベヤへ前記処理対象物を搬入し、または、前記作業コンベヤから前記処理対象物を搬出するコンベヤと、を有してもよい。

これにより、搬送装置は搬入用のコンベヤを用いて、作業コンベヤへ対象物を搬入させ、または、搬出用のコンベヤを用いて作業コンベヤから対象物を搬出させることができる。 また、移動機構は、処理対象物の搬送時には、動力源の動力を作業コンベヤに伝達するように作業コンベヤを移動させ、所定対象物への処理時には、その伝達が遮断されるように作業コンベヤを移動させることができる。

前記クラッチは、第１の材質を有し、前記駆動源側に接続された入力側部材と、前記第１の材質とは硬度の異なる第２の材質を有し、前記少なくとも１つのコンベヤに接続された出力側部材と、を有してもよい。

第１及び第２の材質の硬度を適宜選択されることにより、入力側部材及び出力側部材の摩耗のしやすさの違いをそれぞれに持たせることができる。 例えば、入力側部材及び出力側部材のうち、メンテナンスしやすい、あるいは安価なコストでメンテナンスできる方に、軟質の材質を持たせることができる。

前記クラッチは、係合部材を有する入力側部材と、前記係合部材に係合可能な係合部材を有する出力側部材とを有してもよい。 その場合、前記入力側部材の係合部材及び前記出力側部材の係合部材のうち少なくとも一方が、ピン形状を有してもよい。 これにより、係合部材同士の係合が容易となる。

本技術に係る処理装置は、駆動源と、複数のコンベヤと、伝達機構と、処理部と、移動機構とを具備する。
前記複数のコンベヤは、前記駆動源により駆動され、処理対象物を第１の方向に沿ってそれぞれ搬送する。
前記伝達機構は、前記複数のコンベヤのうち少なくとも１つのコンベヤへの、前記駆動源からの動力の伝達及びその遮断を行うクラッチを有し、前記駆動源からの動力を前記複数のコンベヤに伝達可能である。
前記処理部は、前記処理対象物に所定の処理を施す。
前記移動機構は、前記クラッチによる前記動力の伝達の遮断時、前記少なくとも１つのコンベヤを、前記第１の方向とは異なる第２の方向に沿って移動させて前記処理部に配置させる。

本技術では、移動機構が少なくとも１つのコンベヤを移動させる時は、伝達機構が、クラッチを使用することにより、駆動源からそのコンベヤへの動力の伝達を遮断する。 これにより、第２の方向に沿ってコンベヤを移動させることが可能な移動機構が設けられた処理装置においても、少ない駆動源で複数のコンベヤの駆動を実現することができる。

本技術に係る搬送方法は、駆動源からの動力を、伝達機構を介して複数のコンベヤに供給することで、第１の方向に沿って前記複数のコンベヤにより処理対象物を搬送させる。
前記伝達機構に設けられたクラッチを用いて、前記複数のコンベヤのうち少なくとも１つのコンベヤへの前記駆動源からの動力の伝達が遮断される。
前記動力の伝達が遮断された前記少なくとも１つのコンベヤが、前記第１の方向とは異なる第２の方向に沿って移動する。

本技術に係る処理方法は、駆動源からの動力を、伝達機構を介して複数のコンベヤに供給することで、前記複数のコンベヤにより第１の方向に沿って処理対象物を搬送させる。
前記伝達機構に設けられたクラッチを用いて、前記複数のコンベヤのうち少なくとも１つのコンベヤへの前記駆動源からの動力の伝達が遮断される。
前記動力の伝達が遮断された前記少なくとも１つのコンベヤが、前記第１の方向とは異なる第２の方向に沿って移動する。
前記移動させられた前記少なくとも１つのコンベヤが保持する前記処理対象物に所定の処理が施される。

