过滤器滤材的褶裥加工方法及褶裥加工装置 |
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| 申请号 | CN201280024530.9 | 申请日 | 2012-04-02 | 公开(公告)号 | CN103547351B | 公开(公告)日 | 2017-02-15 |
| 申请人 | 日东电工株式会社; | 发明人 | 川本隆利; 森将明; | ||||
| 摘要 | 本 发明 提供一种 过滤器 滤材的褶裥加工方法，向过滤器滤材（10）从厚度方向两侧推压一对刀片（5）而对过滤器滤材（10）进行褶裥加工时，利用除静电器（30）从过滤器滤材（10）的侧方朝向过滤器滤材（10）的端面及一对刀片（5）输送被 离子化 后的空气。过滤器滤材（10）优选包含聚四氟乙烯多孔质膜和通气性支承材料。 | ||||||
| 权利要求 | 1.一种过滤器滤材的褶裥加工方法，向过滤器滤材从厚度方向的两侧推压用氟树脂进行涂层后的一对刀片而对所述过滤器滤材进行褶裥加工时，在远离所述过滤器滤材的所述刀片接近所述过滤器滤材时及所述刀片压入所述过滤器滤材时，利用具有离子喷嘴的除静电器从所述过滤器滤材的侧方朝向所述过滤器滤材的端面及所述一对刀片输送被离子化后的空气。 |
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| 说明书全文 | 过滤器滤材的褶裥加工方法及褶裥加工装置技术领域[0001] 本发明涉及过滤器滤材的褶裥加工方法及褶裥加工装置。 背景技术[0002] 在洁净室或半导体制造装置等中，使用具备用于使空气透过来捕集浮游微粒子的过滤器滤材的空气过滤器单元。作为这样的过滤器滤材，使用具有HEPA（High Efficiency Particulate Air:高效空气过滤器）等级、ULPA（Ultra Low Penetration Air:超高效过滤器）等级等的高捕集效率的过滤器滤材。 [0003] 过滤器滤材通常通过进行褶裥加工而折回成褶皱状。例如，在专利文献1中公开有图3所示的具备褶裥机520的褶裥加工装置500。褶裥机520在过滤器滤材510上从厚度方向的两侧推压一对刀片521，对过滤器滤材510进行褶裥加工。 [0004] 作为过滤器滤材，优选使用包含聚四氟乙烯（PTFE）多孔质膜的滤材。但是，PTFE多孔质膜容易带静电，且若静电放电则在PTFE多孔质膜上形成针孔，在使用时发生泄漏。为了防止该情况，在专利文献1中公开的褶裥加工装置500中，在褶裥机520和送料辊之间及褶裥机520的下游侧配置除静电器530，朝向过滤器滤材510的表面输送被离子化后的空气。 [0005] 现有技术文献 [0006] 专利文献 [0007] 专利文献1：日本特开2002－345320号公报 发明内容[0008] 但是，即使如图3所示配置除静电器530，在褶裥加工后，在过滤器滤材510上也往往会确认到放电产生的针孔。 [0009] 本发明鉴于这种情况而做出，其目的在于，提供能够防止因放电形成针孔的过滤器滤材的褶裥加工方法及褶裥加工装置。 [0010] 用于解决课题的技术方案 [0011] 为了解决所述课题，本发明的发明者们进行了锐意研究，其结果是，作为褶裥加工时在过滤器滤材上形成放电引起的针孔的主要原因，特定了如下原因：过滤器滤材即使在被除去静电后，在向褶裥机供给之前，也可能会因与搬送用的辊或工作台等接触而带静电；以及褶裥机的刀片也带静电。褶裥机的刀片也带静电的理由是因为，虽然刀片通常由金属构成，但由于为了不损伤过滤器滤材而将其表面用氟树脂等进行涂层。本发明从这样的观点出发而构成。 [0012] 即，本发明提供一种过滤器滤材的褶裥加工方法，向过滤器滤材从厚度方向的两侧推压一对刀片而对所述过滤器滤材进行褶裥加工时，利用除静电器从所述过滤器滤材的侧方朝向所述过滤器滤材的端面及所述一对刀片输送被离子化后的空气。 [0013] 另外，本发明提供一种褶裥加工装置，其具备：往复式褶裥机，向过滤器滤材从厚度方向的两侧推压一对刀片而对所述过滤器滤材进行褶裥加工；及除静电器，以朝向所述过滤器滤材的端面及所述一对刀片输送被离子化后的空气的方式配置于所述褶裥机的侧方。 [0014] 发明效果 [0016] 图1是本发明一实施方式的褶裥加工装置的结构图； [0017] 图2是表示图1所示的褶裥加工装置的褶裥机附近的结构的剖面图； [0018] 图3是现有的褶裥加工装置的结构图。 具体实施方式[0019] 下面，参照附图对本发明的实施方式进行说明。另外，以下的说明为本发明的一例，本发明不受它们的限定。 [0020] 图1表示本发明一实施方式的褶裥加工装置100。该褶裥加工装置100用于从带状过滤器滤材10连续地制造规定大小的褶裥制品11。 [0021] 具体而言，过滤器滤材10从通过卷绕该过滤器滤材10而形成的送料辊1向褶裥机50供给。在送料辊1和褶裥机50之间的适宜部位配置有搬送辊2，且在特定的搬送辊2间配置有用于向过滤器滤材10施加张力的浮辊21。 [0022] 在本实施方式中，在最下游侧的搬送辊2的上方设有用于在过滤器滤材10上形成与褶裥制品11的大小相对应的接缝的接缝线切割机3。 [0023] 褶裥机50为使一对刀片5在过滤器滤材10的厚度方向（在本实施方式中为上下方向）往复运动的往复式的机器。而且，褶裥机50在被供给的过滤器滤材10上，从厚度方向两侧推压一对刀片5而对过滤器滤材10进行褶裥加工。 [0024] 被褶裥加工后的过滤器滤材10在由以上下夹持该过滤器滤材10的方式配置的加热器4加热后，由背压件6整理形状。最后，过滤器滤材10通过横向裁断机7沿由接缝线切割机3形成的接缝被切断。 [0025] 作为过滤器滤材10，在滤材透过风速为5.3cm/sec的条件下，粒子径为0.1μm以上的粒子的捕集效率为50%以上（优选为90%以上），并且压力损失为20Pa以上（优选为50Pa以上）且500Pa以下的滤材适合用于空气过滤器单元。例如，过滤器滤材10为PTFE多孔质膜和通气性支承材料的层叠体。 [0026] PTFE多孔质膜例如如下所述制造。首先，将在PTFE微粉末中加入了液状润滑剂的混合物通过挤出法及轧制法中的至少一种方法成形为沿规定方向延伸的片状，从而得到片状成形体。接着，通过加热法或者抽出法从片状成形体除去液状润滑剂，并使片状成形体干燥。之后，使除去了液态润滑剂的片状成形体向长度方向及宽度方向延伸。 [0027] 此外，也可以对PTFE多孔质膜实施防油处理。该防油处理可通过例如将含有表面张力小的物质的防油剂涂布在PTFE多孔质膜上且将其进行干燥来进行。 [0028] 通气性支承材料起到确保过滤器滤材10的强度的效果。通气性支承材料虽然材质、构造、形态没有特别限定，但通气性支承材料可以使用通气性比PTFE多孔质膜优异的材料，例如无纺布，网状物（网眼状网）、其它多孔制材料。但是，从强度、捕集性、柔软性、作业性的方面出发，优选无纺布。另外，作为通气性支承材料的材质，可使用例如：聚烯烃（聚乙烯（PE），聚丙烯（PP）等）、聚酰胺、聚酯（聚对苯二甲酸乙二醇酯（PET）等）、芳香族聚酰胺或者它们的复合材料等。 [0030] 另外，本实施方式的褶裥加工装置100中，采用用于防止当进行褶裥加工时在过滤器滤材10上形成因放电而产生的针孔的结构。具体而言，如图2所示，在褶裥机50的侧方配置有除静电器30。