1.一种用于执行边沿缓变以减少等离子体阻抗的改变对依赖性射频信号的影响的系统，其包括：
用于产生第一射频信号的主射频产生器，其中所述第一射频信号从一种状态渡越到另一种状态，所述第一射频信号从一种状态到另一种状态的所述渡越导致等离子体阻抗的改变；
用于产生第二射频信号的次级射频产生器，其中所述第二射频信号从一种状态渡越到另一种状态以稳定所述等离子体阻抗的改变；
耦合到所述次级射频产生器的控制器，所述控制器用于提供参数值给所述次级射频产生器以在所述第二射频信号从一种状态渡越到另一种状态时执行所述第二射频信号的边沿缓变，其中执行第二射频信号的边沿缓变以将第二射频信号的渡越速率改变为不同于所述第一射频信号的渡越速率。
2.如权利要求1所述的用于执行边沿缓变以减少等离子体阻抗的改变对依赖性射频信号的影响的系统，其中所述边沿缓变具有正或负的坡度。
3.如权利要求1所述的用于执行边沿缓变以减少等离子体阻抗的改变对依赖性射频信号的影响的系统，其中所述参数值包括频率值、功率值、或其组合。
4.一种用于减少射频信号的功率电平的改变对等离子体阻抗的影响的系统，其包括：
主产生器，其包括：
用于产生主射频信号的主激励器和放大器；
用于识别数字脉冲信号的状态的主数字信号处理器，所述状态包括第一状态和第二状态，
所述主数字信号处理器用于在所述数字脉冲信号处于所述第一状态时识别第一主频率输入以及用于在所述数字脉冲信号处于所述第二状态时识别第二主频率输入；
耦合到所述主数字信号处理器以及所述主激励器和放大器的第一主自动频率调谐器，所述第一主自动频率调谐器用于从所述主数字信号处理器接收所述第一主频率输入以及调谐所述主射频信号以达到对应于所述第一主频率输入的等离子体阻抗；
耦合到所述主数字信号处理器以及所述主激励器和放大器的第二主自动频率调谐器，所述第二主自动频率调谐器用于从所述主数字信号处理器接收所述第二主频率输入以及调谐所述主射频信号以达到对应于所述第二主频率输入的等离子体阻抗，所述主射频信号具有从所述第一主频率输入到所述第二主频率输入的渡越的主速率；
次级产生器，其包括：
用于产生次级射频信号的次级激励器和放大器；
用于识别所述数字脉冲信号的所述状态的次级数字信号处理器，
所述次级数字信号处理器用于在所述数字脉冲信号处于所述第一状态时识别第一次级频率输入以及用于在所述数字脉冲信号处于所述第二状态时识别第二次级频率输入；
耦合到所述次级数字信号处理器以及所述次级激励器和放大器的第一次级自动频率调谐器，所述第一次级自动频率调谐器用于从所述次级数字信号处理器接收所述第一次级频率输入以及调谐所述次级射频信号以达到对应于所述第一次级频率输入的等离子体阻抗；
耦合到所述次级数字信号处理器以及所述次级激励器和放大器的第二次级自动频率调谐器，所述第二次级自动频率调谐器用于从所述次级数字信号处理器接收所述第二次级频率输入以 及调谐所述次级射频信号以达到对应于所述第二次级频率输入的等离子体阻抗，
所述次级数字信号处理器被配置来确定从所述第一次级频率输入到所述第二次级频率输入的渡越的次级速率，其中渡越的所述次级速率不同于渡越的所述主速率。
5.如权利要求4所述的用于减少射频信号的功率电平的改变对等离子体阻抗的影响的系统，其中渡越的所述次级速率小于渡越的所述主速率。
6.如权利要求4所述用于减少射频信号的功率电平的改变对等离子体阻抗的影响的系统，其中从所述第一次级频率输入渡越到所述第二次级频率输入所耗费的第一时间量大于从所述第一主频率输入渡越到所述第二主频率输入所耗费的第二时间量。
7.如权利要求6所述的用于减少射频信号的功率电平的改变对等离子体阻抗的影响的系统，其中所述第一时间量小于用于使等离子体阻抗稳定的第三时间量。
8.如权利要求6所述的用于减少射频信号的功率电平的改变对等离子体阻抗的影响的系统，其中所述第一时间量小于阻抗匹配电路用于使所述次级产生器的一或多个部件的阻抗与等离子体室的一或多个部件的阻抗相匹配的第三时间量。
