液体材料吐出装置的清洗装置及清洗方法 |
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| 申请号 | CN201380031674.1 | 申请日 | 2013-06-18 | 公开(公告)号 | CN104395002B | 公开(公告)日 | 2017-03-01 |
| 申请人 | 武藏工业株式会社; | 发明人 | 生岛和正; | ||||
| 摘要 | 本 发明 是一种用于清洗包括棒状构件进行动作的动作空间和供给流路的吐出装置的接液部(401)的清洗装置，具备压缩气体源(106)、清洗液供给槽(101)、供给压缩气体或清洗液的多个供给机构(109、110)、清洗液回收槽(129)、 流体 性地连接有多个供给机构(109、110)及清洗液回收槽(129)并收纳吐出装置的接液部(401)的接液部固定夹具(300)、以及控制装置，基于通过控制装置而向各供给机构(109、110)分别地 指定 的压 力 值，将清洗液供给至接液部固定夹具点·分 支点 的流路构造的吐出装置的接液部而以均匀的流动清洗该接液部。(300)。根据该结构，能够不分解具有包含合流 | ||||||
| 权利要求 | 1.一种清洗装置，其特征在于， |
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| 说明书全文 | 液体材料吐出装置的清洗装置及清洗方法技术领域[0001] 本发明涉及一种用于清洗通过机械性地动作的棒状构件的作用而自喷嘴吐出液体材料的吐出装置的接液部的内部流路的清洗装置及清洗方法。本说明书中的所谓“接液部”是指形成有棒状构件动作的动作空间、及与液体材料相接的流路(例如，自液体材料贮存容器至喷嘴的流路)的一个或多个构件。 背景技术[0002] 液体材料吐出装置中，随着时间的经过，液体材料的粘度变高，从而存在在装置主体内的流路或喷嘴等产生堵塞、或吐出量发生变化(主要为减少)的担忧。因此，需要定期地清洗与液体材料相接的流路。特别是在通过机械性地动作的棒状构件的作用而自喷嘴吐出液体材料的类型的吐出装置(参照图4至图6)中，通常具有复杂的流路构造，因而必需清洗。 [0003] 作为吐出装置的清洗方法，通常进行的方法为如下方法：分解构成部件，将附着有液体材料的部件浸至细分于容器的溶剂(清洗液)并通过超声波清洗器进行清洗。该方法可无需大规模的设备而简单地实施，但存在如下的问题。 [0004] 第一，涉及时间的问题，即，可以列举如下情形：在分解·组装中花费时间；若不以相对较长的时间实施超声波加振，则无法使液体材料脱落；为了干净地脱落，必需一面交换溶剂一面实施数次。第二，涉及清洗的效果的问题，即，可以列举如下情形：存在溶出于溶剂的液体材料再附着的情形，从而液体材料不会干净地脱落。第三，涉及安全性的问题，即，可以列举如下情形：基本上为手工作业，因此存在与对人体有害的物质(溶剂或液体材料)接触的担忧。 [0005] 也存在如下方法：不分解构成部件而将配管连接于吐出装置主体或喷嘴，从而直接使清洗液流入而进行清洗。 [0006] 例如，在专利文献1中，公开有一种功能液滴吐出头的清洗装置，其是通过将清洗液通液至头内流路而清洗头内流路的功能液滴吐出头的清洗装置，其中，具备：清洗液槽，其供给通液的清洗液；清洗液回收部，其回收通液于头内流路的清洗液；清洗液流路，其自清洗液槽经导入部连接接头及盖而向清洗液回收部导入清洗液；及通液机构，其使清洗液通液至清洗液流路；强制通气机构，其一面将空气导入至清洗液流路一面强制性地通气；及控制机构，其在结束清洗液的通液后驱动强制通气机构而使空气强制性地通气至清洗液流路。 [0007] 另外，在专利文献2中，公开有连续涂装用喷嘴涂布机的喷嘴清洗装置，该连续涂装用喷嘴涂布机的喷嘴清洗装置可容纳将涂料供给管连接于在前端具有涂料吐出用的狭缝状喷嘴口的喷嘴的喷嘴涂布机的喷嘴前端部，且制作宽度宽于喷嘴口部分的盖，在盖的与喷嘴口相对的部分形成涂料排出孔，在盖外部的涂料排出孔部分固定涂料排出管。 [0008] 现有技术文献 [0009] 专利文献 [0010] 专利文献1：日本特开2005-58946号公报 [0011] 专利文献2：日本实开平5-76563号公报 发明内容[0012] 发明所要解决的问题 [0013] 上述专利文献所记载的清洗装置以清洗对象的流路形状自液体材料供给侧至液体材料排出侧为止为一条通道且按照固定的压力在流路内流通清洗液为前提。