基板搬送装置、基板作业装置 |
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| 申请号 | CN201310439204.0 | 申请日 | 2013-09-24 | 公开(公告)号 | CN103717052B | 公开(公告)日 | 2017-09-12 |
| 申请人 | 雅马哈发动机株式会社; | 发明人 | 小木曾武; | ||||
| 摘要 | 本 发明 涉及 基板 搬送装置、基板作业装置以及搬送带，所述基板搬送装置沿 指定 的搬送方向搬送基板，其包括：引导部件，沿所述搬送方向延伸设置，具有在与所述搬送方向 正交 的正交方向上从基板的外侧与该基板抵接的引导面；搬送带，沿所述引导面在所述搬送方向上延伸， 支撑 所述正交方向上的基板的端部；驱动部，使所述搬送带沿所述搬送方向移动；其中，所述搬送带包括：带基部，在所述引导部件的下方 位置 从所述引导面的位置向所述正交方向两侧延伸；突出部，从所述带基部沿所述引导面朝上延伸至该引导面的上端和下端之间的位置；其中，所述基板由所述突出部支撑。根据本发明，能够稳定地搬送厚度及重量不同的各种基板。 | ||||||
| 权利要求 | 1.一种基板搬送装置，沿指定的搬送方向搬送基板，其特征在于包括： |
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| 说明书全文 | 基板搬送装置、基板作业装置技术领域[0001] 本发明涉及搬送基板的基板搬送装置、对由基板搬送装置搬送至作业位置的基板实行指定的作业的基板作业装置、以及适于基板搬送装置的搬送带。作为基板作业装置进行的作业，包括例如表面安装作业、基板检查作业、涂敷剂的涂敷作业、印刷作业、安装有元件的基板的回流作业等。 背景技术[0002] 在表面安装机等基板作业装置中，基板被搬入作业位置，另外，作业结束后基板从作业位置被搬出。为了进行这样的基板搬送，基板作业装置中装备有基板搬送装置。例如日本专利公开公报特开2009-289780号公报(以下，简称为“专利文献1”)的图3中记载的基板搬送装置具有左右一对搬送带。该基板搬送装置具备自以往广泛使用的一般的平带作为各搬送带。各搬送带利用宽度方向(左右方向)的内侧部分来支撑基板，通过由驱动马达的驱动而使各搬送带移动(行走)来搬送该基板。另外，引导部件对应于每一个搬送带而设置。各引导部件从上方覆盖搬送带的宽度方向的外侧端部。各引导部件在各自宽度方向内侧具有垂直的引导面，利用所述引导面引导由搬动带搬送的基板的侧端面，从而将搬送中的基板保持为一定的姿势。如此来谋求基板搬送的稳定。专利文献1中记载的基板搬送方式称为“以往例1”。 [0003] 另外，日本专利公开公报特开2000-264414号(以下，简称为“专利文献2”)的图1、图2、图4、图5中，记载有与以往例1不同的两种基板搬送装置。其中的一基板搬送装置(图4、图5中所示的装置)的各搬送带由平带构成，以该搬送带的宽度方向(左右方向)整体来支撑基板的下表面。并且，左右一对的引导部件分别设置在左右的搬送带的 外侧，以从搬送带的外侧相夹基板的方式进行引导。这样的基板搬送方式称为“以往例2”。 [0004] 专利文献2中记载的另一基板搬送装置(图1、图2所示的装置)使用附加有引导功能的搬送带进行基板搬送。以下，将该基板搬送装置称为“以往例3”。该以往例3中，以各搬送带中的宽度方向内侧端部来支撑基板的下表面，该内侧端部作为用于搬送基板的搬送部发挥功能。另外，各搬送带中与所述内侧端部(搬送部)相连的宽度方向外侧端部向上方突出，该突出部分通过从外侧约束基板从而作为引导部发挥作用。 [0005] 如此，自以往已有各种的基板搬送方式被提出，但是每一方式的对基板作业装置的适用范围均被限定，因此在基板的厚度方面以及在重量方面存在通用性问题。 [0006] 例如，以往例1中，引导部件以从上方覆盖在搬送带中宽度方向外侧端部的方式设置，存在在该引导部件的下表面和搬送带之间形成朝向基板侧开放的间隙的情况。因此，如果搬送比较薄的基板(权且称为薄基板)，有可能产生薄基板进入上述间隙而该基板被咬住的情形。因此，以往例1所能够搬送的基板被限制于比上述间隙足够厚的基板(权且称为厚基板)。 [0007] 另外，以往例2中，由于以搬送带的宽度方向整体来支撑基板的下表面，因此基板中由搬送带支撑的允许宽度(支撑宽度)受到影响。即，搬送带的宽度须要设定在所述支撑宽度以下，如果基板上安装了元件，则该元件安装面上的支撑宽度变得非常狭窄。此情况下，搬送带的剖面积小，难以确保足够的带强度。因此，如果搬送比较重的基板，则搬送带会延展，从而难以进行准确的基板搬送。此外，还存在带破裂的可能性。因此，以往例2所能够搬送的基板被限制于比较轻的基板。 [0008] 此外，以往例3中，引导基板的引导部以与搬送部相连的状态向上方突出设置。通常，搬送带以具有挠性的材料形成，因此每当引导部在宽度方向上引导基板时会受到来自基板的横向负荷作用。基于横向负荷如此反复作用于引导部，引导部与搬送部相连的部分亦即所谓的根部分会被反复施加剪切力。因此，有可能在引导部的根部分处产生龟裂或产生引导部破裂等不良情况，从而难以进行稳定的基板搬送。 发明内容[0009] 本发明的目的在于提供一种在基板搬送方面具有优异的搬送稳定性并且在基板的厚度及重量方面具有较高的通用性的基板搬送装置、装备了该基板搬送装置的基板作业装置以及适于该基板搬送装置的搬送带。 [0010] 本发明一方面所涉及的基板搬送装置是沿指定的搬送方向搬送基板的基板搬送装置，其包括：引导部件，沿所述搬送方向延伸设置，具有在与所述搬送方向正交的正交方向上从基板的外侧与该基板抵接的引导面；搬送带，沿所述引导面在所述搬送方向上延伸，支撑所述正交方向上的基板的端部；支撑部件，从所述搬送带的下侧支撑该搬送带；驱动部，使所述搬送带沿所述搬送方向移动；其中，所述搬送带包括：带基部，在所述引导部件的下方位置从所述引导面的位置向所述正交方向两侧延伸；突出部，从所述带基部中在所述正交方向上相对于所述引导面位于基板侧的位置，沿所述引导面朝上延伸至该引导面的上端和下端之间的位置；其中，所述基板由所述突出部支撑，所述搬送带被设置为，通过所述突出部抵接于所述引导面而限制该搬送带向外侧的位移，所述引导部件包括配置于所述搬送方向上的上游端的第一引导部件和配置于所述第一引导部件的下游侧的第二引导部件，所述第一引导部件具备将搬入的基板推送到所述搬送带上的引导部，所述驱动部包含让所述搬送带挂设的第一带轮，通过旋转驱动该第一带轮，使所述搬送带沿所述搬送方向移动，所述搬送带是在与所述突出部侧相反侧的面上具备多个齿的有齿带，所述第一带轮是在外 周面上具备能够与所述搬送带的齿啮合的多个齿的有齿带轮。 [0011] 本发明另一方面所涉及的基板作业装置包括：基座；基板搬送部，设置在所述基座上，包括所述基板搬送装置；基板作业部，设置在所述基座上，对由所述基板搬送部搬送至指定的作业位置的基板实施指定的作业。 [0012] 本发明再一方面所涉及的搬送带是用于基板搬送装置的搬送带，所述基板搬送装置包括：引导部件，沿基板的搬送方向延伸设置，具有在与所述搬送方向正交的正交方向上从基板的外侧与该基板抵接的引导面；所述搬送带，沿所述引导面在所述搬送方向上延伸，在支撑所述正交方向上的基板的端部的状态下沿所述搬送方向被驱动；所述搬送带包括带基部和突出部，在该搬送带被组装在所述基板搬送装置中的状态下，所述带基部在所述引导部件的下方位置从所述引导面的位置向所述正交方向两侧延伸，所述突出部从所述带基部中在所述正交方向上相对于所述引导面位于基板侧的位置，沿所述引导面朝上延伸至该引导面的上端和下端之间的位置，从而所述突出部抵接于所述引导面。 [0014] 图1是概略性地表示装备本发明的基板搬送装置的一实施方式的基板作业装置的俯视图。 [0015] 图2是基板搬送部的局部放大立体图。 [0016] 图3是表示带有摇摆防止功能的带轮的结构的图。 [0017] 图4是图2的基板搬送部的局部剖视图。 [0018] 图5是示意性地表示搬送带、引导部件以及印刷基板的位置关系 的图。 具体实施方式[0019] 以下，参照附图对本发明的实施方式进行详细说明。 [0020] 图1是概略性地表示装备本发明的基板搬送装置的一实施方式的基板作业装置的俯视图。在此，以表面安装机作为基板作业装置例示并说明。另外，为了以下说明的方便，在图1以及之后说明的各图中，显示有XYZ正交坐标轴，即将基于基板搬送装置的基板搬送方向作为“X方向”，将竖直方向作为“Z方向”，并将与X方向(搬送方向X)以及Z方向正交的方向作为“Y方向”。