保管系统和保管方法 |
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| 申请号 | CN201410287376.5 | 申请日 | 2014-06-25 | 公开(公告)号 | CN104249897A | 公开(公告)日 | 2014-12-31 |
| 申请人 | 株式会社大福; | 发明人 | 高原正裕; 上田俊人; | ||||
| 摘要 | 本 发明 提供保管系统和保管方法。保管系统包括：保管库，设置有收纳部和搬入搬出部；环境调节部，针对每个收纳部对保管环境进行调节；环境管理部，收集关于保管环境的信息并控制环境调节部的动作；保管库输送装置，进行输送作业；以及入库出库管理装置，将收纳有物品保持体的收纳部的场所与该物品保持体的识别信息对应地进行管理，根据来自主管理装置的出库或入库 请求 来控制保管库输送装置的输送作业。入库出库管理装置生成将环境管理部所生成的每个收纳部的环境管理信息和收纳于各个收纳部的物品保持体的识别信息相对应而得到的上位环境管理信息，并输出至主管理装置。 | ||||||
| 权利要求 | 1. 一种保管系统，包括： |
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| 说明书全文 | 保管系统和保管方法技术领域[0001] 本发明涉及保管系统和利用了这样的保管系统的保管方法，所述保管系统包括：保管库，设置有多个用于收纳物品输送用的物品保持体的收纳部，并且设置有上述物品保持体的入库出库用的搬入搬出部；环境调节部，在上述收纳部中，针对每个上述收纳部对保持在上述物品保持体中的物品的保管环境进行调节；环境管理部，收集多个上述收纳部各自的与上述物品的保管环境相关的信息，来控制上述环境调节部的动作；保管库输送装置，进行将上述物品保持体从上述收纳部输送到上述搬入搬出部的出库用输送作业、以及将上述物品保持体从上述搬入搬出部输送到上述收纳部的入库用输送作业；主管理装置，输出用于将由附加在各个上述物品保持体上的识别信息指定的上述物品保持体从上述保管库出库的出库请求、以及用于将由上述识别信息指定的上述物品保持体入库到上述保管库中的入库请求；以及入库出库管理装置，将收纳有上述物品保持体的上述收纳部的场所与该物品保持体的上述识别信息对应地进行管理，根据上述出库请求或上述入库请求来控制上述保管库输送装置的上述出库用输送作业或上述入库用输送作业。 背景技术[0002] 如上述的保管系统那样，在日本特开平11-168135号公报（专利文献1）中记载有如下的保管系统的一例：具有在收纳部中针对每个收纳部对保持在物品保持体中的物品的保管环境进行调节的环境调节部。专利文献1的保管系统是保管物品输送用的容器的系统，所述物品输送用的容器保持多张应在惰性气体氛围下保管的半导体基板。 [0003] 关于专利文献1的保管系统，作为环境调节部，每一个收纳部都具有向收纳在收纳部的输送容器供给惰性气体的惰性气体供给装置，环境管理部（专利文献1中称为控制部20）收集供给配管中的阀的开闭信息、惰性气体的供给压力信息和供给流量信息这样的与半导体基板的保管环境相关的信息，针对每个收纳部对所述多个惰性气体供给装置的动作进行控制。 [0004] 具有环境调节部的保管系统的其他示例记载在日本特开2009-48588号公报（专利文献2）以及日本特开2012-25557号公报（专利文献3）中。专利文献2和3的保管系统是对保持多个二次电池单元的物品输送用的盒进行保管的系统（参照专利文献2的[0013]段）。 [0005] 在专利文献2和3这样的对二次电池单元的盒进行保管的保管系统的情况下，作为环境调节部，每一个收纳部都具有向收纳在收纳部的盒供给电流的充电装置，环境管理部收集关于充电装置的动作状态的信息、收纳部中的气温、收纳部中有无烟这样的与二次电池单元的保管环境相关的信息，针对每个收纳部对上述多个充电装置的动作进行控制。 [0006] 专利文献1至3的保管系统所具有的保管库输送装置进行将物品保持体从保管库中的收纳部输送到搬入搬出部的出库用输送作业、以及将物品保持体从搬入搬出部输送到收纳部的入库用输送作业。保管库输送装置的出库用输送作业和入库用输送作业由入库出库管理装置来控制。虽然在专利文献1至3中没有详细的记载，但是入库出库管理装置为了对哪个物品保持体被保管在哪个收纳部中进行管理，而将收纳物品保持体的收纳部的场所与该物品保持体的识别信息对应地进行管理。 [0007] 入库出库管理装置根据用于将物品保持体从保管库出库的出库请求、和用于将物品保持体入库到保管库的入库请求，来控制保管库输送装置的出库用输送作业和入库用输送作业。上述的出库请求和入库请求例如如日本特开2005-19911号公报（专利文献4）所记载的那样由上位的主管理装置输出。即，主管理装置通过向入库出库管理装置输出用于将由附加在各个物品保持体上的识别信息指定的物品保持体从保管库出库的出库请求、以及用于将由识别信息指定的物品保持体入库到保管库的入库请求，而将指定的物品保持体入库到保管库，或者将指定的物品保持体从保管库出库。 [0008] 在如上所述的保管系统中，在保持于物品保持体的物品的保管环境存在物品的质量管理方面的有意的变化的情况下，入库出库管理装置根据从环境管理部取得的关于保管环境的信息，来控制入库出库输送装置的动作。