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用于从衬底剥离供体膜的方法和设备
申请号	CN201210156948.7	申请日	2012-05-18	公开(公告)号	CN103009782A	公开(公告)日	2013-04-03
申请人	三星显示有限公司;			发明人	安耿显;
摘要	公开了用于从衬底剥离供体膜的方法和设备。在一个实施方式中，供体膜剥离设备包括：i）第一辊，位于供体膜的一侧；ii）第二辊，位于支撑物的一侧并位于与第一辊相对应的位置处；以及iii）第一和第二夹具，被配置为分别拖拽供体膜和支撑物。该设备还包括：i）第一和第二剥离辊，分别与第一和第二辊接合，以支撑所拖拽的供体膜和支撑物，并且第一和第二夹具所拖拽的供体膜和支撑物分别位于第一和第二剥离辊与第一和第二辊之间；以及ii）插入机构，位于第一剥离辊和第二剥离辊中的至少一个中并被插入粘合的供体膜和支撑物之间。
权利要求	1.一种用于从衬底剥离供体膜和支撑物的供体膜剥离设备，所述供体膜和所述支撑物通过位于其间的所述衬底彼此粘合，所述设备包括：第一辊，位于所述供体膜的侧面上；第二辊，位于所述支撑物的侧面上并位于与所述第一辊相对应的位置处；第一夹具，被配置为拖拽所述供体膜；第二夹具，被配置为拖拽所述支撑物；第一剥离辊，与所述第一辊接合，以使所拖拽的供体膜位于所述第一剥离辊与所述第一辊之间，以支撑所拖拽的供体膜；第二剥离辊，与所述第二辊接合，以使所拖拽的支撑物位于所述第二剥离辊与所述第二辊之间，以支撑所拖拽的支撑物；插入机构，位于所述第一剥离辊和所述第二剥离辊中的至少一个中并插入粘合的供体膜和支撑物之间。 2.如权利要求1所述的供体膜剥离设备，其中所述衬底是显示装置的显示单元。 3.如权利要求1所述的供体膜剥离设备，其中所述衬底是有机发光二极管显示器的显示单元。 4.如权利要求1所述的供体膜剥离设备，其中所述供体膜是用于激光热转印的供体膜。 5.如权利要求1所述的供体膜剥离设备，其中所述供体膜被配置为形成显示装置的彩色像素。 6.如权利要求5所述的供体膜剥离设备，其中所述显示装置是液晶显示器或有机发光装置。 7.如权利要求1所述的供体膜剥离设备，其中所述供体膜和所述支撑物中的每一个均由柔性膜形成。 8.如权利要求1所述的供体膜剥离设备，其中所述支撑物由聚合物膜形成。 9.如权利要求1所述的供体膜剥离设备，其中所述支撑物附贴至所述衬底，以作为被配置为在激光热转印期间保护所述衬底的支撑物。 10.如权利要求1所述的供体膜剥离设备，其中所述插入机构位于所述第一剥离辊和所述第二剥离辊中的至少一个的相对端。 11.如权利要求1所述的供体膜剥离设备，其中所述供体膜和所述支撑物中的每一个的面积均大于所述衬底的面积，所述供体膜和所述支撑物在所述衬底外的部分中彼此直接粘合，并且所述插入机构插入所述供体膜和所述支撑物彼此直接粘合的区域内。 12.如权利要求1所述的供体膜剥离设备，其中所述插入机构位于所述第一剥离辊和所述第二剥离辊中，并且所述插入机构包括位于所述第一剥离辊中的第一插入机构以及位于所述第二剥离辊中的第二插入机构。 13.如权利要求12所述的供体膜剥离设备，其中所述第一插入机构位于所述第一剥离辊的相对端处，所述第二插入机构位于所述第二剥离辊的相对端处。 14.如权利要求1所述的供体膜剥离设备，其中所述插入机构是刀刃或辊。 15.如权利要求14所述的供体膜剥离设备，其中所述辊具有从5mm至20mm的直径范围。 16.如权利要求1所述的供体膜剥离设备，还包括下列至少之一：i）被配置为卷绕所拖拽的供体膜的供体膜卷辊；ii）被配置为卷绕所拖拽的支撑物的支撑物层卷辊。 17.如权利要求1所述的供体膜剥离设备，还包括下列至少之一：第一轧辊，与所述第一剥离辊间隔并与所述第一辊接合，以使所拖拽的供体膜位于所述第一辊与所述第一轧辊之间，以支撑所拖拽的供体膜；以及第二轧辊，与所述第二剥离辊间隔并与所述第二辊接合，以使所拖拽的支撑物位于所述第二辊与所述第二轧辊之间，以支撑所拖拽的支撑物。 