以上、本技術によれば、簡易な構成で、複数のコンベヤを有する搬送機構を実現することができる。

図１は、本技術の第１の実施形態に係る処理装置の例として、外観検査装置を模式的に示した平面図である。

図２は、搬送ユニットを示す模式図であり、図１と同様に上から見た平面図である。

図３は、駆動源付近を拡大して示す図であり、上から見た平面図である。

図４は、クラッチの一例を示す斜視図である。

図５は、クラッチの係合状態を説明するための図である。

図６は、外観検査装置の動作を順に示す図である。

図７は、本技術の第２の実施形態に係る搬送ユニットを模式的に示す平面図である。

以下、図面を参照しながら、本技術の実施形態を説明する。

[第１の実施形態]

（外観検査装置の全体的構成）
図１は、本技術の第１の実施形態に係る処理装置の例として、外観検査装置を模式的に示した平面図である。

この外観検査装置１００は、検査対象物（処理対象物）として、例えば回路基板（以下、単に基板という。）の外観を検査する装置である。 外観検査装置１００は、例えば、回路配線の印刷状態、はんだの印刷状態、傷、汚れ等を検査し、あるいは、基板上の電子部品の欠品及びその電子部品の装着位置のずれ等を検査する。

外観検査装置１００は、処理部としての検査ユニット２０と、搬送ユニット５０（搬送装置）と、これら検査ユニット２０及び搬送ユニット５０を下側から支持するベースフレーム１０等とを備える。 搬送ユニット５０は、外観検査装置１００の前方側（図１中、下側）に配置されている。 検査ユニット２０は、その搬送ユニット５０より後方側（図１中、上側）に配置されている。

検査ユニット２０は、上述のように基板Ｓの外観を検査する。 典型的には、検査ユニット２０は、カメラ２１と、カメラ２１を所定の方向、例えば図１中のＸ軸方向に沿って移動させるカメラ移動機構２３とを有する。

カメラ移動機構２３は、例えばボールネジ駆動機構、ベルト駆動機構、あるいはラックアンドピニオン駆動機構等により構成される。 また、検査ユニット２０は、カメラ２１の周囲に配置された図示しない照明装置を備えている。 この照明装置により、カメラ２１による撮影に最適な、基板Ｓからの反射光を得ることができる。 カメラ２１及びカメラ移動機構２３は、後述するように、中央の作業コンベヤ３２に保持された基板Ｓの高さ位置（Ｚ軸方向での位置）よりも高い位置に配置されている。

なお、検査ユニット２０の背後には、この外観検査装置１００を統括的に制御するコンピュータ２７が設けられている。 コンピュータ２７の配置は適宜変更可能である。 また、検査ユニット２０は、任意の位置に配置された、ディスプレイ及び入力操作部を備えている。 これらディスプレイ及び入力操作部は、コンピュータ２７に電気的に接続されている。

（搬送ユニットの構成）
図２は、搬送ユニット５０を示す模式図であり、図１と同様に上から見た平面図である。

搬送ユニット５０は、Ｘ軸方向に沿って１列に配置された、搬入コンベヤ３１、作業コンベヤ３２及び搬出コンベヤ３３を有する。 また、搬送ユニット５０は、これら３つのコンベヤによる搬送力を発生させるための駆動を行う駆動ユニット４０を有する。 駆動ユニット４０は、３つのコンベヤ３１〜３３の配置に対して前方側に配置されている（図１も参照）。

これらのコンベヤ３１〜３３は、図２中、右から左へと、つまりＸ軸方向に沿って基板Ｓを搬送するようになっている。 例えば、この外観検査装置１００が他の装置とともにインラインで使用される場合、搬入コンベヤ３１は、図１中、外観検査装置１００の右側で隣接する当該他の装置から搬出された基板Ｓを受け取り、作業コンベヤ３２にそれを搬入する。 搬出コンベヤ３３は、作業コンベヤ３２から渡された検査後の基板Ｓを、図１中、外観検査装置１００の左側で隣接するさらに別の装置へ搬出する。