然而，在具有合流点或分支点、或流路的剖面形状并非相同等的复杂的路径的流路中，若欲以固定的压力在流路流通清洗液，则因流动阻力的差异，存在合流·分支的流路的一部分的流动停滞、或根据情况而发生逆流等的问题。 [0014] 另外，即使在以相同的条件使用相同的种类的吐出装置的情况下，根据残留于接液部的流路内的液体材料的状况，也存在所需要的清洗液的量及清洗时间不同的情况。为了可靠地进行清洗，需要考虑最差的状况而设定清洗条件，从而产生清洗液的浪费、因清洗时间延长引起的生产性下降的问题。 [0015] 另外，根据残留于接液部的流路内的液体材料的状况，存在为了了流通清洗液而需要较高的压力的情形，且成为流路形状的变形或破损的原因。该问题在液体材料的粘度较高的情况下特别明显。 [0016] 因此，本发明的目的在于提供一种可解决上述问题的清洗装置及清洗方法。 [0017] 解决问题的技术手段 [0018] 清洗装置所涉及的本发明，其特征在于，是用于清洗通过机械性地动作的棒状构件的作用而自喷嘴吐出液体材料的吐出装置的接液部的清洗装置，上述接液部包含棒状构件所插通的动作空间、及向该动作空间供给液体材料的供给流路，上述清洗装置具备通过自压缩气体源所供给的压缩气体的作用而供给清洗液的清洗液供给槽、供给压缩气体或清洗液的多个供给机构、与多个供给机构流体性地连接的接液部固定夹具、与接液部固定夹具流体性地连接的清洗液回收槽、及控制装置，上述供给机构根据上述控制装置分别地对各供给机构所指定的压力值而供给清洗液。 [0019] 在上述清洗装置的发明中，其特征也可以在于，上述供给机构根据上述控制装置分别地对各供给机构所指定的压力值而供给压缩气体。 [0020] 在上述清洗装置的发明中，其特征也可以在于，上述供给机构具备如下构件而构成：调节器，其根据上述控制装置所指定的压力值而将自压缩气体源所供给的压缩气体调压成所期望的压力；第一上游开闭阀，其与调节器流体性地连接；第二上游开闭阀，其与清洗液供给槽流体性地连接；子槽，其与第一及第二上游开闭阀、以及接液部固定夹具流体性地连接；及下游开闭阀，其设置于子槽与接液部固定夹具之间。 [0021] 在上述清洗装置的发明中，其特征也可以在于，自压缩气体源所供给的压缩气体通过多个调节器而被供给至上述清洗液供给槽。 [0022] 在上述清洗装置的发明中，其特征也可以在于，上述接液部固定夹具由通过连结具而分割自如地被固定的多个构件所构成。 [0023] 清洗方法所涉及的本发明，其特征在于，是使用上述的本发明所涉及的清洗装置的清洗方法，具有如下工序：气体清洗工序，上述供给机构向上述接液部固定夹具供给经调压的压缩气体；液体清洗工序，上述供给机构通过经调压的压缩气体的作用，向上述接液部固定夹具供给清洗液；及干燥工序，上述供给机构向上述接液部固定夹具供给经调压的压缩气体。 [0024] 清洗方法所涉及的本发明，其特征在于，是通过机械性地动作的棒状构件的作用而自喷嘴吐出液体材料的吐出装置的接液部的清洗方法，上述接液部包含棒状构件所插通的动作空间、及向该动作空间供给液体材料的供给流路，且具有如下工序：气体清洗工序，向收纳有上述接液部的接液部固定夹具供给经调压的压缩气体；液体清洗工序，通过经调压的压缩气体的作用，向上述接液部固定夹具供给清洗液；及干燥工序，向上述接液部固定夹具供给经调压的压缩气体。 [0025] 发明的效果 [0026] 根据本发明，能够以均匀的流动清洗具有包含合流点及/或分支点的流路构造的接液部。 [0027] 另外，可以根据对每个供给机构分别地指定的压力值，供给清洗液及/或压缩气体。 [0029] 图1是实施方式所涉及的清洗装置的概略系统图。 [0030] 图2是实施方式所涉及的清洗装置的动作流程图。 [0031] 图3是说明实施方式所涉及的清洗装置的接液部固定夹具的剖面图。(a)表示组装的状态，(b)表示卸除的状态。 [0032] 图4是说明在本发明中作为清洗对象的喷射式吐出装置的主要部分剖面图。 [0033] 图5是说明在本发明中作为清洗对象的螺杆式吐出装置的主要部分剖面图。 [0034] 图6是说明在本发明中作为清洗对象的柱塞式吐出装置的主要部分剖面图。 