层压方法及层叠体 |
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| 申请号 | CN201480010342.X | 申请日 | 2014-02-05 | 公开(公告)号 | CN105026130A | 公开(公告)日 | 2015-11-04 |
| 申请人 | 富士胶片株式会社; | 发明人 | 佐藤弘司; 筱塚智之; | ||||
| 摘要 | 本 发明 的目的是提供能够降低 基板 的膜厚的不均而得到高 精度 的膜厚精度、此外通用性高、能够抑制成本的上升的 层压 方法及层叠体。本发明的层压方法具有将基板和 支撑 体以规定的搬运路径进行搬运并将支撑体贴附到基板的主表面上的贴附工序、和在贴附工序之后使 粘合剂 固化 的固化工序，贴附工序是依次经过两对以上的夹持辊对之间而将基板与支撑体贴附的工序，关于两对以上的夹持辊对，将配置于下游的夹持辊对的夹持间隔设定为配置于上游的夹持辊的夹持间隔以下。 | ||||||
| 权利要求 | 1.一种层压方法，其特征在于，其是在非金属基板上贴合支撑体的层压方法，具有以下工序： |
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| 说明书全文 | 层压方法及层叠体技术领域背景技术[0002] 对于橡胶片材或树脂片材而言，存在若膜厚的不均大则品质产生不均的问题。因此，提出了各种在制造橡胶制的片材时使橡胶片材的膜厚精度提高的制造方法。 [0003] 例如，专利文献1中记载了一种橡胶片材的制造方法，其是通过将橡胶材料载置于载体片材上，在多个压延辊间压延成规定的厚度，并将压延片材在一对热板间进行加压和加热而硫化来制造橡胶片材的方法，其中，热板的与压延片材抵接一侧仅由平面构成，且2 按照面压达到300～1200N/cm的方式对压延片材进行加压。记载了由此可以使厚度精度为±15％以下。 [0004] 此外，专利文献2中记载了一种硅橡胶片材的制造方法，其使用具备模具的离心成形机，向模具内注入常温下的粘度为0.1～100Pa·s的液状硅橡胶，将模具以规定的转速在常温下旋转规定的时间后，边加热至规定的温度并旋转规定的时间，边沿着模具内周面使液状硅橡胶固化。记载了由此膜厚精度以幅度(range)计达到6.7％。 [0005] 此外，还提出了各种使橡胶片材以外的树脂制片材的膜厚精度提高的制造方法。 [0006] 例如，专利文献3中记载了一种聚缩醛树脂制片材的制造方法，其包括将聚缩醛树脂在挤出机中制成熔融状态并使其从T型歧管模熔出的工序、及将聚缩醛树脂以旋转的成形辊和沿着该成形辊的外周面的一部分以圆弧状旋转的径向上可挠的薄壁管制的筒状的成形滚筒夹压并连续地进行成形加工的工序，控制成形辊、成形滚筒、气隙(从T型歧管模出口至以成形辊和成形滚筒夹压熔融树脂的点为止的距离)。记载了由此可以使膜厚精度以幅度计为2.5％～9.5％。 [0007] 此外，专利文献4中记载了一种涂敷用模头，其具有喷出涂布液的狭缝、和在狭缝的前端两侧与狭缝几乎成直角地形成的唇部，对唇部的表面实施镜面磨削加工而使表面粗糙度为Rmax0.2S以下，对前端侧面实施含有氟树脂的非电解镀镍处理而增大前端侧面上的相对于涂布液的接触角，使前端侧面与唇部的边界线的直线度及相对于狭缝的平行度为2μm/m以下，使前端侧面及唇部的边界区域中的接触角较大的区域与较小的区域的边界线和前端侧面与唇部的边界线的偏差为2μm以下。记载了由此可以使膜厚精度为±1.5％以内(以幅度计为3％)。 [0008] 此外，以往，作为以橡胶片材或树脂片材作为基板在基板上贴附支撑体的层压方法，已知有例如如专利文献5中记载的那样通过压延辊(夹持辊)将支撑体与基板压接而进行层压的方法。 [0009] 现有技术文献 [0010] 专利文献 [0011] 专利文献1：日本专利第4368654号公报 [0012] 专利文献2：日本专利第4739558号公报 [0013] 专利文献3：日本特开2009-279909号公报 [0014] 专利文献4：日本专利第4601918号公报 [0015] 专利文献5：日本专利第4989787号公报 发明内容[0016] 发明所要解决的课题 [0017] 然而，通过专利文献1及2中记载的方法得到的膜厚精度对于要求高精度的用途并不充分。 [0018] 此外，专利文献3及4中记载的方法虽然可得到高精度的膜厚精度，但存在设备上的制约大、没有通用性、或者需要特殊加工而成本增加的问题。 [0019] 此外，已知如专利文献5中记载的那样将橡胶片材或树脂片材进行层压，但通过层压来修正膜厚的不均是未知的。 [0020] 本发明的目的在于解决这样的现有技术的问题，在于提供能够降低非金属基板的膜厚的不均而得到高精度的膜厚精度、此外通用性高、能够抑制成本的上升的层压方法及层叠体。 [0021] 用于解决课题的方案 [0022] 为了解决该课题，本发明提供一种层压方法，其特征在于，其是在非金属基板上贴合支撑体的层压方法，具有以下工序：在非金属基板的一个主表面上涂布粘合剂的涂布工序；将非金属基板和支撑体以规定的搬运路径进行搬运，并将支撑体贴附到非金属基板的一个主表面上的贴附工序；和在贴附工序之后使粘合剂固化的固化工序，贴附工序是依次经过两对以上的夹持辊对之间而将非金属基板与支撑体贴附的工序，关于两对以上的夹持辊对，将配置于下游的夹持辊对的夹持间隔设定为配置于上游的夹持辊对的夹持间隔以下。 [0023] 其中，即将进行贴附工序前的、涂布于非金属基板的一个主表面上的粘合剂的表面的表面粗糙度指标的最大高度Rmax优选为200μm以下。 [0024] 此外，至少最下游的夹持辊对的一个夹持辊优选具有加热单元。 [0025] 此外，两对以上的夹持辊对的各夹持辊的直径优选为150mm～500mm。 [0026] 此外，即将进行贴附工序前的涂布于非金属基板的一个主表面上的粘合剂的平均厚度优选为50μm～300μm。 [0027] 此外，即将进行贴附工序前的粘合剂的粘度优选为0.001Pa·s～100Pa·s。 [0028] 此外，非金属基板的材质优选为橡胶，非金属基板的厚度优选为400μm～6000μm。 [0029] 此外，非金属基板的弹性模量优选为0.5N/mm2～5.0N/mm2。 [0030] 此外，粘合剂优选为光固化性的粘合剂。 [0031] 此外，两对以上的夹持辊对优选分别具有调整夹持间隔的机构。 [0032] 此外，为了解决上述课题，本发明提供一种层叠体，其特征在于，其具有厚度为400μm～6000μm的非金属基板、层叠于非金属基板的一个主表面上的厚度为50μm～ 300μm的粘合剂层、和层叠于粘合剂层上的支撑体，非金属基板与粘合剂层的界面的表面粗糙度指标的最大高度R0与非金属基板的平均厚度d0之比R0/d0为5％～30％，支撑体的表面的表面粗糙度指标的最大高度R1与非金属基板、粘合剂层及支撑体的整体的平均厚度d之比R1/d为0.5％～2.5％。 [0033] 此外，非金属基板的材质优选为橡胶，非金属基板的弹性模量优选为0.5N/mm2～2 5.0N/mm。 [0034] 此外，优选在非金属基板的另一个主表面上粘合有覆盖膜。 [0035] 发明效果 [0037] 图1是表示本发明所述的层压方法的一个例子的流程图。 [0038] 图2是概念性地表示通过本发明的层压方法制作的层叠体的截面图。 [0039] 图3是概念性地表示实施图1中所示的层压方法的层压装置的构成的一个例子的图。 [0040] 图4是概念性地表示供给于夹持部之前的基板及粘合剂层的截面图。 [0041] 图5是概念性地表示图3的第1夹持部的构成的图。 [0042] 图6是用于说明层叠体的膜厚精度的概念性截面图。 [0043] 图7是概念性地表示粘合有覆盖膜的层叠体的截面图。 具体实施方式[0044] 以下基于所附的附图中所示的实施方式对本发明所述的层压方法进行详细说明。 [0045] 图1是表示本发明的层压方法的实施方式的一个例子的流程图，图2是概念性地表示通过图1中所示的制造方法制作的层叠体的截面图，图3是概念性地表示实施图1中所示的制造方法的层压装置的一个例子的图。 [0046] 如图1中所示的那样，本发明的层压方法依次进行以下工序：在以规定的搬运路径进行搬运的基板16上涂布粘合剂的涂布工序S200；将涂布有粘合剂的基板16和以规定的搬运路径进行搬运的支撑体14夹入进行挤压(夹持1)而贴合的第1夹持工序S202；将粘贴的基板16和支撑体14进一步夹入并进行挤压的第2夹持工序S204及第3夹持工序S206；以及使粘合剂固化的固化工序S208。 [0047] 此外，通过本发明的制造方法得到的层叠体如图2中所示的那样由在表面具有凹凸的基板16、层叠于基板16上的粘合剂层18和层叠于粘合剂层18上的支撑体14构成，将基板16表面的凹凸以粘合剂层18包埋而具有平滑的面。关于层叠体10，在后面详细叙述。 [0048] 此外，如图3中所示的那样，层压装置20具有：搬运基板16的基板搬运部22、进行涂布工序S200的粘合剂涂布部24、搬运支撑体14的支撑体搬运部26、具有进行第1夹持工序S202的第1夹持部40、进行第2夹持工序S204的第2夹持部42及进行第3夹持工序S206的第3夹持部44的夹持部28和进行固化工序S208的光照射部30。 [0049] 其中，本发明中使用的基板16只要是非金属的基板则没有特别限定，但优选为由橡胶片材或树脂片材构成的基板。本发明由于相对于具有膜厚不均的基板更加有效，所以更加适合于使用膜厚容易产生不均的橡胶片材作为基板的情况。 [0050] 另外，作为本发明中使用的橡胶片材，没有特别限定，可以利用通过各种公知的方法制造的橡胶片材。即，橡胶片材可以通过压缩成形、传递模塑成形、注塑成形、挤出成形、离心成形等公知的方法来制造。具体而言，记载于日本橡胶协会志vol.68(1995)p76～85、p108～118、vol.69(1996)p375～383中。此外，关于材料，可以使用“橡胶·塑料配合药品改订第二版”(Rubber Digest Co.，Ltd.)中记载的材料。 [0051] 另外，本发明相对于膜厚较厚、表面的凹凸变大的橡胶片材、例如作为印刷版的原版使用的橡胶片材可以更加适宜地利用。或者，可以适宜利用于精密印刷用橡皮布(blanket)、OA设备用的中间转印体等。 [0052] 此外，作为基板16，可以适宜利用通过涂设于流延传送带上进行成形的制造方法制造的基板。通过这样的制造方法制造的基板虽然与传送带的接触面平滑地形成，但是上表面因流延不均、干燥风的影响而产生大的凹凸。本发明由于即使是大的凹凸也能够适宜地包埋，所以可以更加适宜地适用于这样的橡胶片材。 [0053] 此外，本发明可以适宜地适用于厚度为400μm～6000μm的范围的基板16。 [0054] 此外，本发明可以更加适宜地适用于弹性模量为0.5N/mm2～5.0N/mm2的橡胶片材。 [0056] 此外，本发明中使用的树脂片材也没有特别限定，可列举出例如硅酮树脂、氟系树脂、PET膜、PP膜等。此外，作为基板16，可以利用通过各种公知的方法制造的树脂片材。例如，树脂片材可以通过专利文献3～5中记载的公知的方法来制造。 [0057] 此外，基板16并不限定于由1层构成的基板，也可以是将多个膜层叠而成的片材。 [0058] 以下，通过对层压装置20的各部进行说明，对本发明的层压方法进行说明。 [0059] 基板搬运部22是将从基板辊34开卷的长条的基板16以规定的搬运路径沿基板16的长度方向进行搬运的部位。 [0060] 基板搬运部22具有安装基板辊34的旋转轴32、和将基板16以规定的搬运路径进行引导的多个导辊。 [0061] 基板辊34若安装于旋转轴32上，则基板16被多个导辊引导，并贯通(插通)依次经过粘合剂涂布部24、夹持部28、光照射部30的规定的路径。基板16通过驱动用辊(未图示)等搬运单元在规定的路径上进行搬运。 [0062] 其中，如图3中所示的那样，在层压装置20中，在基板16的搬运路径上，自上游侧起依次配置有粘合剂涂布部24、夹持部28、光照射部30。 [0063] 在层压装置20中，将基板16从基板辊34送出，边将长条的基板16以规定的搬运路径沿长度方向进行搬运，边利用配置于基板16的搬运路径上的各部在基板16上层压支撑体。 [0064] 另外，基板16优选利用驱动用辊等搬运单元来控制速度，以一定速度进行搬运。 [0065] (涂布工序S200) [0066] 粘合剂涂布部24是进行涂布工序S200的部位。具体而言，粘合剂涂布部24在基板16的主表面(支撑体14侧的面)上涂布规定厚度的粘合剂。 [0067] 其中，粘合剂涂布部24优选以凹版涂布方式涂布粘合剂。通过以凹版涂布方式涂布粘合剂，能够将粘合剂更均匀地、即按照粘合剂的表面变得平滑的方式进行涂布。特别是在基板16的宽度方向上，能够均匀地涂布粘合剂。 [0068] 作为进行凹版涂布方式的涂敷机，可列举出例如直接凹版涂布机、腔室刮刀涂布机、胶版凹版涂布机、使用凹版辊的吻合涂布机、由多根辊构成的逆转辊涂布机等。