휴대형 정보단말, 빔 조사 시스템, 및 프로그램

申请号 KR1020180034521 申请日 2018-03-26 公开(公告)号 KR1020180109730A 公开(公告)日 2018-10-08
申请人 发明人
摘要 [과제] 원하는위치에있어서제1 조작항목의조작을행할수 있는휴대형정보단말를제공하는것. [해결수단] 휴대형정보단말은, 시료에하전입자빔을조사하여시료에대한처리를행하는하전입자빔 조사장치와별체의휴대형정보단말로서, 하전입자빔 조사장치에조작가능한복수의조작항목중 1 이상의일부의조작항목인제1 조작항목을유저로부터의조작에의거하여조작가능한 GUI(Graphical User Interface)를포함하는화상을표시부로하여금표시하게하는표시제어부를구비한다.
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