具体实施方式[0035] 本发明提供一种用于清洗通过机械性地动作的棒状构件的作用而自喷嘴吐出液体材料的类型的吐出装置的接液部的清洗装置。本发明的清洗装置可解决如下课题：在接液部具有复杂的流路构造的情况下(特别是在具有多个流入口、及少于流入口的数量的流出口的情况下)，即使以固定的压力供给清洗液，接液部内的流路的流动也不会变得均匀。 [0036] 本发明的清洗装置具备与接液部的流入口相同数量的供给机构。该供给机构能够以独立地调压的压力供给清洗液，且具备如下构件而构成：调节器；第一上游开闭阀，其与调节器流体性地连接；第二上游开闭阀，其与清洗液供给槽流体性地连接；子槽，其与第一及第二上游开闭阀、以及接液部固定夹具流体性地连接；及下游开闭阀，其设置于子槽与接液部固定夹具之间。优选，连接于接液部固定夹具的排出管(设置有下游开闭阀的排出流路)设为与接液部的流出口的数量相同的数量。以下，对用于实施本发明的方式例进行说明。 [0037] ＜接液部＞ [0038] 在图4至图6中，表示具有通过本发明的清洗装置清洗的接液部的吐出装置400的例子。图4是喷射式吐出装置，该喷射式吐出装置使棒状构件即杆402上下移动而将杆前端抵接至阀座411，由此以液滴的状态自喷嘴405吐出液体材料。图5是螺杆式吐出装置，该螺杆式吐出装置使具备棒状构件即螺杆状的轴环412的螺杆402旋转，通过轴环412的作用，自喷嘴405吐出液体材料。图6是柱塞式吐出装置，该柱塞式吐出装置在使棒状构件即柱塞402急速地进出移动后急停，由此对液体材料赋予惯性力而自喷嘴405吐出。再者，在吐出时，旋转阀413旋转，将棒状构件402进行动作的动作空间403与喷嘴405连通。 [0039] 如图4至图6所示，该类型的吐出装置400的接液部401的内部流路为如下构造：用于供给液体材料的流路404直接或间接地连接于棒状构件402动作的动作空间403。换言之，为如下的合流·分支构造：棒状构件402动作的动作空间403、与用于供给液体材料的流路404合流成为一体而通向喷嘴405侧。流路404通常为钩状、侧面视时L字形，但也存在自液体材料贮存容器410倾斜延伸的直线状的流路的情形。 [0040] 在清洗该接液部401时，在卸除包含棒状构件402的驱动部409、与设置于其相反侧的喷嘴405后，实施清洗。清洗液以如下方式流动：自与液体材料贮存容器410连接的连接部流入口A406、及棒状构件402所插通的连接部流入口B407流入，自与喷嘴405连接的口即连接部流出口408流出。 [0041] ＜清洗装置＞ [0042] 一面参照图1，一面对实施方式所涉及的清洗装置的构成进行说明。图1是实施方式所涉及的清洗装置100的系统图。此处，图中的箭头表示气体及/或液体的流动的方向。 [0043] 实施方式所涉及的清洗装置100以清洗液供给槽101、子槽109、110、接液部固定夹具300、清洗液回收槽129、及未图示的控制装置为主要的构成要素。在本实施方式中，具备两个供给机构。各供给机构具备与液体系统的配管(例如符号104)、及气体系统的配管(例如符号103)连接的子槽(109、110)。 [0044] 清洗液供给槽101具备用于贮存清洗液的容器主体102、及用于检测容器主体102内的清洗液的量的传感器A105。在容器主体102，连接有供给用于送出清洗液的压缩气体的气体配管103、及用于送出容器主体102的经加压的清洗液的液体配管104。液体配管104依照供给机构(子槽109、110)的数量而分支。在本实施方式中，对于传感器A105使用接液型传感器。这是利用树脂制的检测部与液体接触时不反射光的特性而进行检测的。除此之外，例如也可使用通过超声波的反射而检测液面的传感器等。清洗液供给槽101的容量优选为可贮存多次量的清洗液的容量。其原因在于，在如下所述重复液体清洗工序、或对多个接液部401连续地实施清洗的情况下，防止清洗液在中途用完。 [0045] 清洗装置100连接于供给压缩气体的压缩气体源106。压缩气体源106在通过调节器A107调压成所期望的压力后分支，其一方连接于两个供给机构，另一方连接于调节器B108。调节器A107具备分雾器或过滤器，将自压缩气体源106供给的气体设为经干燥的清洁的状态，且通过进行调压而抑制压缩气体源106中的脉动。调节器B108调节成用于压送清洗液的压力。