除此以外，只要在具有圆筒状的刮板且边向涂布部供给粘合剂并以刮板刮落边进行涂布的逗号涂布机、应用缝口模头等直接供给粘合剂的模涂机、制作集液槽并边以刮刀刮落多余的溶液边进行涂布的刮刀涂布机(knife coater)等各种涂敷机中考虑支撑体的种类、涂布量、涂布速度等条件来决定涂布手段即可。 [0069] 此外，对使用的粘合剂没有特别限定，可例示出光固化性粘合剂、热固化性粘合剂、厌氧性粘合剂等。它们中，从固化反应的控制的容易性出发，优选为光固化性粘合剂，作为光固化型粘合剂，优选紫外线固化型粘合剂。 [0070] 作为粘合剂，可以使用例如I.Skeist编、“Handbook of Adhesives”、第2版(1977)中记载的粘合剂。 [0071] 图4是概念性地表示在基板16的主表面上涂布粘合剂而贴附支撑体14之前的状态的层叠体的截面图。 [0072] 在贴附支撑体14之前的层叠体中，涂布于基板16上的粘合剂层18的表面优选表面粗糙度指标的最大高度Rmax为200μm以下。通过使粘合剂层18的表面的最大高度Rmax为200μm以下，在后述的夹持部28中贴附支撑体14时，能够使表面平滑化，能够提高膜厚精度。 [0073] 其中，本申请中，最大高度Rmax是JIS B0601：2001中规定的最大高度Rz。另外，本实施例中，认为基板16的另一个主表面(与粘合剂层18相反侧的面)实质上平滑，定义为Rmax＝(粘合剂层18与基板16的层叠体的最大膜厚)-(粘合剂层18与基板16的层叠体的最小膜厚)。 [0075] 此外，粘合剂的粘度优选为0.001Pa·s～100Pa·s，更优选为0.01Pa·s～10Pa·s，进一步优选为0.05Pa·s～5Pa·s。通过使粘合剂的粘度为上述范围，在赋予粘合剂时可抑制溶液流挂，此外，在基板16上涂布粘合剂时表面被弄平整，能够使粘合剂层 18的表面的最大高度Rmax为200μm以下。进而，通过使粘合剂的粘度为上述范围，在利用后述的夹持部28进行夹持时能够使表面平滑化，能够提高膜厚精度。 [0076] 其中，本申请中，粘度利用毛细管粘度计、落球粘度计、旋转粘度计、振动粘度计、平行平板粘度计、气泡粘度计等公知的粘度计进行测定。 [0077] 作为粘合剂，使用光固化性粘合剂时，粘合剂在室温(25℃)下可以为液状，也可以为固体状。在室温下为液状的情况下，优选25℃下的粘度达到上述范围。 [0078] 此外，粘合剂在室温下为固体状的情况下，优选加热至光固化性粘合剂发生软化的温度。即，优选加热至粘度达到上述范围的温度。 [0079] 此外，也可以使用将粘合剂溶解于溶剂中而得到的溶液进行涂布后，将溶剂干燥除去。或者，也可以将无溶剂型的热熔光固化性粘合剂在加热的状态下进行涂布。 [0080] 此外，贴附支撑体14之前的涂布于基板16上的粘合剂层18的厚度只要根据基板16的厚度或基板16表面的凹凸的大小、对层叠体10所要求的膜厚精度等适当决定即可，但优选为50μm～300μm。 [0081] 通过使粘合剂层18的厚度为50μm以上，能够更加适宜地抑制粘合剂的损失并确保粘合强度，同时将基板16主表面的凹凸包埋，使表面变得平滑。此外，通过使粘合剂层18的厚度为300μm以下，能够抑制起因于粘合剂固化时的固化收缩的应变，同时使表面变得平滑。 [0082] 涂布有粘合剂的基板16被供给至夹持部28的第1夹持部中。 [0083] 支撑体搬运部26是将从支撑体辊38开卷的长条的支撑体14以规定的搬运路径沿支撑体14的长度方向进行搬运的部位。 [0084] 支撑体搬运部26具有安装支撑体辊38的旋转轴36、和将支撑体14以规定的搬运路径进行引导的多个导辊。 [0085] 支撑体辊38若安装于旋转轴36上，则支撑体14被多个导辊引导，并贯通经过夹持部28的规定的路径。支撑体14利用驱动用辊(未图示)等搬运手段在规定的路径进行搬运。 [0086] 支撑体14被供给至夹持部28的第1夹持部40中。 [0087] 其中，作为支撑体14，没有特别限定，优选使用尺寸稳定性高的支撑体。可列举出例如钢、不锈钢、铝等金属、热塑性树脂(例如环烯烃系树脂、结晶性聚烯烃系树脂、聚酯系树脂、聚碳酸酯系树脂、丙烯酸系树脂、三乙酰纤维素系树脂)、苯乙烯-丁二烯橡胶等合成橡胶、以玻璃纤维增强的塑料树脂(环氧树脂、酚醛树脂等)。