定位方法、转印方法以及转印装置 |
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| 申请号 | CN201210465012.2 | 申请日 | 2012-11-16 | 公开(公告)号 | CN103129117B | 公开(公告)日 | 2016-05-18 |
| 申请人 | 斯克林集团公司; | 发明人 | 谷口和隆; 川越理史; 增市干雄; 古村智之; | ||||
| 摘要 | 本 发明 涉及 定位 方法、转印方法以及装置。根据由CCD 照相机 经由透明的橡皮布所拍摄的图像（IM），通过 图像处理 求出 基板 上的定位图案（APl）以及橡皮布上的定位图案（AP2）各自的 重心 位置 （Glm、G2m）。对于橡皮布上的定位图案（AP2）来说，通过伴随有边缘提取的处理，根据在对准焦点的状态下所拍摄的图像确定重心（G2m）的位置。对于没有对准焦点而以轮廓模糊的状态所拍摄的基板上的定位图案（APl）来说，除去高的空间 频率 成分而提取低频成分，根据结果确定重心（Glm）的位置。 | ||||||
| 权利要求 | 1.一种定位方法，将第一基板和第二基板相向配置来调整相互的位置关系，其特征在于， |
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| 说明书全文 | 定位方法、转印方法以及转印装置技术领域背景技术[0002] 作为使两个基板重叠时的定位技术，例如在专利文献1中有记载。在该技术中，在要粘接的两个基板各自的表面上分别形成定位标记，基于拍摄单元(例如CCD照相机)所拍摄的定位标记的图像来进行定位处理。具体地讲，通过以定位标记形成面彼此相向的方式配置两基板，使定位标记之间的距离小于拍摄单元的景深，由此使焦点对准两个定位标记的状态下进行拍摄。然后，基于根据所拍摄的图像检测出的两个定位标记的位置关系，调整基板之间的相对位置。 [0003] 这样的定位技术，也可以适用于如下的图案形成方法，即，将担载于一个基板的图案转印至另一个基板，来在另一个基板上形成规定的图案。即，通过对担载图案的一个基板和被转印图案的另一个基板进行高精度地对位，从而能够在另一个基板上的恰当位置形成图案。 [0004] 专利文献1：日本特开2004-151653号公报(例如图1) [0005] 在这样的技术中，要求定位精度进一步提高。虽然认为有效的手段之一为提高所拍摄的图像的倍率，但是通常当提高拍摄单元的成像光学系统的倍率时景深会变浅，因此在使焦点对准两个定位标记的状态下进行拍摄作为前提的上述现有技术中，需要使两个基板更接近。但是，若考虑基板和保持基板的机构的尺寸偏差、弯曲等，则基板之间的距离有恰当的范围。因此，有可能产生无法将两个定位标记配置在因提高倍率而缩短的景深的范围内的情况。上述的现有技术不能满足这样的情况。 [0006] 作为其他方法，虽然可以分别使拍摄单元的焦点依次对准两个定位标记，来单独地拍摄定位标记，但是上述现有技术不能满足这样的情况。另外，因焦距调整动作产生的光轴的变动引起的检测误差，反而可能会降低定位精度。 [0007] 这样，针对不能使焦点同时对准在两个基板上分别形成的定位标记的状态下能够进行高精度的定位处理的技术而言，至今为止还未确定。 发明内容[0008] 本发明是鉴于上述问题而提出的，其目的在于提供如下的技术，即，在将两个基板相向配置来进行相互的对位的定位技术以及利用该定位技术的图案等的转印技术中，即使在焦点不能对准两个基板上分别形成的定位标记的情况下，也能够对两个基板进行高精度地对位。 [0009] 本发明的定位方法的第一方式，第一基板和第二基板相向配置来调整相互的位置关系，其特征在于，具有：保持工序，以使在表面形成有第一定位标记的上述第一基板和在表面形成有第二定位标记的上述第二基板各自的定位标记形成面彼此相向的状态，以上述第一基板和上述第二基板接近的方式保持上述第一基板和上述第二基板，拍摄工序，从与上述第二基板的上述定位标记形成面一侧相反的一侧，经由上述第二基板在拍摄单元的相同视场内拍摄上述第一定位标记以及上述第二定位标记，位置检测工序，基于所拍摄的图像，在同一图像中检测上述第一定位标记以及上述第二定位标记的位置，定位工序，基于上述位置检测工序的检测结果，调整上述第一基板和上述第二基板间的相对位置；在上述第一基板的上述定位标记形成面和上述第二基板的上述定位标记形成面在上述拍摄单元的光轴方向上的距离大于上述拍摄单元的景深的状态下，并且，在上述拍摄单元的焦点对准于上述第二基板的上述定位标记形成面的状态下，执行上述拍摄工序，在上述位置检测工序中，进行从上述图像中除去高频成分的滤波处理，根据滤波之后的图像检测上述第一定位标记的重心位置。 [0010] 在这样构成的发明中，第一定位标记以及第二定位标记在拍摄单元的光轴方向上的距离大于拍摄单元的景深，因此在一个图像内焦点不会同时对准两个定位标记。因此，拍摄单元的焦点对准处于更接近拍摄单元的位置的第二定位标记。由此，以高的图像对比度拍摄第二定位标记。因此，可以通过以往已知的各种方法，例如通过伴随有边缘提取的图像处理，来检测图像内的第二定位标记的位置。 [0011] 另一方面，处于比景深的范围更深的位置的第一定位标记的图像，因焦点未对准，所以图像对比度低且模糊。即，在所拍摄的图像中尤其会丧失第一定位标记所具有的空间频率成分中的高频成分。因此例如在通过边缘提取来检测位置时无法获得足够的精度。因此，在本发明中，从图像中除去高的空间频率成分，根据剩下的低频成分检测第一定位标记的重心位置，来检测第一定位标记的位置。若适当地设定第一定位标记的图案形状，则在丧失高频成分的状态下也能够以高的精度检测重心位置。 [0012] 并且，根据这样得到的第一定位标记和第二定位标记在图像内的位置关系来掌握第一基板和第二基板间的相对位置关系，从而调整它们的相对位置。这样，根据本发明，即使第一定位标记以及第二定位标记这两者没有处于拍摄单元的景深内，也能够对第一基板和第二基板进行高精度地对位。 [0013] 在本发明的位置检测工序中，例如可以进行从图像中提取边缘的处理，基于该处理的结果来检测第二定位标记的位置。另外，例如可以在位置检测工序中，分别检测第一定位标记和第二定位标记在图像中的重心位置，在定位工序中，使第一基板和第二基板中的至少一个移动特定的移动量，所述特定的移动量为基于第一定位标记以及第二定位标记各自的重心位置计算出的移动量。 [0014] 在本发明中，如上所述，就第二定位标记而言在焦点对准的状态下进行拍摄，因此保存有高的空间频率成分。因此，在位置检测工序中，例如通过伴随有从图像提取边缘的处理，能够高精度地检测第二定位标记的位置。对于第二定位标记的图案形状来说，可以使用各种形状，自由度高。 [0015] 另外，已知在第一基板和第二基板准确地对位的状态下的第一定位标记和第二定位标记间的位置关系。因此，能够根据在图像中检测到的第一定位标记以及第二定位标记各自的重心位置来掌握第一基板和第二基板之间是否有相对的位置偏移以及偏移量的大小等，通过根据需要使第一基板或者第二基板移动，能够对该偏移进行修正。 [0016] 另外，例如可以在第一基板上设置有多个第一定位标记，另一方面，在第二基板上设置有与第一定位标记相对应的多个第二定位标记，在拍摄工序中，通过单独的拍摄单元分别拍摄多个定位标记对，该多个定位标记对分别包含一个第一定位标记和与该第一定位标记相对应的一个第二定位标记；在定位工序中，基于第一图形和第二图形来计算移动量，其中，第一图形是用直线将检测到的多个第一定位标记各自的重心位置连接而形成的假想的图形，第二图形是用直线将检测到的多个第二定位标记各自的重心位置连接而形成的假想的图形。 [0017] 在利用多个拍摄单元来进行定位调整的情况下，由于拍摄单元之间的相对位置的偏差，根据各个拍摄单元所拍摄的各图像单独导出的移动量可能不一致。并且，有可能影响最终的定位结果的精度。另一方面，在相同拍摄单元的相同视场内所拍摄的图像中的一对第一定位标记和第二定位标记间的位置关系并不受拍摄单元的位置精度的影响。即，因拍摄单元的位置精度引起的检测位置误差在第一定位标记以及第二定位标记之间是同等程度。 [0018] 因此，拍摄单元的位置精度对连接第一定位标记的重心位置的第一图形和连接第二定位标记的重心位置的第二图形的相对位置关系的影响小。并且，通过根据这些图形的位置关系掌握第一基板和第二基板间的位置关系来进行对位，在不对拍摄单元的配置要求高的位置精度的情况下，能够对第一基板和第二基板间进行高精度地对位。 [0019] 更具体地讲，例如，在定位工序中，计算在分别投影到与第一基板的表面平行的假想的投影面上的第一图形和第二图形之间，使得重心位置以及该投影面内的旋转角度分别彼此一致的移动量。 [0020] 在第一图形和第二图形共用重心时，即使检测出的各定位标记的位置存在因拍摄单元的配置的偏差引起的误差，连接定位标记而形成的图形的重心位置以及旋转角度的偏移量在第一图形和第二图形是同等程度。因此，通过进行使这些图形的重心位置以及旋转角度一致的调整，在不受拍摄单元的配置的偏差的情况下，能够对第一基板和第二基板进行高精度地对位。 [0021] 另外，本发明的定位方法的第二方式为将第一基板和第二基板相向配置来调整相互的位置关系的定位方法，其特征在于，具有如下工序：保持工序，以使在表面形成有第一定位标记的上述第一基板和在表面形成有第二定位标记的上述第二基板各自的定位标记形成面彼此相向的状态，以上述第一基板和上述第二基板接近的方式保持上述第一基板和上述第二基板，拍摄工序，从上述第二基板的上述定位标记形成面的相反侧经由上述第二基板，在相同视场内拍摄上述第一定位标记以及上述第二定位标记，位置检测工序，基于所拍摄的图像，在同一图像中检测上述第一定位标记以及上述第二定位标记的位置，定位工序，基于上述位置检测工序的检测结果，调整上述第一基板和上述第二基板间的相对位置；将上述第一定位标记形成为包含比上述第二定位标记更多的低空间频率成分的图案形状，在焦点对准于上述第二基板的上述定位标记形成面的状态下执行上述拍摄工序，在上述位置检测工序中，根据上述图像检测上述第一定位标记的重心位置。 [0022] 在此，“第一定位标记为包含比第二定位标记更多的低空间频率成分的图案形状”的意思指，在例如通过傅里叶变换求出这些定位标记的空间频谱时，直流成分以及与直流成分相邻的频率区域的成分的相对频谱强度在第一定位标记的图案中大于第二定位标记的图案。例如，由粗线宽的线构成的图案比由更细的线宽的线构成的图案包含更多的低空间频率成分，另外重复少的简单的图案比重复多的图案包含更多的低空间频率成分。通常，简单的图案的低空间频率成分更多，越是复杂的图案包含越多的高空间频率成分。 [0023] 在这样构成的发明中，在焦点对准于第二定位标记的状态下拍摄第一定位标记以及第二定位标记。就第二定位标记而言，由于以高的图像对比度拍摄，所以比较容易检测第二定位标记的位置。另一方面，就第一定位标记而言，因与第二定位标记间的距离而未对准焦点，有时难以检测位置。 [0024] 因此，在本发明中，使第一定位标记的图案形状形成为包含比第二定位标记更多的低空间频率成分的形状，从而能够根据所拍摄的图像检测第一定位标记的重心位置。在焦点没有对准的图像中，具有第一定位标记的空间频率成分中的高频率成分丧失而其轮廓模糊的趋势，另一方面，低频率成分的损失少。通过预先将第一定位标记形成为包含多低频率成分的图案形状，可以将损失抑制更小。由此，即使是轮廓模糊的图像，也能够获取用于检测第一定位标记的重心位置的充分的信息。 [0025] 这样，在本发明中，能够高精度地检测出所拍摄的图像内的第一定位标记以及第二定位标记各自的位置，能够基于该图像对第一基板和第二基板进行高精度地对位。此外，无论在图像中焦点是否对准于第一定位标记都能够应用该技术，在任何情况下都能够以相同的精度进行对位。 [0026] 在本发明中，例如可以第二基板透明，在拍摄工序中，从与第二基板的定位标记形成面一侧相反的一侧，经由第二基板拍摄第一定位标记以及第二定位标记。这样，可以从与定位标记形成面垂直的方向进行拍摄，能够使在该方向上相分离地配置的第一定位标记和第二定位标记在图像内的位置偏移小，从而能够更高精度地对位。 [0027] 另外，例如可以将第一定位标记形成为包含实心图形的图案形状，另一方面，将第二定位标记形成为包含空心图形的图案形状。在尺寸为同等程度的情况下，通常实心图形包含更多的低空间频率成分，另一方面，空心图形包含更多的更高的空间频率成分。因此，适于将实心图形作为第一定位标记，另外将空心图形作为第二定位标。 [0028] 更具体地讲，例如实心图形可以是相对重心点对称的图形。这样的图形，在焦点偏移的状态的图像中重心位置也不移动，因此尤其适于在本发明中使用。例如能够使实心图形作为矩形。 [0029] 另外，作为空心图形能够使用相对重心点对称且不是圆环的图形。通过利用点对称的图形，能够使相对焦点的偏移的重心位置的移动少这一点与上述的内容相同。但是，在空心图形的情况下，例如在图形的周缘部局部缺损的情况下，重心位置的偏移大。为了降低由这样的原因引起的误检测，优选图形具有从图形的一部分也能够复原提取重心位置的特征部位。因此，作为本发明的第二定位标记的空心图形优选不是在任意的旋转角度上对称且不具有上述那样的特征部位的圆环形状。例如，在利用外周以及内周的形状为矩形的环状图形的情况下，即使一部分有缺损，也能够根据一对对边或者处于对角线上的一对顶点，或者相邻的两边等导出重心位置。 [0030] 另外，例如可以在保持工序中，以在图像上第一定位标记和第二定位标记不重叠的方式配置第一基板以及第二基板。当两个定位标记至少在一部分重叠时，可能由于相互发生干涉而在各自的位置检测中产生误差。以第一定位标记和第二定位标记不重叠的方式配置第一基板以及第二基板，能够事先避免上述的问题。 [0031] 另外，例如可以将第一定位标记以及第二定位标记分别以位置彼此不同的方式形成多个(可以将第一定位标记以位置彼此不同的方式形成多个，并且第二定位标记以位置彼此不同的方式形成多个)。通过基于设置在多处的定位标记的图像进行对位，能够进一步提高对位的精度。尤其对于可能在焦点未对准的状态下拍摄的第一定位标记而言，有时难以检测倾斜度，难以根据单独的图像求出基板的旋转角度。通过在多处进行检测，对基板彼此的旋转角度的不同进行修正，来进行高精度的对位。 [0032] 另外，本发明的转印方法的第一方式，将作为担载于透明的担载体的被转印物的图案或者薄膜转印至基板的规定位置，其特征在于，具有：保持工序，以使在表面形成有第一定位标记的上述基板和在表面形成有第二定位标记的上述担载体各自的定位标记形成面彼此相向的状态，以上述基板和上述担载体接近的方式保持上述基板和上述担载体，拍摄工序，从与上述担载体的上述定位标记形成面一侧相反的侧，经由上述担载体在拍摄单元的相同视场内拍摄上述第一定位标记以及上述第二定位标记，位置检测工序，基于所拍摄的图像，在同一图像中检测上述第一定位标记以及上述第二定位标记的位置，定位工序，基于上述位置检测工序的检测结果，调整上述基板和上述担载体间的相对位置，转印工序，使调整了相对位置的上述基板和上述担载体抵接，来将上述担载体的表面的被转印物转印至上述基板；在上述基板的上述定位标记形成面和上述担载体的上述定位标记形成面在上述拍摄单元的光轴方向上的距离大于上述拍摄单元的景深的状态下，并且，在上述拍摄单元的焦点对准于上述担载体的上述定位标记形成面的状态下，执行上述拍摄工序，在上述位置检测工序中，进行从上述图像中除去高频成分的滤波处理，根据滤波之后的图像检测上述第一定位标记的重心位置。 [0033] 在本发明中，在基板和担载体之间进行位置调整时，应用与上述的定位方法的第一方式同样的方法。本发明中的“基板”和“担载体”间的关系，与上述的定位方法的发明中的“第一基板”和“第二基板”间的关系相对应。因此，根据本发明，使担载体和基板在如上述那样高精度地对位的状态下抵接，将被转印物从担载体转印至基板，因此能够高精度地将被转印物转印至基板表面的规定位置。 [0034] 另外，本发明的转印方法的第二方式，将作为担载于透明的担载体的被转印物的图案或者薄膜转印至基板的规定位置，其特征在于，具有：保持工序，以使在表面形成有第一定位标记的上述基板和在表面形成有上述被转印物以及第二定位标记的上述担载体各自的定位标记形成面彼此相向的状态，以上述基板和上述担载体接近的方式保持上述基板和上述担载体，拍摄工序，从上述担载体的上述定位标记形成面的相反侧经由上述担载体，在相同视场内拍摄上述第一定位标记以及上述第二定位标记，位置检测工序，基于所拍摄的图像，在同一图像中检测上述第一定位标记以及上述第二定位标记的位置，定位工序，基于上述位置检测工序的检测结果，调整上述基板和上述担载体间的相对位置，转印工序，使调整了相对位置的上述基板和上述担载体相抵接，来将上述被转印物转印至上述基板；将上述第一定位标记形成为包含比上述第二定位标记更多的低空间频率成分的图案形状，在焦点对准于上述担载体的上述定位标记形成面的状态下执行上述拍摄工序，在上述位置检测工序中，根据上述图像检测上述第一定位标记的重心位置。 [0035] 在这样构成的发明中，通过将被转印物从担载体转印至基板，来在基板表面上转印被转印物，在该情况下，通过应用上述的定位方法的发明的第二方式，能够高精度地将被转印物转印至基板上的规定位置。 [0036] 在本发明中，例如可以利用与被转印物的材料相同的材料在担载体表面形成第二定位标记，在转印工序中，将第二定位标记与与转印物一起从担载体转印至基板。通过利用与作为被转印物的图案或者薄膜的材料相同的材料形成第二定位标记，在担载体上被转印物和第二定位标记间没有位置偏移。因此，通过利用了基板的第一定位标记和担载体的第二定位标记的对位，结果能够高精度地对准基板上的被转印物的转印位置。 [0037] 在该情况下，可以在基板上预先设置用于表示第二定位标记的转印位置的基准标记。第二定位标记与被转印物一起被转印在转印后的基板上，若在基板设置有基准标记，则能够容易判断被转印物是否准确地转印至正规位置。 [0038] 而且，在一个基板上多次转印被转印物的情况下，可以单独地设置与该多次的转印分别相对应的基准标记。这样，能够单独地判断每次是否在准确的位置上进行转印。 [0039] 另外，本发明的转印装置的一个方式为向基板转印作为被转印物的图案或者薄膜的转印装置，其特征在于，具有：保持单元，以使在表面形成有第一定位标记的上述基板和在表面担载有要转印至上述基板的上述被转印物以及第二定位标记的担载体各自的定位标记形成面彼此相向的状态，接近保持上述基板和担载体，拍摄单元，从与上述担载体的上述定位标记形成面一侧相反的一侧，经由上述担载体在相同视场内拍摄上述第一定位标记以及上述第二定位标记，位置检测单元，基于上述拍摄单元所拍摄的图像，在同一图像内检测上述第一定位标记以及上述第二定位标记的位置，定位单元，基于上述位置检测单元的检测结果，调整上述基板和上述担载体间的相对位置；被上述保持单元相互接近保持的上述基板的上述定位标记形成面和上述担载体的上述定位标记形成面在上述拍摄单元的光轴方向上的距离大于上述拍摄单元的景深，上述拍摄单元在焦点对准于上述担载体的上述定位标记形成面的状态下进行拍摄，上述位置检测单元进行从上述图像中除去高频成分的滤波处理，根据滤波之后的图像检测上述第一定位标记的重心位置。 [0040] 在本发明中，与上述的转印方法的发明的第一方式同样地，根据第一定位标记和第二定位标记在图像内的位置关系掌握基板和担载体间的相对位置关系，通过定位单元来调整基板和担载体间的相对位置。因此，根据本发明，即使第一定位标记以及第二定位标记这两者没有处于拍摄单元的景深内，也能够对基板和担载体进行高精度地对位。并且，在这样进行了对位之后，通过从担载体向基板转印被转印物，在基板上的规定位置以良好的位置精度形成图案或者薄膜。 [0041] 在本发明中，如上述那样，对于第二定位标记来说以焦点对准的状态拍摄，因此第二定位标记保存高的空间频率成分。因此，位置检测单元例如通过伴随有从图像提取边缘的处理，能够高精度地检测第二定位标记的位置。对于第二定位标记的图案形状而言，可以使用各种形状，自由度高。 [0042] 另外，例如可以使位置检测单元分别检测第一定位标记和第二定位标记在图像中的重心位置，定位单元使基板和担载体中的至少一个移动特定的移动量，特定的移动量为基于第一定位标记以及第二定位标记各自的重心位置决定的移动量。 [0043] 在这样的发明中，通过与之前说明的定位方法的发明同样的原理，即使在不能使第一定位标记以及第二定位标记这两者处于拍摄单元的景深内的情况下，也能够对基板和担载体进行高精度地对位。 [0044] 另外，例如可以使拍摄单元与在基板以及担载体上分别设置有多个的定位标记相对应地设置有多个。通过基于在多处分别拍摄的定位标记的图像来进行对位，能够进一步提高对位的精度。尤其对于在焦点未对准的状态下所拍摄的第一定位标记而言，有时难以检测倾斜度，难以根据单独的图像求出基板的旋转角度。通过在多处进行检测，也能够高精度地进行修正基板和担载体间的旋转角度的不同。 [0045] 另外，例如可以使保持单元具有担载体保持载物台，该担载体保持载物台的上表面为载置担载体且保持为大致水平的载置面，担载体保持载物台中的至少与第二定位标记相对应的部位透明，拍摄单元从担载体保持载物台的下方经由担载体保持载物台的透明部位进行拍摄。 [0046] 在这样的构成中，能够在将担载体以大致水平的状态保持在担载体载物台的载置面上的状态下，进行拍摄以及对位，对于由薄或者软的材料形成的具有挠性的担载体而言，也能够对基板进行高精度地对位。 [0047] 另外，例如可以使上述拍摄单元的聚焦位置沿着光轴方向变化。这样，能够与担载体的厚度的变动相对应地在使焦点对准担载体的定位标记形成面。即，即使担载体的厚度变动，也能够将焦点对准第二定位标记。即使由于焦距调整使拍摄单元的位置在与光轴垂直的平面内变动，在变动后的位置，在相同视场内拍摄第一以定位标记及第二定位标记来用于对位，因此不会产生因拍摄单元的位置变动引起的误差。 [0048] 根据本发明的定位方法，即使第一定位标记以及第二定位标记这两者没有处于拍摄单元的景深内，也能够对第一基板和第二担载体进行高精度地对位。另外，根据本发明的转印方法以及转印装置，通过在使基板和担载体高精度地对位之后，从担载体向基板转印被转印物，在基板上的规定位置上以良好的位置精度形成图案或者薄膜。附图说明 [0049] 图1是示出本发明的印刷装置的一个实施方式的立体图。 [0050] 图2是示出图1的印刷装置的电气结构的框图。 [0051] 图3是示出图1的印刷装置所具备的搬运部的立体图。 [0052] 图4A是示出图1的印刷装置所具备的上载物台部的立体图。 [0053] 图4B是图4A所示的上载物台部的剖视图。 [0054] 图5是示出图1的印刷装置所具备的定位部以及下载物台部的立体图。 [0055] 图6是示出定位部的拍摄部的立体图。 [0056] 图7A是示出下载物台部所具备的升降销部的俯视图。 [0057] 图7B是图7A所示的升降销部的侧视图。 [0058] 图8是示出橡皮布厚度测量部的立体图。 [0059] 图9A是示出图1的印刷装置所具备的按压部的结构的立体图。 [0060] 图9B是示出橡皮布按压状态的图。 [0061] 图9C是示出橡皮布按压解除状态的图。 [0062] 图10是示出图1的印刷装置所具备的预定位部的立体图。 [0063] 图11是示出图1的印刷装置所具备的除电部的立体图。 [0064] 图12是示出图1的印刷装置的整体动作的流程图。 [0065] 图13是用于说明图1的印刷装置的动作的图。 [0066] 图14是用于说明图1的印刷装置的动作的图。 [0067] 图15是用于说明图1的印刷装置的动作的图。 [0068] 图16是用于说明图1的印刷装置的动作的图。 [0069] 图17是用于说明图1的印刷装置的动作的图。 [0070] 图18是用于说明图1的印刷装置的动作的图。 [0071] 图19是用于说明图1的印刷装置的动作的图。 [0072] 图20是示出用于精密定位动作的定位标记的配置的图。 [0073] 图21A是示出定位标记的图案的例子的第一图。 [0074] 图21B是示出定位标记的图案的例子的第二图。 [0075] 图21C是示出定位标记的图案的例子的第三图。 [0076] 图22是示出用于精密定位的拍摄动作的图。 [0077] 图23是示出精密定位动作的处理过程的流程图。 [0078] 图24A是示出CCD照相机所拍摄的图像的一个例子的第一图。 [0079] 图24B是示出CCD照相机所拍摄的图像的一个例子的第二图。 [0080] 图24C是示出CCD照相机所拍摄的图像的一个例子的第三图。 [0081] 图25是用于说明该实施方式的精密定位的原理的第一图。 [0082] 图26A是用于说明该实施方式的精密定位的原理的第二图。 [0083] 图26B是用于说明该实施方式的精密定位的原理的第三图。 [0084] 图27是用于说明拍摄部的安装位置的变动给对位带来的影响的图。 [0085] 图28A是示出定位标记的具体例的第一图。 [0086] 图28B是示出定位标记的具体例的第二图。 [0087] 图29A是示出具有缺损的定位图案形状的例子的第一图。 [0088] 图29B是示出具有缺损的定位图案形状的例子的第二图。 [0089] 图29C是示出具有缺损的定位图案形状的例子的第三图。 [0090] 图29D是示出具有缺损的定位图案形状的例子的第四图。 具体实施方式[0091] 在此，首先对作为本发明的转印装置的一个实施方式的印刷装置的整体结构进行说明之后，对装置各部的结构以及动作进行详细的说明。该实施方式是通过转印在基板表面上形成规定的图案的转印装置，如下面说明那样，与利用版PP在橡皮布BL上形成规定图案，并将该图案转印至基板SB的印刷技术采用同样的工序，因此在本说明书将该装置称为“印刷装置”。 [0092] A装置的整体结构 [0093] 图1是示出本发明的印刷装置的一个实施方式的立体图，并且为了明确装置内部的结构，以取下装置盖的状态图示。另外，图2是示出图1的装置的电气结构的框图。该印刷装置100，通过使从装置的前面侧搬入至装置内部的橡皮布的上表面紧贴于从装置的左侧面侧搬入至装置内部的版的下表面之后再进行剥离，由此通过形成在版的下表面的图案来在橡皮布上的涂敷层上进行图案成形以形成图案层(图案成形处理)。另外，印刷装置100，通过使进行了图案成形的橡皮布的上表面紧贴从装置的右侧面侧搬入至装置内部的基板的下表面之后进行剥离，将形成在该橡皮布上的图案层转印至基板的下表面(转印处理)。此外，在图1以及后面说明的各图中，为了明确装置各部的配置关系，将版以及基板的搬运方向设为“X方向”，将从图1的右手侧朝向左手侧的水平方向称为“+X方向”，将相反方向称为“-X方向”。另外，在与X方向垂直的水平方向中的装置的前面侧称为“+Y方向”，将装置的后面侧称为“-Y方向”。而且，将铅垂方向上的上方方向以及下方方向分别称为“+Z方向”以及“-Z方向”。 [0094] 在该印刷装置100中，在弹簧方式的减振台11上载置有主体基座12，并且在主体基座12上安装有石平台13。另外，该石平台13的上表面中央，以在X方向上彼此分离的方式立设有两个拱状机架14L、14R。这些拱状机架14L、14R的-Y侧上端部连接有两个水平板15而构成第一机架结构体。另外，以被该第一机架结构体覆盖的方式，在石平台13的上表面设置有第二机架结构体。更具体地，如图1所示那样，在各拱状机架14L、14R的正下方位置，在石平台13上立设有比机架14L、14R小的拱状机架16L、16R。另外，通过沿着X方向延伸的多个水平板17使各机架16L、16R的柱部位彼此连接，另外沿着Y方向延伸的多个水平板17使机架16L、16R彼此连接。 [0095] 在这样构成的机架结构体之间，在机架14L、16L的梁部位之间以及机架14R、16R的梁部位之间分别形成有搬运空间，能够通过该搬运空间将版以及基板保持为水平姿势的状态来搬运。在本实施方式中，在第二机架结构体的后侧即-Y侧设置有搬运部2，能够沿着X方向搬运版以及基板。 [0096] 另外，在构成第一机架结构体的水平板15上固定有上载物台部3，上载物台部3能够吸附保持由搬运部2所搬运的版以及基板的上表面。也就是说，在通过搬运部2的版用往复搬运器将版从图1的左手侧经由搬运空间搬运至上载物台部3的正下方位置之后，上载物台部3的吸附板下降，从而吸附保持版。相反地，在版用往复搬运器位于上载物台部3的正下方位置的状态下，若吸附有版的吸附板解除吸附，则版移载至搬运部2。这样，在搬运部2和上载物台部3之间进行版的交接。 [0097] 另外，对于基板也与版同样地被上载物台部3保持。即，在通过搬运部2的基板用往复搬运器将基板从图1的右手侧经由搬运空间搬运至上载物台部3的正下方位置之后，上载物台部3的吸附板下降，从而吸附保持基板。相反地，在基板用往复搬运器位于上载物台部3的正下方位置的状态下，若吸附有基板的上载物台部3的吸附板解除吸附，则基板移载至搬运部2。这样，在搬运部2和上载物台部3之间进行基板的交接。 [0098] 在上载物台部3的铅垂方向的下方(下面称为“铅垂下方”或者“-Z方向”)，在石平台13的上表面配置有定位部4。