利用调节器A107及调节器B108的二个阶段进行调压，由此可向清洗液供给槽101供给更进一步抑制脉动的压缩气体。 [0046] 在本实施方式中，对于调节器A107及调节器B108而言使用手动地旋转把手而进行调节的类型的调节器。然而，并不限定于此，也可使用下文所述的通过电信号而控制压力的比例控制阀(电动气动调节器)。另外，优选具备量规(压力计)，以便可确认设定值。 [0047] 子槽109、110具备用于暂时贮存清洗液的容器主体111、112、及用于检测容器主体111、112内的清洗液的量的传感器C115、传感器D116。在容器主体111、112，连接有供给压缩气体的气体配管103、清洗液流入的流入液体配管113、及排出配管114。在本实施方式中，对于传感器C115、传感器D116使用透过型的传感器。这是在自投光部向受光部照射的光被遮断时进行检测的传感器。除此之外，例如也可使用通过超声波的反射检测液面的传感器等。 再者，子槽109、110仅设置与下文所述的接液部401的流入口的数量相同的数量。 [0048] 清洗液供给槽101与各子槽109、110之间通过分支了的液体配管104而连接。在分支了的液体配管104，设置开闭阀C121及开闭阀D122，对来自清洗液供给槽101的清洗液的供给及停止进行控制。在本实施方式中，对于开闭阀C121及开闭阀D122使用隔膜阀。 [0049] 压缩气体源106与各子槽(109、110)之间通过分支了的气体配管103而连接。在分支了的气体配管103，设置调节器C117及开闭阀A119、以及调节器D118及开闭阀B120，将通过调节器A107而调压的压缩气体调节成所期望的压力，并且对压缩气体的供给及停止进行控制。与上述的清洗液供给槽101的情况相同，利用调节器A107、以及调节器C117及调节器D118的二个阶段进行调压，由此可向子槽109、110供给更进一步抑制脉动的压缩气体。在本实施方式中，对于调节器C117及调节器D118使用通过电信号而控制压力的比例控制阀(电动气动调节器)，对于开闭阀A119及开闭阀B120使用电磁阀。 [0050] 在向接液部固定夹具300(接液部401)供给清洗液时，在暂时将清洗液贮存于子槽109、110后，通过压缩气体的作用而向接液部401供给。另外，在向固定夹具300(接液部401)供给压缩气体时，经由空的状态的子槽109、110而向接液部401供给压缩气体。将清洗液及压缩气体供给至接液部固定夹具300时的压缩气体的压力通过设置于压缩气体源106与子槽109、110之间的调节器C117、调节器D118而分别地调压。 [0051] 如上所述，在本实施方式中，设置子槽109、110，由此可不在液体系统(例如符号104)及气体系统(例如符号103)的各个设置调节器，而通过针对每个子槽设置的一个共同的调节器(117、118)进行压力的调整。除此之外，由于在每个子槽(109、110)中具备开闭阀(119至124)或调节器(117、118)，因此可将压力控制成针对每个子槽(109、110)而不同的设定值(压力值)。 [0052] 接液部固定夹具300是通过两个构件(301、302)夹装接液部401的器具，且连接有与各子槽109、110连通的排出配管114、114、及与清洗液回收槽129连通的排出液配管A127。接液部固定夹具300装卸自如地配置于清洗装置100。对接液部固定夹具300的详细内容进行叙述。 [0053] 在子槽109与接液部固定夹具300之间，设置开闭阀E123，在子槽110与接液部固定夹具300之间，设置开闭阀F124，对清洗液或压缩气体的供给及停止进行控制。在本实施方式中，对于开闭阀E123及开闭阀F124使用隔膜阀。 [0054] 在子槽109与开闭阀E123之间，设置有切换阀A125，在子槽110与开闭阀F124之间，设置有切换阀B126。可通过该切换阀(125、126)，不经由接液部401而直接自子槽(109、110)向清洗液回收槽129排出清洗液。切换阀(125、126)通常将子槽(109、110)与接液部固定夹具300之间的开闭阀(123、124)连通，在排出时，将切换阀(125、126)切换来使用。在本实施方式中，对于切换阀A125及B126使用手动的切换阀。 [0055] 清洗液回收槽129具备贮存已使用过的清洗液的容器主体130、及用于检测槽129内的已使用过的清洗液的量的传感器B131。