传送装置、处理装置、传送方法以及处理方法专利检索- 环形输送机的传动机构专利检索查询-专利查询网

传送装置、处理装置、传送方法以及处理方法
申请号	CN201210305327.0	申请日	2012-08-24	公开(公告)号	CN102963725A	公开(公告)日	2013-03-13
申请人	索尼公司;			发明人	角井健;
摘要	本发明提供一种可实现配置简单的包含多个传送器的传送机构的传送装置、包含这种传送装置的处理装置、传送方法以及处理方法，所述传送装置包括驱动源、多个传送器、移动机构以及传动机构。所述多个传送器被驱动源驱动以分别沿第一方向传送处理对象。所述移动机构用于沿着与第一方向不同的第二方向以移动所述多个传送器中的至少一个传送器。所述传动机构包括离合器，该离合器用于进行由驱动源至所述至少一个传送器的动力传输以及切断所述动力传输，并且所述传动机构能够从驱动源向多个传送器传输动力。
权利要求	1.一种传送装置，其包括：驱动源；多个传送器，它们被所述驱动源驱动以分别沿第一方向传送处理对象；移动机构，其沿着与所述第一方向不同的第二方向以移动所述多个传送器中的至少一个传送器；以及传动机构，其包括离合器，该离合器用于进行由所述驱动源至所述至少一个传送器的动力传输以及切断所述动力传输，并且所述传动机构用于从所述驱动源向所述多个传送器传输动力。 2.如权利要求1所述的传送装置，其中，所述驱动源包括连接至所述传动机构的输出部件，并且所述离合器设置为与所述输出部件同轴旋转。 3.如权利要求1或者2所述的传送装置，其中，所述多个传送器包括：作业传送器，其用于夹住所述处理对象，并且所述动力经由所述离合器而输入给所述作业传送器；和传送器，其用于将所述处理对象送入所述作业传送器或者从所述作业传送器送出所述处理对象。 4.如权利要求1或者2所述的传送装置，其中，所述离合器包括：输入侧部件，其包括第一材料且连接至所述驱动源侧；和输出侧部件，其包括与所述第一材料的硬度不同的第二材料且连接至所述至少一个传送器。 5.如权利要求1或者2所述的传送装置，其中，所述离合器包括：输入侧部件，其包括啮合部件；和输出侧部件，其包括可与所述啮合部件啮合的啮合部件，并且所述输入侧部件的啮合部件和所述输出侧部件的啮合部件中的至少一个为销状。 6.一种处理装置，其包括：驱动源；多个传送器，它们被所述驱动源驱动以分别沿第一方向传送处理对象；传动机构，其包括离合器，该离合器用于进行由所述驱动源至所述多个传送器中的至少一个传送器的动力传输以及切断所述动力传输，并且所述传动机构用于从所述驱动源向所述多个传送器传输动力；处理器，其用于对所述处理对象进行预定处理；以及移动机构，其用于当所述离合器切断所述动力传输时而沿着与所述第一方向不同的第二方向移动所述至少一个传送器，从而使所述至少一个传送器位于所述处理器中。 7.一种传送方法，其包括：将来自驱动源的动力经由传动机构以供给多个传送器，从而使所述多个传送器沿第一方向传送处理对象；使用设置于所述传动机构的离合器以切断由所述驱动源至所述多个传送器中的至少一个传送器的动力传输；并且沿着与所述第一方向不同的第二方向以移动所述动力传输被切断的所述至少一个传送器。 8.一种处理方法，其包括：将来自驱动源的动力经由传动机构以供给多个传送器，从而使所述多个传送器沿第一方向传送处理对象；使用设置于所述传动机构的离合器以切断由所述驱动源至所述多个传送器中的至少一个传送器的动力传输；沿着与所述第一方向不同的第二方向以移动所述动力传输被切断的所述至少一个传送器；并且对被移动的所述至少一个传送器所保持的所述处理对象进行预定处理。