并且，定位部4的定位载物台上载置有下载物台部5，并且下载物台部5的上表面与上载物台部3的吸附板相向。该下载物台部5的上表面能够吸附保持橡皮布，通过控制部6控制定位载物台，能够高精度地对下载物台部5上的橡皮布进行定位。 [0099] 这样，在本实施方式中，在铅垂方向Z上相互相向地配置有上载物台部3和下载物台部5。并且，上载物台部3和下载物台部5之间分别配置有从上方按压载置在下载物台部5上的橡皮布的按压部7和对版、基板以及橡皮布进行预定位的预定位部8，并且按压部7和预定位部8固定在第二机架结构体上。 [0100] 在预定位部8，以沿着铅垂方向Z分两层层叠的方式配置有预定位上部以及预定位下部。该预定位上部访问被定位于上载物台部3的吸附板的正下方位置的版用往复搬运器所保持的版，来在版用往复搬运器上对版进行对位(版的预定位处理)。另外，预定位上部访问被定位于吸附板的正下方位置的基板用往复搬运器所保持的基板SB，来在该基板用往复搬运器上对基板进行对位(基板的预定位处理)。进而，预定位下部访问载置在下载物台部5的吸附板上的橡皮布，来在该吸附板上对橡皮布进行对位(橡皮布的预定位处理)。 [0101] 为了将橡皮布上的图案层精密地转印至基板，除了基板的预定位处理之外，需要进行精密的定位处理。因此，在本实施方式中，定位部4具有4台CCD(Charge Coupled Device：电荷耦合元件)照相机CMa～CMd，能够通过各CCD照相机CMa～CMd读取分别形成在被上载物台部3保持的基板上和被下载物台部5保持的橡皮布上的定位标记。然后，通过控制部6基于CCD照相机CMa～CMd的读取图像控制定位载物台，能够使被下载物台部5吸附的橡皮布相对于被上载物台部3保持的基板精密地对位。 [0102] 另外，在将橡皮布上的图案层转印到基板上之后，从基板剥离橡皮布，在该剥离阶段会产生静电。另外，利用版图案成形橡皮布上的涂敷层之后，从版剥离橡皮布时也会产生静电。因此，在本实施方式中，为了除去静电，设置有除电部9。该除电部9具有离子发生器(ionizer)91，该离子发生器91从第一机架结构体的左侧即+X侧朝向被上载物台部3和下载物台部5夹着的空间照射离子。 [0103] 此外，虽然在图1中省略了图示，但是在装置盖中的+X侧盖上设置有用于搬入搬出版的开口，并且设置有用于开闭版用开口的版用挡板(下面的图13中的附图标记18)。并且，通过控制部6的阀控制部64切换与版用挡板驱动缸体CL11相连接的阀的开闭，使版用挡板驱动缸体CL11进行动作，从而开闭驱动版用挡板。此外，在本实施方式中，作为用于驱动缸体CL11的驱动源采用加压空气，作为该正压供给源采用工厂的设备，但是也可以在装置100上安装空气供给部，通过该空气供给部驱动缸体CL11。对于这一点来说，在后面进行说明的缸体也同样。 [0104] 另外，在本实施方式中，在-X侧盖以及+Y侧盖上也分别设置有用于搬入搬出基板以及橡皮布的开口，并且相对于基板用开口设置有基板用挡板(后面的图13中的附图标记19)，相对于橡皮布用开口设置有橡皮布用挡板(省略图示)。并且，通过阀控制部64使阀开闭，来分别驱动基板用挡板驱动缸体CL12以及橡皮布用挡板驱动缸体CL13，以开闭挡板。 [0105] 这样，在本实施方式中，由3个挡板和3个挡板驱动缸体CL11～CL13构成挡板部10，能够彼此独立地将版、基板以及橡皮布搬入搬出印刷装置100。此外，在本实施方式中，虽然图1省略了图示，但是为了搬入搬出版，在装置100的左手侧排列设置有版用搬入搬出单元，并且为了搬入搬出基板，在装置100的右手侧排列设置有基板用搬入搬出单元。但是，也可以使用于搬运版的搬运机械手(省略图示)直接访问搬运部2的版用往复搬运器来搬入搬出版。在该情况下，不需要设置版用搬入搬出单元。对于这一点来说，基板侧也同样。也就是说，使用于搬运基板的搬运机械手(省略图示)直接访问搬运部2的基板用往复搬运器来搬入搬出基板，而不需要设置基板用搬入搬出单元。 [0106] 另一方面，在本实施方式中，采用用于搬运橡皮布的搬运机械手搬入搬出橡皮布。即，该搬运机械手访问下载物台部5，将处理前的橡皮布直接搬入至下载物台部5，另外接收使用后的橡皮布并搬出。当然，也可以与版或基板同样地在装置前面侧配置专用的搬入搬出单元。 [0107] A.装置各部的结构 [0108] B-1.搬运部2 [0109] 图3是示出安装在图1的印刷装置上的搬运部的立体图。该搬运部2具有沿着铅垂方向Z延伸的两个支架21L、21R。如图1所示，支架21L以与左侧机架14L的后侧柱部位相邻且位于该后侧柱部位的左侧的方式从石平台13的上表面立起设置，支架21R以与右侧机架14R的后侧柱部位相邻且位于右侧机架14R的后侧柱部位的右侧的方式从石平台13的上表面立起设置。并且，如图3所示，以使两个支架21L、21R的上端部相互连接的方式，沿着左右方向即X方向延伸地设置有滚珠螺杆机构22。在该滚珠螺杆机构22中，滚珠螺杆(省略图示)沿着X方向延伸，并且一端与往复搬运器水平驱动用的马达M21的旋转轴(省略图示)相连接。另外，在滚珠螺杆的中央部螺合有两个滚珠螺杆支架23、23，并且在滚珠螺杆支架23、23的+Y侧面安装有沿着X方向延伸的往复搬运器保持板24。 [0110] 在该往复搬运器保持板24的+X侧端部设置有版用往复搬运器25L，且该版用往复搬运器25L能够沿着铅垂方向Z进行升降，另一方面，在-X侧端部设置有基板用往复搬运器25R，且该基板用往复搬运器25R能够沿着铅垂方向Z进行升降。由于除了手部的旋转机构之外，这些往复搬运器25L、25R具有相同结构，在此，对版用往复搬运器25L的结构进行说明，对于基板用往复搬运器25R标注相同附图标记或者相当的附图标记并省略结构说明。 [0111] 往复搬运器25L具有：升降板251，沿着X方向延伸，等于或者略长于版PP的宽度尺寸(X方向尺寸)；两个版用手部252、252，分别从升降板251的+X侧端部以及-X侧端部向前侧即+Y侧延伸。升降板251通过滚珠螺杆机构253以能够进行升降的方式安装在往复搬运器保持板24的+X侧端部上。即，在往复搬运器保持板24的+X侧端部，沿着铅垂方向Z延伸设置有滚珠螺杆机构253。在该滚珠螺杆机构253的下端连接有版用往复搬运器升降马达M22L的旋转轴(省略图示)。另外，在滚珠螺杆机构253上螺合有滚珠螺杆支架(省略图示)，并且升降板251安装在该滚珠螺杆支架的+Y侧面上。因此，通过根据来自控制部6的马达控制部63的动作指令，使版用往复搬运器升降马达M22L动作，升降板251被驱动而沿着铅垂方向Z升降。 [0112] 各手部252、252的前后尺寸(Y方向尺寸)比版PP的长度尺寸(Y方向尺寸)长，能够通过各手部252、252的前端侧(+Y侧)保持版PP。 [0113] 另外，为了检测到这样通过版用手部252、252保持有版PP的情况，从升降板251的中央部向+Y侧延伸设置有传感器支架254，并且在传感器支架254的前端部安装有版检测用的传感器SN21。因此，当版PP载置于两手部252上时，传感器SN21检测版PP的后端部即-Y侧端部，并将检测信号输出至控制部6。 [0114] 而且，各版用手部252、252通过轴承(省略图示)安装在升降板251上，并且能够以沿着前后方向(Y方向)延伸的旋转轴YA2为旋转中心自由地旋转。另外，在升降板251的X方向两端安装有旋转促动器RA2、RA2。这些旋转促动器RA2、RA2将加压空气作为驱动源来进行动作，并通过开闭安装在加压空气的供给路径上的阀(省略图示)，能够以180°为单位进行旋转。因此，通过控制部6的阀控制部64控制上述阀的开闭，能够在版用手部252、252的一方主面朝向上方而适于处理图案成形前的版PP的手部姿势(下面称为“未使用姿势”)和另一方主面朝向上方而适于处理图案成形后的版PP的手部姿势(下面称为“已使用姿势”)之间，切换手部姿势。这样，具有手部姿势的切换机构这一点，为版用往复搬运器25L和基板用往复搬运器25R唯一的不同点。 [0115] 接着，对于在往复搬运器保持板24上的版用往复搬运器25L以及基板用往复搬运器25R的安装位置进行说明。在本实施方式中，如图3所示，版用往复搬运器25L以及基板用往复搬运器25R以在X方向上分离比版PP、基板SB的宽度尺寸(此外，在实施方式中，版PP和基板SB的宽度尺寸相同)长的间隔的方式安装在往复搬运器保持板24上。并且，当使往复搬运器水平驱动马达M21的旋转轴向规定方向旋转时，两个往复搬运器25L、25R保持上述分离距离不变地沿着X方向移动。例如，在图3中，附图标记XP23表示上载物台部3的正下方位置，往复搬运器25L、25R位于从位置XP23分别向+X方向以及-X方向仅分离相等距离(将该距离称为“间隔移动单位”)的位置XP22、XP24。此外，在本实施方式中，将图3所示的状态称为“中间位置状态”。 [0116] 另外，当从该中间位置状态使往复搬运器水平驱动马达M21的旋转轴向规定方向旋转，使往复搬运器保持板24向+X方向仅移动间隔移动单位时，基板用往复搬运器25R向+X方向移动并移动定位在上载物台部3的正下方位置XP23。此时，版用往复搬运器25L也一体地向+X方向移动，并定位在与版用搬入搬出单元接近的位置XP21上。 [0117] 相反地，当使往复搬运器水平驱动马达M21的旋转轴向与规定方向相反的方向旋转，使往复搬运器保持板24向-X方向仅移动间隔移动单位时，版用往复搬运器25L从中间位置状态向-X方向移动并移动至上载物台部3的正下方位置XP23而定位。此时，基板用往复搬运器25R也一体地向-X方向移动，并定位在与基板用搬入搬出单元接近的位置XP25。这样，在本说明书中，规定有5个位置XP21～XP25作为X方向上的往复搬运器位置。也就是说，版交接位置XP21是在版用往复搬运器25L定位的3个位置XP21～XP23之中最接近版用搬入搬出单元的位置，指与版用搬入搬出单元之间进行版PP的搬入搬出的X方向位置。基板交接位置XP25是在基板用往复搬运器25R定位的3个位置XP23～XP25之中最接近基板用搬入搬出单元的位置，指与基板用搬入搬出单元之间进行基板SB的搬入搬出的X方向位置。另外，位置XP23指上载物台部3的吸附板37沿着铅垂方向Z移动来吸附保持版PP或基板SB的X方向位置。在本说明书中，在版用往复搬运器25L位于X方向位置XP23时，将该位置XP23称为“版吸附位置XP23”，另一方面，在基板用往复搬运器25R位于X方向位置XP23时，将该位置XP23称为“基板吸附位置XP23”。另外，将这样通过往复搬运器25L、25R搬运版PP或基板SB的铅垂方向Z上的位置即高度位置称为“搬运位置”。 [0118] 另外，在本实施方式中，为了准确地控制图案成形时的版PP和橡皮布间的间隙量以及转印时的基板SB和橡皮布间的间隙量，需要测量版PP以及基板SB的厚度。因此，设置有版厚度测量传感器SN22以及基板厚度测量传感器SN23。 [0119] 更具体地，如图3所示，在左侧支架21L上安装有向前侧即+Y侧延伸的传感器支架26L，并且传感器支架26L的前端部延伸至定位于位置XP21的版PP的上方。并且，在传感器支架26L的前端部安装有版厚度测量传感器SN22。该传感器SN22具有投光部和受光部，基于通过版PP的上表面反射的光测量从传感器SN22到版PP的上表面的距离，并且基于通过版PP的下表面反射的光测量从传感器SN22到版PP的下表面的距离。与距离有关的信息从该传感器SN22输出至控制部6。因此，控制部6能够根据这些距离信息准确地求出版PP的厚度。 [0120] 另外，基板也与版同样，设置有基板厚度测量传感器SN23。即，在右侧支架21R上安装有传感器支架26R，并且传感器支架26R的前端部延伸至定位于位置XP25的基板SB的上方。并且，在传感器支架26R的前端部安装有基板厚度测量传感器SN23，从而测量基板SB的厚度。 [0121] B-2.上载物台部3 [0122] 图4A是示出安装在图1的印刷装置上的上载物台部的立体图。另外，图4B是图4A所示的上载物台部的剖视图。该上载物台部3配置于定位于位置XP23(参照图3)的版PP或基板SB的上方，通过支撑机架31与水平板15相连接而被第一机架结构体支撑。如图4A以及图4B所示，该支撑机架31具有沿着铅垂方向Z延伸的机架侧面，用该机架侧面支撑沿着铅垂方向Z延伸的滚珠螺杆机构32。另外，在滚珠螺杆机构32的上端部连接有第一载物台升降马达M31的旋转轴(省略图示)，并且在滚珠螺杆机构32上螺合有滚珠螺杆支架321。 [0123] 在该滚珠螺杆支架321上固定有另外的支撑机架33，支撑机架33能够与滚珠螺杆支架321一体地沿着铅垂方向Z进行升降。而且，在该支撑机架33的机架面上支撑有另外的滚珠螺杆机构34。在该滚珠螺杆机构34上设置有螺距比上述滚珠螺杆机构32的滚珠螺杆的螺距小的滚珠螺杆，其该滚珠螺杆的上端部连接有第二载物台升降马达M32的旋转轴(省略图示)，并且在中央部螺合有滚珠螺杆支架341。 [0124] 在该滚珠螺杆支架341上安装有载物台架35。载物台架35由沿着铅垂方向Z延伸设置的3张铅垂板351～353构成。其中铅垂板351固定在滚珠螺杆支架341，其余的铅垂板352、353分别固定在铅垂板351的左侧以及右侧。并且，在铅垂板351～353的铅垂下端安装有水平支撑板36，而且在该水平支撑板36的下表面，安装有例如铝合金等金属制的吸附板37。 [0125] 因此，通过载物台升降马达M31、M32根据来自控制部6的马达控制部63的动作指令进行动作，吸附板37沿着铅垂方向Z进行升降移动。另外，在本实施方式中，组合具有不同的螺距的滚珠螺杆机构32、34，通过使第一载物台升降马达M31动作使吸附板37以比较大的螺距进行升降，也就是说，能够使吸附板37进行高速移动。除此之外，通过使第二载物台升降马达M32动作使吸附板37以比较小的螺距进行升降，也就是说，能够精密地对吸附板37进行定位。 [0126] 在该吸附板37的下表面即用于吸附保持版PP或基板SB的吸附面上设置有多条吸附槽371。另外，在设置于吸附板37的外周缘上的多个切口部373以及吸附板37的中央部配置有多个吸附垫38。此外，就吸附垫38而言，以前端面与吸附板37的下表面处于一个面内的状态支撑吸附垫38的喷嘴主体，被水平支撑板36或喷嘴支撑板39等支撑构件支撑。另外，在吸附垫38中的配置于吸附板37的中央部的吸附垫38(省略图示)，是为了提高吸附强度的辅助性的吸附垫，也可以不设置这样的辅助性的吸附垫。 [0127] 这样，在本实施方式中，作为用于吸附保持版PP或基板SB的吸附单元，设置有吸附槽371以及吸附垫38，并且经由用于分别向吸附槽371以及吸附垫38独立地供给负压的负压供给路径与负压供给源相连接。