例如，在专利文献2的保管系统中，当在收纳部中保管环境发生了异常的情况下，利用保管库输送装置使收纳在该收纳部的物品保持体退避到预定的场所。另外，在专利文献2中示出了入库出库管理装置具有环境管理部的功能的示例。 发明内容[0009] 如果是如上所述的保管系统，则在保持于物品保持体的物品的保管环境存在物品的质量管理方面的有意的变化的情况下，入库出库管理装置能够根据从环境管理部取得的关于保管环境的信息，来控制入库出库输送装置的动作，但是不会将收纳部中的保持于物品保持体的物品的保管环境的信息传递给上位的主管理装置。因此，如果是如上所述的保管系统，则在保管库中的物品的保管环境发生了异常的情况下，主管理装置无法掌握该事实，从而难以有效地应对主管理装置对物品的质量管理。 [0010] 于是谋求容易进行主管理装置的基于物品的保管环境的对物品保持体的管理的保管系统。 [0011] 本发明的保管系统包括：保管库，设置有多个用于收纳物品输送用的物品保持体的收纳部，并且设置有上述物品保持体的入库出库用的搬入搬出部； 环境调节部，在上述收纳部中，针对每个上述收纳部对保持在上述物品保持体中的物品的保管环境进行调节； 环境管理部，收集多个上述收纳部各自的与上述物品的保管环境相关的信息，来控制上述环境调节部的动作； 保管库输送装置，进行将上述物品保持体从上述收纳部输送到上述搬入搬出部的出库用输送作业、以及将上述物品保持体从上述搬入搬出部输送到上述收纳部的入库用输送作业； 主管理装置，输出用于将由附加在各个上述物品保持体上的识别信息指定的上述物品保持体从上述保管库出库的出库请求、以及用于将由上述识别信息指定的上述物品保持体入库到上述保管库中的入库请求；以及 入库出库管理装置，将收纳有上述物品保持体的上述收纳部的场所与该物品保持体的上述识别信息对应地进行管理，根据上述出库请求或上述入库请求来控制上述保管库输送装置的上述出库用输送作业或上述入库用输送作业； 这里，上述环境管理部构成为，生成表示每个上述收纳部的上述物品的保管环境的环境管理信息并输出至上述入库出库管理装置， 上述入库出库管理装置构成为，生成上位环境管理信息并输出至上述主管理装置，所述上位环境管理信息是将上述环境管理部输出的每个上述收纳部的上述环境管理信息、和收纳于各个上述收纳部的上述物品保持体的上述识别信息相对应而得到的。 [0012] 根据上述的构成，入库出库管理部从环境管理部获得表示每个收纳部的物品的保管环境的环境管理信息。由于入库出库管理部将收纳有物品保持体的收纳部的场所与该物品保持体的识别信息对应地进行管理，因此能够从表示每个收纳部的物品的保管环境的环境管理信息，与收纳在该收纳部的物品保持体的识别信息对应地生成关于该物品保持体的上位环境管理信息。并且，由于入库出库管理部将上位环境管理信息输出至主管理装置，因此主管理装置能够获得关于收纳在收纳部的物品保持体的上位环境管理信息。 [0013] 因此，例如在环境调节部发生了异常的情况下，主管理装置为了尽可能快地将收纳在受到所发生的异常的影响的收纳部中的物品保持体移动到其他保管库，而能够输出使物品保持体从该保管库出库的出库请求，或在该环境调节部的异常恢复之前采取限制入库请求的输出等对策，以避免使物品保持体入库到该保管库。由此，根据上述的构成，对于主管理装置来说，能够实现容易进行基于物品保管环境的物品保持体的管理的保管系统。 [0014] 本发明的保管系统的技术特征也能够应用于保管方法，本发明也能够将那样的方法作为请求保护的对象。在该保管方法中，也能够获得上述保管系统的作业效果。 [0015] 即，本发明的保管方法是利用保管系统的保管方法，所述保管系统包括： 保管库，设置有多个用于收纳物品输送用的物品保持体的收纳部，并且设置有上述物品保持体的入库出库用的搬入搬出部； 环境调节部，在上述收纳部中，针对每个上述收纳部对保持在上述物品保持体中的物品的保管环境进行调节； 环境管理部，收集多个上述收纳部各自的与上述物品的保管环境相关的信息，来控制上述环境调节部的动作； 保管库输送装置，进行将上述物品保持体从上述收纳部输送到上述搬入搬出部的出库用输送作业、以及将上述物品保持体从上述搬入搬出部输送到上述收纳部的入库用输送作业； 主管理装置，输出用于将由附加在各个上述物品保持体上的识别信息指定的上述物品保持体从上述保管库出库的出库请求、以及用于将由上述识别信息指定的上述物品保持体入库到上述保管库中的入库请求；以及 入库出库管理装置，将收纳有上述物品保持体的上述收纳部的场所与该物品保持体的上述识别信息对应地进行管理，根据上述出库请求或上述入库请求来控制上述保管库输送装置的上述出库用输送作业或上述入库用输送作业； 上述环境管理部构成为，生成表示每个上述收纳部的上述物品的保管环境的环境管理信息并输出至上述入库出库管理装置， 上述保管方法包含由上述入库出库管理装置执行的以下信息输出工序： 生成上位环境管理信息并输出至上述主管理装置，所述上位环境管理信息是将上述环境管理部输出的每个上述收纳部的上述环境管理信息、和收纳于各个上述收纳部的上述物品保持体的上述识别信息相对应而得到的。 [0016] 下面对本发明的优选实施方式的示例进行说明。 [0017] 在本发明的保管系统的实施方式中优选的是，上述入库出库管理装置构成为，进一步生成与上述入库用输送作业和上述出库用输送作业相关的信息即输送管理信息，并输出至上述主管理装置，上述输送管理信息存在种类不同的多个，上述上位环境管理信息存在种类不同的多个，上述入库出库管理装置构成为，在标注了能够分别识别出上述输送管理信息的种类和上述上位环境管理信息的种类的信息识别符的状态下，将上述输送管理信息和上述上位环境管理信息输出至上述主管理装置。 [0018] 根据该构成，由于主管理装置能够得到多个上位环境管理信息，因此能够将物品的保管环境中所产生的现象分类成多种而获得。由此，主管理装置容易进行基于物品的具体保管环境的物品保持体的管理。 [0019] 而且，由于主管理装置能够利用信息识别符来识别输送管理信息的种类和上位环境管理信息的种类，因此主管理装置能够通过与和入库出库管理装置之间通信的输送管理信息的通信方法相同的通信方法对上位环境管理信息进行通信。因此，能够防止使用其他的通信方法等通信环境的复杂化，同时实现主管理装置能够从入库出库管理装置获得上位环境管理信息的构成。 [0020] 在本发明的保管系统的实施方式中优选的是，上述环境管理信息为表示上述物品的保管环境成为了预先确定的多个种类的状态中的哪一个的信息。 [0021] 根据该构成，在保管库中的物品的保管环境成为了预先确定的状态中的某一个的情况下，主管理装置能够通过环境管理信息认识到该事项。由此，能够针对保管在保管库中的物品保持体的出库和入库采取与产生的事项对应的适当对策。 [0022] 在本发明的保管系统的实施方式中优选的是，上述环境管理信息包含表示上述环境调节部发生了异常的信息。 [0023] 根据该构成，在环境调节部发生了异常而成为保管库中的物品的保管环境产生了问题的状态的情况下，主管理装置能够通过环境管理信息认识到该事项。由此，主管理装置为了尽可能快地将收纳在受到所发生的异常的影响的收纳部中的物品保持体移动到其他保管库，而能够输出使物品保持体从该保管库出库的出库请求，或在该环境调节部的异常恢复之前限制入库请求的输出，以避免使物品保持体入库到该保管库。 [0024] 在本发明的保管系统的实施方式中优选的是，上述物品保持体是收纳应在惰性气体氛围下保管的物品的气密性的容器，上述环境调节部具有向收纳于上述收纳部的上述容器供给惰性气体的惰性气体供给装置，上述环境管理信息包含表示已开始利用上述惰性气体供给装置向上述容器内供给惰性气体或向上述容器内的惰性气体的供给已完成的信息。 [0025] 根据该构成，通过将自如地收纳应在惰性气体氛围下保管的物品的容器收纳到收纳部中，从而能够利用惰性气体供给装置向容器供给惰性气体。并且，主管理装置由于能够将表示已开始向容器内供给惰性气体或向容器内的惰性气体的供给已完成的信息作为环境管理信息获得，因此能够识别出惰性气体的供给已开始但尚未完成的容器。因此，通过进行尽量不输出针对这种惰性气体的供给尚未完成的容器的出库请求的运用，能够尽量防止惰性气体的供给不充分的容器从保管库中出库。因此，能够实现有利于维持应在惰性气体氛围下保管的物品的质量的保管系统。 [0026] 在本发明的保管方法的实施方式中优选的是，在上述信息输出工序中，进一步生成与上述入库用输送作业和上述出库用输送作业相关的信息即输送管理信息，并输出至上述主管理装置，上述输送管理信息存在种类不同的多个，上述上位环境管理信息存在种类不同的多个，在上述信息输出工序中，在标注了能够分别识别出上述输送管理信息的种类和上述上位环境管理信息的种类的信息识别符的状态下，将上述输送管理信息和上述上位环境管理信息输出至上述主管理装置。 [0027] 在本发明的保管方法的实施方式中优选的是，上述环境管理信息为表示上述物品的保管环境成为了预先确定的多个种类的状态中的哪一个的信息。 [0028] 在本发明的保管方法的实施方式中优选的是，上述环境管理信息包含表示在上述环境调节部发生了异常的信息。 [0029] 在本发明的保管方法的实施方式中优选的是，上述物品保持体是收纳应在惰性气体氛围下保管的物品的气密性的容器，上述环境调节部具有向收纳于上述收纳部的上述容器供给惰性气体的惰性气体供给装置，上述环境管理信息包含表示已开始利用上述惰性气体供给装置向上述容器内供给惰性气体或向上述容器内的惰性气体的供给已完成的信息。附图说明 [0030] 图1是保管库的纵剖主视图，图2是通信框图， 图3是管理信息的一例， 图4是示意性地表示氮气的净化模型的图， 图5是容器入库时的通信例， 图6是容器入库时的通信例， 图7是净化架故障时的通信例， 图8是净化架故障时的通信例。 [0031] 附图标记说明H1净化控制器（环境管理部） H2库存控制器（入库出库管理装置） H3设备管理装置（主管理装置） CV入库出库输送机（保管库输送装置） D搬入搬出部 F环境调节部 4惰性气体供给装置（环境调节部） 10保管库 10S收纳部 20塔式起重机（保管库输送装置） 50容器（物品保持体）。 具体实施方式[0032] 根据附图对本发明的保管系统和保管方法的实施方式进行说明。如图1所示，收纳部10S沿上下方向和左右方向（水平方向）以并排的状态设置有多个，并且在形成清洁空气的下降流的无尘室的地面上设置有保管库10，保管库10设置有容器50的入库出库用的搬入搬出部。收纳部10S收纳以密闭状态收纳半导体基板的基板输送用的容器50，所述半导体基板应在惰性气体氛围下保管。