液体材料的吐出装置及吐出方法 |
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申请号 | CN201380008263.0 | 申请日 | 2013-02-04 | 公开(公告)号 | CN104245152B | 公开(公告)日 | 2017-11-07 |
申请人 | 武藏工业株式会社; | 发明人 | 生岛和正; | ||||
摘要 | 本 发明 的吐出装置(1)具备:液体室(13),其与吐出口(11)连通并供给有液体材料; 柱塞 ,其与 活塞 (30)连结,并以与液体室(13)的侧面不 接触 的状态在液体室(13)内进退动作;弹性体(40),其对柱塞(33)施 力 ;主体(2),其设置有配设有活塞(30)的活塞室(20);电磁 阀 (61,62,63,64),其将自压缩气体源供给的加压气体供给至活塞室(20),或自活塞室(20)排出加压气体;及控制装置(90),其控制上述 电磁阀 (61,62,63,64)的动作,上述电磁阀包含并列连接于活塞室(20)的多个电磁阀(61,62,63,64)。根据该结构,能够使吐出装置小型化并且使柱塞高速动作。 | ||||||
权利要求 | 1.一种液体材料的吐出装置,其特征在于, |
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说明书全文 | 液体材料的吐出装置及吐出方法技术领域[0001] 本发明涉及一种可为了高速且连续地进行吐出作业而供给充分的压缩空气的液体材料的吐出装置及吐出方法。 背景技术[0002] 作为将液体材料制成滴状而高速连续吐出的装置,已知有如下装置:在具有吐出口的液体室内,在使柱塞朝向吐出口而急速前进之后使其急剧停止,由此自吐出口以液滴的状态吐出液体。 [0004] 作为以柱塞的前端部与液体室的内壁不接触的状态使柱塞前进移动及停止前进,由此对液体材料施加惯性力而以液滴的状态吐出的液滴吐出装置,例如有申请人提出的专利文献2所记载的装置。 [0005] 先前技术文献 [0006] 专利文献 [0007] 专利文献1:日本专利特许第4663894号公报 [0008] 专利文献2:国际公开第2008/108097号公报 发明内容[0009] 发明所要解决的问题 [0010] 可通过上述现有装置而将液体材料制成滴状而高速连续吐出,但在现场为了进一步提高生产性,要求能以更高的节拍连续吐出的吐出装置。 [0011] 为了实现高节拍化,有效的是将柱塞的动作用空气高压化。然而,在该方法中,必须使吐出装置内的流路等为高耐压规格,会产生装置 大型化、高重量化的问题。若以桌上的作业为前提,则必须避免装置的大型化、高重量化。 [0012] 因此,本发明的目的在于提供一种小型并且与以往相比能以高节拍连续吐出的液体材料的吐出装置及吐出方法。 [0013] (解决问题的技术手段) [0014] 发明者着眼于电磁阀在装置整体中所占的大小较小的情况,获得通过并列配置电磁阀而实现高节拍化的见解,从而完成本发明的创作。即,本发明包含以下技术手段。 [0015] 第1发明是一种液体材料的吐出装置,其特征为具备:液体室,与吐出口连通并供给有液体材料;柱塞,与活塞连结,并以前端与液体室的侧面不接触的状态在液体室内进行进退动作;弹性体,对柱塞赋予作用力;主体,设置有配置有活塞的活塞室;电磁阀,将自压缩气体源供给的加压气体供给至活塞室,或自活塞室排出加压气体;及控制装置,控制上述电磁阀的动作,上述电磁阀由并列连接于活塞室的多个电磁阀构成,该多个电磁阀的各个由能够切换连通压缩气体源与活塞室的第一位置及连通活塞室与大气的第二位置的切换阀构成。 [0016] 第2发明的特征为,第1发明的液体吐出装置中,所述多个电磁阀为阀开闭速度和流量为相同的多个电磁阀。 [0017] 第3发明的特征为,第1或2发明的液体吐出装置中,固定器,包含保持构件和中继构件而成,所述保持构件保持所述多个电磁阀,所述中继构件具有连通所述多个电磁阀与活塞室的内部流路;上述保持构件具有与压缩气体源连通的供给口、及将供给至供给口的压缩气体分配至上述多个电磁阀的多个送出口;上述中继构件具有连通上述多个电磁阀与活塞室的内部流路。 [0018] 第4发明的特征为,第3发明的液体吐出装置中,上述中继构件具有将上述多个电磁阀的各个与活塞室连通的多个内部流路。 [0019] 第5发明的特征为,第3或4发明的液体吐出装置中,上述固定器以自由装卸于上述主体的方式而固定。 [0020] 第6发明的特征为,第1~5的任意一者的发明的液体吐出装置中,上述电磁阀由三或四个电磁阀构成。 [0021] 第7发明的特征为,第1~6的任意一者的发明的液体吐出装置中,上述控制装置将通过所述电磁阀进行的所述压缩气体源与所述活塞室的连通,对于各电磁阀在不同时机进行。 [0022] 第8发明的特征为,第1~7的任意一者的发明的液体吐出装置中,其为桌上型。 [0023] 第9发明是一种液体材料的吐出方法,其提供具备以下部分的吐出装置:液体室,与吐出口连通并供给有液体材料;柱塞,与活塞连结,并以前端与液体室的侧面不接触的状态在液体室内进行进退动作;弹性体,对柱塞赋予作用力;主体,设置有配设有活塞的活塞室;电磁阀,将自压缩气体源供给的加压气体供给至活塞室,或自活塞室排出加压气体;及控制装置,其控制上述电磁阀的动作;上述电磁阀由并列连接于活塞室的多个电磁阀构成,所述多个电磁阀的各个为能够切换连通压缩气体源与活塞室的第一位置及连通活塞室与大气的第二位置的切换阀;且该液体材料的吐出方法具有以下工序:上述多个电磁阀以所期望的时机连通压缩气体源与活塞室的第1工序;上述多个电磁阀同时连通活塞室与大气的第2工序;以及通过重复进行第1及第2工序而连续吐出液滴的第3工序。 [0024] 第10发明的特征为,第9发明的液体材料的吐出方法中,所述多个电磁阀由阀开闭速度和流量为相同的多个电磁阀构成。 [0025] 第11发明的特征为,第9或10发明的液体材料的吐出方法中,在上述第1工序中,上述多个电磁阀同时连通压缩气体源与活塞室。 [0026] 第12发明的特征为,第9或10发明的液体材料的吐出方法中,在上述第1工序中,上述多个电磁阀依次连通压缩气体源与活塞室。 [0027] 第13发明的特征为,第9~12的任意一者的发明的液体材料的吐出方法中,其将自一个压缩气体源分配供给至上述多个电磁阀的加压气体经由与各电磁阀连通的一个流路而供给至上述活塞室。 [0028] 第14发明的特征为,第9~12的任意一者的发明的液体材料的吐出方法中,其将自一个压缩气体源分配供给至上述多个电磁阀的加压气体经由与各电磁阀一对一地连通的多个流路而供给至上述活塞室。 [0029] 第15发明的特征为,第9~14的任意一者的发明的液体材料的吐出方法中,上述电磁阀由三或四个电磁阀构成。 [0030] 第16发明的特征为,第9~15的任意一者的发明的液体材料的吐出方法中,在上述第2工序中,以上述柱塞的前端与位于柱塞的前进移动方向上的液体室的内壁不接触的状态使柱塞前进移动及停止前进,由此对液体材料施加惯性力而以液滴状态吐出。 [0031] 第17发明的特征为,第9~16的任意一者的发明的液体材料的吐出方法中,在上述第3工序中,连续吐出每秒钟300滴以上的液滴。 [0032] 发明的效果 [0034] 图1为第一实施方式的吐出装置的主要部分剖面图。 [0035] 图2为说明电磁阀装置的立体图。此处,(a)为电磁阀装置的立体图,(b)为将(a)分解的状态的立体图。 [0036] 图3为构成固定器的各构件的后视图。此处,(a)为抓持构件的后视图,(b)为中继构件的后视图。 [0037] 图4为表示电磁阀数及打开的时机与压力到达时间的关为的图表。此处,(a)为同时打开的情况,(b)为不同时打开的情况。 [0038] 图5为第二实施方式的吐出装置的主要部分剖面图。 [0039] 图6为第三实施方式的吐出装置的主要部分剖面图。 [0040] 图7为第四实施方式的吐出装置的主要部分剖面图。 [0041] 图8为第五实施方式的吐出装置的主要部分剖面图。 [0042] 图9为第六实施方式的吐出装置的主要部分剖面图。 具体实施方式[0043] 以下,对用以实施本发明的形态例进行说明。 [0044] (第一实施方式) [0045] 第一实施方式的吐出装置1是关于一种具备将压缩气体供给至活塞室的并列连接的两个电磁阀的吐出装置。