并且，通过根据来自控制部6的阀控制部64的开闭指令对安装在吸附槽用的负压供给路径上的阀V31(图2)进行开闭控制，能够通过吸附槽371吸附版PP或基板SB。另外，通过根据来自阀控制部64的开闭指令对安装在吸附垫用的负压供给路径上的阀V32(图2)进行开闭控制，能够通过吸附垫38吸附版PP或基板SB。此外，在本实施方式中，上述的吸附单元以及如后述的那样吸附保持橡皮布的吸附单元，采用工厂的设备作为负压供给源，但是也可以在装置100上安装真空泵等负压供给部，从该负压供给部向吸附单元供给负压。 [0128] B-3.定位部4 [0129] 图5是示出安装在图1的印刷装置上的定位部以及下载物台部的立体图。如图1所示，定位部4以及下载物台部5配置于上载物台部3的铅垂下方侧。定位部4具有照相机安装基座41、4个柱构件42、中央部设置有开口的框缘状的载物台支撑板43、定位载物台44以及拍摄部45。如图1所示，该照相机安装基座41固定于形成在石平台13的上表面中央部的凹部的内侧底面上。另外，分别从照相机安装基座41的前后端部向铅垂方向Z的上方(下面称为“铅垂上方”或者“+Z方向”)各自立设有两个柱构件42，由此提高照相机安装基座41的操纵性。 [0130] 如图1所示，载物台支撑板43以跨越石平台13的凹部的方式配置为水平姿势，以载物台支撑板43的中央开口和照相机安装基座41相向的状态固定在石平台13的上表面上。另外，在该载物台支撑板43的上表面固定有定位载物台44。 [0131] 定位载物台44具有固定在载物台支撑板43上的载物台基座441和配置于载物台基座441的铅垂上方并支撑下载物台部5的载物台顶部442。载物台基座441以及载物台顶部442都具有在中央部具有开口的框缘形状。另外，在载物台基座441以及载物台顶部442之间，在载物台顶部442的各角部附近配置有例如交叉滚子轴承导轨等支撑机构(省略图示)，该支撑机构具有以沿着铅垂方向Z延伸的旋转轴作为旋转中心的旋转方向、X方向以及Y方向3个自由度。 [0132] 在这些支撑机构中的配置于左前角部的支撑机构设置有Y轴滚珠螺杆机构443a，并且在该Y轴滚珠螺杆机构443a上安装有Y轴驱动马达M41。另外，在配置于右前角部的支撑机构设置有X轴滚珠螺杆机构443b，并且在该X轴滚珠螺杆机构443b上安装有X轴驱动马达M42。另外，在配置于右后角部的支撑机构设置有Y轴滚珠螺杆机构443c，并且安装有Y轴驱动马达M43作为该Y轴滚珠螺杆机构443c的驱动源。而且，在配置于左后角部的支撑机构设置有X轴滚珠螺杆机构(省略图示)，并且在该X轴滚珠螺杆机构上安装有X轴驱动马达M44(图2)。因此，通过根据来自控制部6的马达控制部63的动作指令使各驱动马达M41～M44动作，在定位载物台44的中央部设置比较大的空间，并且使载物台顶部442在水平面内移动。另外，能够以铅垂轴作为旋转中心进行旋转，对下载物台部5的吸附板进行定位。 [0133] 在本实施方式中，采用具有中空空间的定位载物台44的理由之一为，通过拍摄部45对在被下载物台部5的上表面保持的橡皮布以及被上载物台部3的下表面保持的基板SB上所形成的定位标记进行拍摄。下面，参照图5以及图6对拍摄部45的结构进行说明。 [0134] 图6是示出定位部的拍摄部的立体图。拍摄部45对分别形成在橡皮布的4个位置的定位标记以及分别形成在基板SB的4个位置的定位标记进行拍摄，具有4个拍摄单元45a～45d。各拍摄单元45a～45d的拍摄对象区域为如下：拍摄单元45a：橡皮布以及基板SB的左前角部的附近区域；拍摄单元45b：橡皮布以及基板SB的右前角部的附近区域；拍摄单元45c： 橡皮布以及基板SB的右后角部的附近区域；拍摄单元45d：橡皮布以及基板SB的左后角部的附近区域。 [0135] 虽然彼此不同，但是单元结构相同。因此，在此对拍摄单元45a的结构进行说明，对其他结构标注相同或者相当的附图标记并省略说明。 [0136] 如图6所示，在拍摄单元45a在照相机安装基座41的左前角部附近的上表面配置有XY台451。该XY台451的台基座固定于照相机安装基座41上，通过手动操作调整旋钮(省略图示)，来在X方向以及Y方向上精密地定位XY台451的台顶部。在该台顶部上安装有精密升降台452。在该精密升降台452上设置有Z轴驱动马达M45a(图2)，通过根据来自控制部6的马达控制部63的动作指令使Z轴驱动马达M45a动作，精密升降台452的台顶部沿着铅垂方向Z进行升降移动。 [0137] 在该精密升降台452的台顶部的上表面固定有沿着铅垂方向Z延伸的照相机支架453的下端部。另外，照相机支架453的上端部穿过载物台支撑板43的中央开口、定位载物台 44的中央开口以及载物台基座的长孔开口(对此在后面详细叙述)，并延伸至下载物台部5的吸附板51的正下方附近。并且，在该照相机支架453的上端部以使拍摄面朝向铅垂上方侧的状态依次层叠地配置有CCD照相机CMa、镜筒454以及物镜455。另外，在镜筒454的侧面安装有光源456，通过光源驱动部46驱动光源456点亮。在本实施方式中，作为光源456采用红色LED(Light Emitting Diode：发光二极管)，但是也可以采用与橡皮布或基板SB的材质等相对应的光源。另外，在镜筒454的上方安装有物镜455。而且，在镜筒454的内部配置有半透半反镜(省略图示)，使从光源456射出的照明光向+Z方向弯曲，并经由物镜455以及设置在吸附板51的左前角部的附近区域的石英窗52a，向下载物台部5上的橡皮布照射。另外，照明光的一部分还经由该橡皮布照射被上载物台部3的吸附板37吸附保持的基板SB。此外，在本实施方式中，由于橡皮布由透明构件构成，因此如上述那样照明光透过橡皮布到达基板SB的下表面。 [0138] 另外，从橡皮布或基板SB射出的光中的进入-Z侧的光，经由石英窗52a、物镜455以及镜筒454入射至CCD照相机CMa，从而CCD照相机CMa对位于石英窗52a的铅垂上方的定位标记进行拍摄。这样，拍摄单元45a经由石英窗52a照射照明光，并且经由石英窗52a对橡皮布以及基板SB的左前角部的附近区域的图像进行拍摄，并将与该图像相对应的图像信号输出至控制部6的图像处理部65。另一方面，其他的拍摄单元45b～45d与拍摄单元45a同样地，各自经由石英窗52b～52d拍摄图像。 [0139] B-4.下载物台部5 [0140] 接着，返回图5对下载物台部5的结构进行详细叙述。该下载物台部5具有吸附板51、上述的4个石英窗52a～52d、4个柱构件53、载物台基座54、升降销部55。在载物台基座54上沿着前后方向Y排列设置有3个沿着左右方向X延伸的长孔形状的开口。并且，载物台基座 54以从上方俯视时这些长孔开口和定位载物台44的中央开口重叠的方式固定于定位载物台44上。另外，在前侧的长孔开口中松配合地插入有拍摄单元45a、45b的上方部(CCD照相机、镜筒以及物镜)，并且在后侧的长孔开口中松配合地插入有拍摄单元45c、45d的上方部(CCD照相机、镜筒以及物镜)。另外，柱构件53从载物台基座54的上表面角部向+Z方向立起设置，并且各顶部支撑吸附板51。 [0141] 该吸附板51例如为铝合金等金属板，在该吸附板51的左前角部、右前角部、右后角部以及左后角部的附近区域分别设置有石英窗52a～52d。另外，在吸附板51的上表面以包围石英窗52a～52d的方式设置有槽511。在由该槽511包围的内部区域中，除了石英窗52a～52d之外，在前后方向Y上隔着规定间隔地设置有沿着左右方向X延伸的多个槽512。 [0142] 这些槽511、512分别与正压供给配管(省略图示)的一端相连接，并且正压供给配管的另一端与加压用歧管相连接。而且，在各正压供给配管的中间部安装有加压阀V51(图2)。总是向该加压用歧管供给一定压力的空气，该一定压力的空气是通过调节器对工厂的设备所供给的加压空气进行调压而得到的。因此，当根据来自控制部6的阀控制部64的动作指令选择性地打开期望的加压阀V51时，向与所选择的加压阀V51相连接的槽511、512供给进行了调压的加压空气。 [0143] 另外，对于各槽511、512而言，不仅能够选择性地供给加压空气，也可以选择性地供给负压。即，槽511、512分别与负压供给配管(省略图示)的一端相连接，并且负压供给配管的另一端与负压用歧管相连接。而且，在各负压供给配管的中间部安装有吸附阀V52(图2)。该负压用歧管经由调节器与负压供给源相连接，总是向负压用歧管供给规定值的负压。 因此，当根据来自控制部6的阀控制部64的动作指令选择性地打开期望的吸附阀V52时，向与所选择的吸附阀V52相连接的槽511、512供给进行了调压的负压。 [0144] 这样，在本实施方式中，通过阀V51、V52的开闭控制，使橡皮布局部或者整体吸附于吸附板51上，或者向吸附板51和橡皮布之间局部性地供给空气使橡皮布局部性地膨胀而按压在被上载物台部3保持的版PP或基板SB上。 [0145] 图7A是安装在下载物台部上的升降销部的俯视图，图7B是图7A所示的升降销部的侧视图。在升降销部55中，升降板551以能够自由升降的方式设置在吸附板51和载物台基座54之间。在该升降板551上形成有4处切口部551a～551d，防止与拍摄单元45a～45d发生干渉。也就是说，升降板551能够以拍摄单元45a～45d分别进入切口部551a～551d的状态，沿着铅垂方向Z进行升降。另外，这样，通过设置4处切口部551a～551d，在升降板551形成6个指状部551e～551j，并且从各指状部551e～551j的前端部向铅垂上方分别立起设置有升降销552e～552j。另外，在升降销552e和552f之间立起设置有另外的升降销552k，并且还在升降销552i和552j之间立起设置有另外的升降销552m。在升降板551上共计立起设置有8个升降销552(552e～552k、552m)，从而能够支撑橡皮布的整个下表面。这些升降销552比沿着铅垂方向Z贯穿设置在吸附板51的外周缘的贯通孔(省略图示)更细，而且如图5所示，这些升降销552能够从铅垂下方侧穿过贯通孔。 [0146] 另外，从各升降销552的上端侧依次外套有压缩弹簧553以及壳体554，压缩弹簧553的下端部被升降板551卡止，并且在压缩弹簧553的上端部覆盖有壳体554。此外，壳体 554的上表面具有圆形形状，该圆形形状的外径比吸附板51的贯通孔的内径大。并且，如接着说明的那样，当通过销升降缸体CL51使升降板551上升了时，壳体554的上表面被吸附板 51的下表面卡止，用壳体554和升降板551夹入压缩弹簧553来使压缩弹簧553收缩，从而控制升降板551的上升速度。另外，在升降板551下降时，也利用压缩弹簧553的压缩力控制升降板551的下降速度。 [0147] 该销升降缸体CL51固定于下表面固定在照相机安装基座41上的引导支架555的侧面，销升降缸体CL51的活塞前端经由滑块556支撑升降板551。因此，通过控制部6的阀控制部64切换与销升降缸体CL51相连接的阀的开闭，使销升降缸体CL51动作，从而使升降板551进行升降。结果，能够使全部的升降销552相对于吸附板51的上表面即吸附面进退移动。例如，通过使升降销552从吸附板51的上表面向+Z方向突出，能够通过橡皮布搬运机械手将橡皮布载置于升降销552的顶部。然后，载置完橡皮布之后，通过使升降销552后退至吸附板51的上表面的-Z方向，橡皮布移载至吸附板51的上表面。然后，在后述那样的适当的时机，通过配置于吸附板51的附近的橡皮布厚度测量传感器SN51测量该橡皮布的厚度。 [0148] 图8是示出橡皮布厚度测量部的立体图。在本实施方式中，橡皮布厚度测量部56是下载物台部5的一部分结构，该结构如下。在橡皮布厚度测量部56中，在吸附板51的右侧附近位置，缸体支架561固定在第二机架结构体上。另外，在该缸体支架561上以水平状态固定有传感器水平驱动缸体CL52。通过控制部6的阀控制部64切换与该缸体CL52相连接的阀的开闭，安装在缸体CL52上的滑动板562沿着左右方向X进行滑动。在该滑动板562的左端部安装有橡皮布厚度测量传感器SN51。因此，当通过传感器水平驱动缸体CL52使滑动板562向左(+X)侧即吸附板51侧水平移动时，橡皮布厚度测量传感器SN51被定位在被吸附板51吸附保持的橡皮布的右端部的正上方位置。该传感器SN51也与版厚度测量传感器SN22以及基板厚度测量传感器SN23具有同样的结构，并且能够通过同样的测量原理测量橡皮布的厚度。另一方面，在测量之外的时间，通过传感器水平驱动缸体CL52使滑动板562移动到右(-X)侧，也就是说，移动到从吸附板51相分离的退避位置，从而防止与橡皮布厚度测量部56发生干渉。 [0149] B-5.按压部7 [0150] 图9A是示出安装在图1的印刷装置上的按压部的结构的立体图。图9B是示出通过按压部按压被吸附板吸附保持的橡皮布的状态(下面称为“橡皮布按压状态”)的图。图9C是示出解除了由按压部按压橡皮布的状态(下面称为“橡皮布按压解除状态”)的图。通过切换机构72使设置在吸附板51的铅垂上方侧的按压构件71沿着铅垂方向Z进行升降，该按压部7在橡皮布按压状态和橡皮布按压解除状态之间切换。 [0151] 在该切换机构72中，在第二机架结构体的水平板17上通过缸体支架721～723分别安装有按压构件升降缸体CL71～CL73，并且各按压构件升降缸体CL71～CL73各自的活塞724在铅垂下方侧自由进退。按压构件71以吊垂的状态松配合地嵌入在这些活塞724的前端部中。 [0152] 按压构件71具有支撑板711和4个橡皮布按压板712。支撑板711具有与橡皮布BL相同的平面尺寸，其中央部为开口，整体来说具有框缘形状。在该支撑板711的下表面上固定有4张橡皮布按压板712，从而覆盖支撑板711的整个下表面。 [0153] 另外，如图9B以及图9C所示，在支撑板711的与按压构件升降缸体CL71～CL73相对应的位置上，贯穿设置有内径比活塞724的外径大的贯通孔716。并且，紧固构件717从各贯通孔716的下方侧经由贯通孔716与活塞724的前端部相连接。由此，按压构件升降缸体CL71～CL73的活塞724以松配合地与支撑板711嵌合的状态，与按压构件升降缸体CL71～CL73相连接。也就是说，按压构件71以浮动的状态被按压构件升降缸体CL71～CL73支撑。 [0154] 并且，通过控制部6的阀控制部64切换与按压构件升降缸体CL71～CL73相连接的阀的开闭，使按压构件升降缸体CL71～CL73动作，从而使按压构件71与下载物台部5的吸附板51抵接或者分离。