容器50构成本发明的物品保持体。保管库10利用墙体K来覆盖外周部，入库出库输送机CV以贯穿墙体K的状态配设，塔式起重机20配设在设置空间内（保管库10的内部）。入库出库输送机CV的外部侧端部设定为搬入搬出部D。 [0033] 载置于搬入搬出部D的容器50在被入库出库输送机CV从墙体K的外部朝向内部输送之后，在入库出库输送机CV的内部侧端部被塔式起重机20所具有的移载装置25捞取，通过塔式起重机20的行进动作和升降动作以及移载装置25的移载动作而入库到收纳部10S。另外，保管在收纳部10S中的容器50被塔式起重机20从收纳部10S取出，在卸载到入库出库输送机CV的内部侧端部后，借助入库出库输送机CV从墙体K的内部朝向外部输送至入库出库输送机CV的外部侧端部，从而从保管库10出库。即，在本实施方式中，塔式起重机20和入库出库输送机CV构成保管库输送装置，该保管库输送装置进行将容器50（物品保持体）从收纳部10S输送到搬入搬出部D的出库用输送作业、以及将容器50（物品保持体）从搬入搬出部D输送到收纳部10S的入库用输送作业。 [0034] 另外，在本实施方式中，作为入库出库输送机CV，设置兼用作入库用和出库用的一个输送机，搬入搬出部设定在一处，但是也可以设置入库用和出库用的分别的输送机，利用设定于各自的外部侧端部的搬入部和搬出部来构成搬入搬出部。另外，也可以不具有入库出库输送机CV而在保管库10的内部设置收货台，将收货台设定为搬入搬出部D。在该情况下，天花板输送车30具有使升降机部33水平移动的水平移动机构。进而，作为搬入搬出部D不限于天花板输送车30交接（移载）容器50，例如也可以像在保管库10的内部设置为与作业人员的身高对应的地面侧的预定高度的收货台那样，是作业人员交接容器50的部位。 [0035] 在本实施方式的保管系统中，通过作为外部输送装置的多个天花板输送车30来向保管库10搬入容器50和从保管库10搬出容器50。天花板输送车30具有：行进车体32，悬吊支承于安装在无尘室的天花板上的导轨31且沿着该导轨行进自如；升降机部33，在该行进车体32的正下方升降自如且自如地把持容器50的顶部凸缘52。由此，天花板输送车30相对于保管库10的搬入搬出部D自如地交接容器50。 [0036] 另外，天花板输送车30的导轨31沿着对收纳于容器50中的半导体基板进行加工的图外的加工装置的操作台配设，天花板输送车30通过在停止于操作台的正上方的状态下使升降机部33升降，而与操作台之间交接容器50。并且，天花板输送车30在多个加工装置的操作台之间以及操作台与保管库10的搬入搬出部D之间输送容器50。 [0037] 容器50是遵照SEMI（Semiconductor Equipment and Materials Institute）标准的合成树脂制的气密容器，用于收纳作为基板的半导体晶片，被称为FOUP（Front Opening Unified Pod）。并且省略其详细的说明，但是在容器50的正面形成有通过拆装自如的盖体51而开闭的基板出入用的开口，构成为在装配有盖体51的状态下，容器50的内部空间被密闭为气密状态。在容器50的顶面形成有由天花板输送车30的升降机部33把持的顶部凸缘52。另外，虽然省略图示，但是在容器50上设置有附加了彼此能够识别的识别信息的作为容器识别符的ID标签。 [0038] 另外，虽然省略图示，但是在容器50的底部设置有供气口和排气口，以便注入作为惰性气体的氮气，所述供气口和排气口都具有被向关闭侧施力的开闭阀。并且，这些阀构成为，在容器50载置支承于收纳部10S的载置支承部10a的预定位置的状态下，通过从设置于载置支承部10a的排出喷嘴供给氮气，而利用其排出压力进行打开操作。由此，从容器50的供气口向容器50的内部供给氮气，并且将容器内部的空气从排气口排出，从而将容器 50内的空气置换为氮气。 [0039] 塔式起重机20包括：行进台车21，沿着设置于收纳部10S的正面侧的底板部的行进轨道R1行进移动自如；桅杆22，立设于所述行进台车21；以及升降台24，在由桅杆22引导的状态下进行升降移动自如。另外构成为，设置于桅杆22的上端的上部框23与上部导轨（省略图示）卡合着移动，所述上部导轨设置于外周部被墙体K覆盖的设置空间的天花板侧。 [0040] 在升降台24装配有相对于收纳部10S移载容器50的移载装置25。移载装置25具有载置支承容器50的板状的载置支承体26，该载置支承体26在突出到收纳部10S的内部的突出位置和退避到升降台24侧的退避位置之间突出退避自如。具有移载装置25的塔式起重机20构成为，通过载置支承体26的突出退避动作以及升降台24的升降动作，来进行将载置于载置支承体26的容器50卸下到收纳部10S的卸下处理、以及将收纳于收纳部10S的容器50取出的捞取处理。 [0041] 在移载装置25的载置支承体26的末端部设置有作为容器识别信息读取部的ID读取器27（参照图2），所述容器识别信息读取部读取容器50所具有的ID标签。同样，在入库出库输送机CV的外部侧端部（搬入搬出部D）和内部侧端部也设置有读取容器50的ID标签的ID读取器27（参照图2）。 [0042] 在塔式起重机20装备有检测行进路径上的行进位置的行进位置检测装置、以及检测升降台24的升降位置的升降位置检测装置，控制塔式起重机20的动作的库存控制器H2构成为，根据行进位置检测装置和升降位置检测装置的检测信息来控制塔式起重机20的动作。 [0043] 多个收纳部10S分别具有载置支承容器50的板状的载置支承部10a。在载置支承部10a设置有两个存货传感器10z，存货传感器10z在载置有容器50时发挥检测作用，用于检测容器50是否收纳于收纳部10S。构成为，存货传感器10z的检测信息经由可编程逻辑控制器P输入到净化控制器H1，净化控制器H1对质量流量控制器40的动作进行控制（参照图2）。 [0044] 在载置支承部10a设置有将作为惰性气体的氮气供给到容器50内部的排出喷嘴；以及用于使从容器50的内部排出的气体通流的排出用通气体。如图1所示，在各收纳部 10S的架里侧（即，与容器50出入的开口对置的端部侧）并且是架左右方向上的容器50的端部附近的位置，装备有控制氮气的供给的质量流量控制器40。 [0045] 质量流量控制器40分别与收纳部10S对应地设置。并且，在容器50载置支承于载置支承部10a的状态下，净化控制器H1对质量流量控制器40指示流量指令，由此质量流量控制器40从排出喷嘴排出比大气压高设定值以上的压力的氮气。由此构成为，能够在将容器内的气体从容器50的排气口排出到外部的状态下，从容器50的供气口向容器50的内部注入氮气。另外，在质量流量控制器40的上游侧设置有电磁开闭式的控制阀V。控制阀V经由可编程逻辑控制器P与净化控制器H1电连接，净化控制器H1构成为对控制阀V的开闭进行控制。 [0046] 质量流量控制器40具有流入侧端口和排出侧端口。在排出侧端口连接有上述的供给配管，在流入侧端口连接有供给配管，该供给配管从与氮气的供给源连接的主供给配管分支，用于引导氮气。在质量流量控制器40装备有：流量调节阀，对在从流入侧端口朝向排出侧端口的内部流路中流动的氮气的流量进行变更调节；流量传感器，对在内部流路中流动的氮气的流量进行计测；以及内部控制部，对流量调节阀的动作进行控制。 [0047] 另外，质量流量控制器40的内部控制部具有判别自身是否发生故障的自我故障诊断功能。另外，在氮气供给源上装备有将氮气的供给压力调整为比大气压高设定值以上的设定压力的调节器等。 [0048] 这样，在本实施方式中，以质量流量控制器40为中心，利用排出喷嘴、控制阀V、以及连接排出喷嘴和控制阀V的供给配管等，来构成收纳部10S中的惰性气体供给装置4。并且，利用多个收纳部10S各自的惰性气体供给装置4构成环境调节部F。另外，在保管架10的一部分收纳部10S没有设置惰性气体供给装置4，而成为单纯利用载置支承部10a保管容器50的非净化架。 [0049] 如图2所示，本实施方式的保管系统具有：净化控制器H1，对质量流量控制器40输出流量指令；库存控制器H2，控制塔式起重机20的出库输送作业或入库输送作业；设备管理装置H3，输出用于将容器50从保管库10出库的出库请求、和用于将容器50入库到保管库10的入库请求。 [0050] 净化控制器H1收集多个收纳部10S各自的与半导体基板的保管环境相关的信息，来控制环境调节部D的动作。因此，净化控制器H1作为本发明的环境管理部发挥功能。另外，与保管环境相关的信息例如包含：控制阀V的开闭状态的信息、和质量流量控制器40的动作状态（氮气的供给压力、供给流量、供给时间等）的信息。 [0051] 库存控制器H2利用将收纳有容器50的收纳部10S的场所与该容器50的识别信息对应地存储的库存管理数据，来管理收纳有容器50的收纳部10S的场所，根据出库请求或入库请求来控制塔式起重机20的出库输送作业或入库输送作业。因此，库存控制器H2作为本发明的入库出库管理装置发挥功能。 [0052] 设备管理装置H3输出用于将由附加在各个容器50上的识别信息指定的容器50从保管库10出库的出库请求、以及用于将由识别信息指定的容器50入库到保管库10的入库请求。因此，设备管理装置H3作为本发明的主管理装置发挥功能。 [0053] 净化控制器H1、库存控制器H2和设备管理装置H3例如由以存储程序方式自如地处理信息的计算机构成，彼此通过基于TCP/IP的LAN网络C1连接。另外，可编程逻辑控制器P通过上述净化控制器H1和RS-232C等通信自如地与网络C2连接。在可编程逻辑控制器P上经由控制总线C3连接有质量流量控制器40、控制阀V和存货传感器10z。 [0054] 在网络C1上还连接有外部输送控制器H4，设备管理装置H3与外部输送控制器H4也通信自如。由此，设备管理装置H3对外部输送控制器H4发送包含容器50的输送源信息和输送目的地信息在内的输送请求信息。外部输送控制器H4根据接收到的输送请求来控制天花板输送车30的动作，将输送请求涉及的输送作业的进展信息发送至设备管理装置H3。 [0055] 净化控制器H1对可编程逻辑控制器P指示关于质量流量控制器40的目标流量，所述质量流量控制器40分别与多个收纳部10S对应地设置。可编程逻辑控制器P构成为，当从净化控制器H1接收到质量流量控制器40的识别信息和关于该质量流量控制器40的目标流量的指令时，将目标流量的指令输出至与该识别信息对应的质量流量控制器40。 [0056] 作为净化控制器H1输出的目标流量具有保管用的目标流量、喷嘴净化用的目标流量和清洁用的目标流量。保管用的目标流量是如下的目标流量：在容器50收纳于收纳部10S的状态下，对质量流量控制器40进行指示，以便向容器50的内部注入氮气。