图1是第一实施方式的吐出装置1的主要部分剖面图。以下,为了便于说明,有时会将吐出口11侧称为前方,将测微器42侧称为后方。 [0046] 对构成吐出装置1的吐出部10及压力供给部50进行说明。 [0047] (吐出部) [0049] 活塞室20由活塞30隔断为前方活塞室21及后方活塞室22。活塞30在侧周面具有密封件,且密封成能以紧密附着于活塞室20的状态滑动。 [0050] 前方活塞室21经由空气流路49而与压力供给部50连通。若压缩空气供给至前方活塞室21,则活塞30进行后退移动,若前方活塞室21内的压缩空气自空气流路49排出,则活塞30由弹簧40的作用力进行前进移动。活塞30与杆(柱塞)33连结,在活塞30的往返移动的同时,杆前端35也在液体室13内往返移动。此时,杆33以与液体室13的侧面不接触的状态往返移动。杆前端35到达设置于位于液体室13的前方的底面(或位于柱塞的进入移动方向上的内壁)的阀座15,由此液体材料被隔断并以液滴的状态飞射吐出。 [0051] 活塞30也与后方接触构件32连结。 [0052] 在主体2的后端,配设有侵入至弹簧室23的后方阻件41。后方阻件41通过与后方接触构件32的后端部接触而限制活塞30的后方移动。后方阻件41的后端连接于测微器42,且可通过操作测微器42而调整后方阻件41的前后位置。 [0053] 弹簧室23经由空气流路24而与大气连通。 [0054] 在主体2的前方固设有喷嘴组块3。在喷嘴组块中,螺合连接有喷嘴构件4。在喷嘴组块的侧方,设置有与未图示的液体储留容器连通的液体材料供给路12。在喷嘴组块内的液体室13中,自液体材料供给路12供给有液体材料。 [0055] (压力供给部) [0056] 图2为说明构成压力供给部50的电磁阀装置的立体图,图3为构成固定器的各构件的后视图。 [0057] 一体地配置于吐出部10的侧方的电磁阀装置包含电磁阀A61、电磁阀B62、及保持电磁阀AB的固定器70。 [0058] 电磁阀61、62为可切换连通未图示的加压气体源与活塞室20的第一位置及连通活塞室20与大气的第二位置的切换阀,阀开闭速度及流量相同。电磁阀61、62的动作由未图示的控制部90而加以控制。电磁阀61、62以由固定器70保持的状态被单元化,可进行一体的操作。再者,亦可在固定器70上设置减压阀,将调整为所期望的压力的空气压力供给至电磁阀。 [0059] 电磁阀A61包含空气供给口A66、空气排出口A67及设置于背面的空气送出口(未图示)。该空气送出口通过电磁阀A61的作用而与空气供给口A66或空气排出口A67的一者连通。 [0060] 电磁阀B62包含空气供给口B68、空气排出口B69及设置于背面的空气送出口(未图示)。该空气送出口通过电磁阀B62的作用而与空气供给口B68或空气排出口B69的一者连通。 [0061] 固定器70由抓持构件(保持构件)71及中继构件72构成,抓持构件71与中继构件72以可分解的方式加以固定。 [0062] 抓持构件71在正面具有空气供给口73及排出口74,在背面具有空气送出口A75、空气流入口A76、空气送出口B77及空气流入口B78,在内部形成有将供给至空气供给口73的空气进行分支的流路。自空气供给口73至空气送出口A75为止的流路长度与自空气供给口73至空气送出口B77为止的流路长度相同。另外,自空气流入口A76至排出口74为止的流路长度与自空气流入口B78至排出口74为止的流路长度也相同。 [0063] 中继构件72在正面具有空气接收口A79及空气接收口B80,在背面具有空气送出口81。中继构件72以可装卸的方式将电磁阀AB固定于主体2的侧面。在中继构件72中,自空气供给口A66至空气流路49为止的流路长度与自空气供给口B68至空气送出口81为止的流路长度构成为相同。另外,自空气送出口81至空气排出口A67为止的流路长度与自空气送出口 81至空气排出口B69为止的流路长度也构成为相同。 [0064] 对自未图示的加压气体源至经由减压阀而供给至空气供给口73的空气送出至前方活塞室21为止的路径进行说明。此处,由控制部90设定电磁阀AB同时进行开闭动作。 [0065] 供给至空气供给口73的压缩空气在抓持构件71内进行分支,自空气送出口A75供给至空气供给口A66,自空气送出口B77供给至空气供给口B68。 [0066] 供给至空气供给口A66的压缩空气通过电磁阀A61的内部流路,并自电磁阀A61的空气送出口(未图示)送至中继构件72的空气接收口A79。同样地,供给至空气供给口B68的压缩空气通过电磁阀B62的内部流路,并自电磁阀B62的空气送出口(未图示)送至中继构件72的空气接收口B80。供给至空气接收口A79及空气接收口B80的空气在中继构件72的内部流路合流,而自中继构件72的空气送出口81供给至空气流路49。 [0067] 如此,可分支流路而将自一个压力供给口接收的空气供给至并列配置的两个电磁阀的各个,并使通过电磁阀的空气再次合流而自一个压力送出口送出至吐出部。 [0068] 也可与此不同地,错开电磁阀AB开闭的时机。例如,也可稍微错开电磁阀AB的打开的时机而使流入至空气室的空气的流量随时间变化,由此使活塞(柱塞)的后退动作的起始动作顺畅。由此,可防止活塞(柱塞)后退动作时的液体室内的空穴现象的产生。 [0069] 图4是表示电磁阀的数量及打开的时机与压力到达时间的关系的图表。该图表表示打开电磁阀向压力室内供给压力时的压力室的压力变化,(a)为打开一个电磁阀时的压力变化与同时打开并列配置的两个电磁阀时的压力变化图,(b)为打开一个电磁阀时的压力变化与错开并列配置的两个电磁阀的打开的时机的情况时的压力变化图。该图中的虚线在(a)、(b)中均表示一个电磁阀中的压力变化。 [0070] 如(a)所示,在同时打开相同规格的两个电磁阀(阀1、阀2)的情况时,刚打开后的压力室的压力与一个电磁阀的情况相比变高。当然,柱塞的移动也为两个电磁阀的情况较快。 [0071] (b)为将相同规格的两个电磁阀(阀1、阀2)错开时机而打开的情况时的图表。在此情况时,关于压力室内的压力,由于最初仅打开1个电磁阀(阀1),故而以与打开一个电磁阀的情况时相同的曲线增加,若打开第2个电磁阀(阀2),则压力上升率提高,与一个电磁阀相比,可更快地达到所期望的压力。 [0072] 视液体材料的种类,会有若使柱塞急剧后退移动而施加负压,则容易产生空穴现象的情况,在此情况时,通过将2个电磁阀错开时机而依次打开,可防止空穴现象的产生,并且可缩短节拍时间。在要进行更细微的控制的情况时,如下述第六实施方式那样增加电磁阀的数量即可。 [0073] 以上所说明的本实施方式的吐出装置为不提高加压气体源的供给压,通过并列配置高速动作的电磁阀而增加空气供给量的结构,故而可不使装置大型化、高重量化而缩短节拍时间。 [0074] 另外,可不将装置大型化而实现液滴的超高速吐出(例如每秒钟300滴以上,优选为每秒钟400滴以上,进而较佳为每秒钟500滴以上)。若能使柱塞杆高速动作,则当然可谋求作业效率化,也可实现进一步的微量吐出。 [0075] (第二实施方式) [0076] 第二实施方式的吐出装置1关于一种如下吐出装置:其以杆前端35与位于液体室13的前方的底面(或位于柱塞的前进移动方向的内壁)不接触的状态(即未到达阀座)使柱塞前进移动及停止前进,由此对液体材料施加惯性力而以液滴的状态飞射吐出。以下,仅对与第一实施方式不同的部分进行说明而省略重复部分的说明。 [0077] 图5为第二实施方式的吐出装置1的主要部分剖面图。本实施方式的吐出装置1与第一实施方式不同的方面在于:其于活塞30的前进方向上形成有碰撞部31,通过碰撞部31与位于活塞室20的前方的内壁(底面)进行碰撞,而活塞30的前进移动急速停止。由于杆前端35未到达阀座,故而无由于到达阀座而产生磨擦碎片或颗粒的担忧。另外,即便于液体材料含有填料等固形物的情况时,也可防止固形物的破裂或破损引起的吐出精度的降低,可不损害液体材料的功能、性质而吐出。 [0078] 在图5中未记载,但也可并入将停止前进时的柱塞的前端部的位置规定于位于其前进方向上的液体室的内壁(底面)附近的所需位置的柱塞位置决定机构(参考专利文献2)。 [0079] 电磁阀61、62及固定器70为与第一实施方式相同的结构。 [0080] 即便于本实施方式中,也可不提高加压气体源的供给压而通过增 加空气供给量而缩短节拍时间。