作業コンベヤ３２は、搬入コンベヤ３１及び搬出コンベヤ３３の間に挟まれるように配置されている。 作業コンベヤ３２は、Ｙ軸方向で配列された一対の無端ベルト３２１、これらの無端ベルト３２１を回転させる駆動プーリー３２３及び従動プーリー３２４、駆動プーリー３２３同士を接続する駆動シャフト３２５、駆動プーリー３２３及び従動プーリー３２４を回転可能に支持する一対の図示しない回転ガイドを有する。

また、搬入コンベヤ３１は、一対の回転ガイドに対応してそれらを覆うように外側に設けられたサイドガイド３２２と、これら一対のサイドガイド３２２を一体的に支持する、下方に設けられたベース板３２７とを有する。 これら回転ガイド及びサイドガイド３２２等は、公知の種々の構造を採り得る。 例えば、回転ガイドは、Ｙ軸方向で無端ベルト３２１の内側にあってもよく、この場合、駆動シャフト３２５が回転可能に支持される。

搬入コンベヤ３１及び搬出コンベヤ３３も、ここでまで説明した作業コンベヤ３２の構造及び機能と、実質的に同様の構造及び機能を有する。 搬入コンベヤ３１は、プーリー３１３、３１４及び無端ベルト３１１等を有する。 搬出コンベヤ３３は、プーリー３３３、３３４、及び無端ベルト３３１等を有する。 以下に説明する作業コンベヤ３２の構成は、搬入コンベヤ３１及び搬出コンベヤ３３と異なる構成である。

作業コンベヤ３２は、図示しないが、これら一対のベルト及び回転ガイドを一体的に昇降させる機構を有する。 この昇降機構は、公知の構造が採用されればよい。 例えば、昇降機構は、ベース板３２７（あるいはフレーム）に搭載されている。 この昇降機構により、一対のベルト及び回転ガイドが一体的に上昇して、一対の無端ベルト３２１とサイドガイド３２２の上部との間に基板Ｓのエッジが挟まれることで、基板Ｓがクランプされる。 基板Ｓのクランプの仕方は、このような手段によらず、適宜変更可能である。

図１に示すように、搬送ユニット５０は、作業コンベヤ３２を、３つのコンベヤ３１〜３３による基板Ｓの搬送方向に直交する方向、すなわちＹ軸方向に沿って敷設されたガイドレール２５、２５に沿って移動させる移動機構５５を備える。 移動機構５５としては、例えばボールネジ駆動機構が用いられる。 ボールネジ駆動機構のボールネジ５６が、作業コンベヤ３２のベース板３２７の下部に回転可能に接続されている。

移動機構５５の駆動により、検査ユニット２０による基板Ｓの外観検査の時、作業コンベヤ３２が、図１及び２に示す初期位置から、後方側の検査ユニット２０側へ移動して基板Ｓの外観の検査が開始される。

駆動ユニット４０は、駆動源となるモータ４１と、モータ４１からの動力の３つのコンベヤ３１〜３３へ伝達可能な伝達機構４５とを備える。 図３は、モータ４１の付近を拡大して示す図であり、上から見た平面図である。 図２及び３に示すように、伝達機構４５は、モータ４１の出力軸４１ａに設けられた駆動プーリー４２、搬入側及び搬出側にそれぞれ配置された従動プーリー４６、４７、これら駆動プーリー４２、従動プーリー４６及び４７に架け渡された無端ベルト４４を有する。 また、伝達機構４５は、駆動プーリー４２の出力側に設けられたクラッチ４８を有する。

なお、図３では、作業コンベヤ３２における無端ベルト３２１、及び伝達機構４５における無端ベルト４４の図示を省略している。 モータ４１の出力軸４１ａは、駆動源の出力部材の全部または一部を構成する。 駆動プーリー４２と、各従動プーリー４６、４７との間には、テンション用のプーリー４３、４３が設けられる。

