基板清洗装置和使用其清洗基板的方法 |
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| 申请号 | CN201410719858.3 | 申请日 | 2014-12-02 | 公开(公告)号 | CN104588351A | 公开(公告)日 | 2015-05-06 |
| 申请人 | 深圳市华星光电技术有限公司; | 发明人 | 邓海峰; | ||||
| 摘要 | 本 发明 涉及 基板 清洗装置和使用其清洗基板的方法。该基板清洗装置包括护罩，其包括顶板和从顶板向下延伸的 侧壁 ，设置在护罩内的喷 水 器。护罩和喷水器的宽度 覆盖 了基板的宽度，并且侧壁延伸到基板表面附近。在使用根据本发明的基板清洗装置清洗基板时，外界环境中的水滴不会滴落到基板上，从而避免了基板出现蚀刻程度不同的状况，并且由此避免了 液晶 面板出现不可修复的斑点的问题。 | ||||||
| 权利要求 | 1.一种基板清洗装置，包括： |
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| 说明书全文 | 基板清洗装置和使用其清洗基板的方法技术领域背景技术[0002] 在液晶面板快速发展的今天，产品的成品率提升日显重要。产品成品率决定产品的市场竞争力和工厂的生命力。 [0003] 液晶面板的成品率受很多因素的影响，例如在场效应晶体管(即，TFT)的制程工艺中产生的斑点(即，Mura)会对面板产生重大影响，从而极大的影响液晶面板的成品率。 [0004] TFT制程工艺中的湿制程通常包括强酸或强碱(即，药剂)制程和之后的水洗制程，其中强酸或强碱制程用以进行蚀刻，水洗制程用以冲洗掉这些蚀刻药剂。水洗制程通常通过以下方式来实现：使用水刀在基板上均匀地涂布一层水膜以快速洗掉基板上残留的药液。但是，由于外界环境中的水滴会在基板接触到水刀之前滴落到基板上，并最终导致所制备的液晶面板出现不可修复的斑点，从而严重影响液晶面板的成品率。 发明内容[0005] 针对上述问题，本发明提出了一种基板清洗装置。在使用根据本发明的基板清洗装置清洗基板时，外界环境中的水滴不会滴落到基板上，从而避免了基板出现蚀刻程度不同的状况，并由此避免了液晶面板出现不可修复的斑点的问题。 [0007] 在使用根据本发明的基板清洗装置来清洗基板时，护罩遮盖了基板。这样，在基板遇到喷水器之前，外界环境中的水滴最多只能落到护罩上而不是基板上。由此，残留在基板上的药剂液膜也就不会被局部地稀释，从而基板的整体蚀刻程度会为相同。这样，就从根本上避免了液晶面板出现不可修复的斑点，提高了液晶面板的成品率。此外，由于喷水器的宽度覆盖了基板的宽度，因此喷水器能在基板上形成一层均匀的水膜，即对残留在基板上的药液进行均匀地稀释，这也保证了基板的整体蚀刻程度均相同，并且最终提高了液晶面板的成品率。 [0008] 在一个实施例中，喷水器包括方向能调整的水喷嘴。这样，能够根据实际情况随时调整喷水器的喷水方向，从而保证能在基板上形成一层均匀的水膜。在一个实施例中，水喷嘴斜朝向前方。这样，喷水器喷出的水能够更有效地冲刷基板的表面，提高了基板的清洗效果。在一个实施例中，喷水器为水刀。水刀能够喷出厚度非常薄的水幕，非常有利于控制喷到基板上的水量，以不但实现清洗基板而且能够大幅度节省用水。 [0010] 在一个实施例中，吹风器包括气喷嘴，该气喷嘴所处的直线与基板的交点相邻地处于水喷嘴所处的直线与基板的交点的后方。这样，吹风器产生的风会向前吹动喷水器喷到基板上水，防止水向后扩散。由此，能够防止基板上残留的药液被不均匀地稀释而造成基板的蚀刻程度不同，从而避免了所制备的液晶面板出现不可修复的斑点。 [0011] 在一个实施例中，吹风器的高度低于喷水器的高度。这样，来自吹风器的气流不会受到任何阻挡，而是直接吹在基板上，从而能进一步防止喷水器喷到基板上的水向后扩散。 [0012] 在一个实施例中，该装置还包括抽气组件，在护罩的顶板上设置有排气口。抽气组件能够将护罩内的水汽抽走，从而避免了护罩内的水汽凝结成滴落到基板上的水滴，也就避免了基板上残留的药液的不均匀稀释造成基板蚀刻程度不同，进而避免了液晶面板出现不可修复的斑点。 [0013] 根据本发明的第二方面，提出了一种使用上文所述的装置来清洗基板的方法，包括：将基板沿从后到前的方向穿过护罩，将喷水器的水喷嘴调整为斜朝向前方，以向基板上喷水而实现清洗。 [0014] 在一个实施例中，装置内还包括抽气组件，以将护罩内水汽抽走。 [0015] 在一个实施例中，在护罩内，在喷水器的后方还设置有吹风器，吹风器在基板表面上形成向前的定向气流以向前吹动基板上的水。 [0016] 在本申请中，方位用语“前方”是指基板运动的方向。方位用语“后方”是指与“前方”相反的方向。 [0017] 与现有技术相比，本发明的优点在于：(1)根据本发明的基板清洗装置包括护罩，在基板遇到喷水器之前，外界环境中的水滴最多只能落到护罩上而不是基板上。由此，残留在基板上的药剂液膜的就不会被局部地稀释，从而基板的整体蚀刻程度为相同。这样，就从根本上避免了液晶面板出现不可修复的斑点，提高了液晶面板的成品率。