18.如权利要求17所述的供体膜剥离设备，其中所述第一剥离辊和所述第二剥离辊分别通过第一带和第二带与所述第一轧辊和所述第二轧辊相互配合，并且所述第一带和所述第二带分别与所述第一辊和所述第二辊接合，以支撑所拖拽的供体膜。 19.如权利要求18所述的供体膜剥离设备，其中所述第一带和所述第二带中的每一个均仅形成于与所述插入机构被插入的位置相对应的部分中。 20.如权利要求17所述的供体膜剥离设备，其中所述插入机构是辊，并且位于所述第一剥离辊或所述第二剥离辊的相对端处，并且所述第一轧辊、所述第一剥离辊、以及所述插入机构经由第一带相互配合，所述第二轧辊、所述第二剥离辊、以及所述插入机构经由第二带相互配合。 21.如权利要求20所述的供体膜剥离设备，其中所述第一带和所述第二带中的至少一个仅形成于与所述插入机构的宽度相对应的部分中。 22.一种从衬底剥离供体膜和支撑物的方法，所述供体膜和所述支撑物通过位于其间的所述衬底彼此粘合，所述方法包括：将所述供体膜和所述支撑物放置于第一辊与第二辊之间，其中所述供体膜和所述支撑物通过位于其间的所述衬底彼此粘合；经由第一夹具拖拽所述供体膜的远端部，并且经由第二夹具拖拽所述支撑物的远端部；使第一剥离辊与所述第一辊接合，以使所拖拽的供体膜位于所述第一剥离辊与所述第一辊之间；使第二剥离辊与所述第二辊接合，以使所拖拽的支撑物位于所述第二剥离辊与所述第二辊之间；将插入机构插入所述供体膜与所述支撑物之间；以及使所述第一辊和所述第二辊旋转并经由所述第一夹具和所述第二夹具分别拖拽所述供体膜和所述支撑物，并且传送所述衬底，以从所述衬底剥离所述供体膜和所述支撑物。 23.如权利要求22所述的方法，其中所述方法在腔室中执行。 24.如权利要求22所述的方法，其中所述第一剥离辊的接合与所述第二剥离辊的接合同时执行或相继执行。 25.如权利要求22所述的方法，其中所述第一剥离辊的接合与所述第二剥离辊的接合在真空环境下执行。 26.如权利要求22所述的方法，其中所述第一辊和所述第一剥离辊的转速对应于所述供体膜的拖拽速度。 27.如权利要求22所述的方法，其中所述第二辊和所述第二剥离辊的转速对应于所述支撑物的拖拽速度。
说明书全文	用于从衬底剥离供体膜的方法和设备技术领域 [0001] 所述技术通常涉及用于从衬底剥离供体膜的方法和设备，尤其涉及用于在激光热转印（LITI）处理期间从衬底剥离层压于衬底上的供体膜和支撑物的方法和设备。背景技术 [0002] 彩色平板显示器（诸如液晶显示器或有机发光二极管（OLED）显示器）通常包括用于向像素提供色彩的滤色器。用于形成滤色器的技术之一是激光热转印（laser induced thermal imaging）处理，简称为“LITI”。发明内容 [0003] 一个创造性方面是用于在供体材料从供体膜转移至衬底之后从衬底有效剥离所使用供体膜的方法和设备。 [0004] 另一个方面是用于剥离供体膜的方法和设备，通过该方法和设备，供体膜从衬底剥离而不在衬底上留下污点。 [0005] 另一个方面是从衬底剥离供体膜的方法和设备。 [0006] 另一个方面是从衬底剥离供体膜和支撑物的设备，供体膜和支撑物通过位于其间的衬底彼此粘合，以密封衬底。 [0007] 另一方面是用于从衬底剥离供体膜和支撑物的供体膜剥离设备，所述供体膜和所述支撑物通过位于其间的所述衬底彼此粘合，所述设备包括：第一辊，位于所述供体膜的侧面上；第二辊，位于所述支撑物的侧面上并位于与所述第一辊相对应的位置处；第一夹具，被配置为拖拽所述供体膜；第二夹具，被配置为拖拽所述支撑物；第一剥离辊，与所述第一辊接合，以使所拖拽的供体膜位于所述第一剥离辊与所述第一辊之间，以支撑所拖拽的供体膜；第二剥离辊，与所述第二辊接合，以使所拖拽的支撑物位于所述第二剥离辊与所述第二辊之间，以支撑所拖拽的支撑物；插入装置（或插入机构），位于所述第一剥离辊和所述第二剥离辊中的至少一个中并插入粘合的供体膜和支撑物之间。 [0008] 另一个方面是用于在通过使用供体膜的LITI方法执行转移之后剥离所使用的供体膜的设备。在一个实施方式中，通过使用供体膜的LITI方法的应用，单独的膜被引入作为支撑物，以通过供体膜和支撑物密封衬底，执行转移，并且随后剥离供体膜。 [0009] 根据一个实施方式，所述衬底是显示装置的显示单元。 [0010] 根据一个实施方式，所述衬底是有机发光二极管（OLED）显示器的显示单元。 [0011] 根据一个实施方式，所述供体膜是用于激光热转印（LITI）的供体膜。 [0012] 根据一个实施方式，所述供体膜被配置为形成显示装置的彩色像素。 [0013] 根据一个实施方式，所述显示装置是液晶显示器（LCD）或有机发光装置。 [0014] 根据一个实施方式，所述供体膜和所述支撑物具有柔性膜的形式。 [0015] 根据一个实施方式，所述支撑物由聚合物膜形成。 [0016] 根据一个实施方式，所述支撑物附贴至所述衬底，以作为被配置为在LITI期间保护所述衬底的支撑物。 [0017] 根据一个实施方式，所述插入装置位于所述第一剥离辊和所述第二剥离辊中的至少一个的相对端。 [0018] 根据一个实施方式，所述供体膜和所述支撑物中的每一个的面积均大于所述衬底的面积，所述供体膜和所述支撑物在所述衬底外的部分中彼此直接粘合，并且所述插入装置插入所述供体膜和所述支撑物彼此直接粘合的区域内。 [0019] 根据一个实施方式，所述插入装置位于所述第一剥离辊和所述第二剥离辊中，并且所述插入装置包括位于所述第一剥离辊中的第一插入装置以及位于所述第二剥离辊中的第二插入装置。 [0020] 根据一个实施方式，所述第一插入装置位于所述第一剥离辊的相对端处，所述第二插入装置位于所述第二剥离辊的相对端处。 [0021] 根据一个实施方式，所述插入装置是刀刃或辊。 [0022] 根据一个实施方式，第一插入装置和第二插入装置中的至少一个是刀刃。 [0023] 根据一个实施方式，第一插入装置和第二插入装置中的至少一个是辊。 [0024] 根据一个实施方式，所述辊具有从约5mm至约20mm的直径范围。 [0025] 根据一个实施方式，供体膜剥离设备还包括用于卷绕由第一夹具拖拽的供体膜的供体膜卷辊以及用于卷绕由第二夹具拖拽的支撑物的支撑物层卷辊。 [0026] 根据一个实施方式，供体膜剥离设备还包括下列至少之一：第一轧辊，与所述第一剥离辊间隔并与所述第一辊接合，以使所拖拽的供体膜位于所述第一辊与所述第一轧辊之间，以支撑所拖拽的供体膜；以及第二轧辊，与所述第二剥离辊间隔并与所述第二辊接合，以使所拖拽的支撑物位于所述第二辊与所述第二轧辊之间，以支撑所拖拽的支撑物。 [0027] 根据一个实施方式，所述第一剥离辊与所述第一轧辊通过第一带相互配合，并且所述第一带与所述第一辊接合，以支撑所拖拽的供体膜。 [0028] 根据一个实施方式，所述第一带仅形成于与所述插入装置被插入的位置相对应的部分中。 [0029] 根据一个实施方式，所述第二剥离辊与所述第二轧辊通过第二带相互配合，并且所述第二带与所述第二辊接合，以支撑所拖拽的支撑物。 [0030] 根据一个实施方式，所述第二带仅形成于与所述插入装置被插入的位置相对应的部分中。 [0031] 根据一个实施方式，供体膜剥离设备还包括第一轧辊，与所述第一剥离辊间隔并与所述第一辊接合，由第一夹具拖拽的供体膜位于所述第一辊与所述第一轧辊之间，以支撑所拖拽的供体膜，所述插入装置是辊，且位于所述第一剥离辊的相对端处，并且所述第一轧辊、所述第一剥离辊、以及所述插入装置通过第一带相互配合。 [0032] 根据一个实施方式，所述第一带仅形成于与所述插入装置的宽度相对应的部分中。 [0033] 根据一个实施方式，供体膜剥离设备还包括第二轧辊，与所述第二剥离辊间隔并与所述第二辊接合，由第二夹具拖拽的支撑物位于所述第二辊与所述第二轧辊之间，以支撑所拖拽的支撑物，所述插入装置是辊，且位于所述第二剥离辊的相对端处，并且所述第二轧辊、所述第二剥离辊、以及所述插入装置通过第二带相互配合。 [0034] 根据一个实施方式，所述第二带仅形成于与所述插入装置的宽度相对应的部分中。 [0035] 另一方面是通过利用供体膜剥离设备从衬底剥离供体膜和支撑物的方法，所述供体膜和所述支撑物通过位于其间的所述衬底彼此粘合。从衬底剥离供体膜和支撑物的方法包括：将所述供体膜和所述支撑物放置于第一辊与第二辊之间，其中所述供体膜和所述支撑物通过位于其间的所述衬底彼此粘合；经由第一夹具拖拽所述供体膜的远端部，并且经由第二夹具拖拽所述支撑物的远端部；使第一剥离辊与所述第一辊接合，以使所拖拽的供体膜位于所述第一剥离辊与所述第一辊之间；使第二剥离辊与所述第二辊接合，以使所拖拽的支撑物位于所述第二剥离辊与所述第二辊之间；将插入装置插入所述供体膜与所述支撑物之间；以及使所述第一辊和所述第二辊旋转并经由所述第一夹具和所述第二夹具分别拖拽所述供体膜和所述支撑物，并且传送所述衬底，以从所述衬底剥离所述供体膜和所述支撑物。 [0036] 根据一个实施方式，所述方法在腔室中执行。 [0037] 根据一个实施方式，对所述第一剥离辊的放置与所述第二剥离辊的放置同时执行，或先执行其中一个的放置。 [0038] 根据一个实施方式，所述第一剥离辊的放置与所述第二剥离辊的放置可在真空环境下执行，并执行后续步骤。 [0039] 根据一个实施方式，所述第一辊和所述第一剥离辊的转速对应于所述供体膜的拖拽速度。 [0040] 根据一个实施方式，所述第二辊和所述第二剥离辊的转速对应于所述支撑物的拖拽速度。附图说明 [0041] 图1示出供体膜剥离设备的示例； [0042] 图2示出彼此附贴的衬底、供体膜、以及支撑物的一部分； [0043] 图3示出通过吹氮气或空气剥离供体膜的方法的示例； [0044] 图4示出根据一个实施方式的供体膜剥离设备； [0045] 图5示出第一辊、第一剥离辊、以及形状像刀刃的第一插入装置； [0046] 图6示出第一辊、第一剥离辊、以及充当第一插入装置的辊； [0047] 图7示出进一步包括供体膜卷辊和支撑物层卷辊的供体膜剥离设备的示例； [0048] 图8示出进一步包括第一轧辊和第二轧辊的供体膜剥离设备的示例； [0049] 图9示出第一辊、第一剥离辊、第一插入装置、以及第一轧辊； [0050] 图10示出沿着第一剥离辊和第一轧辊的整个长度形成的第一带、第一辊、第一剥离辊、第一插入装置、以及第一轧辊； [0051] 图11示出沿着第一剥离辊和第一轧辊的整个长度形成的第一带、第一剥离辊、第一插入装置、以及第一轧辊； [0052] 图12示出第一剥离辊、第一插入装置、以及仅形成于与第一插入装置被插入的位置相对应的部分处的第一带和第一轧辊的示例； [0053] 图13示出包括辊、剥离辊、轧辊、以及形状像辊的插入装置的供体膜剥离设备的示例，其中剥离辊、轧辊、以及形状像辊的插入装置通过带相互配合； [0054] 图14示出第一辊、第一剥离辊、第一轧辊、以及形状像辊的插入装置；以及[0055] 图15示出第一剥离辊、轧辊、形状像辊的第一插入装置、以及仅形成于与第一插入装置被插入的位置相对应的部分处的第一带的示例。具体实施方式 [0056] 图1示意性示出LITI方法的示例。具体地，首先将供体膜12置于衬底10上。在制造滤色器的过程中，衬底10通常由具有平面形状的玻璃形成。供体膜12通常是与衬底10相比较薄且较柔性的薄片。供体膜12通常由例如塑料形成。供体膜12包含供体材料。典型的供体材料包括用于制造滤色器的着色剂、颜料等。 [0057] 在已经通过激光热处理将供体材料从供体膜12转移至衬底10之后，将已使用的供体膜12从衬底10移除。例如，在制造滤色器的过程中，常常使用用于在衬底10上施加红色着色剂的供体膜、用于在衬底10上施加绿色着色剂的供体膜、以及用于在衬底10上施加蓝色着色剂的供体膜。在使用之后，在后续供体膜被施加至该衬底之前将各供体膜从衬底10移除。 [0058] 虽然转移的供体材料应完全粘合至衬底10的相应部分，但有时它们仅部分粘合至供体膜。