进而，作为支撑体14，更优选使用PET(聚对苯二甲酸乙二醇酯)膜、钢基板。 [0088] 此外，支撑体14优选为透明，更优选为PET膜。 [0089] 若支撑体为透明，则作为粘合剂使用光固化性粘合剂时，可以从支撑体14侧照射光，能够以少的照射量进行固化反应。 [0090] 此外，支撑体14的厚度优选设为50μm～350μm，进一步优选设为75μm～250μm。 [0091] (夹持工序S202～S206) [0092] 夹持部28是将分别以规定的搬运路径搬运的基板16和支撑体14夹入并进行挤压(即进行夹持)而贴合，同时修正层叠体10的膜厚精度的部位。夹持部28具有进行第1夹持工序S202的第1夹持部40、进行第2夹持工序的第2夹持部42和进行第3夹持工序的第3夹持部44。 [0093] 另外，第1夹持部40、第2夹持部42及第3夹持部44由于除了夹持辊对的间隔(夹持间隔)分别不同以外，基本上具有相同构成，所以代表性地对第1夹持部40进行说明。关于第2夹持部42及第3夹持部44，仅说明不同点。 [0094] 图5是概念性地表示第1夹持部40的构成的图。 [0095] 其中，第1夹持部40具有能够调整夹持间隔的机构。 [0096] 如图5中所示的那样，第1夹持部40具有由下夹持辊50a和上夹持辊50b构成的1对夹持辊对50、楔型制动器(stopper)52a、52b、调整螺丝54a、54b、导轨56、轴承部57和汽缸(air cylinder)58。 [0097] 下夹持辊50a及上夹持辊50b以与基板16的搬运方向正交的方向为轴进行旋转。 [0098] 下夹持辊50a在规定的位置能够旋转地被保持。另一方面，配置于下夹持辊的上方的上夹持辊50b能够在轴承部57上旋转地被保持。 [0099] 轴承部57在侧面具有狭缝，通过与该狭缝嵌合的导轨56，沿上下方向引导。 [0100] 此外，在轴承部57的下面，在上下方向上重叠地配置有一对楔型制动器52a、52b。楔型制动器52a、52b分别通过调整螺丝54a、54b变更水平方向的位置，能够调整楔型制动器52b的高度地构成。 [0101] 进而，轴承部57将上表面通过汽缸58向下方挤压。因此，轴承部57其下表面与楔型制动器52b的上表面抵接地被保持。 [0102] 通过这样的构成，第1夹持部40通过利用调整螺丝54a、54b调整楔型制动器52b的高度，从而能够调整轴承部57、即上夹持辊50b的高度，调整上夹持辊50b与下夹持辊50a的间隙(夹持间隔)。 [0103] 第1夹持部40、第2夹持部42及第3夹持部44利用这样的夹持间隔的调整机构，按照分别达到不同的夹持间隔的方式进行调整。 [0104] 具体而言，按照越是基板16的搬运方向的下游侧，夹持间隔变得越窄(或者同等)的方式设定。即，第1夹持部40的夹持间隔最大、第3夹持部44的夹持间隔最小地设定。 [0105] 第1夹持部40的夹持辊对50使经过其间的带粘合剂的基板16与支撑体14连续地贴合(层压)。此时，通过夹持间隔，计量粘合剂，规定层压厚度。 [0106] 接着，第2夹持部42的由下夹持辊对60a及上夹持辊60b构成的夹持辊对60将经过第1夹持部40的基板16、粘合剂及支撑体14的层叠体进一步夹持，通过比第1夹持部40小的夹持间隔，计量粘合剂，规定层压厚度。 [0107] 进而，第3夹持部44的由下夹持辊70a、上夹持辊70b构成的夹持辊对70将经过第1夹持部40及第2夹持部42的基板16、粘合剂及支撑体14的层叠体进一步夹持，通过比第2夹持部42小的夹持间隔计量粘合剂，确定最终的层压厚度。 [0108] 如上所述，以往，进行了各种在制造橡胶片材或树脂片材时提高片材的膜厚精度的研究。 [0109] 然而，存在精度不充分、存在用于实施制造方法的设备上的制约而没有通用性、或装置需要特殊加工而成本增加之类的问题。 [0110] 与此相对，本发明以橡胶片材或树脂片材作为基板16，在基板16上涂布粘合剂而层压支撑体14时，通过越是后段则夹持间隔变得越窄的多个夹持辊对依次进行夹持后，使粘合剂固化。由此，将基板16表面的凹凸包埋，此外，通过多次的夹持将粘合剂弄平整，从而能够提高支撑体14表面的平滑性，提高层叠体10的膜厚精度。 [0111] 其中，在仅通过1段的夹持辊对进行夹持来层压支撑体的情况下，因基板16的弹性或粘合剂的粘性(溶液阻力)的影响，在经过夹持辊对时基板16发生变形，实质的夹持间隔发生变化。