(2)由于喷水器的宽度覆盖了基板的宽度，因此喷水器能在基板上形成一层均匀的水膜，即对残留在基板上的药液进行均匀地稀释，这也保证了基板的整体蚀刻程度均相同，并且最终提高了液晶面板的成品率。附图说明 [0018] 在下文中将基于实施例并参考附图来对本发明进行更详细的描述。其中： [0019] 图1示意性地显示了根据本发明的基板清洗装置的侧视图。 [0020] 图2是图1的A向视图。 [0021] 图3示意性地显示了根据本发明的基板清洗装置在使用中的状态。 [0022] 在附图中，相同的部件使用相同的附图标记。附图并未按照实际的比例。 具体实施方式[0023] 下面将结合附图对本发明作进一步说明。 [0024] 图1示意性地显示了根据本发明的基板清洗装置10(以下称之为装置10)的侧视图。如图1所示，装置10包括护罩11和设置在护罩11内的喷水器12。护罩11包括顶板13和从顶板13向下延伸的侧壁14。应理解地是，装置10还可以根据需要而包括支架15(如图3)。 [0025] 对于特定尺寸的基板而言，护罩11和喷水器12的宽度覆盖了基板的宽度，并且侧壁14延伸到基板表面附近。这样，在使用装置10清洗基板31时(见图3)，护罩11整体地遮盖了基板31，从而在基板31遇到喷水器12之前，外界环境中的水滴最多只能落到护罩11上。由于喷水器12的宽度覆盖了基板31的宽度，因此喷水器12能在基板31上形成一层均匀地水膜，即对残留在基板31上的药液进行均匀地稀释。基于以上原因，基板31的整体蚀刻程度均相同，这就从根本上避免了液晶面板出现不可修复的斑点，提高了液晶面板的成品率。 [0026] 为了使喷水器12喷出的水能够更有效地冲刷基板31的表面，可将喷水器12的水喷嘴22设置为斜朝向前方。优选地，喷水器12可以为水刀。水刀能够喷出厚度非常薄的水幕，非常有利于控制喷射到基板31上的水量，由此不但有效地清洗基板31而且能够大幅度的节省用水。此外，还可以将喷水器12的水喷嘴22构造为可以调整。这样可以根据实际情况，例如基板31与护罩11的相对高度来调整水喷嘴22的方向，以保证基板31的清洗效果，这也扩大了装置10的使用范围。 [0027] 还如图1、2或3所示，在护罩11内还设置有吹风器16，并且吹风器16设置在喷水器12的后方。吹风器16用于在基板31的表面形成定向气流。在图3所示的实施例中，吹风器16的气喷嘴23设置为其所处的直线与基板31的交点32处于水喷嘴22所处的直线与基板31的交点33的后方，并且尽可能地相邻。这样，吹风器16产生的风会向前吹动喷水器12喷到基板31上水，防止水向后扩散。基板31的处于喷水器12后方的区域上的药液也就不会被由前方逐渐扩散来的水稀释，特别是不会随着水的扩散而被稀释为不同的水平。这样，防止了基板31上残留的药液被不均匀地稀释而造成基板31的蚀刻程度不同的问题，从而避免了所制备的液晶面板出现不可修复的斑点。此外，吹风器16产生的气流还可以将基板31上的药液吹走，从而提高基板31的清洗效率。在一个优选的实施例中，吹风器16为风刀。风刀产生的气流的方向性很好，有助于控制基板31表面的气流方向。 [0028] 优选地，如图1和3所示，还将吹风器16设置为其高度低于喷水器12的高度。这样，来自吹风器16的气流在到达基板31不会受到任何阻挡，也就是说气流完全吹在基板31上，从而能非常有效地防止喷水器12喷到基板31上的水向后扩散。 [0029] 此外，装置10还包括抽气组件21(如图1所示)，在护罩11的顶板13上设置有排气口17(如图2所示)。在图2中示意性地显示了两个排气口17，实际上可以根据需要设置多个排气口。在清洗基板31的过程中，抽气组件21能够将护罩11内的水汽抽走。这样，护罩11内的水汽就不会再凝结成水滴而是被抽到护罩11之外，从而也就不再有水滴滴落到基板上，造成不均匀地稀释基板31上残留的药液。由此保证了基板31的蚀刻程度为相同，进而避免了液晶面板出现不可修复的斑点。 [0030] 下面来描述使用根据本发明的装置10来清洗基板31的方法。 [0031] 如图3所示，将基板31沿从后到前的方向(如图3中的箭头30所示)穿过装置10，并且将喷水器12的水喷嘴22调整为斜朝向前方，以向基板31上喷水而实现清洗基板 31。优选地，在开始清洗的同时，启动装置10的抽气组件，以将护罩11内水汽抽走。更优选地，启动安装在护罩11内的吹风器16。由于吹风器16设置在喷水器12的后方，因此吹风器16能在基板31的表面形成向前的定向气流以向前吹动基板31上的水。 [0032] 通过本发明的清洗方法，能够避免基板31上残留的药液被局部地稀释，从而此保证了基板31的蚀刻程度为相同，进而避免了液晶面板出现斑点。 [0033] 虽然已经参考优选实施例对本发明进行了描述，但在不脱离本发明的范围的情况下，可以对其进行各种改进并且可以用等效物替换其中的部件。尤其是，只要不存在结构冲突，各个实施例中所提到的各项技术特征均可以任意方式组合起来。本发明并不局限于文中公开的特定实施例，而是包括落入权利要求的范围内的所有技术方案。 |
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