在容器主体130，连接有流入来自接液部固定夹具300的排出液的排出液配管A127、及流入来自切换阀A125及切换阀B126的排出液的排出液配管B128、128。清洗液回收槽129优选具有与清洗液供给槽101相同程度的容量或其以上的容量。在本实施方式中，对于传感器B131使用接液型传感器。这是利用树脂制的检测部与液体接触时不反射光的特性而进行检测的。除此之外，例如也可使用通过超声波的反射而检测液面的传感器等。 [0056] 未图示的控制装置由输入装置、输出装置、处理装置、及存储装置所构成，且与开闭阀A119～开闭阀F124、调节器C117及调节器D118、传感器A105～传感器D116连接，进行它们的控制。作为输入装置，例如可使用键盘或鼠标等。作为输出装置，例如可使用液晶显示器等的监视器。另外，也可使用触控面板等作为兼备输入装置与输出装置的构件。作为处理装置及存储装置，例如可使用个人计算机或可编程控制器(programmable controller)等。 [0057] ＜接液部固定夹具＞ [0058] 一面参照图3，一面对接液部固定夹具300的详细内容进行说明。图3是说明实施方式所涉及的清洗装置100的接液部固定夹具300的剖面图。此处，(a)表示组装的状态，(b)表示卸除的状态。接液部401例示图4的喷射式吐出装置400的接液部。 [0059] 接液部固定夹具300由入口侧构件301与出口侧构件302所构成。 [0060] 在入口侧构件301，设置有用于将连接部流入口A406及连接部流入口B407、与各子槽109、110的排出配管114、114连接的流入管A303及流入管B304。各流入管303、304的端部形成为与连接部流入口A406、连接部流入口B407连通的形状，在其接合部分设置衬垫A306及衬垫B307，以使清洗液等不会泄漏。 [0061] 在出口侧构件302，设置用于将连接部流出口408与清洗液回收槽129连接的流出管305。在出口侧构件302，形成有接液部401所嵌合的形状的凹部312，在本实施方式中，嵌合接液部401的体积的一半以上。在凹部312的下端部，设置有流出管305。流出管305的端部形成为与接液部流出口408连通的形状，在其接合部分设置衬垫C308，以使清洗液等不会泄漏。 [0062] 入口侧构件301与出口侧构件302优选设为通过连结具而可装卸自如地固定。在本实施方式中，将弹簧锁309设置于接液部固定夹具300的侧面的两个部位，装卸容易地固定两个构件(301、302)。 [0063] 以上，对接液部固定夹具300的一个例子进行了说明，但入口/出口侧构件(301、302)、或流入/流出管(303～305)匹配针对每个吐出装置不同的接液部401的形状而被形成，并不限定于在图中所描绘的构件的形状及个数。另外，接液部固定夹具300也可设为自左右或侧方夹装接液部401的构成，而并非如图示那样自上下夹装接液部401的构成。 [0064] 如上所述，设置匹配接液部401的外形而形成的夹具300，由此具有如下优点：可使接液部401的清洗时的配管连接变得容易，另外，可不分解接液部401而进行清洗。另外，匹配接液部401的形状而准备几个夹具300，由此具有也可简单地实现其它吐出装置400的接液部401的清洗的优点。 [0065] ＜清洗作业＞ [0066] 上述的清洗装置如下所述动作而进行清洗作业。在图2中，表示其动作流程图的一个例子。 [0067] (1)接液部的连接(步骤201) [0068] 在欲实施清洗的接液部401，安装接液部固定夹具300，在接液部固定夹具300，连接各配管(114、127)。再者，其它机器设为已完成设置·配管。 [0069] 另外，向清洗液供给槽101投入清洗液。清洗液回收槽129及子槽109、110为空的状态。在本实施方式中，使用丙酮作为清洗液。然而，并不限定于此，选择与液体材料的性质对应的清洗液即可。例如，可使用经常用作溶剂的乙醇或异丙醇等。 [0070] (2)初始设定(步骤202) [0071] 首先，设定调节器A107及调节器B108的压力。在本实施方式中，一面目测确认量规一面旋转把手而进行调节。 [0072] 接着，设定调节器C117及调节器D118的压力。在本实施方式中，通过控制装置的输入装置进行压力设定。