1.一种具有清洗功能的储料器，其特征在于，
其具备框架以及储料器单元，其中，所述框架能够将不具备洁净气体的供给用喷嘴的货架，沿上下方向或者水平方向安装有多个，
所述框架具备容器的收容空间，并且在所述空间的后端具备至少一对第一柱，所述储料器单元具备：
基体，其具有柱或者梁，并且被安装于所述框架，并且具备容器的收容空间后端的至少一对第二柱；
沿所述基体被设置的洁净气体的供给用的管；以及
多个带清洗功能货架，
所述带清洗功能货架被安装于所述基体，沿上下方向或者水平方向排列，自如地支承容器，并且具备从所述管将洁净气体供给至容器的喷嘴、从所述管将洁净气体向所述喷嘴供给的分支管路、以及控制分支管路中的洁净气体的流量的阀，
所述管与所述阀从容器的收容空间前方观察，位于比所述第二柱的前端靠近后侧，并且被设置于比所述第一柱的后端靠近前侧，
所述第二柱的间隔比所述第一柱的间隔窄，并且从容器的收容空间前方观察，所述第二柱位于所述第一柱的斜前方，并被安装于所述第一柱。
2.根据权利要求1所述的具有清洗功能的储料器，其特征在于，
在所述框架中，不具备洁净气体的供给用喷嘴的货架被安装有多个，并且在所述框架中安装有所述储料器单元。
3.一种储料器单元，其特征在于，具备：
基体，其具有柱或者梁，并且被自如地安装于储料器的框架；
沿所述基体被设置的洁净气体的供给用的管；以及
被安装于所述基体，并且沿上下方向或者水平方向排列的多个带清洗功能货架，所述带清洗功能货架自如地支承容器，并且具备从所述管将洁净气体供给至容器的喷嘴,
所述储料器的框架具备容器的收容空间，并且在所述空间的后端具备至少一对第一柱，
所述基体还具备容器的收容空间后端的至少一对第二柱；
所述带清洗功能货架还具备从所述管将洁净气体向所述喷嘴供给的分支管路、以及控制分支管路中的洁净气体的流量的阀，
所述管与所述阀从容器的收容空间前方观察，位于比所述第二柱的前端靠近后侧，并且被设置于比所述第一柱的后端靠近前侧，
所述第二柱的间隔比所述第一柱的间隔窄，并且从容器的收容空间前方观察，所述第二柱位于所述第一柱的斜前方，并被安装于所述第一柱。
4.一种向容器供给洁净气体的方法，其特征在于，
相对于具有将不具备洁净气体的供给用喷嘴的货架，沿上下方向或者水平方向自如地安装有多个具备容器的收容空间，并且在所述空间的后端具备至少一对第一柱的框架的储料器，执行如下步骤：
通过将基体安装于所述框架，从而将具备具有柱或者梁并且具备容器的收容空间后端的至少一对第二柱的所述基体、沿所述基体设置的洁净气体的供给用的管、以及沿上下方向或者水平方向被安装于所述基体并且具备从所述管供给洁净气体的喷嘴和从所述管将洁净气体向所述喷嘴供给的分支管路以及控制分支管路中的洁净气体的流量的阀的多个带清洗功能货架的储料器单元安装于所述储料器的步骤；
从所述喷嘴将洁净气体供给至被支承于所述带清洗功能货架的容器的步骤，所述管与所述阀从容器的收容空间前方观察，使其位于比所述第二柱的前端靠近后侧，并且被设置于比所述第一柱的后端靠近前侧的步骤，
使所述第二柱的间隔比所述第一柱的间隔窄，并且从容器的收容空间前方观察，使所述第二柱位于所述第一柱的斜前方，并被安装于所述第一柱的步骤。