在本例中，Y方向相当于本发明的正交方向。 [0021] 表面安装机如同图中所示具有基座1。在该基座1上设置有相当于本发明的基板搬送装置的基板搬送部2。基板搬送部2具有一对搬送带21a、21b。基板搬送部2通过这些搬送带21a、21b支撑印刷基板3(本发明的基板的一例，以下，略称为基板3)的下表面并向X方向搬送，且在指定的安装作业位置(图1所示的位置)处停止。另外，在安装作业位置处的向基板3的元件的安装作业结束后，基板搬送部2向X方向搬送基板3，且朝向下一基板作业装置搬出。另外，对于基板搬送部2的结构以及动作，将在后文详述。 [0022] 在基板搬送部2的两侧，设置有元件供应部4、5。在这些元件供应部4、5中的一侧(图1中为上侧)的元件供应部4上，设置有沿X方向排列的多个带式送料器4a。各带式送料器4a各自以将隔开指定间隔地收纳和保持有IC、晶体管、电容器等小片状芯片元件的带从卷轴导出的方式构成，通过后述的头部单元6间歇性地取出元件。另一方面，在另一侧的元件供应部5中，沿X方向隔开指定间隔地设置有托盘5a、5b。在各托盘5a、5b上，排列放置有各个QFP(Quad Flat Package，四方扁平封装)或BGA(Ball Grid Array，球栅阵列)等封装型的元件，元件 处于能够被头部单元6的取出的状态。 [0023] 在上述基座1的上方，装备有元件安装用头部单元6(相当于本发明的基板作业部)。该头部单元6具有以下结构，且能够在X方向以及Y方向上移动。即，在基座1上，设置有沿Y方向的固定导轨7和通过Y轴伺服马达9予以旋转驱动的滚珠丝杠轴8。在上述固定导轨7上，设置有头部单元支撑部件11。设置于该支撑部件11的螺母部分12与上述滚珠丝杠轴8螺合。另外，在上述支撑部件11上，设置有X方向的引导部件(省略图示)和由X轴伺服马达15驱动的滚珠丝杠轴14。在上述引导部件13上能够移动地保持有头部单元6。设置于该头部单元6的螺母部分(未图示)与上述滚珠丝杠轴14螺合。并且，如果Y轴伺服马达9根据来自控制装置整体的控制单元(省略图示)的Y方向动作指令动作，则上述支撑部件11向Y方向移动。由此，头部单元6向Y方向移动。另外，如果X轴伺服马达15根据来自控制单元的X方向动作指令动作，则头部单元6相对于支撑部件11向X方向移动。以该方式，头部单元6在元件供应部4、5的上方位置和安装作业位置的上方位置之间移动。 [0024] 在头部单元6中设置有在远端具备元件吸附用吸嘴16a的多个头(省略图示)。各头能够相对于头部单元6的框架升降(Z方向的移动)以及绕吸嘴中心轴(R轴:未图示)旋转，且通过图外的Z轴伺服马达等升降驱动机构以及R轴伺服马达等旋转驱动机构动作。另外，在本实施方式中，显示了吸嘴16a设置有6个的结构，但吸嘴数量并不限定于此，而是任意。 [0025] 另外，图1中的符号18是在基座1上设置在上述托盘5a、5b之间的摄像装置，在安装前对从元件供应部4、5取出的元件进行图像识别。 [0026] 接下来，参照图1至图5说明基板搬送部2的结构以及动作。图 2是基板搬送部的局部放大立体图。图3是显示带有摇摆(wobbling)防止功能的带轮(pulley)的结构的图。图4是图2的基板搬送部的局部剖视图。图5是示意性地表示搬送带、引导部件以及基板的位置关系的图，图5的(A)显示本实施方式的基板搬送部中的位置关系，图5的(B)显示以往例1中的位置关系，图5的(C)显示以往例2中的位置关系。 [0027] 基板搬送部2如上所述具有两个搬送带21a、21b。搬送带21a、21b均是无端状的有齿带(toothed belt)，且在外周面具备沿周向延伸的阶差211，在内周面具备齿212。如后文详述，搬送带21a、21b具有剖面L字形的结构，具体而言，具备沿Y方向延伸的带基部210a和在该带基部210a的Y方向一端侧从该带基部210a向径向外侧突出且沿周向连续的突出部210b。并且，在搬送带21a、21b的外周面中，在所述突出部210b的外周面与除此以外的部分之间形成上述阶差211，在所述带基部210a的内周面形成上述齿212。 [0028] 在这些搬送带21a、21b中，为了使搬送带21a循环移动，基板搬送部2具有以下结构。 [0029] 基板搬送部2具有沿搬送方向X延伸设置的搬送框架22a。搬送带21a挂设于旋转自如地安装于该搬送框架22a的四个从动带轮(在图2中，仅图示了设置于搬送方向X的上游侧的三个带轮23a至25a)以及驱动带轮26a。 [0030] 如图2所示，驱动带轮26a是在外周面具有能够与形成于搬送带21a的齿212啮合的齿261的有齿带轮。所述搬送带21a以所述齿212啮合于驱动带轮26a的所述齿261的状态挂设于该驱动带轮26a。驱动带轮26a固定于安装于驱动马达27的旋转轴(省略图示)的六角柱状旋转轴28。由此，驱动马达27根据来自图外的控制单元的旋转指令动作，驱动带轮26a沿图2中的箭头方向Q旋转，且由此，搬送带21a循环移动(行走)并沿搬送方向X搬送基板3。 [0031] 在搬送带21a的移动方向上，在驱动带轮26a的上游侧(图2中的左手侧)设置从动带轮23a，并且在驱动带轮26a的下游侧(图2中的右手侧)设置从动带轮24a。如图3所示，在下游侧的从动带轮24a的外周面上，形成可插入搬送带21a的所述突出部210b的槽部241。该槽部241的槽宽设定成比突出部210b的宽度稍宽。即，搬送带21a以突出部210b与槽部241卡合的状态挂设于从动带轮24a。由此，可有效地防止搬送带21a摇摆。上游侧的从动带轮23a也与下游侧的从动带轮24a同样地构成。即，搬送带21a以形成于从动带轮23a的外周面的槽部(省略图示)与突出部210b卡合的状态挂设于从动带轮23a。由此，在驱动带轮26a的上游侧也可有效地防止搬送带21a摇摆。 [0032] 剩下的两个从动带轮中，一个是图2中所示的从动带轮25a，另一个设置在沿搬送方向X离开该从动带轮25a指定距离的位置。剩下的这两个从动带轮，沿搬送方向X分开与表面安装机(基板作业装置)中的基板3的搬送长度相同程度地设置。这些从动带轮均是具有能够与形成于搬送带21a的齿212啮合的齿的有齿带轮。所述搬送带21a以其内周面的齿212与这些从动带轮的外周面的齿啮合的状态被挂设。以该方式，搬送带21a被水平地架设于从从动带轮25a至另一个从动带轮(省略图示)。并且，在该水平架设的区域(称为水平架设区域)内，以搬送带21a的外周面的宽度方向内侧(图2中的左手侧)的部分亦即突出部210b的外周面来支撑基板3的下表面。 [0033] 另外，在本实施方式中，驱动带轮26a以及驱动马达27等相当于本发明的驱动部，且驱动带轮26a相当于本发明的第一带轮，从动带轮23a、24a相当于本发明的第二带轮。 [0034] 在所述搬送框架22a中，在所述水平架设区域内，以从上侧接触(按压)搬送带21a的外周面的宽度方向外侧(图2中的右手侧)的部分的方式安装引导部件29a。引导部件29a用于引导基板3，且在本实施方式 中，如图2所示，包括两种宽度定位引导部件291、292(权且称为第一宽度定位引导部件291、第二宽度定位引导部件292)。另外，如图2所示，在所述搬送框架22a中，安装有在所述水平架设区域内从下方(搬送带21a的内侧)支撑搬送带21a的支撑引导件20(相当于本发明的支撑部件)。另外，从动带轮23a以能够沿X方向调整位置的状态安装于搬送框架22a。由此，能够调整挂设于驱动带轮26a以及四个从动带轮(从动带轮23a等)的所述搬送带21a的张紧程度。 [0035] 第一宽度定位引导部件291是与基板3相比足够厚的金属制或树脂制的块体，且固定于搬送方向X上的搬送框架22a的上游侧端部的上表面。第一宽度定位引导部件291在搬送方向X上的上游侧端部且在宽度方向内侧(图2中的左手侧)具备引导基板3的引导部2911。被搬入表面安装机的基板3经由该引导部2911被推送到搬送带21a上。另外，第二宽度定位引导部件292是与基板3相比足够厚的沿搬送方向X延伸设置的金属制或树脂制的板。 第二宽度定位引导部件292接着第一宽度定位引导部件291而设置在其下游侧，且固定于所述搬送框架22a的上表面。 [0036] 引导部件29a(宽度定位引导部件291、292)在其宽度方向内侧(图4的(+Y)方向侧)具有由大致垂直的面构成的引导面293。即，通过基板3的侧端面31抵接于该引导面293，基板3被限制其宽度方向(Y方向)的位移且被沿X方向引导。 [0037] 基板搬送部2还具有与用于使搬送带21a循环移动的上述结构相同的结构，作为用于使另一个搬送带21b循环移动的结构。关于用于使搬送带21b循环移动的结构，虽省略了详细图，但基本上与上述的用于使搬送带21a循环移动的结构相同。即，基板搬送部2具有：搬送框架22，设置在沿Y方向与搬送带21a分开对应于基板3的宽度(Y方向的基板尺寸)的距离的位置；四个从动带轮23a至25a等以及驱动带轮26a，旋转自如地安装于该搬送框架；以及引导部件29a(第一宽度定 位引导部件291、第二宽度定位引导部件292)及支撑引导件 20，固定于搬送框架。另外，用于驱动搬送带21a、21b的驱动带轮26a彼此经由所述旋转轴28相互连接。因此，搬送带21a、21b以所述驱动马达27作为共同的驱动源被一体地驱动。 [0038] 如上所述，本实施方式与以往例相同地在以分别设置于一对引导部件29a、29a(参照图1)的宽度方向内侧的引导面293(图2、图4以及图5中所示)沿宽度方向(Y方向)定位基板3的状态下，一对搬送带21a、21b分别从下方支撑基板3的宽度方向端部，并且沿搬送方向X搬送该基板3。但是，本实施方式使用与以往例不同结构的搬送带21a、21b，并且采用了与其关联的特有的结构。以下，主要参照图4至图5说明这些情况。另外，在以下的说明中，为了方便，只说明一个搬送带21a和与其关联的结构，但另一个搬送带21b和与其关联的结构也相同。 [0039] 搬送带21a如上所述在外周面具有阶差211。详细而言，如图4所示，搬送带21a具有沿Y方向延伸的带基部210a和在该带基部210a的宽度方向内侧的区域从该带基部210a向径向外侧突出且沿周向连续的突出部210b。搬送带21a的带宽度Wb具有比为了基板搬送而允许由搬送带支撑的支撑宽度Ws更宽的宽度，通过在支撑宽度Ws的区域从宽度方向内侧端设置突出部210b，从而在支撑宽度Ws的位置从宽度方向内侧端形成阶差211。在本实施方式中，搬送带21a例如以如下方式制造。 [0040] 首先，利用金属线等芯线被加工为环状后的加强线213以沿宽度方向Y多根排列的状态，设置于用于有齿无端带成型的成型模具。成型模具的空腔的高度较高，且沿宽度方向Y排列的多根加强线213设置于空腔的底部部位。并且，在将带结构材料注入成型模具且成形后，从成型模具脱模。由此，制造带宽度Wb的有齿无端带。在此时，带的外周面是平面形状。于是，在带外周面中从宽度方向内侧端(图4的(+Y)方向侧端)留出支撑宽度Ws，且遍及全周沿带厚度方向(径方向)切除其 余部分。此时，切除用于排列加强线213的区域的径向外侧的区域。由此，在带外周面中，自宽度方向内侧端支撑宽度Ws的区域内形成相比除此以外的区域更向径向外侧突出的突出部210b。以该方式，制造形成有阶差211的搬送带21a。另外，该制造方法只是一例，也可以通过其他制造方法制造同一结构的搬送带21a。例如，也可预先准备对应于搬送带21a的最终形状(在搬送带21a的一主要表面(外周面)具有阶差211，并且在另一主要表面(内周面)具有齿212的形状)的成型模具，且仅通过使用该模具的成型处理制造图4所示的搬送带21a。 [0041] 以该方式制造的搬送带21a具有：带基部210a，遍及带宽度Wb具有齿212且埋入有多根加强线213；以及支撑宽度Ws的突出部210b，在该带基部210a的宽度方向内侧的区域从该带基部210a向径向外侧突出。并且，在该搬送带21a被挂设于所述各带轮23a至26a等的状态下，通过具有支撑宽度Ws的所述突出部210b的顶部(外周面)支撑基板3的下表面。 [0042] 在搬送带21a挂设于所述各带轮23a至26a等的状态下，如图4以及图5的(A)所示，在引导部件29a的下方，以带基部210a从引导面293的位置向Y方向两侧延伸的方式设置搬送带21a。并且，在所述水平架设区域中的搬送带21a的外周面中，在所述突出部210b的外周面以外的部分(以下，称为切口部214)接触于引导部件29a的下端面294的状态下，突出部210b沿引导部件29a的引导面293延伸(向径向外侧延伸)。另外，所述支撑引导件20接触搬送带21a的内周面。由此，通过支撑引导件20和引导部件29a的下端面294，限制搬送带21a的上下方向的位移。 [0043] 另外，在支撑引导件20中，形成抵接于搬送带21a的宽度方向外侧并限制搬送带21a向宽度方向外侧位移的突起部20a(相当于本发明的抵接部)。另外，在支撑引导件20中，设置有抵接于搬送带21a的宽度方向内侧并限制搬送带21a向宽度方向内侧位移的带宽度定位部件 295(相当于本发明的限制部件)。由此，通过支撑引导件20的突起部20a和带宽度定位部件295限制搬送带21a的宽度方向的位移，其结果是，搬送带21a能够稳定地循环移动。 [0044] 并且，通过搬送带21a的突出部210b支撑基板3。在此，突出部210b沿引导部件29a的引导面293延伸(向径向外侧延伸)。换言之，引导面293延伸设置至比基于突出部210b的基板3的支撑高度位置PS更低的位置。即，如图5的(A)所示，基板3的支撑高度位置PS成为引导面293的最高高度位置PH和最低高度位置PL之间的高度位置。由此，使引导面293抵接于突出部210b的宽度方向外侧，能够代替所述突起部20a限制搬送带21a向宽度方向外侧的移动。 [0045] 如以上所述，在本实施方式中，搬送带21a具有带基部210a和突出部210b，且与搬送方向X正交的剖面是大致L字形状。并且，在引导面293的基板侧(宽度方向内侧)，通过突出部210b支撑基板3的下表面，并且在搬送带21a的切口部214的上方设置有引导部件29a的下端面294。因此，获得了如下的作用效果。以下，与以往例1至3对比说明本实施方式的作用效果。 [0046] 在以往例1中，例如如图5的(B)中所示，存在引导面100(相当于本实施方式的引导面293)的最低高度位置PL比基板支撑高度位置PS高，且在引导面100的下端部和搬送带103之间产生朝向基板3侧开口的间隙101的情况。因此，在基板3是薄基板的情况下，有可能发生基板3被咬住的情况。与此相对，在本实施方式中，如图5的(A)中所示，引导面293的下端部延伸设置至比基板支撑高度位置PS(突出部210b的上表面)更低的位置，因此，在Z方向(高度方向)上，不会在引导面293的下端部和搬送带21a之间产生朝向基板3侧开口的间隙。因此，壁厚的厚基板3自不待言，即使在搬送壁薄的薄基板3时，也能够在不发生基板3被咬住的情况下稳定地搬送基板3。 [0047] 另外，在以往例3中，引导基板的引导部设置于搬送带自身。因此，相对于搬送带直接施加宽度方向的应力，存在产生搬送带的龟裂、破裂的可能性。与此相对，在本实施方式中，基板3由与搬送带21a、21b分开独立地设置的引导部件29a、29a的引导面293引导。因此，可防止宽度方向Y的应力作用于搬送带21a、21b，由此，有效地防止搬送带21a、21b的龟裂、破裂。其结果是，能够长期地适宜地搬送基板3。 [0048] 并且，在以往例2中，如图5的(C)所示，由于以搬送带110的宽度方向整体支撑基板3的下表面，如果支撑宽度因基板3的下表面的状况而变窄，则对应于此，须要使用宽度狭窄的搬送带110。因此，在基板3是重型基板的情况下，搬送变得困难。即，能够搬送的基板受限。与此相对，在本实施方式中，如图5的(A)所示，搬送带21a、21b除了具有支撑基板3的下表面的突出部210b之外，还在宽度方向上具有切口部214，带宽度Wb比基板3的支撑宽度Ws宽。因此，即使为了应对基板3的支撑宽度而须要狭小地设定突出部210b的宽度Ws，通过增大带基部210a的宽度，也能够将搬送带21a、21b的剖面积(与搬送方向X正交的剖面的剖面积)设定得充分大。并且，通过在带基部210a埋设加强线213，提高搬送带21a、21b的强度。因此，轻的基板3自不待言，比较重的基板3也能够搬送，能够稳定地搬送各种基板。 [0049] 另外，本发明并不限定于上述实施方式，在不脱离其主旨的范围内，能够在上述内容以外进行各种变更。例如，在上述实施方式中，搬送带21a、21b均由有齿带构成，但并非限定于此。例如，也可以以平带、V带等摩擦传动带构成搬送带21a、21b中的一个或两个。 [0050] 另外，在上述实施方式中，在带轮23a、24a中均设置与搬送带21a、21b的阶差211卡合的槽部241，但并非限定于此。例如，也可仅在带轮23a、24a的任一个中设置槽部241。此时，也可在搬送带21a、21b侧设置槽，另一方面，在带轮23a、24a侧设置与该槽卡合的凸部。 [0051] 另外，在上述实施方式中，搬送带21a、21b的切口部214中与引导部件29a(291、292)的抵接面平坦，但也可以为越向外侧延伸高度越低的倾斜面。此时，引导部件29a(291、 292)侧的被抵接面也被设成同样的倾斜面。根据如上所述的结构，能够提高搬送带21a、21b的对引导部件29a(291、292)的装配性。 [0052] 另外，在上述实施方式中，搬送带21a、21b的突出部210b沿周向连续，但突出部210b也可以沿周向间断地设置。根据该结构，搬送带21a、21b的柔软性(弯曲性)提高，且向带轮23a等的挂设变得容易。另外，搬送带21a、21b的行走稳定也提高。 [0053] 另外，在上述实施方式中，搬送带21a、21b是埋设有加强线213的芯线加强带，但本发明当然也能够适用未埋设加强线的通常的搬送带。 [0054] 并且，在上述实施方式中，将本发明的基板搬送装置的一例即基板搬送部2应用于本发明的基板作业装置的一例即表面安装机，但作为能够应用的基板作业装置，除了上述表面安装机以外，也能够将本发明应用于进行基板检查作业、涂敷剂的涂敷作业、印刷作业或安装有元件的基板的回流作业的基板作业装置。 [0055] 以上所说明的本发明总结如下。 [0056] 本发明一方面所涉及的基板搬送装置是沿指定的搬送方向搬送基板的基板搬送装置，其包括：引导部件，沿所述搬送方向延伸设置，具有在与所述搬送方向正交的正交方向上从基板的外侧与该基板抵接的引导面；搬送带，沿所述引导面在所述搬送方向上延伸，支撑所述正交方向上的基板的端部；支撑部件，从所述搬送带的下侧支撑该搬送带；驱动部，使所述搬送带沿所述搬送方向移动；其中，所述搬送 带包括：带基部，在所述引导部件的下方位置从所述引导面的位置向所述正交方向两侧延伸；突出部，从所述带基部中在所述正交方向上相对于所述引导面位于基板侧的位置，沿所述引导面朝上延伸至该引导面的上端和下端之间的位置；其中，所述基板由所述突出部支撑，所述搬送带被设置为，通过所述突出部抵接于所述引导面而限制该搬送带向外侧的位移，所述引导部件包括配置于所述搬送方向上的上游端的第一引导部件和配置于所述第一引导部件的下游侧的第二引导部件，所述第一引导部件具备将搬入的基板推送到所述搬送带上的引导部。 [0057] 在上述基板搬送装置中，所述正交方向上的基板的侧端面抵接于引导面，从而在该正交方向上定位基板。并且，在由搬送带的突出部支撑所述基板的状态下，通过该搬送带移动，从而搬送基板。此时，搬送带的突出部从带基部中在所述正交方向上相对于所述引导面位于基板侧的位置，沿该引导面朝上延伸至所述引导面的上端和下端之间的位置并支撑基板。换言之，引导面的下端位于比由突出部支撑基板的高度位置(基板支撑高度位置)更低的位置。因此，在高度方向(上下方向)上，在引导面的下端和搬送带之间不形成朝基板侧开放的间隙。因此，根据上述基板搬送装置，基板是比较厚的厚基板的情况自不待言，即使在厚度是比较薄的薄基板的情况下，也可有效地防止基板在引导部件的下表面和搬送带之间被咬住。即，可解决以往例1的问题点。 [0058] 在上述基板搬送装置中，基板的侧端面抵接于与搬送带分别地设置的引导部件的引导面，从而沿所述正交方向定位基板。因此，根据上述基板搬送装置，可防止所述正交方向的应力作用于搬送带，由此，防止在搬送带中产生龟裂、破裂。即，可解决以往例3的问题点。 [0059] 并且，在上述基板搬送装置中，搬送带通过从带基部突出的突出部支撑基板。因此，能够更有效地防止搬送带的龟裂等。即，如果基 板中允许由搬送带支撑的宽度(支撑宽度)变狭窄，则相应地须要缩小突出部的宽度。但是，假使须要对应于基板的上述支撑宽度而缩小突出部的宽度(所述正交方向的尺寸)，通过增大带基部的宽度，也能够充分确保作为搬送带整体的剖面积，由此提高搬送带的强度。因此，可解决以往例2的问题点。 [0060] 另外，为了确保搬送带的柔软性(弯曲性)等也可将所述突出部沿搬送方向间断地设置，但在无间隙地稳定地支撑基板方面，较为理想的是，所述突出部沿搬送方向连续。 [0061] 另外，上述基板搬送装置中较为理想的是，所述搬送带以所述带基部能够抵接于所述引导部件的下表面的状态设置。 [0062] 根据该结构，由于引导部件限制搬送带的向上位移，因此以利用引导部件这样合理的结构，能够稳定地搬送基板。 [0063] 另外，上述基板搬送装置中较为理想的是，所述搬送带以所述突出部能够抵接于所述引导面的状态设置。 [0064] 根据该结构，能够适宜地进行以抵接于引导面的状态被搬送的基板的搬送，且该基板的允许由搬送带支撑的宽度(支撑宽度)狭窄。另外，通过突出部与引导面接触，抑制搬送带在所述正交方向上的位移(摇摆)。 [0065] 此时，较为理想的是，所述支撑部件具有抵接部，该抵接部朝上突出且与所述搬送带抵接，从而限制该搬送带的所述正交方向的位移。 [0066] 根据该结构，可抑制搬送带在所述正交方向上的位移(摇摆)，能够更稳定地搬送基板。 [0067] 另外，所述驱动部包含让所述搬送带挂设的第一带轮，通过旋转驱动该第一带轮，使所述搬送带沿所述搬送方向移动。 [0068] 此时，较为理想的是，所述搬送带是在与所述突出部侧相反侧的面上具备多个齿的有齿带，所述第一带轮是在外周面上具备能够与所述搬送带的齿啮合的多个齿的有齿带轮。 [0069] 根据该结构，能够抑制在驱动带轮与搬送带之间的打滑等的发生，能够更可靠地进行驱动力从驱动带轮向搬送带的传递。 [0070] 另外，上述基板搬送装置中较为理想的是，所述搬送带是在所述带基部具备沿搬送方向延伸的芯线的芯线加强带。 [0071] 根据该结构，能够有效地提高搬送带的耐久性，能够更长期地稳定地搬送基板。 [0072] 另外，上述基板搬送装置中较为理想的是，所述驱动部包含第二带轮，该第二带轮是让所述搬送带挂设的从动带轮而且在与该搬送带中的所述突出部侧的面接触的情况下旋转，所述第二带轮具备槽部，该槽部通过让所述搬送带的所述突出部插入而限制该搬送带的所述正交方向的位移。 [0073] 根据该结构，抑制移动的搬送带在所述正交方向上的位移(摇摆)。因此，能够将搬送带的轨道保持为一定，提高基板的搬送稳定性。 [0074] 另外，上述基板搬送装置中较为理想的是还包括：限制部件，沿所述引导面在所述搬送方向上延伸，通过从所述突出部的所述正交方向上的反引导面侧与所述搬送带抵接，从而限制该搬送带的所述正交方向的位移。 [0075] 根据该结构，引导部件和限制部件协作限制搬送带向所述正交方向的位移，从而能够更高度地抑制搬送带在所述正交方向上的位移(摇摆)。 [0076] 另外，上述基板搬送装置中，所述带基部的上表面也可以是随着在所述正交方向上远离所述突出部而高度下降的下倾的倾斜面。 [0077] 根据该结构，在装配搬送带时，容易使带基部插入引导部件的下方位置，因此装配性提高。 [0078] 本发明另一方面所涉及的基板作业装置包括：基座；基板搬送部，设置在所述基座上，包括所述基板搬送装置；基板作业部，设置在所述基座上，对由所述基板搬送部搬送至指定的作业位置的基板实施指定的作业。 [0079] 根据该基板作业装置，由于具备包括如上所述的基板搬送装置的基板搬送部，因此在进行基板相对于所述作业位置的搬入或搬出时，能够有效地防止基板在引导部件的下表面和搬送带之间被咬住或在搬送带中产生龟裂、破裂的情况。 [0080] 本发明再一方面所涉及的搬送带是用于基板搬送装置的搬送带，所述基板搬送装置包括：引导部件，沿基板的搬送方向延伸设置，具有在与所述搬送方向正交的正交方向上从基板的外侧与该基板抵接的引导面；所述搬送带，沿所述引导面在所述搬送方向上延伸，在支撑所述正交方向上的基板的端部的状态下沿所述搬送方向被驱动；所述搬送带包括带基部和突出部，在该搬送带被组装在所述基板搬送装置中的状态下，所述带基部在所述引导部件的下方位置从所述引导面的位置向所述正交方向两侧延伸，所述突出部从所述带基部中在所述正交方向上相对于所述引导面位于基板侧的位置，沿所述引导面朝上延伸至该引导面的上端和下端之间的位置，从而所述突出部抵接于所述 引导面。 [0081] 如上所述的搬送带通过从带基部向径向外侧延伸的突出部支撑基板，因此，在上述的基板搬送装置中具有实用性。 [0082] 该搬送带中较为理想的是，所述突出部沿所述搬送方向连续。 [0083] 根据该结构，由于能够无间隙地稳定支撑基板，因此能够稳定地搬送基板。 |
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