另外,可不将装置大型化而实现液滴的超高速吐出(例如每秒钟300滴以上,优选为每秒钟400滴以上,进而优选为每秒钟500滴以上)。 [0081] (第三实施方式) [0082] 第三实施方式的吐出装置1是关于一种供给压缩气体的并列连接的两个电磁阀以不同的流路连接于活塞室的吐出装置。以下,仅对与第二实施方式不同的部分进行说明而省略重复部分的说明。 [0083] 图6为第三实施方式的吐出装置1的主要部分剖面图。在图6中,省略对应于图1的压力供给部50的部分的记载,主要对电磁阀A61、电磁阀B62及控制部90进行图示。 [0084] 本实施方式的吐出装置1与第二实施方式不同的方面在于:其构成固定器70的中继构件72具备与空气流路49连通的两个空气送出口81。即,中继构件72包含的一空气送出口81与空气接收口A79连通,另一空气送出口81与空气接收口B80连通。 [0085] 即便在本实施方式中,也可不提高加压气体源的供给压而通过增加空气供给量而缩短节拍时间。另外,可不将装置大型化而实现液滴的超高速吐出(例如每秒钟300滴以上,优选为每秒钟400滴以上,进而优选为每秒钟500滴以上)。 [0086] (第四实施方式) [0087] 第四实施方式的吐出装置1是关于一种在活塞30的下方配置有弹簧40的吐出装置。以下,仅对与第一实施方式不同的部分进行说明而省略重复部分的说明。再者,在图7中,注射器8与液体材料供给路12经由管9而连接,该部分成为与第一至第三实施方式相同的结构。 [0088] 图7是第四实施方式的吐出装置1的主要部分剖面图。本实施方式的吐出装置1与第一实施方式不同的方面在于:其在活塞30的前进方向上配置有弹簧40,且通过将压缩气体供给至后方活塞室22而使活塞30前进移动。即,若经由电磁阀61、62而将加压气体供给至活塞室,则活塞30前进移动,若经由电磁阀61、62而自活塞室排出加压气体,则活塞30由于弹簧40的作用力而后退移动。杆前端35到达设置于位于液体室13的前方的内壁(底面)的阀座15,由此使液体材料隔 断并以液滴的状态飞射吐出。 [0089] 另外,在本实施方式中,电磁阀61、62内置于压力供给单元51。压力供给单元51在背面设置有空气送出口81,以空气送出口81与空气流路24连通的方式安装于主体2。压力供给单元51在正面具有空气供给口73及空气排出口74,空气供给口73经由减压阀94而与加压气体源连通。 [0090] 在本实施方式中,也可不提高加压气体源的供给压而通过增加空气供给量而缩短节拍时间。另外,可不将装置大型化而实现液滴的超高速吐出(例如每秒钟300滴以上,优选为每秒钟400滴以上,进而优选为每秒钟500滴以上)。 [0091] (第五实施方式) [0092] 第五实施方式的吐出装置1是关于一种于液体材料自吐出口分离之前与工件接触的类型(以轴体的前端开闭吐出流路的方式)的吐出装置。以下仅对与第四实施方式不同的部分进行说明而省略重复部分的说明。 [0093] 图8为第五实施方式的吐出装置1的主要部分剖面图。本实施方式的吐出装置1通过与活塞30连结的杆的前端35开闭与吐出口11连通的流路而进行液体的吐出。液体并非由于杆33的惯性力的作用而被吐出,而是由于施加至储留罐97的空气压力的作用而被吐出。 [0094] 自压力供给源供给的空气压力经由空气管6,通过减压阀95调整至所期望的压力而供给至储留有液体材料的储留罐97。储留罐97内的经加压的液体材料自前端配置于储留罐97内的底面附近的吸管96通过液体管9而将液体材料供给至吐出装置1的液体材料供给路12,并供给至连通于液体材料供给路12的液体室13。液体室13构成为其吐出方向前端由吐出装置1的杆33的前端35进行开闭,若该杆33的前端35到达阀座15,则连接液体室13与喷嘴构件4的吐出口11的流路被阻断。 [0095] 继而,若吐出装置1的杆33上升移动,则液体室13与喷嘴构件4的吐出口11连通,由利用减压阀95进行调压的空气压力进行加压的液体材料自喷嘴构件4的吐出口11吐出。通过使杆前端35下降移动而到达阀座15,吐出结束。储留罐97例如储留数公升~数十公升的液 体材料。 [0096] 压力供给单元51为与第五实施方式相同的构成。