モータ４１は減速機が搭載されたモータ４１であってもよいし、駆動源の一部としてこのモータ４１とは別に設けられた減速機が設けられてもよい。

駆動プーリー４２の出力側は、クラッチ４８を介して、作業コンベヤ３２の駆動シャフト３２５に接続されている。 図２に示すように、搬入側における従動プーリー４６の出力側は、搬入コンベヤ３１のプーリー３１３を回転させるシャフト３１５に接続されている。 また、搬出側における従動プーリー４７の出力側は、搬出コンベヤ３３のプーリー３３３を回転させるシャフト３３５に接続されている。 このような伝達機構４５の構成により、１つのモータ４１により、３つのコンベヤ３１〜３３を同期して駆動することができる。

クラッチ４８は、作業コンベヤ３２への、モータ４１からの動力の伝達及びその遮断を行う。 クラッチ４８は、上記したように、駆動プーリー４２の出力側に設けられている。 つまり、モータ４１の出力軸４１ａと同軸で回転可能に設けられている。 このような構成によれば、モータ４１からクラッチ４８への動力伝達時におけるメカニカルロスを抑えることができる。

図４は、クラッチ４８を示す斜視図である。 なお、図４においても、伝達機構４５における無端ベルト４４及び作業コンベヤ３２における無端ベルト３２１の図示を省略している。

図３及び図４に示すように、クラッチ４８は、駆動プーリー４２に接続されたブレード形状の突起部材（係合部材）１１ａを有する入力側部材１１と、作業コンベヤ３２の駆動シャフト３２５に接続されたピン形状の突起部材（係合部材）１２ａを有する出力側部材１２とを含む。 ピン形状とは、つまり、その突起部材１２ａがその先端に向かうにしたがって細くなる形状である。 これら突起部材１１ａ及び１２ａは、例えば図５Ａ及びＢに示すように、モータ４１の回転により係合し、その係合状態を保って一体的に回転する。 これにより、モータ４１の動力が作業コンベヤ３２の駆動シャフト３２５に伝達される。

これらの突起部材１１ａ及び１２ａは、互いに硬度の異なる材質を有する。 こうすることで、各突起部材１１ａ及び１２ａの摩耗のしやすさの違いをそれぞれに持たせることができる。 例えば、各突起部材１１ａ及び１２ａのうち、メンテナンスしやすい、あるいは安価なコストでメンテナンスできる方に、軟質の材質を持たせることができる。

本実施形態では、出力側の突起部材１２ａが、入力側の突起部材１１ａより柔らかい材質で形成されている。 このように構成されるのは、入力側の突起部材１１ａが、駆動プーリー４２に直結されている等の理由から、新品の突起部材１１ａへの交換が容易ではなかったり、あるいは、突起部材１１ａのコストが、出力側の突起部材１２ａのそれより高かったりするからである。

なお、本実施形態において、クラッチ４８は、搬入コンベヤ３１より搬出コンベヤ３３に近い側に配置されてもよい。 この場合、それに近いプーリー３２４同士を接続するシャフトが設けられ、クラッチ４８はそのシャフトに接続される。

（外観検査装置の動作）
図６は、外観検査装置１００の動作を順に示す図である。

図６Ａに示すように、搬送ユニット５０の駆動ユニット４０の駆動により、外部から、搬入コンベヤ３１を介して、基板Ｓが作業コンベヤ３２の位置まで搬送される。 そうすると、駆動ユニット４０の駆動が停止される。

典型的には、基板Ｓが、作業コンベヤ３２の無端ベルト４４上の所定位置まで搬送されると、図示しない機械的なストッパーに基板Ｓが当接して基板Ｓは物理的に停止する。 そうすると、その停止位置にある基板Ｓが図示しないセンサー（例えば光センサー）により検出され、搬送ユニット５０を制御するコントローラが、この検出信号に基づきモータ４１に停止信号を送ることで、駆動ユニット４０の駆動が停止する。