喷嘴净化用的目标流量是在容器50即将被收纳到收纳部10S中之前为了使排出喷嘴洁净化而指示的目标流量。清洁用的目标流量是在保管库10的设置时等，为了使排出喷嘴和供给配管等氮气的供给路洁净化而指示的目标流量。 [0057] 如图4所示，净化控制器H1存储喷嘴净化模型P1、清洁模型P2和保管用净化模型P3作为确定了目标流量和供给时间的多个净化模型。 [0058] 并且，若在保管库10的设置时等通过图外的控制台指示清洁开始指令，则净化控制器H1对可编程逻辑控制器P输出控制质量流量控制器40的动作的流量指令，以便将氮气的供给方式设为清扫用供给方式。另外，清扫用供给方式是根据清洁模型P2来清扫惰性气体供给装置4的方式，目标流量设定为清洁用的清扫用流量，并且供给时间设定为清扫用时间。 [0059] 当容器50被搬入到入库出库输送机CV时，净化控制器H1对可编程逻辑控制器P输出针对该容器50所进入的收纳部10S的质量流量控制器40的流量指令，以便供给与喷嘴净化模型P1对应的喷嘴净化用的目标流量的氮气。另外，在本实施方式中，通过外部输送控制器H4将移载完成信息作为输送作业的进展信息发送至设备管理装置H3和库存控制器H2，净化控制器H1从而判定容器50已被搬入到搬入搬出部D（入库出库输送机CV），并将该判定结果发送至净化控制器H1。 [0060] 净化控制器H1构成为，当两个存货传感器10z检测到容器50时，根据保管用净化模型P3对可编程逻辑控制器P输出保管用的目标流量。 [0061] 喷嘴净化模型P1被确定为这样的模型：对于作为载置于入库出库输送机CV的搬入搬出部D的容器50的收纳目的地而选中（指定）的收纳部10S，在作为收纳前供给时间而设定的供给时间t1（例如5秒）期间，以作为喷嘴净化用的目标流量设定的目标流量L1（例如30升/分钟）供给氮气。 [0062] 清洁模型P2被确定为这样的模型：在作业人员通过控制台指示了清洁开始指令之后，在作为设置初始供给时间而设定的供给时间t2（例如1800秒）期间，以作为清洁用的目标流量设定的目标流量L2（例如20升/分钟）供给氮气。 [0063] 保管用净化模型P3设定了初始目标流量值L31（例如50升/分钟）和比该初始目标流量少的稳定目标流量值L32（例如5升/分钟）作为保管用的目标流量。保管用净化模型P3是这样的模型：在向容器50供给氮气时，首先将保管用的目标流量值设为比较大流量的初始目标流量值L31，在设定初始时间t3（例如5秒）期间供给氮气，然后将保管用的目标流量值变更为比较小流量的稳定目标流量值L32。通过在净化的初期进行基于比较大流量的初始目标流量值L31的净化，能够在容器50收纳在收纳部10S之后尽可能快地利用氮气来置换容器50内的空气。另外，在设定继续时间t4（例如300秒）期间继续基于稳定目标流量值L32的氮气的供给之后，在设定初始时间t3期间再次进行基于初始目标流量值L31的氮气的供给。顺便说一下，作业人员通过控制台预先设定登记多种净化模型（初始目标流量值L31和稳定目标流量值L32各自的值以及继续时间），并将从中选择的模型登记为保管用净化模型P3。 [0064] 净化控制器H1生成表示每个收纳部10S的半导体基板的保管环境的环境管理信息，并输出至库存控制器H2。环境管理信息例如是如下信息等：表示开始了基于保管用净化模型P3所规定的初始目标流量值L31的氮气的净化的信息；表示基于该保管用净化模型P3所规定的初始目标流量值L31的氮气的净化已完成的信息；表示由于质量流量控制器40的故障等某个原因而在装备有惰性气体供给装置4的收纳部10S中产生了不能进行氮气的净化的收纳部10S的信息；表示基于保管用净化模型P3的氮气的净化中断的信息。另外，基于保管用净化模型P3所规定的初始目标流量值L31的氮气的净化在容器50收纳于收纳部10S的情况下开始。 [0065] 库存控制器H2将保管库10中的容器50的入库用输送作业和出库用输送作业中的各作业的进展信息作为输送管理信息生成，并输出至设备管理装置H3。另外，库存控制器H2生成将净化控制器H1所输出的每个收纳部10S的环境管理信息和收纳于各个收纳部10S的容器50的识别信息相对应而得到的上位环境管理信息，并输出至设备管理装置H3。 库存控制器H2向设备管理装置H3输出信息的工序相当于本发明中的“信息输出工序”。 [0066] 在图3的表中表示本实施方式中的库存控制器H2生成并输出的输送管理信息和上位环境管理信息的一例。识别号码01的“塔式起重机起动”至识别号码09的“容器搬出完成”是输送管理信息。识别号码11的“净化中断”至识别号码14的“净化状况变化”中的识别号码11的“净化中断”、识别号码12的“净化开始”、识别号码13的“净化完成”是将装备有惰性气体供给装置4的收纳部10S（以下称为“净化架10S”）的环境管理信息与收纳于该净化架10S的容器50的识别信息相对应而得到的上位环境管理信息。识别号码14的“净化状况变化”是在保管库10中的净化架10S中的某一个产生了无效的净化架10S的情况下输出的环境管理信息，并非与特定的容器50对应地生成的，而是关于保管架10整体的上位环境管理信息。 [0067] 如图3所记载的那样，输送管理信息和上位环境管理信息都存在不同种类的多个，它们能够通过同一体系的信息识别符来识别。