在本实施方式中，在褶裥机50的两侧配置有除静电器30，但也可以根据过滤器滤材10的宽度，仅在褶裥机50的一侧配置除静电器30。 [0031] 除静电器30朝向过滤器滤材10的宽度方向的端面及一对刀片5，以风直接接触刀片5的方式输送被离子化后的空气。被离子化后的空气因为含有阳离子和阴离子，所以对于防止过滤器滤材10和刀片5之间的静电的放电最为合适。 [0032] 优选除静电器30始终输送被离子化后的空气。这是因为虽然在刀片5与过滤器滤材10某种程度上接近时引起静电放电，但这种状态不仅在远离过滤器滤材10的刀片5接近过滤器滤材10时发生（即，在刀片5的前端和过滤器滤材10之间的放电），而且在刀片5压入过滤器滤材10的期间也发生（即，刀片5的侧面和过滤器滤材10之间的放电）。 [0033] 以上说明的本实施方式的褶裥加工装置100中，因为在褶裥加工时过滤器滤材10和刀片5均不处于带电状态，所以能够防止因放电而在过滤器滤材10上形成针孔。 [0034] 实施例 [0035] 下面，通过实施例说明本发明，但本发明不限于以下的实施例。 [0036] （实施例1） [0037] 作为过滤器滤材，准备如下过滤器滤材：在滤材透过风速为5.3cm/sec的条件下，粒子径为0.1μm以上的粒子的捕集效率为99.9999%以上，并且压力损失为50Pa以上且500Pa以下，适用于空气过滤器单元。 [0038] 使用如图1及图2所示构成的褶裥加工装置，一边从比除静电器更靠过滤器滤材的侧方朝向过滤器滤材的端面及一对刀片输送被离子化后的空气，一边对过滤器滤材进行褶裥加工，作为褶裥制品制造10个样品。此外，就褶裥加工的条件而言，将折弯速度设为62折/min，将配置于刀片的后方的加热器的温度设为80℃。另外，作为除静电器，使用春日电机社制的离子喷嘴（MODEL NIH-55）。 [0039] （比较例1） [0040] 除了将除静电器的位置变更为褶裥机的紧上游侧以便朝向过滤器滤材的表面从上方输送被离子化了的空气以外，与实施例1同样地制造10个样品。 [0041] （评价） [0042] 对于实施例1及比较例1的样品（褶裥加工后的过滤器滤材），测定捕集效率。具体而言，将通过过滤器滤材（以平面看为100cm2）的空气的速度调整为5.3cm/秒，向过滤器滤材的上游侧供给107个/升的多分散邻苯二甲酸二辛酯（DOP）粒子。利用粒子计数器测定上游侧的空气中的DOP粒子浓度和透过了过滤器滤材的下游侧的空气中的DOP粒子浓度，并基于下述式子求出捕集效率。DOP粒子的粒径为0.1μm～0.2μm。 [0043] 捕集效率（%）＝［1－（下游侧浓度/上游侧浓度］×100 [0044] 上述的捕集效率的测定结果是，将捕集效率为99．9999％以上的样品判定为无泄漏，将此外的情况判定为有泄漏。 [0045] 接着，对判定为无泄漏的样品的一个，根据“100－捕集效率（％）”的式子求出透过率（％），且根据“－Log（透过率（％）/100）”的式子求出评价值。即，表示评价值高的一方捕集效率高。此外，褶裥加工前的过滤器滤材的评价值为7.08。 [0046] 表1表示有无泄漏的结果及评价值。 [0047] [表1] [0048] [0049] 如表1所示，在褶裥加工前仅朝向过滤器滤材的表面输送被离子化后的空气的比较例1中，10个样品中的4个发生泄漏。这意味着会以高的概率形成针孔。与此相对，朝向过滤器滤材的端面及一对刀片输送被离子化后的空气的实施例1中，未形成针孔，所有样品均没有泄漏。 [0050] 另外，在实施例1中，相比比较例1，捕集效率更高。其理由认为是由于抑制了微小的针孔的产生。 |
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