駆動ユニット４０の駆動が停止されると、作業コンベヤ３２は基板Ｓをクランプする。 そして、図６Ｂに示すように、移動機構５５の駆動により、作業コンベヤ３２が後方に移動して、所定の位置で停止する。 作業コンベヤ３２が初期位置から後方に移動することで、作業コンベヤ３２へのモータ４１の動力は遮断される状態となる。

所定の位置とは、例えば、移動機構５５による所定の移動量により設定されればよい。 あるいは、所定の位置とは、検査ユニット２０に設けられた静止した状態のカメラ２１による撮影範囲内に、基板Ｓ上に設けられた図示しないアライメントマークが撮影されるような基板Ｓの位置である。

作業コンベヤ３２が所定の位置で停止すると、検査ユニット２０により基板Ｓの検査が開始される。 コンピュータ２７は、カメラ移動機構２３によりカメラ２１をＸ軸方向に沿って移動させながら、かつ、移動機構５５により作業コンベヤ３２にクランプされた基板ＳをＹ軸方向に沿って移動させながら、カメラ２１により上部から基板Ｓが撮影される。 つまり、カメラ２１は、基板Ｓに対して相対的にＸ−Ｙ平面の２次元内で動きながら、基板Ｓを撮影する。 これにより、基板Ｓの検査が行われる。

基板Ｓの検査が終了すると、移動機構５５が作業コンベヤ３２を初期位置（図６Ａに示す位置）に移動させる。 作業コンベヤ３２が初期位置に移動すると、クラッチ４８の入力側部材１１及び出力側部材１２は互いに係合可能な状態となり（図３参照）、つまり、モータ４１の動力が作業コンベヤ３２に伝達可能な状態となる。

ここで、本実施形態では、クラッチ４８の各突起部材１１ａ及び１２ａのうち一方（例えば出力側の突起部材１２ａ）が、ピン形状に形成されている。 したがって、作業コンベヤ３２が初期位置に戻る途中、ピン形状の突起部材１２ａと、ブレード形状の突起部材１１ａが同じ回転角度位置に配置されていても、ピン形状の突起部材１２ａが、そのブレード形状の突起部材１１ａを（主に、モータ４１のコギングトルクに抗して）押し退けることを容易にすることができる。

図６Ｃに示すように、作業コンベヤ３２が初期位置に戻った後、駆動ユニット４０の再駆動により、各コンベヤ３１〜３３が作動する。 これにより、基板Ｓが搬出コンベヤ３３を介して外部に搬出される。

以上のように、本実施形態では、伝達機構４５にクラッチ４８が設けられることにより、移動機構５５が作業コンベヤ３２を移動させた場合、モータ４１から作業コンベヤ３２への動力の伝達が遮断される。 これにより、Ｙ軸方向にコンベヤを移動させる機能を持つ装置においても、少ない駆動源でコンベヤ３１〜３３の駆動を実現することができる。 つまり、簡易な構成で、複数のコンベヤを有する搬送機構を実現することができる。

[第２の実施形態]

図７は、本技術の第２の実施形態に係る搬送ユニットを模式的に示す平面図である。 これ以降の説明では、図１及び２等に示した実施形態に係る搬送ユニット１５０が含む部材や機能等について同様のものは説明を簡略化または省略し、異なる点を中心に説明する。

この搬送ユニット１５０では、Ｘ軸方向で実質的に中央位置に、モータ４１が配置されている。 モータ４１の出力軸４１ａには駆動プーリー４２が接続されている。 駆動プーリー４２の出力側には、ベベルギア１４５、Ｘ軸方向に沿って配置されたベベルギア付きシャフト１４６、及び、ベベルギア１４７を介して、クラッチ４８が接続されている。 クラッチ４８は、搬出コンベヤ３３より搬入コンベヤ３１に近い位置で、作業コンベヤ３２の駆動シャフト３２５に接続されている。