因此，无法将粘合剂充分地弄平整，无法提高支撑体表面的平滑性而充分地提高膜厚精度。 [0112] 与此相对，本发明由于通过多段的夹持辊对进行多次夹持，所以慢慢地将粘合剂弄平整，能够提高支撑体14表面的平滑性，能够提高膜厚精度。 [0113] 特别是基板16为橡胶片材那样的弹性体的情况下，在基板16经过夹持辊对之间时容易发生变形。因此，通过1次的夹持，无法将粘合剂充分地弄平整。与此相对，本发明由于进行多次夹持，所以即使是基板16为橡胶片材那样的弹性体的情况，也能够将粘合剂充分地弄平整。因此，本发明在作为基板使用橡胶片材时，特别适宜使用。 [0114] 其中，对夹持辊50a、50b的材质没有特别限定，但优选为金属辊与金属辊的组合。根据基板16的特性等，也可以是金属辊与橡胶辊、橡胶辊与橡胶辊的组合。 [0115] 此外，支撑体14侧的辊即上夹持辊50b优选具有加热机构。夹持辊50b具有加热机构，在进行夹持时提高粘合剂的温度而降低粘度，从而能够降低经过夹持辊间时的溶液阻力，防止基板16的变形，提高支撑体14表面的平滑性。 [0116] 其中，粘合剂经过夹持辊间是一瞬间，但通过加热单元进行加热时，粘合剂的表面的温度升高，粘合剂的表面部分的粘度降低。因此，粘合剂的表面更容易变得平整，能够提高支撑体14表面的平滑性。 [0117] 另外，也可以是全部的夹持辊对具有加热单元，但优选至少最终段的夹持辊对的上夹持辊70b具有加热单元。通过使最终段的上夹持辊70b具有加热单元，能够适当提高层叠体10的最终的膜厚精度。 [0118] 此外，对利用加热单元的加热温度没有特别限定，只要根据粘合剂的特性、基板16及支撑体14的材质或辊直径、搬运速度等动作条件、所要求的膜厚精度等适当决定即可。 [0119] 作为上夹持辊50b的加热单元，可以利用例如日本特开平6-315980号中记载的电加热器、液体套管等各种公知的加热单元。 [0120] 此外，夹持辊50a、50b的辊直径在制作成本上优选为小径，但若小径化则辊有可能因溶液阻力而发生弯曲。此外，在具有加热单元的情况下，由于因小径化而传热面积减少，所以无法将粘合剂充分加热而减少溶液阻力，依然有可能成为弯曲的原因。 [0121] 夹持辊50a、50b的辊直径只要考虑上述方面适当决定即可。例如，在粘合剂的粘度范围为0.05Pa·s～5Pa·s且夹持辊50b具有加热机构的情况下，优选使用Φ150mm～Φ500mm的范围的夹持辊50a、50b。由此，能够在不产生辊弯曲的情况下，设定准确的夹持间隔。 [0122] 此外，第1夹持部40、第2夹持部42及第3夹持部44各自的夹持间隔只要根据粘合剂的特性、基板16及支撑体14的材质或弹性模量、辊直径、加热单元的有无、搬运速度等动作条件、所要求的膜厚精度等适当决定即可。 [0123] 此外，调整夹持间隔的机构并不限定于图示例的构成，可以利用调整夹持间隔的各种公知的机构。 [0124] 此外，在图示例中，制成具有调整夹持间隔的机构的构成，但本发明并不限定于此，也可以不具有调整夹持间隔的机构，第1夹持部40、第2夹持部42、第3夹持部44分别以规定的夹持间隔固定。 [0125] 此外，在图示例中，制成夹持部28具有3对的夹持辊对的构成，但本发明并不限定于此，也可以是具有两对的夹持辊对的构成，或者，也可以是具有4对以上的夹持辊对的构成。若考虑膜厚精度提高的效果及成本，则优选具有2～5对的夹持辊对。 [0126] 经过夹持部28后的基板16被供给至光照射部30中。 [0127] (固化工序S208) [0128] 光照射部30是进行固化工序S208的部位，例如是照射紫外线(UV光)等光使基板16与支撑体14之间的粘合剂(粘合剂层18)固化的部位。通过照射紫外线等光使粘合剂固化，将基板16与支撑体14粘合，得到层叠体10。 [0129] 作为在固化工序S208中使用的光，只要是通过该照射能够使光固化性粘合剂固化的活性光线则没有特别限制，广泛包含α射线、γ射线、X射线、紫外线(UV)、可见光线、电子射线、激光等。其中，特别优选使用紫外线。 [0130] 另外，激光是相干性(Coherence)高的光，指向性、聚焦性优异，例如可例示出后述的红外线激光等。 [0132] 此外，固化工序中的光的曝光量只要是光固化性粘合剂发生固化的量即可，但优2 2 选为10～4,000mJ/cm，更优选为20～2,500mJ/cm。 [0133] 此外，从利用光的固化的容易性的方面出发，支撑体14及基板16的至少1者优选为透明，更优选支撑体14为透明。 [0134] 粘合剂层18固化后的基板16与支撑体14之间的剥离力优选为2N/cm以上，更优选为3N/cm以上，进一步优选为4N/cm以上。此外，优选为20N/cm以下。 [0135] 经过光照射单元的层叠体10被供至下一工序。例如，可以作为层叠体10卷取，也可以被供至后述的贴附覆盖膜19的工序。 [0136] 接着，利用图1及图3对层压装置20的作用及本发明的层压方法进行说明。 [0137] 如上所述，若在旋转轴32上装填基板辊34，则从基板辊34引出基板16，插通规定的搬运路径。若基板16插通于规定的搬运路径中，则通过未图示的驱动源驱动而开始基板16的搬运。 [0138] 另一方面，在旋转轴36上装填支撑体辊38，从支撑体辊38引出支撑体14，插通规定的搬运路径。若支撑体14插通于规定的搬运路径中，则通过未图示的驱动源驱动，与基板的16的搬运同步地开始支撑体14的搬运。 [0139] 若开始基板16的搬运，则作为涂布工序S200，通过粘合剂涂布部24，在基板16的主表面上涂布光固化性的粘合剂。 [0140] 接着，作为第1夹持工序S202，第1夹持部40在涂布有粘合剂的基板16上贴合支撑体14。接着，作为第2夹持工序S204，第2夹持部42将基板16、粘合剂及支撑体14的层叠体夹持，计量粘合剂，规定层压厚度。进而，作为第3夹持工序S206，第3夹持部44将基板16、粘合剂及支撑体14的层叠体夹持，计量粘合剂，规定层压厚度。 [0141] 接着，作为固化工序S208，光照射部30对粘合剂照射UV光等，使粘合剂固化，将基板16与支撑体14粘合，制作了基板16、粘合剂层18及支撑体14层叠而成的层叠体10。 [0142] 接着，对于通过本发明的层压方法制作的层叠体10，利用图2及图6进行说明。 [0143] 图6是着重表示图2中所示的层叠体10的支撑体14侧的面的表面的凹凸的图。 [0144] 如图2中所示的那样，层叠体10是将在主表面具有凹凸的基板16、层叠于基板16上的粘合剂层18和层叠于粘合剂层18上的支撑体14层叠而成的。即，层叠体10是通过将基板16和支撑体14介由粘合剂贴合，将基板16的凹凸以粘合剂层18包埋，使层叠体10表面(支撑体14表面)变得平滑，提高了层叠体10的膜厚精度。 [0145] 其中，若设层叠体10的基板16与粘合剂层18的界面z的表面粗糙度指标的最大高度为R0，则与基板16的平均厚度d0之比R0/d0优选为5％～30％。 [0146] 此外，层叠体10的基板16的平均厚度d0优选为400μm～6000μm。 [0147] 此外，基板16的材质优选为橡胶，优选弹性模量为0.5N/mm2～5.0N/mm2。 [0148] 通过对表面粗糙度R0及厚度d0满足上述范围的基板16应用本发明的层压方法，能够适宜地将基板16的凹凸包埋，提高膜厚精度。特别是材质为橡胶且弹性模量满足上述范围的基板16由于在夹持时发生变形，所以难以提高膜厚精度，但通过应用本发明，能够适宜地提高膜厚精度。 [0149] 此外，层叠体10的粘合剂层18的平均厚度d1优选为50μm～300μm。 [0150] 通过使粘合剂层18的平均厚度d1满足上述范围，能够更加适宜地将基板16的凹凸包埋，提高膜厚精度。 [0151] 此外，通过本发明的层压方法制作的层叠体10若设支撑体14表面的表面粗糙度指标的最大高度为R1，则可以使最大高度R1与层叠体10的厚度d之比R1/d为0.5％～2.5％。 [0152] 其中，如图7中所示的那样，为了抑制所制作的层叠体10的基板16侧的面(基板16的与支撑体14相反侧的面)上的伤痕·凹陷，也可以在基板16侧的面上层叠覆盖膜19。 [0153] 作为覆盖膜19，可以使用与支撑体14同样的膜。另外，从处理性、成本的观点出发，特别优选PET(聚对苯二甲酸乙二醇酯)膜。覆盖膜19可以通过与上述的支撑体14的层压方法同样方法，与支撑体14同时或依次进行层压。 [0154] 从防止伤痕·凹陷的观点出发，覆盖膜19的厚度优选为25μm以上，更优选为50μm以上。另一方面，从成本的观点出发，优选500μm以下，更优选200μm以下。 [0155] 此外，覆盖膜19的表面可以是平坦，也可以经消光化处理。 [0156] 此外，在设置覆盖膜19时，覆盖膜19必须能够剥离。在覆盖膜19不能剥离或剥离困难、或者相反基板16与覆盖膜19的粘合弱而容易剥离的情况下，也可以在两层间设置滑涂层。 [0158] 以上，对本发明的层压方法进行了详细说明，但本发明并不限定于以上的例子，在不脱离本发明的主旨的范围内，当然可以进行各种改良、变形。 [0159] 实施例 [0160] 接着，列举出实施例及比较例对本发明更具体地进行说明。另外，本发明并不限制于下述实施例。 [0161] [实施例1] [0162] 作为实施例1，使用图3中所示的层压装置20制作了层叠体10。 [0163] 其中，基板16的厚度d0、及基板16表面的最大高度R0在涂敷粘合剂前以激光位移仪扫描表面进行测量。此外，粘合剂涂布时的最大高度Rmax在涂敷粘合剂后以激光位移仪扫描表面进行测量。此外，层叠体10的厚度d、表面粗糙度R1在层压后分别以激光位移仪扫描表面进行测量。激光位移仪使用KEYENCE CORPORATION制LK-H008，在涂敷前、涂敷后、层压后的各道次辊(未图示)上沿宽度方向各配置3列，对距离边缘50mm内侧的位置和料片中心在线连续地测量100m。 [0164] 基板16使用硬度64度(肖氏A)、平均厚度d0为1.5mm的橡胶片材(Tigers Polymer Corporation制TAKL6503)。基板16表面的最大高度R0为200μm。即，层压前的基板16的厚度d0与最大高度R0之比R0/d0为13％。 [0165] 此外，作为粘合剂，使用ThreeBond Holdings Co.，Ltd.制的紫外线固化型粘合剂(TB3042B)。粘合剂的粘度为0.5Pa·s(25℃)。此外，按照涂布时的粘合剂厚度达到120μm、最大高度Rmax达到60μm的方式进行涂布。 [0166] 此外，支撑体14使用厚度为0.1mm的PET膜。 [0167] 此外，夹持辊全部材质为SUS304，辊直径设为300mm。 [0168] 此外，第1夹持部40的夹持间隔设为60μm，第2夹持部42的夹持间隔设为30μm，第3夹持部44的夹持间隔设为10μm。 [0169] 此外，上夹持辊70b通过加热单元加热至50℃。 [0170] 此外，光照射部30是照射UV光的部位。曝光量设为1200mJ/cm2。 [0171] 在这样的条件下，在层压装置20中，在基板16上层压支撑体14后，测定所得到的层叠体10的厚度d、及支撑体14侧的表面的表面粗糙度指标的最大高度R1。测定的结果是，厚度d为1.7mm，最大高度R1为34μm。即，厚度d与最大高度R1之比R1/d为2％。 [0172] [比较例1] [0173] 将夹持部的夹持辊对的数目设为1对，此外，代替粘合剂涂布部24而滴加粘合剂在基板16上赋予粘合剂的构成，除此以外，与实施例1同样地进行层叠体的制作。所制作的层叠体的厚度d为1.7mm，最大高度R1为85μm。即，比R1/d为5％。 [0174] 如以上那样，获知作为本发明的实施例的实施例1与比较例1相比，能够修正膜厚的不均，能够提高膜厚精度。 [0175] 由以上的结果明确本发明的效果。 [0176] 符号说明 [0177] 10 层叠体 [0178] 14 支撑体 [0179] 16 基板 [0180] 18 粘合剂层 [0181] 19 覆盖膜 [0182] 20 层压装置 [0183] 22 基板搬运部 [0184] 24 粘合剂涂布部 [0185] 26 支撑体搬运部 [0186] 28 夹持部 [0187] 30 光照射部 [0188] 32、36 旋转轴 [0189] 34 基板辊 [0190] 38 支撑体辊 [0191] 40 第1夹持部 [0192] 42 第2夹持部 [0193] 44 第3夹持部 [0194] 50a、60a、70a 下夹持辊 [0195] 50b、60b、70b 上夹持辊 [0196] 52a、52b 楔型制动器 [0197] 54a、54b 调整螺丝 [0198] 56 导轨 [0199] 57 轴承部 [0200] 58 汽缸 [0201] z 界面 |
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