就此而言，部分粘合会使供体膜12从衬底10上的剥离出现困难。 [0059] 图1示出用于通过使用辊从衬底10上剥离供体膜12的设备。该设备包括：剥离辊20；卷辊30，其包括用于将供体膜的第一部分（包括供体膜的边缘）固定至卷辊30的固定机构；机架40，其用于支撑剥离辊20和卷辊30，使得剥离辊20可相对于机架40旋转并使得卷辊30可相对于机架40运动和旋转；以及控制器（未示出）。此外，控制器促使机架40相对于衬底10运动，使得剥离辊20位于供体膜12的第二部分附近。该第二部分与供体膜12的边缘间隔，并且该第二部分的附近足够靠近供体膜12，以使供体膜12的第二部分与衬底10之间保持接触状态。 [0060] 在图1中，在剥离辊20的位置被保持在供体膜12的第二部分附近时，控制器促使卷辊30相对于衬底10运动，以使卷辊30和供体膜12固定至卷辊30的第一部分远离衬底10运动，并且促使剥离辊20相对于衬底10沿与衬底10相切的方向运动，以使卷辊30围绕卷辊30的轴线旋转，从而从衬底10上剥离供体膜12的至少可观的一部分。 [0061] 图1的设备适于供体膜简单地层压于衬底上的构造。并且，在图2所示的当今的LITI处理中，供体膜110层压于衬底上，并且与承载支撑物120匹配并密封衬底。因此，剥离供体膜的方法包括通过在供体膜与衬底之间吹氮气或空气（见图3）剥离供体膜的方法，或者通过典型辊上的夹具的张力简单地剥离供体膜的方法。 [0062] 然而，在供体膜与衬底之间吹氮气或空气的方法中，由于供体膜在被密封于托盘上之后被层压，故难以通过使用辊来控制诸如调整供体膜与衬底之间的剥离角度的过程。此外，由于应朝着层压于衬底上的膜吹氮气或空气，故该方法会对衬底和转移质量造成影响。特别地，如果剥离和吹气不被均匀地执行，则可能因瞬间产生气泡等导致剥离污点。 [0063] 并且，在简单使用张力的方法中，难以均匀地控制施加至夹具和辊部件的力，并且膜可能因通过夹具牵拉供体膜的速度与用于剥离的辊的转速之间的细微差别而无法紧密地附贴至辊，从而导致剥离的失败，等等。 [0064] 下面，将参照附图更加详细地描述实施方式。 [0065] 在整个说明书中，相同的参考标号指示相同或相似的元件。本发明中的术语仅被用来描述具体实施方式，并且不旨在限制本发明的范围。除非另外指出，否则单数形式的表达包括复数形式的表达。 [0066] 一个实施方式是用于从衬底上剥离供体膜和支撑物的供体膜剥离设备，其中供体膜和支撑物通过位于其间的衬底彼此粘合。图4示出根据一个实施方式的供体膜剥离设备。该设备包括：i）第一辊210，设置于供体膜的一侧上；ii）第二辊220，设置于支撑物的一侧上并位于与第一辊210相对应的位置处；iii）第一夹具310，用于拖拽供体膜；以及iv）第二夹具320，用于拖拽支撑物。该设备还包括：i）第一剥离辊410，与第一辊210接合以支撑所拖拽的供体膜，由第一夹具310所拖拽的供体膜位于第一剥离辊410与第一辊210之间；ii）第二剥离辊420，与第二辊220接合以支撑所拖拽的支撑物，由第二夹具320所拖拽的支撑物位于第二剥离辊420与第二辊220之间；iii）插入装置（或插入机构）510或520，位于第一和第二剥离辊410和420中的至少一个中并插入粘合的供体膜与支撑物之间。 [0067] 虽然供体膜剥离设备不仅可剥离供体膜110，也可以剥离支撑物120，其中供体膜110和支撑物120通过位于供体膜110与支撑物120之间的衬底100彼此粘合，但为了方便起见，该设备被称为供体膜剥离设备。 [0068] 插入装置可位于第一和第二剥离辊410和420中的至少一个中。然而，图4示出了辊410和420中均设置有插入装置的示例。例如，位于第一剥离辊410中的插入装置是第一插入装置510，位于第二剥离辊420中的插入装置是第二插入装置520。图4所示的插入装置510和520具有类似刀刃的形状。 [0069] 衬底100可以是在其中设置显示装置的显示单元的衬底。也就是说，衬底100可以是用于在制造显示面板时形成薄膜晶体管（TFT）、电极、发光单元或液晶显示器的玻璃衬底。