このように、ベベルギア１４５、１４７及びベベルギア付きシャフト１４６を用いることにより、モータ４１の配置を中央に配置することができる。

あるいは、モータ４１の位置は、Ｘ軸方向の中央以外の任意の位置でもよい。 あるいは、図７に示したように、モータ４１がＸ軸方向の実質的に中央に設けられ、図７中、２本のベベルギア付きシャフト１４６が左右両方向に設けられ、またそれらに対応するように２つのクラッチ４８が、搬入コンベヤ３１に近い側及び搬出コンベヤ３３に近い側に設けられていてもよい。

[その他の実施形態]

本技術は、以上説明した実施形態に限定されず、他の種々の実施形態を実現することができる。

上記実施形態に係るクラッチ４８では、入力側部材１１の突起部材１１ａがブレード形状に形成され、出力側部材１２の突起部材１２ａがピン形状に形成されていた。 しかし、これらの突起部材は、互いに係合し合った状態で一体的に回転できる形状であれば、どのような形状であってもよい。 例えば各突起部材の両方がブレード形状（板状）、ピン形状であってもよい。 また、上記実施形態では、各突起部材１１ａ及び１２ａが２つずつ設けられていたが、１つずつでもよいし、３つ以上ずつ設けられていてもよい。

クラッチは、上記した係合式の他、摩擦方式（ミクロ視では係合式と等価）、マグネット方式、電磁方式、あるいはこれらのうち少なくとも２つの組み合わせの方式等、何でもよい。

上記実施形態では、伝達機構４５の一部として無端ベルト４４が設けられていたが、この無端ベルト４４に代えてチェーンであってもよい。 また、伝達機構４５において、上記実施形態のような駆動プーリー４２、従動プーリー４６、４７、及び、テンションプーリー４３の配置に限られず、適宜変更可能である。

上記実施形態では、検査ユニット２０におけるカメラ移動機構２３によるカメラ２１の移動方向は、Ｘ軸方向のみであったが、Ｘ及びＹ両方向の移動としてもよい。 この場合、検査ユニット２０による基板Ｓの検査時において、移動機構５５による作業コンベヤ３２のＹ軸方向に沿った移動は必要ない。

上記実施形態では、移動機構５５が、３つのコンベヤ３１〜３３のうち１つのコンベヤである作業コンベヤ３２を移動させ、この作業コンベヤ３２にクラッチ４８が設けられていた。 しかし、例えばこのような外観検査装置１００あるいはこれ以外の装置において、２つ以上のコンベヤが移動可能に設けられ、これら移動可能とされた２つ以上のコンベヤにそれぞれクラッチが設けられていてもよい。

上記実施形態では３つのコンベヤ３１〜３３を例に挙げたが、搬送ユニット５０は、例えば搬入コンベヤ３１及び搬出コンベヤ３３のうちいずれか一方がない形態、すなわち２つのコンベヤがある形態でもよい。 あるいは、４つ以上のコンベヤがある搬送装置にも本技術を適用可能である。

各コンベヤ３１〜３３による基板Ｓの搬送方向（Ｘ軸方向）と、移動機構５５による作業コンベヤ３２による移動方向とが直交する方向であったが、これらの方向は直交せず、斜めでもよい。 この場合、各コンベヤの外形が、図２等に示すように平面で見て概略長方形でなく、平面で見て概略平行四辺形のような形状とすることにより、そのコンベヤの斜め移動が実現される。

処理装置として、上記の説明では、外観検査装置を例に挙げた。 しかし、処理装置として、電子部品を回路基板Ｓに実装する部品実装装置、回路基板Ｓに配線を印刷する印刷装置であってもよい。 あるいは、処理装置は、加工機、真空処理装置、露光装置等、何でもよい。

処理対象物としては、回路基板Ｓに限られず、ガラス基板Ｓ、半導体基板Ｓ、金属基板Ｓであってもよいし、これらのような板状の製品に限られず、厚さの大きい立体的な製品であってもよい。