说明书全文	传送装置、处理装置、传送方法以及处理方法 [0001] 相关申请的交叉引用 [0002] 本申请包含与2011年8月31日向日本专利局提交的日本专利申请JP2011-189141中公开的相关主题并要求其优先权，将其全部内容通过引用并入此处。技术领域 [0003] 本发明涉及一种用于传送基板等处理对象的传送装置、一种包含这种传送装置的处理装置、一种传送方法以及一种处理方法。背景技术 [0004] 日本专利申请特开平11-160044号公报(以下称作专利文件1)公开了一种关于安装基板的外观检查装置的技术。在该装置中，在基板保持部上方设有的相机对由该基板保持部所保持的基板进行摄像，并通过计算机分析该图像，从而检查基板的外观。在基板保持部的两侧设有传送单元。将基板从一侧的传送单元送入基板保持部，并将检查后的基板送出至其它侧的传送单元(例如，参照专利文件1中的说明书段落[0010]以及图1)。 [0005] 日本专利申请特开2009-253070号公报(以下称作专利文件2)公开了一种关于器件安装装置的技术。在该装置中，分成多个传送器。各传送器的基板的传送方向为相对于该装置而由送入侧(图4的右手侧)至送出侧(图4的左手侧)的方向。传送器驱动单元可使得各传送器以与传送方向正交的方向移动。由此，可实现基板的高效传送(例如，参照专利文件2中的说明书段落[0042]以及图4)。 [0006] 在专利文件2所述的传送装置中，传送器驱动单元可使得各传送器以与各传送器的传送方向正交的方向移动，因此，由各传送器所进行的传送的驱动必然相互独立。因此，部件数和机构数增加，这使得配置复杂。发明内容 [0007] 鉴于上述情况，需要提供一种可实现配置简单的包含多个传送器的传送机构的传送装置、一种包含这种传送装置的处理装置、一种传送方法以及一种处理方法。 [0008] 根据本发明的实施方式，提供了一种传送装置，该传送装置包括驱动源、多个传送器、移动机构以及传动机构。 [0009] 多个传送器被驱动源驱动以分别沿第一方向传送处理对象。 [0010] 移动机构用于沿着与第一方向不同的第二方向以移动多个传送器中的至少一个传送器。 [0011] 传动机构包括离合器，该离合器用于进行由驱动源至所述至少一个传送器的动力传输以及切断所述动力传输，并且传动机构用于从驱动源向多个传送器传输动力。 [0012] 在本发明的实施方式中，由于为传动机构设有离合器，故当移动机构移动至少一个传送器时，切断了由驱动源至该传送器的动力传输。由此，还在具有沿第二方向移动传送器的功能的传送装置中，可以很少的驱动源实现对多个传送器的驱动。于是，可实现配置简单的包含多个传送器的传送机构。 [0013] 驱动源可包括连接至传动机构的输出部件，并且离合器可设置为与输出部件同轴旋转。由于设有与驱动源的输出部件同轴旋转的离合器，故可抑制由电机至离合器进行动力传输时的机械损失。 [0014] 多个传送器可包括：作业传送器，其用于夹住处理对象，并且将动力经由离合器输入给所述作业传送器；和传送器，其用于将处理对象送入作业传送器或者从作业传送器送出处理对象。 [0015] 由此，传送装置可使用送入传送器以将对象送入作业传送器，或者使用送出传送器以从作业传送器送出对象。而且，移动机构可在传送处理对象时移动作业传送器，以将动力源的动力传递给作业传送器，并且可在对对象进行预定处理时移动作业传送器以便切断该传递。 [0016] 离合器可包括：输入侧部件，其包括第一材料且连接至驱动源侧；和输出侧部件，其包括与第一材料的硬度不同的第二材料且连接至至少一个传送器。 [0017] 通过恰当地选择第一材料和第二材料的硬度，可为输入侧部件和输出侧部件提供不同的耐磨性。例如，可为输入侧部件和输出侧部件之一提供更柔软的材料，以易于维护或可以低成本维护。 [0018] 离合器可包括：输入侧部件，其包括啮合部件；和输出侧部件，其包括可与所述啮合部件啮合的啮合部件。在此情况下，输入侧部件的啮合部件和输出侧部件的啮合部件中的至少一个可以为销状。由此，各啮合部件的相互啮合变得容易。 [0019] 根据本发明的实施方式，提供了一种处理装置，该处理装置包括驱动源、多个传送器、传动机构、处理器以及移动机构。 [0020] 多个传送器被驱动源驱动以分别沿第一方向传送处理对象。 [0021] 传动机构包括离合器，该离合器用于进行由驱动源至多个传送器中的至少一个传送器的动力传输以及切断所述动力传输，并且所述传动机构用于从驱动源向多个传送器传输动力。 [0022] 处理器用于对处理对象进行预定处理。 [0023] 移动机构用于当离合器切断动力传输时而沿着与第一方向不同的第二方向移动至少一个传送器，从而使至少一个传送器位于处理器中。 [0024] 在本发明的实施方式中，当移动机构移动至少一个传送器时，传动机构使用离合器以切断由驱动源至传送器的动力传输。由此，还在包含能够沿第二方向移动传送器的移动机构的处理装置中，可以很少的驱动源实现对多个传送器的驱动。 [0025] 根据本发明的实施方式，提供了一种传送方法，该传送方法包括：将来自驱动源的动力经由传动机构以供给多个传送器，从而使多个传送器沿第一方向传送处理对象。 [0026] 使用设置于传动机构的离合器以切断由驱动源至多个传送器中的至少一个传送器的动力传输。 [0027] 动力传输被切断的至少一个传送器沿着与第一方向不同的第二方向移动。 [0028] 根据本发明的实施方式，提供了一种处理方法，该处理方法包括：将来自驱动源的动力经由传动机构以供给多个传送器，从而使多个传送器沿第一方向传送处理对象。 [0029] 使用设置于传动机构的离合器以切断由驱动源至多个传送器中的至少一个传送器的动力传输。 [0030] 动力传输被切断的至少一个传送器沿着与第一方向不同的第二方向移动。 [0031] 对被移动的至少一个传送器所保持的处理对象进行预定处理。 [0032] 如上所述，根据本发明，可实现配置简单的包含多个传送器的传送机构。 [0033] 下面，通过参照附图以详述最佳实施方式，则更易于理解本发明的所述及其它目的、特征和优点。附图说明 [0034] 图1为示意性地表示作为本发明的第一实施方式的处理装置的例子的外观检查装置的平面图； [0035] 图2为与图1同样地示意性地表示从上方所见的传送单元50的平面图； [0036] 图3为表示从上方所看到的放大状态下的驱动源及其周围的平面图； [0037] 图4为表示离合器的例子的立体图； [0038] 图5为说明离合器的啮合状态的图； [0039] 图6为依次表示外观检查装置的操作的图；并且 [0040] 图7为示意性地表示本发明的第二实施方式的传送单元的平面图。具体实施方式 [0041] 下面，参照附图，说明本发明的实施方式。 [0042] [第一实施方式] [0043] (外观检查装置的总体配置) [0044] 图1为示意性地表示作为本发明的第一实施方式的处理装置的例子的外观检查装置的平面图。 [0045] 外观检查装置100为例如用于检查作为检查对象(处理对象)的电路基板(以下简称为基板)的外观的装置。例如，外观检查装置100检查电路布线的印刷状态、焊料的印刷状态、损伤和污渍，或者检查基板上的电子器件的缺陷以及电子器件的安装位置的不对准。 [0046] 外观检查装置100包括用作处理器的检查单元20、传送单元50(传送装置)、从下面支撑检查单元20和传送单元50的底座10等。传送单元50位于外观检查装置100的前侧(图1中的下侧)。检查单元20相对于传送单元50位于背侧(图1中的上侧)。 [0047] 检查单元20检查上述基板S的外观。一般来说，检查单元20包括相机21和相机移动机构23。相机移动机构23以预定方向、例如沿图1中的X轴方向移动相机21。 [0048] 相机移动机构23例如由滚珠丝杠驱动机构、传送带驱动机构或齿轮齿条驱动机构构成。而且，检查单元20包括位于相机21周围的照明装置(未图示)。通过该照明装置，可获得最适于通过相机21摄像的来自基板S的反射光。如后所述，相机21和相机移动机构23的位置高于由中央的作业传送器32保持的基板S的高度位置(在Z轴方向上的位置)。 [0049] 应当注意，用于总体性地控制外观检查装置100的计算机27设置于检查单元20背后。可恰当地改变计算机27的位置。而且，检查单元20包括位于任意位置处的显示器和输入操作单元。显示器和输入操作单元电连接至计算机27。 [0050] (传送单元的配置) [0051] 图2为示意性地表示与图1同样地从上方所见的传送单元50的平面图。 [0052] 传送单元50包括沿X轴方向成行布置的送入传送器31、作业传送器32和送出传送器33。