例如，按压构件71下降至保持有橡皮布BL的吸附板51而成为橡皮布按压状态，从而通过按压构件71和吸附板51在整周上夹入并保持橡皮布BL的周缘部。另外，为了定位将吸附板51移动了时，按压构件71也与吸附板51一起沿着水平方向(X方向、Y方向)移动，并稳定地保持橡皮布BL。 [0155] B-6.预定位部8 [0156] 图10是示出安装在图1的印刷装置上的预定位部的立体图。预定位部8具有预定位上部81和预定位下部82。其中的预定位上部81配置于预定位下部82的铅垂上方侧，而且，在与橡皮布BL相紧贴前，在位置XP23对被版用往复搬运器25L保持的版PP以及被基板用往复搬运器25R保持的基板SB进行定位。另一方面，预定位下部82在紧贴版PP或基板SB之前，对被下载物台部5的吸附板51载置的橡皮布BL进行定位。此外，预定位上部81和预定位下部82具有基本相同的结构。因此，下面对预定位上部81的结构进行说明，对于预定位下部82标注相同或相当的附图标记并省略结构说明。 [0157] 预定位上部81具有4个上引导移动部811～814。各上引导移动部811～814设置于构成第二机架结构体的多个水平板中的配置在上层侧的水平板17上。即，在沿着前后方向Y延伸设置的两个水平板中的左侧水平板17a的中央部安装有上引导移动部811，并且在左侧水平板17a的前侧端部安装有上引导移动部812。另外，在另外一侧的右侧水平板17b的中央部安装有上引导移动部813，并且在右侧水平板17b的后侧端部安装有上引导移动部814。此外，上引导移动部811和813具有相同结构，另外上引导移动部812和814具有相同结构。因此，下面对上引导移动部811和812的结构进行详细叙述，对于上引导移动部813和814标注相同或相当的附图标记并省略结构说明。 [0158] 上引导移动部811的滚珠螺杆机构811a以沿着左右方向X延伸的状态固定在左侧水平板17a的中央部上。并且，在滚珠螺杆机构811a的滚珠螺杆上螺合有滚珠螺杆支架，并且在该滚珠螺杆支架上以与上引导移动部813相向的方式安装有上引导件811b。另外，滚珠螺杆机构811a的左端部与上引导驱动马达M81a的旋转轴(省略图示)相连接，通过使上引导驱动马达M81a根据来自控制部6的马达控制部63的动作指令进行动作，上引导件811b沿着左右方向X移动。 [0159] 另外，上引导移动部812的滚珠螺杆机构812a以沿着前后方向Y延伸的状态固定在左侧水平板17a的前侧端部上。并且，在滚珠螺杆机构812a的滚珠螺杆上螺合有滚珠螺杆支架，并且在该滚珠螺杆支架上固定有沿着左右方向延伸的引导支撑架812c的左端部。该引导支撑架812c的右端部到达水平板17a和17b的中间位置，并且在引导支撑架812c的右端部以与上引导移动部814相向的方式安装有上引导件812b。另外，滚珠螺杆机构812a的后端部与上引导驱动马达M81b的旋转轴(省略图示)相连接，通过使上引导驱动马达M81b根据来自控制部6的马达控制部63的动作指令进行动作，上引导件812b沿着前后方向Y移动。 [0160] 这样，4个上引导件811b～814b在位置XP23的铅垂下方位置包围版PP或基板SB(图10中的点划线)，各上引导件811b～814b能够独立地与版PP等接近以及分离。因此，通过控制各上引导件811b～814b的移动量，使版PP以及基板SB在往复搬运器的手部上水平移动或者旋转，从而进行定位。 [0161] B-7.除电部9 [0162] 图11是示出安装在图1的印刷装置上的除电部的立体图。在除电部9中，基座板92在下载物台部5的左侧固定在石平台13的上表面上。另外，从基座板92立起设置有柱构件93，并且柱构件93的上端部延伸至比下载物台部5更高的位置。并且，在柱构件93的上端部上通过固定件94安装有离子发生器支架95。该离子发生器支架95向右方(-X)延伸，离子发生器支架95的前端部到达吸附板51的附近。并且，在离子发生器支架95的前端部安装有离子发生器91。 [0163] B-8.控制部6 [0164] 控制部6具有CPU(Central Processing Unit：中央处理单元)61、存储器62、马达控制部63、阀控制部64、图像处理部65以及显示/操作部66，CPU61根据预先存储在存储器62中的程序控制装置各部分，如图12至图19所示，执行图案成形处理以及转印处理。 [0165] C.印刷装置的整体动作 [0166] 图12是示出图1的印刷装置的整体动作的流程图。另外，图13至图19是用于说明图1的印刷装置的动作的图，图中的表格表示控制部6的控制内容(控制对象以及动作内容)，另外图中的示意图示出装置各部的状态。如图13中的(a)栏所示，在该印刷装置100的初始状态，版用往复搬运器25L以及基板用往复搬运器25R分别定位在中间位置XP22、XP24，等待向版用搬入搬出单元安装版PP来执行版PP的投入工序(步骤S1)，以及等待向基板用搬入搬出单元安装基板SB来执行基板SB的投入工序(步骤S2)。此外，由于采用版用往复搬运器25L以及基板用往复搬运器25R一体地沿着左右方向X移动的搬运结构，因此在搬入了版PP(步骤S1)之后，搬入基板SB(步骤S2)，但是也可以交换两者的顺序。 [0167] C-1.版搬入工序(步骤S1) [0168] 如图13中的(b)栏的“步骤S1”所示，执行子步骤(1-1)～(1-7)。即，往复搬运器水平驱动马达M21使旋转轴向规定方向旋转，来使往复搬运器保持板24向+X方向移动(1-1)。由此，版用往复搬运器25L移动并定位在版交接位置XP21。另外，旋转促动器RA2、RA2动作，使版用手部252、252旋转180°并定位在原点位置(1-2)。由此，手部姿势从已使用姿势切换到未使用姿势，结束使用前的版PP的投入准备。 [0169] 然后，版用挡板驱动缸体CL11动作，使版用挡板18向铅垂下方移动，也就是说打开挡板18(1-3)。然后，版用搬入搬出单元根据来自控制部6的动作指令将版PP搬入至印刷装置100的内部，并载置于版用往复搬运器25L的手部252、252上(1-4)。当这样结束版PP的投入时，通过使上述阀的开闭状态返回原来的状态，版用挡板驱动缸体CL11向相反方向动作，使版用挡板18返回原来的位置，也就是说关闭挡板18(1-5)。 [0170] 在版PP的投入结束的时间点，版PP位于版交接位置XP21。因此，在该时刻，版厚度测量传感器SN22动作，检测版PP的上表面以及下表面的高度位置(铅垂方向Z上的位置)，并将表示这些检测结果的高度信息输出至控制部6。然后，CPU61基于这些高度信息求出版PP的厚度，并存储到存储器62中。这样，执行版PP的厚度测量(1-6)。然后，往复搬运器水平驱动马达M21使旋转轴进行反方向旋转，使往复搬运器保持板24向-X方向移动，并定位在中间位置XP22(1-7)。 [0171] C-2.基板投入工序(步骤S2) [0172] 如图13中的(b)栏的“步骤S2”所示，执行子步骤(2-1)～(2-6)。即，往复搬运器水平驱动马达M21使旋转轴向与规定方向相反的方向旋转，使往复搬运器保持板24向-X方向移动(2-1)。由此，基板用往复搬运器25R移动并定位在基板交接位置XP25。此外，对于基板用手部252、252而言，未设置旋转机构，在子步骤(2-1)结束的时间点结束基板SB的投入准备。 [0173] 然后，基板用挡板驱动缸体CL12动作，使基板用挡板19向铅垂下方移动，也就是说打开挡板19(2-2)。然后，基板用搬入搬出单元根据来自控制部6的动作指令将基板SB搬入至印刷装置100的内部，并载置于基板用往复搬运器25R的手部252、252上(2-3)。当这样结束基板SB的投入时，通过使上述阀的开闭状态返回为原来的状态，基板用挡板驱动缸体CL12向相反方向动作，使基板用挡板19返回原来的位置，也就是说关闭挡板19(2-4)。 [0174] 在基板SB的投入结束的时间点，基板SB位于基板交接位置XP25。因此，在该时刻基板厚度测量传感器SN23动作，检测基板SB的上表面以及下表面的高度位置，并将表示这些检测结果的高度信息输出至控制部6。然后，CPU61基于这些高度信息，接着版PP求出基板SB的厚度，并存储到存储器62中。这样，执行基板SB的厚度测量(2-5)。然后，往复搬运器水平驱动马达M21使旋转轴向规定方向旋转，使往复搬运器保持板24向+X方向移动，并定位在中间位置XP24(2-6)。 [0175] 这样，在本实施方式中，如图13中的(c)栏所示，在执行图案成形处理之前，除了版PP之外，还要准备好基板SB，如后面详细叙述那样，连续执行图案成形处理以及转印处理。由此，能够缩短通过橡皮布BL将图案成形的涂敷层转印至基板SB的时间间隔，并且稳定地执行处理。 [0176] C-3.版吸附(步骤S3) [0177] 如图14中的(a)栏的“步骤S3”所示，执行子步骤(3-1)～(3-7)。即，往复搬运器水平驱动马达M21使旋转轴旋转，使往复搬运器保持板24向-X方向移动(3-1)。由此，版用往复搬运器25L移动并定位在版吸附位置XP23。并且，版用往复搬运器升降马达M22L使旋转轴旋转，使升降板251向下方(-Z)移动(3-2)。由此，版PP在被版用往复搬运器25L支撑的状态不变的情况下移动并定位在比搬运位置低的预定位位置。 [0178] 接着，上引导驱动马达M81a～M81d使旋转轴旋转，上引导件811b和813b沿着左右方向X移动，并且上引导件812b和814b沿着前后方向Y移动，各上引导件811b～814b与被版用往复搬运器25L支撑的版PP的端面抵接，来将版PP定位在预先设定的水平位置。然后，各上引导驱动马达M81a～M81d使旋转轴向相反方向旋转，从而各上引导件811b～814b与版PP相分离(3-3)。 [0179] 这样，当结束版PP的预定位处理时，载物台升降马达M31使旋转轴向规定方向旋转，使吸附板37向下方(-Z)下降，与版PP的上表面抵接。然后，打开阀V31、V32，由此通过吸附槽371以及吸附垫38将版PP吸附于吸附板37上(3-4)。 [0180] 当通过吸附检测传感器SN31(图2)检测到版PP被吸附时，载物台升降马达M31使旋转轴向相反方向旋转，吸附板37在吸附保持有版PP的状态不变的情况下向铅垂上方上升，使版PP移动至版吸附位置XP23的铅垂上方位置(3-5)。然后，版用往复搬运器升降马达M22L使旋转轴旋转，使升降板251向铅垂上方移动，使版用往复搬运器25L从预定位位置移动至搬运位置即版吸附位置XP23并进行定位(3-6)。然后，往复搬运器水平驱动马达M21使旋转轴旋转，使往复搬运器保持板24向+X方向移动，将空闲的版用往复搬运器25L定位在中间位置XP22(3-7)。 [0181] C-4.橡皮布吸附(步骤S4) [0182] 如图14中的(a)栏的“步骤S4”所示，执行子步骤(4-1)～(4-9)。即，X轴驱动马达M42、M44以及Y轴驱动马达M41、M43动作，使定位载物台44移动至初始位置(4-1)。由此，每次起动位于相同的位置。然后，销升降缸体CL51动作，使升降板551上升，使升降销552从吸附板51的上表面向铅垂上方突出(4-2)。这样当结束橡皮布BL的投入准备时，橡皮布用挡板驱动缸体CL13动作，使橡皮布用挡板(省略图示)移动，打开该挡板(4-3)。然后，橡皮布搬运机械手访问装置100将橡皮布BL载置于升降销552的顶部之后，从装置100退出(4-4)。然后，橡皮布用挡板驱动缸体CL13动作，使橡皮布用挡板移动，关闭该挡板(4-5)。 [0183] 接着，销升降缸体CL51动作，使升降板551下降。由此，升降销552在支撑有橡皮布BL的状态不变的情况下下降，将橡皮布BL载置于吸附板51上(4-6)。于是，下引导驱动马达M82a～M82d使旋转轴旋转，下引导件821b、823b沿着左右方向X移动，并且下引导件822b、824b沿着前后方向Y移动，各下引导件821b～824b与被吸附板51支撑的橡皮布BL的端面抵接，从而将橡皮布BL定位在预先设定的水平位置(4-7)。 [0184] 当这样结束橡皮布BL的预定位处理时，打开吸附阀V52，由此向槽511、512供给进行了调压的负压，从而将橡皮布BL吸附于吸附板51上(4-8)。而且，各下引导驱动马达M82a～M82d使旋转轴向相反方向旋转，使各下引导件821b～824b从橡皮布BL分离(4-9)。由此，如图14中的(b)栏所示那样，结束成形处理的准备。 [0185] C-5.图案成形(步骤S5) [0186] 在此，在测量完橡皮布厚度之后，进行图案成形。即，如图15中的(a)栏的“步骤S5”所示，传感器水平驱动缸体CL52动作，将橡皮布厚度测量传感器SN51定位在橡皮布BL的右端部的正上方位置(5-1)。然后，橡皮布厚度测量传感器SN51将与橡皮布BL的厚度关联的信息输出至控制部6，由此测量橡皮布BL的厚度(5-2)。然后，上述传感器水平驱动缸体CL52向相反方向动作，使滑动板562向-X方向滑动，来使橡皮布厚度测量传感器SN51从吸附板51退避(5-3)。 [0187] 接着，第一载物台升降马达M31使旋转轴向规定方向旋转，使吸附板37向下方(-Z)下降，从而使版PP移动至橡皮布BL的附近。而且，第二载物台升降马达M32使旋转轴旋转，使吸附板37以小的螺距升降，从而准确地调整版PP和橡皮布BL在铅垂方向Z上的间隔即间隙量(5-4)。此外，通过控制部6基于版PP以及橡皮布BL的厚度测量结果决定该间隙量。 [0188] 然后，按压构件升降缸体CL71～CL73动作，使按压构件71下降，通过按压构件71在整周上按压橡皮布BL的周缘部(5-5)。然后，阀V51、52动作，向吸附板51和橡皮布BL之间局部地供给空气，使橡皮布BL局部地膨胀。该浮起部分按压于被上载物台部3所保持的版PP上(5-6)。结果，如图15中的(b)栏所示，橡皮布BL的中央部紧贴着版PP，预先形成在版PP的下表面上的图案(省略图示)与预先涂敷在橡皮布BL的上表面上的涂敷层抵接，对该涂敷层进行图案成形来形成图案层。 [0189] C-6.版剥离(步骤S6) [0190] 如图15中的(c)栏的“步骤S6”所示，执行子步骤(6-1)～(6-5)。即，第二载物台升降马达M32使旋转轴旋转，使吸附板37上升，从而使版PP从橡皮布BL剥离(6-1)。另外，为了进行剥离处理，与使版PP上升动作并行，适时地切换阀V51和V52的开闭状态，并向橡皮布BL供给负压来拉向吸附板37侧。然后，第一载物台升降马达M31使旋转轴旋转，使吸附板37上升，使版PP定位在高度与离子发生器91的高度大致相同的除电位置(6-2)。另外，按压构件升降缸体CL71～CL73动作，使按压构件71上升，从而解除对橡皮布BL的按压(6-3)。