该调节器A～B的设定针对每个下文所述的工序(气体清洗、液体清洗、干燥)而进行。再者，存在通过调节器C117与调节器D118而使设定值不同的情形、与不使设定值不同的情形。 [0073] 接着，自控制装置的输入装置，设定各开闭阀119～124的开闭时间(清洗时间、干燥时间)、清洗液的量、液体清洗工序的次数。 [0074] 在结束以上的操作后，开始清洗。 [0075] (3)气体清洗工序(步骤203) [0076] 在向接液部固定夹具300供给清洗液前，供给压缩气体。 [0077] 首先，在将开闭阀C121及开闭阀D122设为“闭”的状态下，将开闭阀E123及开闭阀F124设为“开”后，将开闭阀A119及开闭阀B120设为“开”。于是，压缩气体通过调节器C117→开闭阀A119→子槽A109→切换阀A125→开闭阀E123及调节器D118→子槽B110→开闭阀B120→切换阀B126→开闭阀F124而向接液部固定夹具300(接液部401)供给。通过接液部固定夹具300的压缩气体在到达清洗液回收槽129后，向大气释放。在经过设定时间后，将开闭阀A119及开闭阀B120设为“闭”后，将开闭阀E123及开闭阀F124设为“闭”。 [0078] 通过气体清洗工序，在将接液部401的流路(403、404)内填满的液体材料形成孔，在接着的液体清洗工序中，获得附着于内壁的液体材料易于自流路壁剥离的效果。其原因在于，因液体材料与清洗液的接触面积增大，从而清洗液溶解液体材料的作用得以促进，另外，扩大了波及力的范围。 [0079] 再有，液体材料易于自流路壁剥离的情形也发挥了清洗液的使用量的削减、清洗时间的缩短、清洗液送出压力的减少等的效果。 [0080] 再者，也可不通过时间经过，在排出液配管A127设置压力传感器，通过压力的变化进行各开闭阀119～124的控制。其原因在于，若在填满接液部401的流路(403、404)内的液体材料空出孔，则压力存在变化。 [0081] (4)液体清洗工序(步骤204) [0082] 进行向接液部固定夹具300(接液部401)供给清洗液。详细而言，由以下的两个工序所构成。 [0083] (4a)清洗液向子槽的供给(步骤204a) [0084] 在将开闭阀A119及开闭阀B120、以及开闭阀E123及开闭阀F124设为“闭”的状态下，将开闭阀C121及开闭阀D122设为“开”。于是，通过利用调节器B108而调压的压缩气体的作用，清洗液自清洗液供给槽101向子槽109、110供给。在经过设定时间后，将开闭阀C121及开闭阀D122设为“闭”。 [0085] 此处，清洗液的供给量设为在一次清洗中使用的量。另外，也可通过传感器C115及传感器D116的检测的有无而控制供给，而并非通过设定时间。在该情况下，将子槽(109、110)的容量其本身设为与一次量的清洗液的容量相同程度即可。 [0086] (4b)清洗液向接液部的供给(步骤204b) [0087] 在将开闭阀C121及开闭阀D122设为“闭”的状态下，将开闭阀A119及开闭阀B120设为“开”后，将开闭阀E123及开闭阀F124设为“开”。于是，子槽109、110内的清洗液通过利用调节器C117、调节器D118而调压的压缩气体加压，从而清洗液向接液部固定夹具300(接液部401)供给。在经过设定时间后，将开闭阀E123及开闭阀F124设为“闭”后，将开闭阀A119及开闭阀B120设为“闭”。 [0088] 再者，注意该工序的清洗液供给开始时的开闭阀的开闭的顺序与步骤203不同。其原因在于，在通过先将开闭阀A119及开闭阀B120设为“开”而充分地对子槽109、110内的清洗液进行加压后，向接液部401供给。 [0089] 如上所述，本发明设为对象的接液部401的内部的流路(403、404)为合流·分支构造，因而存在如下问题：即使以固定的压力流通清洗液，该流路(403、404)的流动也不会变得均匀。因此，本发明通过设置与接液部401的流入口相同数量的供给机构，从而解决所涉及的课题。具体而言，设置多个子槽(109、110)，并且针对每个子槽(109、110)设置开闭阀(119～124)或调节器(117、118)，从而可针对每个子槽(109、110)而控制为不同的设定值(压力值)。根据发明者所进行的实验，在图4所示的喷射式吐出装置的接液部401的清洗中，在将调节器C117设定为100[kPa]，将调节器D118设定为50[kPa]时，接液部401的流路(403、404)内的流动成为均匀的流动。