以上説明した各形態の特徴部分のうち、少なくとも２つの特徴部分を組み合わせることも可能である。

本技術は以下のような構成もとることができる。
（１）駆動源と、
前記駆動源により駆動され、処理対象物を第１の方向に沿ってそれぞれ搬送する複数のコンベヤと、
前記複数のコンベヤのうち少なくとも１つのコンベヤを、前記第１の方向とは異なる第２の方向に沿って移動させることが可能な移動機構と、
前記少なくとも１つのコンベヤへの前記駆動源からの動力の伝達及びその遮断を行うクラッチを有し、前記駆動源からの動力を前記複数のコンベヤに伝達可能な伝達機構と を具備する搬送装置。
（２）（１）に記載の搬送装置であって、
前記駆動源は、前記伝達機構に接続された出力部材を有し、
前記クラッチは、前記出力部材と同軸で回転するように設けられている 搬送装置。
（３）（１）または（２）に記載の搬送装置であって、
前記複数のコンベヤは、
前記処理対象物をクランプ可能であり、前記クラッチを介して前記動力が入力される作業コンベヤと、
前記作業コンベヤへ前記処理対象物を搬入し、または、前記作業コンベヤから前記処理対象物を搬出するコンベヤと、を有する 搬送装置。
（４）（１）から（３）のうちいずれか１つに記載の搬送装置であって、
前記クラッチは、
第１の材質を有し、前記駆動源側に接続された入力側部材と、
前記第１の材質とは硬度の異なる第２の材質を有し、前記少なくとも１つのコンベヤに接続された出力側部材と、を有する 搬送装置。
（５）（１）から（４）のうちいずれか１つに記載の搬送装置であって、
前記クラッチは、係合部材を有する入力側部材と、前記係合部材に係合可能な係合部材を有する出力側部材とを有し、
前記入力側部材の係合部材及び前記出力側部材の係合部材のうち少なくとも一方が、ピン形状を有する 搬送装置。
（６）駆動源と、
前記駆動源により駆動され、処理対象物を第１の方向に沿ってそれぞれ搬送する複数のコンベヤと、
前記複数のコンベヤのうち少なくとも１つのコンベヤへの、前記駆動源からの動力の伝達及びその遮断を行うクラッチを有し、前記駆動源からの動力を前記複数のコンベヤに伝達可能な伝達機構と、
前記処理対象物に所定の処理を施す処理部と、
前記クラッチによる前記動力の伝達の遮断時、前記少なくとも１つのコンベヤを、前記第１の方向とは異なる第２の方向に沿って移動させて前記処理部に配置させる移動機構と を具備する処理装置。
（７）駆動源からの動力を、伝達機構を介して複数のコンベヤに供給することで、第１の方向に沿って前記複数のコンベヤにより処理対象物を搬送させ、
前記伝達機構に設けられたクラッチを用いて、前記複数のコンベヤのうち少なくとも１つのコンベヤへの前記駆動源からの動力の伝達を遮断し、
前記動力の伝達が遮断された前記少なくとも１つのコンベヤを、前記第１の方向とは異なる第２の方向に沿って移動させる 搬送方法。
（８）駆動源からの動力を、伝達機構を介して複数のコンベヤに供給することで、前記複数のコンベヤにより第１の方向に沿って処理対象物を搬送させ、
前記伝達機構に設けられたクラッチを用いて、前記複数のコンベヤのうち少なくとも１つのコンベヤへの前記駆動源からの動力の伝達を遮断し、
前記動力の伝達が遮断された前記少なくとも１つのコンベヤを、前記第１の方向とは異なる第２の方向に沿って移動させ、
前記移動させられた前記少なくとも１つのコンベヤが保持する前記処理対象物に所定の処理を施す 処理方法。

１１…入力側部材 １１ａ、１２ａ…突起部材 １２…出力側部材 ５０、１５０…搬送ユニット ２０…検査ユニット ３１…搬入コンベヤ ３２…作業コンベヤ ３３…搬出コンベヤ ４０…駆動ユニット ４１…モータ ４１ａ…出力軸 ４５…伝達機構 ４８…クラッチ ５５…移動機構 １００…外観検査装置