然后，离子发生器91动作，除去在上述版剥离处理时产生的静电(6-4)。当结束该除电处理时，第一载物台升降马达M31使旋转轴旋转，如图15中的(d)栏所示，吸附板37在吸附保持有版PP的状态不变的情况下上升至初始位置(比版吸附位置XP23高的位置)(6-5)。 [0191] C-7.版退避(步骤S7) [0192] 如图16中的(a)栏的“步骤S7”所示，执行子步骤(7-1)～(7-7)。即，旋转促动器RA2、RA2动作，使版用手部252、252旋转180°来从原点位置定位在反转位置(7-1)。由此，手部姿势从未使用姿势切换到已使用姿势，结束已使用的版PP的接收准备。然后，往复搬运器水平驱动马达M21使旋转轴旋转，使往复搬运器保持板24向-X方向移动(7-2)。由此，版用往复搬运器25L移动并定位在版吸附位置XP23。 [0193] 另一方面，第一载物台升降马达M31使旋转轴旋转，吸附板37在吸附保持有版PP的状态不变的情况下朝向版用往复搬运器25L的手部252、252下降来使版PP位于手部252、252上之后，关闭阀V31和V32，由此解除吸附槽371以及吸附垫对版PP的吸附，结束在搬运位置上的版PP的交接(7-3)。然后，第一载物台升降马达M31使旋转轴反向旋转，使吸附板37上升至初始位置(7-4)。然后，往复搬运器水平驱动马达M21使旋转轴旋转，使往复搬运器保持板24向+X方向移动(7-5)。由此，版用往复搬运器25L在保持有已使用版PP的状态不变的情况下移动并定位在中间位置XP22。 [0194] C-8.基板吸附(步骤S8) [0195] 如图16中的(a)栏的“步骤S8”所示，往复搬运器水平驱动马达M21使旋转轴旋转，使往复搬运器保持板24向+X方向移动(8-1)。由此，用于保持处理前的基板SB的基板用往复搬运器25R移动并定位在基板吸附位置XP23。然后，与版PP的预定位处理(3-2、3-3)以及由吸附板37对版PP的吸附处理(3-4)同样地，执行基板SB的预定位处理(8-2、8-3)以及基板SB的吸附处理(8-4)。 [0196] 然后，当通过吸附检测传感器SN31(图2)检测到基板SB被吸附时，载物台升降马达M31使旋转轴旋转，使吸附板37在吸附保持有基板SB的状态不变的情况下向铅垂上方上升，使基板SB移动至比基板吸附位置XP23高的位置(8-5)。然后，基板用往复搬运器升降马达M22R使旋转轴旋转，使升降板251向铅垂上方移动，从而使基板用往复搬运器25R从预定位位置移动并定位在搬运位置(8-6)。然后，往复搬运器水平驱动马达M21使旋转轴旋转，使往复搬运器保持板24向-X方向移动，如图16中的(b)栏所示，将空闲的基板用往复搬运器25R定位在中间位置XP24(8-7)。 [0197] C-9.转印(步骤S9) [0198] 如图17中的(a)栏的“步骤S9”所示，在此测量橡皮布厚度，进而执行精密定位之后，执行转印处理。即，如图17中的(a)栏的“步骤S9”所示，与形成成形处理(步骤S5)的子步骤(5-1～5-3)同样地，测量橡皮布BL的厚度(9-1～9-3)。此外，这样不仅在即将图案成形之前，还在即将进行转印之前也测量橡皮布BL的厚度的主要理由是，因为橡皮布BL的一部分膨胀而橡皮布BL的厚度随时间发生变化，通过在即将进行转印之前测量橡皮布厚度，能够进行高精度的转印处理。 [0199] 接着，第一载物台升降马达M31使旋转轴向规定方向旋转，使吸附板37向下方(-Z)下降，从而将基板SB移动至橡皮布BL的附近。而且，第二载物台升降马达M32使旋转轴旋转，以小的螺距使吸附板37升降，从而准确地调整基板SB和橡皮布BL在铅垂方向Z上的间隔即间隙量(9-4)。通过控制部6基于基板SB以及橡皮布BL的厚度测量结果决定该间隙量。在接着的子步骤(9-5)中，与图案成形(步骤S5)同样地，由按压构件71对橡皮布BL的周缘部进行按压。 [0200] 这样，基板SB和橡皮布BL都被预定位，而且仅分离适合于转印处理的间隔并定位，但是为了将形成在橡皮布BL上的图案层准确地转印到基板SB上，需要对两者精密地进行对位。因此，在本实施方式中，执行子步骤(9-6～9-8)(精密定位)。 [0201] 在此，定位部4的Z轴驱动马达M45a～45d动作，在各拍摄单元45a～45d中执行聚焦调整处理，以使焦点对准在橡皮布BL进行图案成形而形成的定位标记(9-6)。然后，各拍摄单元45a～45d所拍摄的图像输出至控制部6的图像处理部65(9-7)。然后，控制部6基于这些图像求出为使橡皮布BL相对于基板SB进行对位的控制量，进而制作定位部4的X轴驱动马达M42、M44以及Y轴驱动马达M41、M43的动作指令。然后，X轴驱动马达M42、M44以及Y轴驱动马达M41、M43根据上述控制指令动作，使吸附板51沿着水平方向移动，并且围绕沿着铅垂方向Z延伸的假想旋转轴旋转，从而使橡皮布BL与基板SB精密地对位(9-8)。 [0202] 然后，阀V51、V52动作，向吸附板51和橡皮布BL之间局部地供给空气，从而使橡皮布BL局部地膨胀。该浮起部分按压于被上载物台部3保持的基板SB(9-9)。结果，如图17中的(b)栏所示，橡皮布BL紧贴于基板SB。由此，橡皮布BL上的图案层和基板SB的下表面的图案精密地对位，并且转印至基板SB上。 [0203] C-10.基板剥离(步骤S10) [0204] 如图18中的(a)栏的“步骤S10”所示，执行子步骤(10-1)～(10-5)。即，与版剥离(步骤S6)同样地，执行从橡皮布BL剥离基板SB(10-1)，将基板SB定位在除电位置(10-2)、解除按压构件71对橡皮布BL的按压(10-3)，除电(10-4)。然后，第一载物台升降马达M31使旋转轴旋转，如图18中的(b)栏所示，吸附板37在吸附保持有基板SB的状态不变的情况下上升至初始位置(比搬运位置高的位置)(10-5)。 [0205] C-11.基板退避(步骤S11) [0206] 如图19中的(a)栏的“步骤S11”所示，执行子步骤(11-1)～(11-4)。即，往复搬运器水平驱动马达M21使旋转轴旋转，使往复搬运器保持板24向+X方向移动(11-1)。由此，基板用往复搬运器25R移动并定位在基板吸附位置XP23。 [0207] 另一方面，第一载物台升降马达M31使旋转轴旋转，使吸附板37在吸附保持有基板SB的状态不变的情况下，朝向基板用往复搬运器25R的手部252、252下降。然后，关闭阀V31、V32，由此解除吸附槽371以及吸附垫38对基板SB的吸附(11-2)。然后，第一载物台升降马达M31使旋转轴反向旋转，使吸附板37上升至初始位置(11-3)。然后，在往复搬运器水平驱动马达M21使旋转轴旋转，使往复搬运器保持板24向-X方向移动，使基板用往复搬运器25R在保持有该基板SB的状态不变的情况下，移动并定位在中间位置XP24(11-4)。 [0208] C-12.取出橡皮布(步骤S12) [0209] 如图19中的(a)栏的“步骤S12”所示，执行子步骤(12-1)～(12-6)。即，阀V51、V52动作，解除吸附板51对橡皮布BL的吸附(12-1)。然后，销升降缸体CL51动作，使升降板551上升，从而将已使用的橡皮布BL从吸附板51向铅垂上方抬起(12-2)。 [0210] 接着，橡皮布用挡板驱动缸体CL13动作，使橡皮布用挡板(省略图示)移动来打开该挡板(12-3)。然后，橡皮布搬运机械手访问装置100，从升降销552的顶部接受已使用的橡皮布BL，并从装置100退避(12-4)。然后，橡皮布用挡板驱动缸体CL13动作，使橡皮布用挡板移动来关闭该挡板(12-5)。然后，销升降缸体CL51动作，使升降板551下降，使升降销552向吸附板51的下方(-Z)下降(12-6)。 [0211] C-13.取出版(步骤S13) [0212] 如图19中的(a)栏的“步骤S13”所示，执行子步骤(13-1)～(13-5)。即，往复搬运器水平驱动马达M21使旋转轴旋转，使往复搬运器保持板24向+X方向移动(13-1)。由此，版用往复搬运器25L移动并定位在版交接位置XP21。另外，版用挡板驱动缸体CL11动作，来打开挡板18(13-2)。然后，版用搬入搬出单元根据来自控制部6的动作指令，从印刷装置100取出已使用的版PP(13-3)。当这样版PP的搬出结束时，通过使上述阀的开闭状态恢复为原来的状态，版用挡板驱动缸体CL11向相反方向动作，使版用挡板18返回原来的位置而关闭挡板18(13-4)。然后，往复搬运器水平驱动马达M21使旋转轴旋转，使往复搬运器保持板24向-X方向移动，使版用往复搬运器25L定位在中间位置XP22(13-5)。 [0213] C-14.取出基板(步骤S14) [0214] 如图19中的(a)栏的“步骤S14”所示，执行子步骤(14-1)～(14-5)。即，往复搬运器水平驱动马达M21使旋转轴旋转，使往复搬运器保持板24向-X方向移动(14-1)。由此，基板用往复搬运器25R移动至基板交接位置XP25并进行定位。另外，基板用挡板驱动缸体CL12动作，打开挡板19(14-2)。然后，基板用搬入搬出单元根据来自控制部6的动作指令，从印刷装置100取出进行了转印处理的基板SB(14-3)。当这样基板SB的搬出结束时，基板用挡板驱动缸体CL12向相反方向动作，使基板用挡板19返回原来的位置，来关闭挡板19(14-4)。并且，往复搬运器水平驱动马达M21使旋转轴旋转，使往复搬运器保持板24向+X方向移动，将基板用往复搬运器25R定位在中间位置XP24(14-5)。由此，如图19中的(b)栏所示，印刷装置100返回初始状态。 [0215] D.精密定位动作 [0216] 接着，对本实施方式的精密定位(图17的子步骤9-8)的更具体的动作进行更详细地说明。该精密定位动作为，使通过预定位部8调整了大致位置的基板SB和橡皮布BL在XY平面上的相对位置更精密地对准的处理。并且，通过应用本发明的定位方法，以高精度，例如以±3μm左右的精度对两者进行对位。假设的基板SB的平面尺寸为350mm×300mm左右。 [0217] 在该实施方式的精密定位动作中，如下面说明那样，分别在基板SB以及橡皮布BL上形成作为位置基准的定位标记，通过调整它们的位置关系，使基板SB和橡皮布BL对位。此外，精密定位的最终目的为，将担载在橡皮布BL上的图案准确地转印至基板SB上的规定位置。另一方面，通过版PP形成在橡皮布BL上的图案在橡皮布BL上的位置，根据图案形成时的版PP和橡皮布BL间的位置关系可能稍微变动。因此，在精密定位动作中，只要适当调整担载在橡皮布BL上的图案和基板SB间的位置关系即可，不需要控制橡皮布BL本身相对于基板SB的姿势。 [0218] D-l.定位标记 [0219] 图20是示出用于精密定位动作的定位标记的配置的图。基板SB以及橡皮布BL是具有大致相同的平面尺寸的板状体，在使两者重叠了的情况下，在相互对应的位置上分别形成有定位标记。即，在板状的基板SB的中央部设定有效图案区域PR，在该有效图案区域PR上形成有电路图案等规定图案，最终作为器件而发挥功能。橡皮布BL的与该有效图案区域PR对应的表面区域为橡皮布BL的有效图案区域PR，通过版PP将要转印至基板SB的图案成形在该区域PR。在图20的例中，将矩形基板SB的中央部的矩形区域设为有效图案区域PR，但是有效图案区域的形状并不限于矩形，可以是任意的。 [0220] 并且，将有效图案区域PR的四角的外侧且接近基板SB的角部的区域设为定位标记形成区域AR。在基板SB中，例如通过光刻技术在4处定位标记形成区域AR分别预先形成定位标记。另一方面，形成于橡皮布BL的各定位标记形成区域AR的定位标记和形成于有效图案区域PR的图案一起是利用版PP通过图案形成材料一起图案成形的。因此，无论图案形成时的版PP和橡皮布BL间的位置关系如何，在橡皮布BL上形成于有效图案区域PR的图案和形成于定位标记形成区域AR的定位标记间的位置关系不变。由此，通过利用定位标记的对位，基板SB和橡皮布BL上的图案间的位置关系保持恒定。 [0221] 图21A至图21C是示出定位标记的图案的例子的图。更具体地讲，图21A示出在该实施方式中形成在基板上的第一定位标记的构成要素即第一定位图案；图21B示出在该实施方式中形成在橡皮布上的第二定位标记的构成要素即第二定位图案。另外，图21C示出这些定位图案的空间频谱。 [0222] 如图21A所示，形成在基板SB上的第一定位图案APl，是在没有对准焦点的状态下图形也不会消失的尺寸例如一边为50μm左右的矩形(在该例中为正方形)，且是四边所包围的内部被同样地涂满的实心图形。另一方面，如图21B所示，形成在橡皮布BL上的第二定位图案AP2，例如为一边为120μm左右的矩形且内部清空而形成空白的环状的空心图形。形成正方形的各边的线宽例如为10μm，因此内部的正方形的一边为100μm左右。因此形成为当使重心重叠来使第一定位图案APl和第二定位图案AP2重合时，第一定位图案APl正好容置于第二定位图案AP2内部的空白部分中的尺寸。 [0223] 当对这些图案的空间频率成分进行比较时，如图21C所示，作为实心图形的第一定位图案APl比作为空心图形的第二定位图案AP2包含更多的低频成分。也就是说，第一定位图案AP1的空间频率的频谱向低频一侧。在后述的精密定位动作中，利用该特征检测各定位图案的位置。 [0224] 即，通过定位部4的拍摄部45拍摄如上述那样构成的定位图案，根据所拍摄的图像检测定位图案，来掌握基板SB和橡皮布BL(严格来说是橡皮布BL上的图案)间的位置关系，并且根据需要进行使这些位置对位的调整动作。 [0225] 此外，后面详细说明，本实施方式的第一定位标记以及第二定位标记分别将上述的定位图案作为构成要素，并且包含一个或者多个。但是，对于应用了本发明的定位方法的本实施方式的精密定位动作本身来说，通过仅由单独的定位图案形成的定位标记来实现。因此，这里利用如下的例子对定位动作的原理进行说明，即，在基板SB上形成由单独的第一定位图案APl形成的第一定位标记，在橡皮布BL上形成由单独的第二定位图案AP2形成的第二定位标记。 [0226] D-2.精密定位的原理 [0227] 图22是示出用于精密定位的拍摄动作的图。如上所述，该实施方式的定位部4具有4组拍摄部45，但是它们具有相同结构，因此这里对其中的一个拍摄部45a的动作进行说明。 [0228] 形成有上述的第一定位图案APl的基板SB，以该基板SB的定位标记形成面朝下的方式吸附保持在上载物台部3的吸附板37的下表面上。另一方面，形成有第二定位图案AP2的橡皮布BL，以该橡皮布BL的定位标记形成面朝上的方式吸附保持在下载物台部5的吸附板51上。