可以认为其原因在于，连接部流入口A406侧的流路(供给流路)的直径小于连接部流入口B407侧的流路(动作空间)，且因较长而流动阻力较大，从而需要更大的压力。 [0090] 再者，在该实验中，步骤203及步骤206中的调节器C117及调节器D118的设定一并设为200[kPa]。 [0091] (5)判定(步骤205) [0092] 在液体清洗工序(步骤204)的实施次数未达到在步骤202中所设定的设定次数的情况下，返回至步骤204而再次实施液体清洗工序。若达到设定次数，则向下一工序的「干燥工序(步骤206)」行进。 [0093] (6)干燥工序(步骤206) [0094] 为了完全地自接液部401内的流路(403、404)内除去清洗液，供给压缩气体。 [0095] 首先，在将开闭阀C121及开闭阀D122设为“闭”的状态下，将开闭阀E123及开闭阀F124设为“开”后，将开闭阀A119及开闭阀B120设为“开”。于是，压缩气体通过调节器C117→开闭阀A119→子槽A109→切换阀A125→开闭阀E123及调节器D118→子槽B110→切换阀B126→开闭阀F124而向接液部固定夹具300(接液部401)供给。通过接液部固定夹具300的压缩气体在到达清洗液回收槽129后，向大气释放。在经过设定时间后，将开闭阀A119及开闭阀B120设为“闭”后，将开闭阀E123及开闭阀F124设为“闭”。 [0096] 通过以上内容，清洗作业结束。 [0097] 此处，若将步骤202的设定存储至控制装置的存储装置，则步骤203～205的工序可自动化。实施清洗的接液部401具有多个，在必需进行重复且相同的作业的情况下，也可高效率地进行清洗作业。 [0098] 符号的说明 [0099] 100 清洗装置 [0100] 101 清洗液供给槽 [0101] 102 容器主体(供给) [0102] 103 气体配管 [0103] 104 液体配管 [0104] 105 传感器A [0105] 106 压缩气体源 [0106] 107 调节器A [0107] 108 调节器B [0108] 109 子槽A [0109] 110 子槽B [0110] 111 容器主体(副A) [0111] 112 容器主体(副B) [0112] 113 流入液体配管 [0113] 114 排出配管 [0114] 115 传感器C [0115] 116 传感器D [0116] 117 调节器C [0117] 118 调节器D [0118] 119 开闭阀A [0119] 120 开闭阀B [0120] 121 开闭阀C [0121] 122 开闭阀D [0122] 123 开闭阀E [0123] 124 开闭阀F [0124] 125 切换阀A [0125] 126 切换阀B [0126] 127 排出液配管A [0127] 128 排出液配管B [0128] 129 清洗液回收槽 [0129] 130 容器主体(回收) [0130] 131 传感器B [0131] 300 接液部固定夹具 [0132] 301 入口侧构件 [0133] 302 出口侧构件 [0134] 303 流入管A [0135] 304 流入管B [0136] 305 流出管 [0137] 306 衬垫A [0138] 307 衬垫B [0139] 308 衬垫C [0140] 309 弹簧锁 [0141] 310 流入管端部A [0142] 311 流入管端部B [0143] 312 凹部 [0144] 400 吐出装置 [0145] 401 接液部 [0146] 402 棒状构件 [0147] 403 动作空间(流路A) [0148] 404 液体材料供给流路(流路B) [0149] 405 喷嘴 [0150] 406 连接部流入口A [0151] 407 连接部流入口B [0152] 408 连接部流出口 [0153] 409 驱动部 [0154] 410 液体材料贮存容器 [0155] 411 阀座 [0156] 412 螺杆状的轴环 [0157] 413 旋转阀 |
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