而且，传送单元50包括驱动单元40，驱动单元40进行驱动以通过这三个传送器产生传送力。驱动单元40相对于三个传送器31~33的位置位于前侧(还参照图1)。 [0053] 这些传送器31~33适于从图2中的右手侧向左手侧、即沿X轴方向传送基板S。例如，在外观检查装置100与其它装置一起成行排列的情况下，送入传送器31接收从与图1中的外观检查装置100的右手侧相邻的所述其它装置之一送出的基板S，并将该基板S送入作业传送器32。送出传送器33将从作业传送器32接收到的检查后的基板S送出至与图1中的外观检查装置100的左手侧相邻的所述其它装置之另一个。 [0054] 作业传送器32介于送入传送器31和送出传送器33之间。作业传送器32包括：一对环形带321，它们以Y轴方向布置；驱动滑轮323和从动滑轮324，它们使环形带321转动；驱动轴325，其将各个驱动滑轮323相互连接；以及一对转动导向件(未图示)，它们转动地支撑驱动滑轮323和从动滑轮324。 [0055] 作业传送器32还包括侧导向件322和底板327。侧导向件322相应地设置于所述一对转动导向件外侧以覆盖这对转动导向件。底板327设置于一对侧导向件322下方以一体地支撑这对侧导向件322。转动导向件、侧导向件322等可采用公知的各种构造。例如，转动导向件可沿Y轴方向设置于环形带321内侧。在此情况下，转动地支撑驱动轴325。 [0056] 送入传送器31和送出传送器33与上述作业传送器32具有基本相同的配置和功能。送入传送器31包括滑轮313、滑轮314、环形带311等。送出传送器33包括滑轮333、滑轮334、环形带331等。以下，说明与送入传送器31和送出传送器33的配置不同的作业传送器32的配置。 [0057] 虽然未图示，但作业传送器32包括使得一对传送带和一对转动导向件一体升降的机构。该升降机构只需采用公知的构造。例如，升降机构安装于底板327(或座)中。通过该升降机构使得这对传送带和这对转动导向件一体上升，从而将基板S的边缘夹在这对环形带321和侧导向件322的上部之间，于是夹住基板S。夹住基板S的方法不限于这种方式，可适当地作出变化。 [0058] 如图1所示，传送单元50包括移动机构55。移动机构55沿着与三个传送器31~33传送基板S的方向正交的方向、即沿着以Y轴方向设置的导轨25和导轨25而移动作业传送器32。例如，将滚珠丝杠传动机构用作移动机构55。滚珠丝杠传动机构的滚珠丝杠56转动连接至作业传送器32的底板327下部。 [0059] 通过驱动移动机构55，当由检查单元20检查基板S的外观时，作业传送器32从图1和图2所示的初始位置移动至背侧的检查单元20侧的位置，然后开始检查基板S的外观。 [0060] 驱动单元40包括：电机41，其用作驱动源；和传动机构45，其能够将来自来电机41的动力传输给三个传送器31~33。图3为表示从上方所见的放大状态下的电机41及其周围的平面图。如图2和图3所示，传动机构45包括驱动滑轮42、从动滑轮46、从动滑轮 47以及环形带44。驱动滑轮42设置于电机41的输出轴41a。从动滑轮46和从动滑轮47分别位于送入侧和送出侧。将环形带44延伸跨过驱动滑轮42和从动滑轮46、47。而且，传动机构45包括设置于驱动滑轮42的输出侧的离合器48。 [0061] 应当注意，图3未图示作业传送器32中的环形带321和传动机构45中的环形带44。电机41的输出轴41a构成驱动源的输出部件的全部或驱动源的输出部件的一部分。在驱动滑轮42和各个从动滑轮46、47之间设有张紧滑轮43、43。 [0062] 电机41可以为安装有减速器的电机41。或者，作为驱动源的一部分，减速器可与电机41分体设置。 [0063] 驱动滑轮42的输出侧经由离合器48而连接至作业传送器32的驱动轴325。如图2所示，位于送入侧的从动滑轮46的输出侧连接至用于使送入传送器31的滑轮313旋转的轴315。而且，位于送出侧的从动滑轮47的输出侧连接至用于使送出传送器33的滑轮333旋转的轴335。