因此，基板SB和橡皮布BL以各自的定位标记形成面彼此相互相向的方式配置。由此，能够使铅垂方向(Z方向)上的两个定位标记之间的距离减小。优选基板SB和橡皮布BL之间的间隔Gsb尽量小。但是，若考虑装置各部的尺寸精度、基板SB以及橡皮布BL的弯曲等，则为了防止未设定的基板SB和橡皮布BL间的接触而不得不使基板SB和橡皮布BL分开一定程度。例如这里将间隔Gsb设为300μm。 [0229] 橡皮布BL表面的第二定位图案AP2配置于在下载物台部5的吸附板51上所设置的石英窗52a的正上方。换而言之，石英窗52a设置在橡皮布BL的一个定位标记形成区域AR(图20)的正下方位置。设置在与此对应的位置上的基板SB的第一定位图案APl也配置在与石英窗52a相面对的位置。 [0230] 橡皮布BL例如是在玻璃板或者透明树脂板的表面上形成有由硅酮橡胶构成的薄的弹性层而形成的，具有光透过性。因此，可以从下载物台部5的下方经由石英窗52a以及橡皮布BL同时看穿第一定位图案AP1以及第二定位图案AP2。此外，要转印至基板的图案以及第二定位图案AP2形成于橡皮布BL的弹性层的表面。即，在橡皮布BL的主面中的形成有弹性层的一侧的主面成为图案以及定位标记的形成面。 [0231] 在石英窗52a的下方(-Z)配置有拍摄部45a。具体地讲，在石英窗52a的正下方位置依次配置有物镜455、半透半反镜457以及CCD照相机CMa的受光面458。物镜455的光轴大致与铅垂方向一致，在该光轴上分别配置有石英窗52a以及受光面458。来自光源456的光从侧方入射至半透半反镜457，该光被半透半反镜457反射并朝向石英窗52a射出，经由石英窗52a照射第一定位图案以及第二定位图案。CCD照相机受光面458在同一视场内同时拍摄与石英窗52a相面对地配置的第一定位图案APl以及第二定位图案AP2。 [0232] 物镜455、半透半反镜457、受光面458以及光源456能够通过XY台451在沿着XY平面的方向上一体地移动，另外能够通过精密升降台452在沿着铅垂方向(Z方向)上一体地移动。通过精密升降台452使物镜455的前侧焦点对准橡皮布BL的定位标记形成面。另一方面，后侧焦点预先对准CCD照相机的受光面458。因此，在CCD照相机受光面458中成像焦点对准形成在橡皮布BL上的第二定位图案AP2(焦点内的)的光学图像，通过CCD照相机CMa拍摄该光学图像。 [0233] 图23是示出精密定位动作的处理顺序的流程图。此外，在该处理中，步骤S901以及S902是分别与图17的子步骤(9-6)、(9-7)对应的处理，作为图17的子步骤(9-8)示出的“精密定位”与图23中的步骤S903至S910相对应。首先，通过精密升降台452将拍摄部45的焦点调整到橡皮布BL的定位标记形成面(上表面)上(步骤S901)。具体地讲，例如能够以如下的方式进行。 [0234] 在第一方法中，基于刚刚测量到的橡皮布BL的厚度，通过精密升降台452调整拍摄部45的上下方向位置，以使物镜455的前侧焦点与橡皮布BL的上表面一致。即，根据橡皮布厚度的测量结果，计算被吸附载物台51保持的橡皮布BL的上表面的Z方向位置。然后，通过精密升降台452使物镜455的Z方向焦点位置与橡皮布BL上表面对准。 [0235] 另外，在代替第一方法的第二方法中，一边通过精密升降台452使拍摄部45沿着上下方向(Z方向)移动，沿着Z方向以恒定间距变更设定焦点位置，一边每次变更时通过CCD照相机CMa等进行拍摄。然后，根据所拍摄的定位图案AP2的图像，计算图像对比度最大的位置，使物镜455的焦点位置对准该位置。 [0236] 通过上述两个方法中的任一方法，都能进行焦点调整。另外，可以通过操作员的操作输入来选择上述两个方法中的一个。这样，使拍摄部45的焦点与形成有第二定位图案AP2的橡皮布BL的上表面对准。然后，为了不产生因光轴的偏差引起的检测误差，不改变拍摄部45的上下方向位置。 [0237] 这时，可以使4个拍摄部45a～45d呈一体地上下移动，另外，也可以使各拍摄部45a～45d分别以各自的移动量上下移动。在前者的情况下，仅在一处代表性地测定橡皮布厚度即可，因此能够缩短处理时间。另外，在后者的情况下，也适合于橡皮布BL的厚度因位置不同而不同的情况，所以能够更细致地进行调整。 [0238] 这样在调整了焦点的状态下，第一定位图案APl以及与第一定位图案APl对应的第二定位图案AP2进入各CCD照相机CMa～CMd的视场，处于焦点对准其中的第二定位图案AP2的状态。各CCD照相机CMa～CMd分别拍摄该图像，将图像数据送至图像处理部65(步骤S902)。图像处理部65对这样拍摄到的图像进行规定的图像处理，检测图像内的第一定位图案AP1以及第二定位图案AP2的位置(步骤S903、S904)。具体地讲，检测它们的重心位置Glm、G2m。 [0239] 图24A至图24C是示出用CCD照相机拍摄到的图像的一例的图。如图24A所示，拍摄到的图像IM包含在对准焦点的状态下以高的图像对比度拍摄到的第二定位图案AP2的影像。因此，根据拍摄到的图像检测出第二定位图案AP2的重心位置G2m是比较容易的。将第二定位图案AP2设为环状矩形的空心图形的情况下，例如可以以如下的方式来求出重心位置。如图24B所示，通过以规定的阈值使图像内的各位置的亮度二进制化，来提取第二定位图案AP2的边缘部分。根据其结果能够推定第二定位图案AP2的轮廓，从而能够求出第二定位图案AP2的重心G2m的位置(步骤S903)。尤其，由于预先知道图案的外形尺寸、线宽等特征，能够应用具体化为这些特征的图像处理。 [0240] 另一方面，对于形成在基板上的第一定位图案APl来说，并不限于必须对准焦点。如果光轴方向上的第一定位图案APl和第二定位图案AP2间的间隔小于物镜455的景深，则能够拍摄焦点对准了第一定位图案APl和第二定位图案AP2这两者的图像。但是，当定位图案之间的间隔大于物镜455的景深时，如果焦点对准第二定位图案AP2，则第一定位图案APl处于景深之外而不能对准焦点，从而拍摄出轮廓模糊的图像。 [0241] 在本实施方式中，使用具有5倍左右倍率的物镜455，其景深为±30μm(调焦范围为60μm)左右。另一方面，安装在装置100上的基板SB和橡皮布BL间的间隔Gsb为300μm左右。在这样的条件下，不能同时使焦点对准两个定位图案。即，若焦点对准第二定位图案AP2，则焦点必然没有对准第一定位图案APl。本实施方式的精密定位方法也能够对应这样的情况，来进行高精度的对位。 [0242] 当焦点没有对准在第一定位图案APl上时，如图24A所示，以比虚线表示的原来的外形大且轮廓模糊的状态拍摄第一定位图案APl。因此，原来的第一定位图案APl的形状所具有的空间频率成分中的比较高的频率成分丢失。因此，难以应用如第二定位图案AP2那样提取边缘的方法，另外检测误差也会大。因此，如图24C所示，根据亮度等级的峰值位置，求出第一定位图案APl的重心位置。 [0243] 这时，如图21C所示，通过预先使第一定位图案APl的形状形成为低的空间频率成分包含得多的形状，能够抑制图像信息的损失，并且能够抑制重心位置的检测精度低的情况。尤其在进行伴随有“黑点”校正的图像处理的情况下，由此也失去低频率成分，因此使用空间频率的分布靠近低频率的形状的图案是有效的。 [0244] 另外，由于预先知道会丧失原来的形状所包含的高频成分，因而在检测重心位置时高频成分不具有有用性，反而起干扰的作用。因此，优选进行从图像中除去高频成分的低通滤波处理，根据除去之后的图像检测重心位置。这样，能够检测没有对准焦点的第一定位图案APl的重心Glm的位置(步骤S904)。 [0245] 如图24A所示，例如以第一定位图案APl的重心位置Glm作为基准时，用附图标记G2t来表示原来即基板SB和橡皮布BL间的位置关系适当时第二定位图案AP2应该位于的重心的位置。但是，实际测量到的重心G2m的位置并不一定与该位置一致，为了使它们一致需要进行精密定位动作。即在精密定位动作中，如图中的箭头所示，调整基板SB和橡皮布BL间的相对位置，来使检测到的第二定位图案AP2的重心位置G2m与其恰当位置G2t一致。在该实施方式中，基于拍摄结果来计算出定位载物台44的载物台顶部442的需要移动量，通过使定位载物台44移动，使被载物台顶部442支持的下载物台部5以及载置于下载物台部5的橡皮布BL移动，来使橡皮布BL相对于基板SB进行对位。 [0246] 如上所述，当检测到第一定位图案APl的重心Glm以及第二定位图案AP2的重心G2m的位置时，接着计算出它们之间的位置偏移量(步骤S905)。这里要计算的不是检测出的两个定位图案各自的重心Glm、G2m之间的位置偏移量，而是根据第一定位图案APl的重心位置Glm导出的第二定位图案AP2的恰当的重心位置G2t与通过实际测量检测到的第二定位图案AP2的重心位置G2m之间的位置偏移量。此外，在第一定位图案以及第二定位图案以重心位置通用的方式配置(即G2t等于Glm)的情况下，当然两个定位图案各自的重心Glm、G2m之间的位置偏移量为要计算的量。 [0247] 此外，就在XY平面内在基板SB和橡皮布BL之间产生的位置偏移而言，不仅是在X方向以及Y方向上的偏移，还有扭转偏移，即围绕铅垂轴的旋转角度相互不同的类型的偏移。在调整分别设置在基板SB以及橡皮布BL上的一对定位图案的重心位置时，难以修正该围绕铅垂轴的旋转方向(下面称为“θ方向”)上的偏移。尤其，在一个定位图案没有对准焦点的状态下拍摄时，难以根据模糊的图像掌握该图案的旋转角度。 [0248] 在该实施方式中，分别在基板SB以及橡皮布BL的四角上各设置一对定位标记(图20)，用4组拍摄部45拍摄上述的定位标记(图6)。然后，根据4组拍摄部45所拍摄的各图像，如下面那样修正X、Y以及θ方向的位置偏移，由此能够对基板SB和橡皮布BL进行高精度地对位。 [0249] 图25、图26A以及图26B是用于说明该实施方式的精密定位的原理的图。更具体地讲，图25是示出根据拍摄结果再配置于假想平面的定位图案的位置关系的图。另外，图26A以及图26B是说明基于该位置关系的位置偏移修正的原理的图。在这些图以及后面的图27中的坐标轴的方向仿照拍摄部45拍摄的方式，表示从下方观察形成在基板SB以及橡皮布BL上的定位图案的状态。 [0250] 在此，将基板SB的位置作为基准，来计算用于使橡皮布BL的位置与基板SB的位置对准的橡皮布BL的移动量，对其基本的想法进行说明。如图25所示，将4组CCD照相机CMa～CMd所拍摄的图像IMa～IMd再配置于假想的XY平面内。并且，根据利用CCD照相机CMa～CMd分别拍摄到的基板SB上的4处定位图案APla～APld构成的假想的图形和利用橡皮布BL上的4处定位图案AP2a～AP2d构成的假想的图形间的位置关系，掌握基板SB和橡皮布BL间的位置关系。 [0251] 在该实施方式中，基板SB上的定位图案APla～APld以使各重心位置作为顶点的四边形Rsb成为矩形的方式配置。因此，连接处于相互相向的位置上的定位图案APla以及APlc的重心的线成为该矩形的一条对角线，并且该对角线与另外的对角线的交点，即，与连接定位图案APlb以及APld的重心的线的交点Gl0，与该矩形Rsb的重心相一致。同样地，橡皮布BL上的定位图案AP2a～AP2d以使各重心位置作为顶点的四边形Rbl成为矩形的方式配置，连接定位图案AP2a以及AP2c的重心的线与连接定位图案AP2b以及AP2d的重心的线的交点G20，成为该矩形Rbl的重心。 [0252] 根据在基板SB、橡皮布BL上分别检测到的各4处定位图案的重心位置，能够容易算出在假想平面内的矩形Rsb以及Rbl的重心位置的坐标以及相对于坐标轴的倾斜度。根据这些值，能够求出基板SB和橡皮布BL之间的位置偏移量以及用于修正位置偏移的橡皮布BL在X方向、Y方向以及θ方向上的移动量。 [0253] 作为最简单的例子，设基板SB一侧的矩形Rsb和橡皮布BL一侧的矩形Rbl为相似形。并且，考虑以如下的方式配置各定位图案，即，在基板SB和橡皮布BL恰当配置时，基板SB的矩形Rsb的重心G10和橡皮布BL的矩形Rbl的重心G20在假想平面上一致，而且在假想平面内两矩形的倾斜度相等。 [0254] 如图26A所示，为了对矩形Rsb的重心Gl0和矩形Rbl的重心G20在XY平面内的位置偏移进行修正，只要使矩形Rbl(即橡皮布BL)向-X方向移动Mx，向+Y方向移动My即可。当进行这样的移动时，如图26B所示，矩形Rbl的重心与矩形Rsb的重心Gl0一致。但是，有时两个矩形的倾斜度不同，残留有基板SB和橡皮布BL在θ方向上的位置偏移。能够根据各定位图案的重心位置的检测结果计算出修正θ方向上的位置偏移所需要的橡皮布BL围绕铅垂轴(Z轴)的旋转量Mθ。 [0255] 这样，能够根据各定位图案的重心位置检测结果计算出用于修正与基板SB的位置偏移的橡皮布BL在X方向、Y方向以及θ方向上的移动量Mx、My、Mθ。基于该计算结果，使定位载物台44的载物台顶部442移动来调整橡皮布BL相对于基板SB的位置，从而能够对基板SB和橡皮布BL进行高精度地对位。 [0256] 此外，在该例中，以连接基板SB以及橡皮布BL上的各定位图案的重心而成的图形相互相似，以及若基板SB和橡皮布BL没有位置偏移则两图形的重心位置以及倾斜度相等的情况作为前提，但是不限定于此。即，无论定位图案的配置如何，只要以使适当连接基板SB上的定位图案的重心位置而形成的假想的图形和适当连接橡皮布BL上的定位图案的重心位置而形成的假想的图形之间的相对位置关系成为根据定位图案的配置预先设定的关系的方式，计算橡皮布BL相对基板SB的移动量即可。 [0257] 结合图23的流程图来说明上述动作。当分别对于基板SB以及橡皮布BL通过图像处理部65进行的图像处理求出各照相机所拍摄的定位图案的重心位置(步骤S903、S904)时，根据该计算结果计算出基板SB和橡皮布BL间的位置偏移量(步骤S905)。就这里的位置偏移量而言，分别计算X方向、Y方向以及θ方向的位置偏移量。若这样求出的位置偏移量在预先所设定的允许范围内(步骤S906)，则能够忽略基板SB和橡皮布BL之间的位置偏移，从而结束精密定位动作。 [0258] 在位置偏移量超过允许范围时，需要移动橡皮布BL来进行修正。接着进行用于修正的移动，但是考虑到可能因某些装置的情况而处于不能对位的状态，对用于对位的移动重试次数设定上限。即，当重试次数达到预先所设定的规定次数(步骤S907)时，执行规定的错误停止处理(步骤S908)，之后结束处理。作为该错误停止处理的内容，例如可以考虑如下等情况，即，显示规定的错误信息来完全中止处理本身，向用户通知错误的内容之后就以后的处理等待用户的指示。