库存控制器H2在作为能够分别识别出输送管理信息的种类和上位环境管理信息的种类的信息识别符而标注了图3所示的识别号码的状态下，将输送管理信息和上位环境管理信息输出至主管理装置。另外，关于库存控制器H2所输出的输送管理信息和上位环境管理信息，将识别号码和与该识别号码对应的管理信息的名称附加为文本数据来输出，但是由于能够通过识别号码或文本数据来唯一地特定管理信息的内容，因此也可以省略表示管理信息名称的文本数据或识别号码的数据中的某一方。另外，在库存控制器H2输出上位环境管理信息的情况下，将由与上位环境管理信息对应的将容器50特定的识别信息构成的对应容器列表（也有符合的容器50是一个的情况）与该上位环境管理信息一起输出。同样，在库存控制器H2输出识别号码05至09的输送管理信息的情况下，将与该输送管理信息对应的将容器50特定的识别信息与该输送管理信息一起输出至设备管理装置H3。 [0068] 例如在基于净化模型P3对容器50净化氮气的收纳部10S中，通过质量流量控制器40的自我诊断功能等从质量流量控制器40通知了惰性气体供给装置4的异常，并且净化控制器H1判断为该收纳部10S中的净化状态发生了异常的情况下，输出上位环境管理信息中的识别号码11的“净化中断”。即，环境管理信息包含表示在环境调节部F（惰性气体供给装置4）发生了异常的信息。 [0069] 在由于净化架10S中的惰性气体供给装置4发生了故障等原因，而在净化架10S中产生了不能进行氮净化的收纳部10S的情况下，从库存控制器H2输出识别号码14的“净化状况变化”。 [0070] 识别号码12的“净化开始”是表示开始基于保管用净化模型P3所规定的初始目标流量值L31的氮气的净化的信息。另外，识别号码13的“净化完成”是表示基于保管用净化模型P3所规定的初始目标流量值L31的氮气的净化已完成的信息。即，在本实施方式中，环境管理信息包含表示已开始利用惰性气体供给装置4向容器50内供给惰性气体或向容器50内的惰性气体的供给已完成的信息。另外，基于保管用净化模型P3所规定的初始目标流量值L31的氮气的净化在容器50收纳于净化架10S的情况下开始。 [0071] 这样，在本实施方式中，作为环境管理信息存在有识别号码11的“净化中断”、识别号码12的“净化开始”和识别号码13的“净化完成”，这些信息是表示半导体基板的保管环境成为了预先确定的多个种类的状态中的哪一个的信息。 [0072] 接下来，一边参照图5至图8，一边以将容器50入库到保管库10的净化架10S的情况和在净化架10S发生了异常的情况为例，对净化控制器H1、库存控制器H2和设备管理装置H3的通信动作进行说明。 [0073] 首先，一边参照图5和图6，一边对将容器50入库到保管库10的净化架10S的情况下的通信动作进行说明。在利用天花板输送车30将容器50载置到搬入部（在本实施方式中为搬入搬出部D）时，利用搬入搬出部D中的ID读取器27读取保持在所搬入的容器50的ID标签中的该容器50的识别信息。库存控制器H2将识别号码05的“读入容器ID”的管理信息与容器50的识别信息相关联地发送至设备管理装置H3（#1）。在具有来自设备管理装置H3的入库请求以前，库存控制器H2不执行入库用输送作业，将识别号码06的“容器正在待机”的管理信息与该容器的识别信息相关联地发送至设备管理装置H3（#2）。 [0074] 当从设备管理装置H3发送入库请求时（#3），库存控制器H2根据入库请求选择成为容器50的入库目的地的空的净化架10S，并且控制入库出库输送机CV和塔式起重机20的动作来执行入库用输送作业，从而将容器50输送至从搬入搬出部D选择的净化架10S。此时，库存控制器H2将识别号码01的“塔式起重机起动”、识别号码02的“塔式起重机正在工作”、识别号码07的“正在输送容器”的输送管理信息依次发送至设备管理装置H3（#4-#6）。进而，库存控制器H2对净化控制器H1发送净化对象的容器50已开始向入库预定的净化架 10S移动的意思（#7）。接收到该意思之后，净化控制器H1控制符合的净化架10S的惰性气体供给装置4的动作，开始基于喷嘴净化模型P1的氮净化。 [0075] 当基于喷嘴净化模型P1的氮净化完成时，净化控制器H1对库存控制器H2提供净化对象的容器50的入库许可（#8）。库存控制器H2在入库许可发出之前将容器50输送到了符合的净化架10S的前面的情况下，搁置移载装置25进行的卸载动作的开始，等待入库许可。库存控制器H2根据来自净化控制器H1的入库许可，许可塔式起重机20开始移载，进行移载装置25的卸载动作。由此将该容器50入库到入库预定的净化架10S。当容器50的移载完成时，库存控制器H2对设备管理装置H3依次发送识别号码03的“移载完成”、识别号码08的“容器入库完成”、识别号码04的“塔式起重机正在待机”的输送管理信息（#9-#11）。进而库存控制器H2对净化控制器H1发送净化对象的容器50的入库完成的意思（#12）。 [0076] 净化控制器H1当从库存控制器H2接收到容器50的入库完成信息时，开始基于保管用净化模型P3的初始目标流量值L31的氮净化（初始净化），将该意思发送至库存控制器H2（#13）。当库存控制器H2从净化控制器H1接收到开始了基于保管用净化模型P3的氮净化的意思时，从库存管理数据中提取收纳在该净化架10S的容器50的识别信息，将识别号码12的“净化开始”的上位环境管理信息与容器50的识别信息相关联地发送至设备管理装置H3（#14）。 [0077] 当基于保管用净化模型P3的初始目标流量值L31的氮净化完成时，净化控制器H1将该意思发送至库存控制器H2（#15）。库存控制器H2当从净化控制器H1接收到基于保管用净化模型P3的初始目标流量值L31的氮净化完成的意思时，从库存管理数据中提取收纳在该净化架10S的容器50的识别信息，将识别号码13的“净化完成”的上位环境管理信息与容器50的识别信息相关联地发送至设备管理装置H3（#16）。由于设备管理装置H3从库存控制器H2接收到入库了的容器50的初始净化已经开始且已完成这一情况，因此在进行容器50的初始净化期间能够限制出库请求的输出，以避免收纳在该净化架10S的容器50出库。 [0078] 当初始净化完成时，净化控制器H1在设定继续时间t4期间继续基于保管用净化模型P3的稳定目标流量值L32的氮净化（维护净化）。当维护净化完成时，再次开始初始净化。该情况下的净化控制器H1、库存控制器H2和设备管理装置H3之间的通信与上述的最初的初始净化的开始和完成的情况相同。 [0079] 接下来，一边参照图7和图8，一边对净化架10S的惰性气体供给装置4发生了异常的情况下的通信动作进行说明。当净化架10S发生异常时，净化控制器H1通知库存控制器H2净化架状态，该净化架状态包含异常信息（例如，通过质量流量控制器40的自我诊断功能判定的质量流量控制器40的异常、存货传感器10z的检测状态的不适合以及可编程逻辑控制器P的异常等）和氮气的供给压力等惰性气体供给装置4的动作信息（#1）。库存控制器H2当接收到净化架状态时，将通过净化架状态表示了异常的净化架10S设定为禁止使用的收纳部10S（以下称为禁止架），并将该意思发送至净化控制器H1（#2）。由此，设定为禁止架的净化架10S在净化控制器H1中也被作为禁止架管理。 [0080] 库存控制器H2当设定了禁止架时，将识别号码14的“净化状况变化”发送至设备管理装置H3（#3），接着，从库存管理数据中提取收纳在禁止架的容器50的识别信息，将识别号码11的“净化中断”的上位环境管理信息与容器50的识别信息相关联地发送至设备管理装置H3（#4）。设备管理装置H3当接收到来自库存控制器H2的“净化中断”时，为了根据该上位环境管理信息所表示的容器50的识别信息使由该识别信息指定的容器50从保管架10出库，而向库存控制器H2发送出库请求（#5）。 [0081] 库存控制器H2当接收到出库请求时，根据出库请求涉及的容器50的识别信息，从库存管理数据中对收纳了该出库对象的容器50的收纳部10S进行检索，使塔式起重机20工作。此时，库存控制器H2将识别号码01的“塔式起重机起动”、识别号码02的“塔式起重机正在工作”的输送管理信息依次发送至设备管理装置H3（#6和#7）。 [0082] 当塔式起重机20捞取到该净化架10S中的出库对象的容器50时，库存控制器H2将识别号码07的“正在输送容器”的输送管理信息发送至设备管理装置H3（#8），并且对净化控制器H1发送出库对象的容器50已从净化架10S出库的意思（#9）。即使在禁止架中质量流量控制器40通过自我诊断功能而成为供给停止状态，由于在管理方面氮净化继续，因此净化控制器H1接收到来自库存控制器H2的出库完成报告，使禁止架的氮净化完成。 [0083] 当容器20通过塔式起重机20而移动到搬出部（本实施方式中为搬入搬出部D）时，库存控制器H2将识别号码03的“移载完成”、识别号码06的“容器正在待机”、识别号码04的“塔式起重机正在待机”的输送管理信息依次发送至设备管理装置H3（#10-#12）。 [0084] 当容器50被天花板输送车30从搬出部（搬入搬出部D）搬出时，库存控制器H2将识别号码09的“容器搬出完成”的输送管理信息与该容器50的识别信息相关联地发送至设备管理装置H3，以便将出库对象的容器50已被搬出的意思报告给设备管理装置H3（#13）。 [0085] [其他的实施方式]最后对本发明的保管系统和保管方法的其他实施方式进行说明。另外，以下各个实施方式中所公开的构成只要不产生矛盾，则也可以与其他实施方式所公开的构成组合地应用。 [0086] （1）在上述实施方式中，例示了物品保持体是自如地收纳应在惰性气体氛围下保管的物品的气密性的容器的情况，但是作为物品保持体例如也可以是：保持多个二次电池单元的物品输送用的盒、载置支承在适当的温度环境下保管的食品和饮料或者它们的原料的物流托盘等。 [0087] （2）在上述实施方式中，例示了环境调节部是设置于各个收纳部的惰性气体供给装置的情况，但是环境调节部也可以是作为兼用于多个收纳部的构成。 [0088] （3）在上述实施方式中，例示了通过墙体来覆盖保管库的外周部的情况，但是也可以为不设置墙体的构成。 [0089] （4）关于其他构成，本说明书所公开的实施方式在所有方面均为例示，应理解为本发明的范围是不被它们所限定。只要是本领域技术人员，则能够容易地理解可以在不脱离本发明的主旨的范围内适当地改变。因此，在不脱离本发明的主旨的范围内改变的其他实施方式当然也包括在本发明的范围内。 |
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