在这种情况下，TFT、电极等可形成在衬底100上。特别地，衬底100可以是用于OLED显示器的衬底。 [0070] 供体膜110可以是用于LITI的供体膜。也就是说，供体膜剥离设备可用作用于在使用用于LITI的供体膜对衬底的相应区域执行LITI之后剥离供体膜的设备。 [0071] 在这种情况下，供体膜可以是用于形成显示装置的彩色像素的供体膜。通过使用电力电子方法，包括但不限于LCD和有机发光装置的任何显示装置都能够用于显示图像。 [0072] 为了描述的简单化，此后将基于供体膜剥离设备来描述各个元件，其中使供体膜110位于衬底100上，执行LITI，随后从衬底100剥离供体膜110，从而在有机发光装置中形成彩色像素。 [0073] 支撑物120位于衬底100的相对表面。支撑物120附贴至衬底100，从而其可充当用于在LITI处理中保护衬底的承载支撑物。支撑物120主要用作承载支撑物，故其也被称为承载支撑物。 [0074] 参照图4，供体膜110和支撑物120具有柔性膜的形式。支撑物120可由聚合物膜形成。插入装置可位于第一剥离辊410和第二剥离辊420中的至少一个的相对端。 [0075] 参照图4，第一和第二剥离辊410和420中设置有插入装置510和520，并且还能够看到，插入装置510和520位于辊410和420中的每一个的另一端。也就是说，第一插入装置510位于第一剥离辊410的相对端，第二插入装置520位于第二剥离辊420的相对端。 [0076] 这里，参照衬底100、供体膜110和支撑物120的附贴状态，供体膜110通过衬底100粘合至支撑物120，衬底100位于供体膜110与支撑物120之间，并且LITI在供体膜被密封的情况下执行。就这一点而言，衬底100、供体膜110和支撑物120的附贴状态的一部分能够被涉及。 [0077] 用于LITI的供体膜110和支撑物120具有比衬底100的面积更大的面积，并且在衬底100外部的区域中彼此直接附贴。在图2中，部分“A”是供体膜110和支撑物120彼此直接粘合的部分，而部分“A”和“B”对应于衬底100外部的区域。 [0078] 为了将供体膜110和支撑物120从衬底100上方便地剥离，优选地使它们在图2的部分B中彼此分离。需要在供体膜和支撑物被夹具拖拽之前事先使供体膜和支撑物在部分B中彼此分离，并使夹具牵拉供体膜或支撑物时所产生的张力均匀。如果该张力不均匀，则从衬底剥离供体膜的力也可能是不均匀的。因此，待转移的部分和不转移的部分无法无缺陷地分离，从而在衬底上生成污点。 [0079] 作为参考，为了从衬底上无缺陷地剥离供体膜，当从衬底上剥离供体膜时，通过第一辊与第一剥离辊的接合推动供体膜的力与通过第一夹具牵拉供体膜的力应保持平衡。然而，在图2的部分A中，供体膜110相对强力地粘合至支撑物120。因此，拖拽部分A中的供体膜所需的力会与拖拽另一部分中的供体膜的所需的力不同。因此，通过使用插入装置在部分A中从支撑物分离供体膜，能够将拖拽供体膜所需的力调整为相似水平。 [0080] 在从衬底100剥离供体膜110的过程中，气体可能存在于衬底100与供体膜110之间或存在于衬底100与支撑承载物120之间。此外，空气等可能被引入衬底100与供体膜110之间的间隙或衬底100与支撑物120之间的间隙内。例如，如图3所示，空气可能通过图2中的部分B的空间被引入130。这种空气进入在图3中通过箭头130示意性地指示。 [0081] 在一个实施方式中，第一和第二辊210和220被用于从衬底剥离供体膜的过程中，并且这两个辊210和220中的每一个均用于朝着衬底挤压供体膜和支撑物。在这种情况下，存在于衬底与供体膜之间或衬底与支撑物之间的气体也可能流动至其它部分140、141和142，并且这种气体流动会在衬底的转移表面上产生污点等。例如，当气体流动至供体膜的转移部分与非转移部分之间的边界时，妨碍转移部分和非转移部分适当地彼此分离或导致转移层在不是期望边界的区域中分离，会在衬底的转移表面上产生污点。 [0082] 因此，如果通过插入装置510和520使部分A中的供体膜110和支撑物120分离并且执行抽真空，则可避免气体不再进一步进入衬底与供体膜之间并且可以移除存在于衬底与供体膜之间的气体。也就是说，能够防止空气由于图3中的箭头所指示的空气引入130和131而被推动至140、141和142。 [0083] 插入装置应在供体膜110直接粘合至支撑物120的部分A中插入供体膜110与支撑物120之间。插入装置可具有使其可方便且平稳地插入粘合部内的形状。例如，插入装置的形状可被设置为像刀刃或辊一样。也就是说，插入装置可以是刀刃或辊。 [0084] 插入装置510和520中的至少一个可以是刀刃。也就是说，插入装置510和520均可以是刀刃或者插入装置510和520中仅有一个可以是刀刃。 [0085] 图4示出供体膜剥离设备的示例，其中第一和第二插入装置510和520的形状均为像刀刃一样。 [0086] 图5示出第一辊210、第一剥离辊410、以及位于第一剥离辊410中的刀刃形第一插入装置510。 [0087] 第一和第二插入装置510和520中的至少一个可以是辊。也就是说，插入装置510和520均可以是辊或两个插入装置510和520中仅有一个可以是辊。 [0088] 图6示出第一辊210、第一剥离辊410、以及位于第一剥离辊410中的辊形第一插入装置910。 [0089] 在一个实施方式中，辊形第一插入装置910的直径大小被设置为使辊在供体膜110直接粘合至支撑物120的部分A中插入供体膜110与支撑物120之间。在另一种实施方式中，辊形第一插入装置910的直径大小被设置为避免辊的旋转困难并防止辊损坏或弯曲。辊910的直径可为约5mm至约20mm。 [0090] 供体膜剥离设备还包括用于卷起由第一夹具所拖拽的供体膜的至少一个供体膜卷辊610以及用于卷起由第二夹具所拖拽的支撑物的支撑物层卷辊620。 [0091] 图7示出包括供体膜卷辊610和支撑物层卷辊620的供体膜剥离设备的示例。图7中未示出夹具。 [0092] 供体膜剥离设备还包括至少一个第一轧辊710和第二轧辊720，该至少一个第一轧辊710与第一剥离辊410间隔并与第一辊210接合，以支撑所拖拽的供体膜110，并且由第一夹具310所拖拽的供体膜110位于第一辊210与第一轧辊710之间，第二轧辊720与第二剥离辊420间隔并与第二辊220接合，以支撑所拖拽的支撑物120，并且由第二夹具320所拖拽的支撑物120位于第二辊220与第二轧辊720之间。 [0093] 图8和13示出包括第一轧辊710和第二轧辊720的供体膜剥离设备的示例。图9示出第一辊210、第一剥离辊410、位于第一剥离辊410中的刀刃形第一插入装置510、以及第一轧辊710。 [0094] 参照图1和8，第一剥离辊和第一轧辊通过第一带810相互配合。在这种情况下，第一带810与第一辊接合，以支撑所拖拽的供体膜。 [0095] 参照图8，第二剥离辊420和第二轧辊720通过第二带820相互配合，并且第二带820与第二辊220接合，以支撑所拖拽的支撑物120。 [0096] 第一带810和第二带820可基本沿着剥离辊和轧辊的整个长度形成，或者可仅在剥离辊和轧辊的整个长度中与插入装置被插入的位置相对应的部分处形成。 [0097] 图10示出第一辊210、第一剥离辊410、位于第一剥离辊410中的刀刃形第一插入装置510、以及第一轧辊710。第一剥离辊410和第一轧辊710通过第一带810相互配合，并且第一带810沿着剥离辊和轧辊的整个长度形成。 [0098] 图11示出第一剥离辊410、位于第一剥离辊410中的刀刃形第一插入装置510、第一轧辊710、以及沿着第一剥离辊410和第一轧辊710的整个长度形成的第一带810。 [0099] 第一轧辊和第二轧辊充当第一剥离辊和第二剥离辊的辅助支撑件。因此，第一轧辊和第二轧辊可以不形成于与第一剥离辊和第二剥离辊的整个长度相对应的长度中。