还可以根据用户的指示来重新进行处理。 [0259] 另一方面，若没有达到规定的重试次数(步骤S907)，则计算为了对位所需要的橡皮布BL的移动量(Mx、My、Mθ)(步骤S909)。然后，基于计算出的移动量来使定位载物台44动作(步骤S910)，使橡皮布BL的位置与载物台顶部442一起移动。在该状态下，再次拍摄各定位图案以及检测重心位置，来判定是否需要再移动橡皮布BL(步骤S902～S906)。反复上述操作直到达到规定的重试次数为止(步骤S907)。 [0260] 由此，图26B中用实线表示的形成在基板SB上的4处定位图案APl形成的矩形Rsb和用点线表示的形成在橡皮布BL上的4处定位图案AP2形成的矩形Rbl的重心位置(X方向、Y方向)以及在XY平面中的倾斜度(θ方向旋转角度)都一致，或者其偏移量在允许范围内。由此，结束基板SB和橡皮布BL间的对位(精密定位)。 [0261] 此外，在该实施方式中，通过反复执行拍摄定位图案以及基于该拍摄结果移动橡皮布BL的操作，来调整橡皮布BL相对于基板SB的位置，从而修正位置偏移。此时，优选至少θ方向的偏移量尽量早地完成修正。其理由是，为了修正θ方向的位置偏移，需要扭转定位载物台44那样的移动，反复进行这样的移动容易导致移动机构因间隙引起的误差。 [0262] 这样，对由在多处拍摄的定位图案确定的图形进行比较来进行对位，可以获得如下的优点。第一是通过综合多处的检测结果，不仅能够容易地检测X方向以及Y方向上的位置偏移，还能够容易检测出围绕铅垂轴(Z轴)的θ方向上的位置偏移，从而能够对位置偏移进行修正。第二是通过减小各照相机所拍摄的各图像的定位图案的位置检测误差，来提高对位的精度。 [0263] 第三是能够降低将各拍摄部45安装到照相机安装基座41的安装位置精度的要求。为了进行高精度的对位，需要高精度地控制拍摄部45在照相机安装基座41上的安装位置。 另一方面，在本实施方式中，分别由单独的拍摄部45来拍摄设置在基板SB以及橡皮布BL上的多个定位图案，根据定位图案的位置检测结果综合性地进行对位。在这样的结构中，如下面说明那样，能够降低因拍摄部45的安装位置的偏差、随时间变化引起的误差。 [0264] 图27是用于说明拍摄部的安装位置的变动给对位带来的影响的图。作为一例，考虑如下的情况，即，要拍摄在图27中用附图标记IMa表示的区域的CCD照相机CMa由于安装位置的偏移而拍摄了附图标记IMa2表示的区域。在该情况下，在由4个定位图案AP1a、AP1b、AP1c以及AP1d表示的原来的重心G10和由检测出的定位图案AP1a2、AP1b、AP1c以及AP1d表示的重心G11之间，产生因定位图案AP1a和定位图案AP1a2在假想平面中的位置不同引起的误差。但是，偏移量与由其他拍摄部45所拍摄的定位图案的位置检测结果进行平均，比定位图案本身的检测位置误差小。 [0265] 而且，在该实施方式中，基板SB上的4处定位图案和分别与基板SB上的4处定位图案成对的橡皮布BL上的4处定位图案，分别在相同的拍摄单元45的相同视场内拍摄。因此，对于基板SB上以及橡皮布BL上的定位图案来说，因拍摄单元45的安装位置精度引起的定位图案的位置偏移同等程度。因此，能够将检测出的基板SB上的定位图案所形成的图形Rsb的重心和橡皮布BL上的定位图案所形成的图形Rbl的重心之间的位置偏移量抑制为更小。 [0266] 即，能够减小拍摄部45的安装位置给检测结果带来的影响，能够降低对拍摄部45的安装位置要求的精度。另外，还能够抑制因拍摄部45的安装位置随时间变化引起的影响。 [0267] 这样，在该实施方式的精密定位动作中，在使拍摄部45的焦点对准设置在橡皮布BL上的空心图形即第二定位图案AP2上的状态下，在相同视场内拍摄该第二定位图案AP2和设置在基板SB上的第一定位图案AP1。并且，针对第二定位图案AP2通过包括边缘提取的图像处理来检测重心位置，另一方面针对第一定位图案AP1通过包括低通滤波处理的图像处理来检测重心位置。因此，作为第一定位图案AP1形成低的空间频率成分包括得多的实心图形。 [0268] 根据这样的结构，在该实施方式中，通过在焦点没有对准第一定位图案AP1的状态下进行拍摄，能够分别高精度地求出第一定位图案以及第二定位图案的重心位置。因此，能够基于这些对基板SB和橡皮布BL进行高精度的对位。根据本申请发明人的实验，确认到如下情况，即，在对在铅垂方向上隔开大约300μm的基板SB和橡皮布BL之间进行对位的情况下，能够将相互的位置偏移控制在数μm左右。 [0269] 而且，在该实施方式中，分别在基板SB以及橡皮布BL的相互对应的位置上设置多个定位图案，根据单独拍摄了这些定位图案的图像综合性地求出基板SB和橡皮布BL间的位置关系。这样，能够防止所拍摄的图像内的定位图案的位置检测误差、因拍摄单元的安装位置的变动引起的检测误差等所造成的降低精度。 [0270] D-3.定位标记的实例 [0271] 在上述的精密定位动作的原理说明中，为了便于理解，在基板SB上设置4处的定位标记分别由单独的实心矩形的定位图案APl形成，另一方面，在橡皮布BL上设置4处的定位标记分别由单独的空心矩形的定位图案AP2形成。这样原理上能够利用单独图形的定位标记来进行对位，但是在该实施方式中，使基板SB上的定位标记的多个定位图案AP1如下面那样排列。 [0272] 图28A以及图28B是示出定位标记的具体例的图。如图28A所示，在基板SB上形成的定位标记AMl是上述的实心矩形的定位图案APl排列多个而形成的图案。具体地讲，在定位标记AMl的中央部配置有纵向横向各3个总计9个相同形状的定位图案AP101～AP109。相邻的定位图案之间的间隔至少是各定位图案AP101等的一边的长度(50μm)的两倍，这里设为150μm。另外，以包围这样形成的各定位图案AP101～AP109的3×3矩阵的外侧的方式，还配置有4个定位图案AP111～AP114。另一方面，橡皮布BL上的定位标记AM2仅由单独的空心矩形即定位图案AP2形成，但是还可以由多个定位图案构成。 [0273] 能够利用基板SB上的总计13个定位图案AP101～AP109、AP111～AP114之中的某一个和橡皮布BL上的定位图案AP2，通过上述原理对基板SB和橡皮布BL进行对位。但是，在该实施方式中，利用与在之后的转印工序(图17的子步骤9-8)中转印至基板SB上的图案的材料相同的材料，在橡皮布BL表面上形成定位标记AM2，因此定位标记AM2与图案一起转印至基板SB。用于事后确认利用这一操作向基板SB上转印的图案转印位置的定位标记配置的一例示出在图28A中。 [0274] 如图28A所示，优选以在基板SB上的定位标记AMl和橡皮布BL上的定位标记AM2在各拍摄部45所拍摄的图像中相互不重叠的位置关系开始精密定位动作。这样，能够防止两个定位标记相互发生干涉而降低位置检测精度的情况。这些能够通过适当地设定预定位时的基板SB以及橡皮布BL的位置来实现。 [0275] 另一方面，转印工序时即进行了精密定位之后的基板SB和橡皮布BL间的位置关系如下，环状的第二定位图案AP2包围第一定位标记AMl中的内侧的定位图案AP101～AP109中的一个的周围。例如为如下面说明那样。此时更优选第二定位图案AP2的重心和被第二定位图案AP2包围的基板SB上的定位图案的重心一致。 [0276] 向基板SB的图案转印可以经过多次进行，由此能够在基板SB表面上形成多层图案。图28B示出进行了3次图案转印的情况的例子。在第一次的图案转印中，担载于橡皮布BL的定位图案AP21被转印并与基板SB上的一个定位图案AP101重叠。同样地，在第二次以及第三次的图案转印中，每次担载于橡皮布BL的定位图案AP22、AP23分别被转印并与基板SB上的定位图案AP102、AP103分别重叠。 [0277] 此时，若适当地进行精密定位，则从橡皮布BL转印至基板SB的定位图案的重心和被该定位图案包围的基板SB上的定位图案的重心应该一致。在图28B的例子中，在定位图案AP21和AP101之间、AP22和AP102之间维持这样的关系。另一方面，在定位图案AP23和AP103之间重心位置偏移。根据这些，事后能够确认在第三次的图案转印中因某些原因在基板SB和橡皮布BL之间存在微小的位置偏移的情况。在该例中，设置有9个定位图案AP101～AP109，因此能够在最多9次图案转印中判断每次的精密定位的成功与否。 [0278] 这样，定位图案AP101～AP109具有基板SB上的用于确认图案所转印的位置的位置基准的基准标记的功能。此外，这样被从橡皮布BL转印的定位图案AP21等包围周围的基板SB上的定位图案AP101等，不适合作为在之后的精密定位中的位置基准来使用。因为周围所转印的定位图案AP21等有可能成为位置检测时的干扰。即，可以说定位图案AP101～AP109在每次转印时被“消耗”一个。在本实施方式中，另外设置周围未转印来自橡皮布BL的定位图案的定位图案AP111～AP114，将这些定位图案AP111～AP114作为精密定位时的位置基准来消除上述的问题。 [0279] 接着，对定位图案AP2的形状进行说明。在该实施方式中，如图21B所示，利用外形为矩形(在该例中为正方形)的空心的图形作为定位图案AP2。在对准焦点的状态下拍摄定位图案AP2，因此这样的形状的比较自由度高。例如可以考虑使用圆环形状的图形等，但是在该情况下，如下面说明那样，存在如下问题，即，在定位图案为不完整的状态时重心位置的检测精度大幅降低。这样的图案的不完整度例如除了因橡皮布BL表面的伤或污渍等产生之外，还在如下等时产生，即，由涂敷在橡皮布BL上的液体形成定位图案的情况下，液体干燥不充分。 [0280] 图29A至图29D是示出有缺损的定位图案形状的例子的图。如图29A所示，在圆环形状的定位图案AP01中，在圆环的一部分产生了缺损D01时，根据观察的图案所掌握的重心位置与原来的重心位置偏移，另外由于图案的旋转对称性，难以从图像获取成为用于求出原来的重心位置的线索的信息。 [0281] 相对于此，在本实施方式的矩形的环状图形中，如图29B所示，即使一边有缺损D21，只要保存着相互平行的两边S21、S22，就能够准确地检测出重心位置。另外，如图29C所示，在具有包含一个顶点的缺损D22的情况下，只要保存着相邻的两边S23、S24，也能够准确地检测出重心位置。即使是更大的缺损，如图29D所示，只要保存着对角线上的两个顶点P21、P22，就能够准确地检测出原来的重心位置。 [0282] E.其他 [0283] 如上面说明那样，在该实施方式中，基板SB相当于本发明的“第一基板”以及“基板”，另一方面，橡皮布BL相当于本发明的“第二基板”以及“担载体”。并且，下载物台部5作为本发明的“保持单元”而发挥功能，其中吸附板51作为本发明的“担载体保持载物台”而发挥功能。另外，在该实施方式中，拍摄部45a～45d作为本发明的“拍摄单元”而发挥功能。另外，CPU61以及图像处理部65作为本发明的“位置检测单元”而发挥功能，另一方面，定位载物台44作为本发明的“定位单元”而发挥功能。 [0284] 另外，图25等中的矩形Rsb、Rbl分别相当于本发明的“第一图形”以及“第二图形”。 [0285] 另外，该实施方式的步骤S4(图12)以及步骤S8相当于本发明的“保持工序”，步骤S9相当于本发明的“拍摄工序”、“位置检测工序”以及“定位工序”。更具体地讲，图23的步骤S902相当于本发明的“拍摄工序”，步骤S903以及步骤S904相当于“位置检测工序”。并且，步骤S909以及步骤S910相当于本发明的“定位工序”。 [0286] 此外，本发明并不限于上述的实施方式，能够在不脱离其宗旨的范围内进行上述内容之外的种种变更。例如，在上述实施方式中示出的定位标记的形状仅仅是一例，只要满足本发明的要件能够采用上述以外的种种形状。但是，为了如上述那样降低因图案的缺损引起的重心位置的检测误差，优选为相对于重心在任意旋转角度点对称的图形，优选圆形或者圆环形状。 [0287] 另外，例如在上述实施方式中，在基板SB以及橡皮布BL的4个角部的附近形成有4组定位标记，但是定位标记的形成个数并不限定于此，是任意的。但是，为了修正围绕铅垂轴的位置偏移，优选使用形成在不同位置上的多组定位标记，更优选使这些定位标记处于尽量分离的位置。另外，为了控制因各照相机的位置偏移引起的误差，优选设置3组以上的定位标记。 [0288] 另外，在上述实施方式中，通过与图案形成材料相同的材料来形成橡皮布BL上的定位标记，但是这并不是必需的条件，例如可以预先在橡皮布BL上形成不转印至基板的定位标记。在该情况下，为了以高的位置精度向基板SB转印图案，担载于橡皮布BL上的图案的位置精度变得重要，因此在通过版PP在橡皮布BL上形成图案时，需要更精密对使版PP和橡皮布BL进行对位。 [0289] 另外，在上述实施方式中，通过将橡皮布BL上的定位图案AP21等转印至基板SB上的定位图案AP101等的周围，使转印位置的事后确认容易，但是这不是必需的要件。即，能够将橡皮布BL上的定位图案转印至基板SB的有效图案区域PR外的适当的位置。 [0290] 另外，在上述实施方式中，在作为本发明的转印装置的一个实施方式的印刷装置的内部在橡皮布BL上形成图案，但是本发明并不限定于此，例如也能够适用于搬入在外部形成了图案的橡皮布并向基板转印图案的装置。 [0291] 另外，例如上述实施方式的第二定位标记的图案形状为环状的空心矩形，但是不限于空心图形。例如可以是由周期性地配置的细线形成的重复图案。另外，虽然第一定位标记的图案形状也不限于实心图形，但是优选是即使除去高的空间频率成分重心位置也不变化的形状。 [0292] 另外，在上述实施方式中，基板SB和橡皮布BL间的距离大于CCD照相机CMa等的景深，因此成为不能够使焦点同时对准第一定位标记和第二定位标记的状态。本发明在这样的状况下也能够对基板SB和橡皮布BL进行高精度地对位，而且对于焦点同时对准两个定位标记的情况来说，也能够应用本发明的定位标记的图案形状，从而获得同样的作用効果。 [0293] 另外，在上述实施方式中，在将担载于作为本发明的“第二基板”的橡皮布BL的图案转印至作为“第一基板”的基板SB的装置中应用了本发明，但是本发明不仅适用于这样以转印图案为目的的基板之间的对位，例如也适用于粘接两张基板时的对位。 [0294] 本发明能够适用于要求在使第一基板和第二基板相向的状态下对两基板进行高精度地对位的技术领域。例如能够适用于要求对担载被转印物的担载体和被转印该被转印物的基板进行高精度地对位的技术领域。 |
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