通过这种传动机构45的配置，单个电机41可同步驱动三个传送器31~33。 [0064] 离合器48进行由电机41至作业传送器32的动力传输以及切断所述动力传输。如上所述，离合器48设置于驱动滑轮42的输出侧。具体来说，离合器48设置为可与电机41的输出轴41a同轴旋转。通过这种配置，可抑制由电机41至离合器48进行动力传输时的机械损失。 [0065] 图4为表示离合器48的立体图。应当注意，图4也未图示传动机构45中的环形带44和作业传送器32中的环形带321。 [0066] 如图3和图4所示，离合器48包括输入侧部件11和输出侧部件12。输入侧部件11包括叶片状凸出部件(啮合部件)11a，该凸出部件11a连接至驱动滑轮42。输出侧部件12包括销状凸出部件(啮合部件)12a，该凸出部件12a连接至作业传送器32的驱动轴 325。销状表示每个凸出部件12a向其尖端渐细的形状。例如，如图5A和图5B所示，凸出部件11a、12a通过电机41的旋转而啮合，并在保持啮合状态的同时一体地旋转。由此，将电机41的动力传输给作业传送器32的驱动轴325。 [0067] 凸出部件11a、12a包含硬度不同的材料。通过这种配置，可使凸出部件11a、12a具有不同的耐磨性。例如，可为凸出部件11a、12a提供更柔软的材料以易于维护或可以低成本进行维护。 [0068] 在本实施方式中，输出侧的凸出部件12a由比输入侧的凸出部件11a更柔软的材料制成。如此配置的原因在于，输入侧的凸出部件11a由于例如直接耦接于驱动滑轮42而不易于被新型凸出部件11a更换，或者凸出部件11a的成本高于输出侧的凸出部件12a。 [0069] 应当注意，在本实施方式中，离合器48可位于比送入传送器31更靠近送出传送器33的一侧。在此情况下，设有将各个滑轮324相互连接的靠近离合器48的轴，且离合器48连接至该轴。 [0070] (外观检查装置的操作) [0071] 图6为依次表示外观检查装置100的操作的图。 [0072] 如图6A所示，通过传送单元50的驱动单元40的驱动将基板S从外部经由送入传送器31而传送至作业传送器32的位置处。然后，停止驱动单元40的驱动。 [0073] 通常，当将基板S传送至作业传送器32的环形带44上的预定位置处时，基板S紧靠机械限位器(未图示)且在物理上停止。随后，由传感器(未图示)(例如光学传感器)检测出在停止位置处的基板S。根据该检测信号，通过控制器控制传送单元50而将停止信号发送给电机41，从而停止驱动单元40的驱动。 [0074] 当停止驱动单元40的驱动时，作业传送器32夹住基板S。然后，如图6B所示，通过移动机构55的驱动，以将作业传送器32向后移动，且作业传送器32在预定位置处停止。作业传送器32从初始位置向后移动切断了电机41向作业传送器32传输的动力。 [0075] 例如，仅需通过移动机构55的预定量的移动以设定预定位置。或者，基板S的预定位置是这样的位置，即为设置于检查单元20的静止状态下的相机21可在摄像范围内对基板S上设有的对准标记(未图示)进行摄像的位置。 [0076] 当作业传送器32在预定位置处停止时，检查单元20开始对基板S进行检查。当计算机27利用相机移动机构23沿X轴方向移动相机21、且作业传送器32利用移动机构55而沿Y轴方向夹住基板S时，相机21从上方对基板S进行摄像。即，相机21在相对于基板S的二维X-Y平面内移动的同时，对基板S进行摄像。以此方式，进行对基板S的检查。 [0077] 当终止对基板S的检查时，移动机构55将作业传送器32移动至初始位置(图6A所示的位置)。当作业传送器32移动至初始位置时，可使离合器48的输入侧部件11和输出侧部件12相互啮合(参照图3)。即，可使电机41的动力传输至作业传送器32。 [0078] 此处，在本实施方式中，离合器48的凸出部件11a、12a之一(例如输出侧的凸出部件12a)形成为销状。于是，在作业传送器32返回至初始位置的中部，即使当销状凸出部件12a和叶片状凸出部件11a处于同样的旋转角位置时，销状凸出部件12a仍可易于推开叶片状凸出部件11a(主要反抗电机41的齿槽转矩)。 [0079] 如图6C所示，在作业传送器32返回至初始位置后，通过驱动单元40的再驱动以致动各个传送器31~33。由此，将基板S经由送出传送器33送出至外部。 [0080] 如上所述，在本实施方式中，由于将离合器48设置于传动机构45，故当移动机构55移动作业传送器32时，切断了由电机41至作业传送器32的动力传输。由此，还在具有沿Y轴方向移动传送器的功能的装置中，可以很少的驱动源实现对传送器31~33的驱动。于是，可实现具有简单配置的包含多个传送器的传送机构。 [0081] [第二实施方式] [0082] 图7为示意性地表示根据本发明的第二实施方式的传送单元的平面图。以下，简化或省略了与图1和图2等所示的实施方式的传送单元50的部件、功能等相同的部件、功能等的说明，且主要说明不同点。 [0083] 在该传送单元150中，电机41基本上位于X轴方向的中央位置。驱动滑轮42a连接至电机41的输出轴41a。离合器48经由锥齿轮145、沿X轴方向设置的带有锥齿轮的轴146、和锥齿轮147而连接至驱动滑轮42的输出侧。离合器48在比送出传送器33更靠近送入传送器31的位置处连接至作业传送器32的驱动轴325。 [0084] 如上所述，通过使用锥齿轮145、锥齿轮147和带有锥齿轮的轴146，可将电机41的位置设定在中央。 [0085] 或者，电机41的位置可以为除X轴方向的中央以外的任意位置。或者，如图7所示，电机41可基本上设置于X轴方向的中央，在图7中，带有两个锥齿轮的轴146可设置于左手方向和右手方向，并且两个离合器48可相应地设置于更靠近送入传送器31的一侧和更靠近送出传送器33的一侧。 [0086] [其它实施方式] [0087] 本发明不限于上述实施方式，而可作出其它各种实施方式。 [0088] 在上述各实施方式的离合器48中，输入侧部件11的凸出部件11a形成为叶片状，且输出侧部件12的凸出部件12a形成为销状。然而，这些凸出部件可形成为任何形状，只要它们可在相互啮合的状态下一体旋转即可。例如，这些凸出部件均可形成为叶片状(板状)或销状。而且，在上述各实施方式中，设有两个凸出部件11a和两个凸出部件12a。然而，可设有一个凸出部件11a和一个凸出部件12a，或者可设有三个以上凸出部件11a和三个以上凸出部件12a。 [0089] 对于离合器，除上述啮合法以外，可采用任何其它方法，例如，摩擦方法(等效于微观上的啮合法)、磁体方法、电磁方法或至少上述两种方法的组合方法。 [0090] 在上述各实施方式中，虽然将环形带44设置为传动机构45的一部分，但环形带44可由链条替代。而且，在传动机构45中，驱动滑轮42、从动滑轮46、从动滑轮47和张紧滑轮的位置不限于如上述实施方式所述的位置，而可适当地作出变化。 [0091] 在上述各实施方式中，虽然使用检查单元20中的相机移动机构23使相机21移动的方向仅为X轴方向，但可采用在X轴方向和Y轴方向上都移动。在此情况下，当检查单元20对基板S进行检查时，使用移动机构55使作业传送器32沿Y轴方向移动是不必要的。 [0092] 在上述各实施方式中，移动机构55移动作为三个传送器31~33中的一个传送器的作业传送器32，并且作业传送器32设有离合器48。然而，例如，在这种外观检查装置100或其它装置中，可设有两个以上可移动的传送器，并且两个以上可移动的传送器可各设有离合器。 [0093] 在上述各实施方式中，例如，虽然示例了三个传送器31~33，但传送单元50可采用省略了送入传送器31和送出传送器33之任一个的形式、即设有两个传送器的形式。或者，本发明还适用于包含四个以上传送器的传送装置。 [0094] 虽然各传送器31~33使基板S传送的方向(X轴方向)正交于移动机构55使作业传送器32移动的方向，但这些方向不必彼此正交，而可以彼此斜向交叉。在此情况下，不将各传送器的外形设定为如图2等所示的平面图中的大致矩形形状，而设定为平面图中的大致平行四边形的形状，从而实现传送器的斜向移动。 [0095] 在以上说明中，将外观检查装置示例为处理装置。然而，用于在电路基板S上安装电子器件的器件安装装置或者在电路基板S上印刷布线的印刷装置可用作该处理装置。或者，处理装置可以为任何装置，例如为处理机、真空处理装置或曝光装置。 [0096] 处理对象不限于电路基板S，而可以为玻璃基板S、半导体基板S或金属基板S。处理对象不限于这些板状产品，而可以为厚度大的三维产品。 [0097] 在上述各实施方式中，可将至少两个特征组合在一起。 [0098] 本发明还可采用下列配置。 [0099] （1）一种传送装置，其包括： [0100] 驱动源； [0101] 多个传送器，它们被所述驱动源驱动以分别沿第一方向传送处理对象； [0102] 移动机构，其沿着与所述第一方向不同的第二方向以移动所述多个传送器中的至少一个传送器；以及 [0103] 传动机构，其包括离合器，该离合器用于进行由所述驱动源至所述至少一个传送器的动力传输以及切断所述动力传输，并且所述传动机构用于从所述驱动源向所述多个传送器传输动力。 [0104] （2）如（1）所述的传送装置，其中，所述驱动源包括连接至所述传动机构的输出部件，并且所述离合器设置为与所述输出部件同轴旋转。 [0105] （3）如（1）或者（2）所述的传送装置，其中，所述多个传送器包括： [0106] 作业传送器，其用于夹住所述处理对象，并且所述动力经由所述离合器而输入给所述作业传送器；和 [0107] 传送器，其用于将所述处理对象送入所述作业传送器或者从所述作业传送器送出所述处理对象。 [0108] （4）如（1）或者（2）所述的传送装置，其中，所述离合器包括： [0109] 输入侧部件，其包括第一材料且连接至所述驱动源侧；和 [0110] 输出侧部件，其包括与所述第一材料的硬度不同的第二材料且连接至所述至少一个传送器。 [0111] （5）如（1）或者（2）所述的传送装置，其中，所述离合器包括： [0112] 输入侧部件，其包括啮合部件；和 [0113] 输出侧部件，其包括可与所述啮合部件啮合的啮合部件，并且 [0114] 所述输入侧部件的啮合部件和所述输出侧部件的啮合部件中的至少一个为销状。 [0115] （6）一种处理装置，其包括： [0116] 驱动源； [0117] 多个传送器，它们被所述驱动源驱动以分别沿第一方向传送处理对象； [0118] 传动机构，其包括离合器，该离合器用于进行由所述驱动源至所述多个传送器中的至少一个传送器的动力传输以及切断所述动力传输，并且所述传动机构用于从所述驱动源向所述多个传送器传输动力； [0119] 处理器，其用于对所述处理对象进行预定处理；以及 [0120] 移动机构，其用于当所述离合器切断所述动力传输时而沿着与所述第一方向不同的第二方向移动所述至少一个传送器，从而使所述至少一个传送器位于所述处理器中。 [0121] （7）一种传送方法，其包括： [0122] 将来自驱动源的动力经由传动机构以供给多个传送器，从而使所述多个传送器沿第一方向传送处理对象； [0123] 使用设置于所述传动机构的离合器以切断由所述驱动源至所述多个传送器中的至少一个传送器的动力传输；并且 [0124] 沿着与所述第一方向不同的第二方向以移动所述动力传输被切断的所述至少一个传送器。 [0125] （8）一种处理方法，其包括： [0126] 将来自驱动源的动力经由传动机构以供给多个传送器，从而使所述多个传送器沿第一方向传送处理对象； [0127] 使用设置于所述传动机构的离合器以切断由所述驱动源至所述多个传送器中的至少一个传送器的动力传输； [0128] 沿着与所述第一方向不同的第二方向以移动所述动力传输被切断的所述至少一个传送器；并且 [0129] 对被移动的所述至少一个传送器所保持的所述处理对象进行预定处理。 [0130] 本领域的技术人员应当明白，在不脱离所附权利要求及其等同物的范围内，取决于设计需要和其它因素可出现各种变化、组合、子组合和替代。

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