在供体膜110和支撑物120被拖拽时，即使第一轧辊和第二轧辊仅在其相对的宽度方向上的端部处支撑供体膜110和支撑物120，也能够获得良好的拖拽特性。 [0100] 图12示出第一剥离辊410、位于第一剥离辊410中的刀刃形第一插入装置510、第一轧辊710、以及第一带810。可以看到，第一轧辊710和第一带810仅在与插入装置被插入的位置相对应的部分处形成。 [0101] 图13示出供体膜剥离设备的示例，除了第一辊210和第一剥离辊410之外，该供体膜剥离设备还包括第一轧辊710和辊910，第一轧辊710与第一剥离辊410间隔并与第一辊210接合，以支撑所拖拽的供体膜110，并且由第一夹具310所拖拽的供体膜110位于第一辊210与第一轧辊710之间，辊910充当第一插入装置。在这种情况下，充当第一插入装置的辊910位于第一剥离辊410的相对端，第一轧辊710、第一剥离辊410、以及充当第一插入装置的辊910通过第一带810相互配合。 [0102] 图14示出第一辊210、第一剥离辊410、第一轧辊710、以及充当第一插入装置的辊910。图15示出第一轧辊710、第一剥离辊410、以及充当第一插入装置的辊910通过第一带810相互配合的状态。第一带810仅在与充当第一插入装置的辊910的宽度相对应的部分中形成。第一轧辊710可形成为具有与第一剥离辊410的长度相对应的长度（见图15），或可仅在与充当第一插入装置的辊910被插入的位置相对应的部分中形成。 [0103] 根据一个实施方式，除了第二辊220和第二剥离辊420之外，供体膜剥离设备还包括第二轧辊720，第二轧辊720与第二剥离辊420间隔并与第二辊220接合，以支撑所拖拽的支撑物120，并且由第二夹具320所拖拽的支撑物120位于第二辊220与第二轧辊720之间。充当第二插入装置的辊920位于第二剥离辊420中，并且第二轧辊720、第二剥离辊420、以及充当第二插入装置的辊920通过第二带820相互配合。在这种情况下，第二带820可在与充当第二插入装置的辊920的宽度相对应的部分中形成。 [0104] 还能够通过下面所述的方法将通过位于其间的衬底彼此粘合的剥离供体膜和支撑物从衬底剥离。 [0105] 首先，将通过位于其间的衬底彼此粘合的供体膜和支撑物的粘合体置于第一辊与第二辊之间。从通过位于其间的衬底彼此粘合的供体膜和支撑物的粘合体的端部，使用第一夹具拖拽供体膜的远端部，并且使用第二夹具拖拽支撑物的远端部。第一剥离辊被设置为使第一剥离辊与第一辊接合，并且所拖拽的供体膜位于第一剥离辊与第一辊之间，第二剥离辊被设置为使第二剥离辊与第二辊接合，并且所拖拽的支撑物位于第二剥离辊与第二辊之间。将插入装置插入供体膜与支撑物之间，使第一辊和第二辊旋转，通过第一夹具和第二夹具拖拽供体膜和支撑物并传送衬底，以从衬底剥离供体膜和支撑物。 [0106] 从衬底剥离供体膜和支撑物的过程可在腔室中执行。在这种情况下，第一剥离辊和第二剥离辊是否同时设置或者先设置它们中的哪一个都不重要。第一剥离辊和第二剥离辊可位于真空环境下进行后续步骤。 [0107] 此外，第一辊和第一剥离辊的转速可对应于供体膜的拖拽速度。类似地，第二辊和第二剥离辊的转速可对应于支撑物的拖拽速度。 [0108] 根据所公开的实施方式中的至少一个，用于剥离供体膜的设备可基本均匀地保持卷角、剥离力、以及剥离供体膜时的张力，可在真空状态下剥离供体膜，并且可同时剥离上膜和下膜。 [0109] 此外，该设备能够解决在卷绕剥离时产生污点的问题，并能够避免EL的撕下以及由突然的剥离操作所导致的对衬底中的有机EL的破坏，因此也防止了剥离失败。此外，固定装置可单独地设置在供体膜剥离设备的每个辊中。 [0110] 虽然已经参照附图对上述实施方式进行了描述，但本领域技术人员应理解，在不背离所附权利要求的范围和精神的情况下，可以进行各种修改、增加和替换。

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