通过将2个电磁阀错开时机而依序打开,可使杆33的后退动作的起始动作更顺畅,并可防止空穴现象的产生。 [0097] (第六实施方式) [0098] 第六实施方式的吐出装置1是关于一种具备并列连接的四个电磁阀的吐出装置。以下,仅对与第二实施方式不同的部分进行说明而省略重复部分的说明。 [0099] 图9为第六实施方式的吐出装置1的主要部分剖面图。在图9中,省略对应于图1的压力供给部50的部分的记载而主要对电磁阀A61、电磁阀B62、电磁阀C63、电磁阀D64及控制部90进行图示。 [0100] 本实施方式的吐出装置1与第二实施方式不同的方面在于:其具有4个电磁阀,且具备固定器70保持4个电磁阀的构造。 [0101] 电磁阀61~64为与第一及第二实施方式相同的结构。抓持构件71在正面具有空气供给口73及排出口74,在背面具有4个空气送出口A~D及4个空气流入口A~D。中继构件72具备4个空气接收口A~D,且连接于空气接收口A~D的流路被合流而将加压空气自一个压力送出口81送出至吐出部。在电磁阀的数量较多的情况时,使连接于各电磁阀的流路合流后将加压空气送出至吐出部的情况就小型化的观点而言优选。 [0102] 本实施方式的吐出装置1适于进行电磁阀的阶段性开放。即,在4个并列配置的电磁阀中,若首先打开第1电磁阀,其后依序为第2电磁阀、第3电磁阀、第4电磁阀,则通过依序打开各电磁阀,而与同时打开该等4个电磁阀的情况相比,可降低对空气室的空气供给开始时的流量,故而可使活塞30的后退动作的起始动作更顺畅。 [0103] 在本实施方式中,也可不提高加压气体源的供给压而通过增加空气供给量而缩短节拍时间。另外,可不将装置大型化而实现液滴的超高速吐出(例如每秒钟300滴以上,优选为每秒钟400滴以上,进而优选为每秒钟500滴以上)。 [0104] 产业上的可利用性 [0105] 本发明可应用于由使称为柱塞、阀轴、杆等的轴体高速地重复进行往返动作而吐出液体材料的技术。 [0106] 另外,不仅可应用于在液体材料自吐出部分离之后与工件接触的类型的吐出方式,亦可应用于在液体材料自吐出部分离之前与工件接触的类型的吐出方式(在轴体的前端开闭吐出流路的方式)。 [0107] 符号说明 [0108] 1 吐出装置 [0109] 2 主体 [0110] 3 吐出组块 [0111] 4 喷嘴构件 [0112] 5 空气供给装置 [0113] 6 空气管 [0114] 7 接合器 [0115] 8 液体储留容器(注射器) [0116] 9 液体管 [0117] 10 吐出部 [0118] 11 吐出口 [0119] 12 液体材料供给路 [0120] 13 液体室 [0121] 14 吐出流路 [0122] 15 阀座 [0123] 20 活塞室 [0124] 21 前方活塞室 [0125] 22 后方活塞室 [0126] 23 弹簧室 [0127] 24 空气流路 [0128] 30 活塞 [0129] 31 碰撞部 [0130] 32 后方接触构件 [0131] 33 杆 [0132] 35 前端 [0133] 40 弹簧 [0134] 41 后方阻件 [0135] 42 测微器 [0136] 49 空气流路 [0137] 50 压力供给部(电磁阀装置) [0138] 51 压力供给单元 [0139] 61 电磁阀A [0140] 62 电磁阀B [0141] 63 电磁阀C [0142] 64 电磁阀D [0143] 65 电磁阀E [0144] 66 空气供给口A [0145] 67 空气排出口A [0146] 68 空气供给口B [0147] 69 空气排出口B [0148] 70 固定器 [0149] 71 抓持构件 [0150] 72 中继构件 [0151] 73 空气供给口 [0152] 74 空气排出口 [0153] 75 空气送出口A [0154] 76 空气流入口A [0155] 77 空气送出口B [0156] 78 空气流入口B [0157] 79 空气接收口A [0158] 80 空气接收口B [0159] 81 空气送出口 [0160] 90 控制部 [0161] 94、95 减压阀 [0162] 96 吸管 [0163] 97 储留罐 |