9.如权利要求4所述的用于减少射频信号的功率电平的改变对等离子体阻抗的影响的系统，其中所述第一状态是高状态而所述第二状态是低状态。
10.如权利要求4所述的用于减少射频信号的功率电平的改变对等离子体阻抗的影响的系统，其中所述第一状态是打开状态而所述第二状态是关闭状态。
11.一种用于减少射频信号的功率电平的改变对等离子体阻抗的影响的系统，其包括：
主产生器，其包括：
用于产生主射频信号的主激励器和放大器；
耦合到所述主激励器和放大器的一或多个主控制器，所述一或多个主控制器被配置来：
识别数字脉冲信号的状态，所述状态包括第一状态和第二状态，
调谐所述主射频信号以在所述数字脉冲信号处于所述第一状态时达到对应于第一主功率输入的等离子体阻抗；以及
调谐所述主射频信号以在所述数字脉冲信号处于所述第二状态时达到对应于第二主功率输入的等离子体阻抗，
所述主射频信号具有从所述第一主功率输入到所述第二主功率输入的渡越的主速率；
次级产生器，其包括：
用于产生次级射频信号的次级激励器和放大器；
耦合到所述次级激励器和放大器的一或多个次级控制器，所述一或多个次级控制器被配置来：
调谐所述次级射频信号以在所述数字脉冲信号处于所述第一状态时达到对应于第一次级功率输入的等离子体阻抗；
调谐所述次级射频信号以在所述数字脉冲信号处于所述第二状态时达到对应于第二次级功率输入的等离子体阻抗；以及
确定从所述第一次级功率输入到所述第二次级功率输入的渡越的次级速率，其中渡越的所述次级速率不同于渡越的所述主速率。
12.如权利要求11所述的用于减少射频信号的功率电平的改变对等离子体阻抗的影响的系统，其中渡越的所述次级速率小于渡越的所述主速率。
13.如权利要求11所述的用于减少射频信号的功率电平的改变对等离子体阻抗的影响的系统，其中从所述第一次级功率输入渡越到所述第二次级功率输入所耗费的第一时间量大于从所述第一主功率输入渡越到所述第二主功率输入所耗费的第二时间量。
14.如权利要求13所述的用于减少射频信号的功率电平的改变对等离子体阻抗的影响的系统，其中所述第一时间量小于用于在所述第二状态使等离子体阻抗稳定的第三时间量。
15.如权利要求13所述的用于减少射频信号的功率电平的改变对等离子体阻抗的影响的系统，其中所述第一时间量小于阻抗匹配电路用于使所述次级产生器的一或多个部件的阻抗与等离子体室的一或多个部件的阻抗相匹配的第三时间量。
16.如权利要求11所述的用于减少射频信号的功率电平的改变对等离子体阻抗的影响的系统，其中所述第一状态是高状态而所述第二状态是低状态。
17.如权利要求11所述的用于减少射频信号的功率电平的改变对等离子体阻抗的影响的系统，其中所述第一状态是打开状态而所述第二状态是关闭状态。
18.一种用于减少射频信号的功率电平的改变对等离子体阻抗的影响的方法，其包括：
识别数字脉冲信号的状态，所述状态包括第一状态和第二状态，
当所述数字脉冲信号处于所述第一状态时识别第一主频率输入；
当所述数字脉冲信号处于所述第二状态时识别第二主频率输入；
调谐主射频信号以在所述数字脉冲信号处于所述第一状态时达到对应于所述第一主频率输入的等离子体阻抗；
调谐所述主射频信号以在所述数字脉冲信号处于所述第二状态时达到对应于所述第二主频率输入的等离子体阻抗，
所述主射频信号具有从所述第一主频率输入到所述第二主频率输入的渡越的主速率；
当所述数字脉冲信号处于所述第一状态时识别第一次级频率输入；
当所述数字脉冲信号处于所述第二状态时识别第二次级频率输入；
调谐次级射频信号以在所述数字脉冲信号处于所述第一状态时达到对应于所述第一次级频率输入的等离子体阻抗；
调谐所述次级射频信号以在所述数字脉冲信号处于所述第二状态时达到对应于所述第二次级频率输入的等离子体阻抗，
确定从所述第一次级频率输入到所述第二次级频率输入的渡越的次级速率，其中渡越的所述次级速率不同于渡越的所述主速率。
19.如权利要求18所述的用于减少射频信号的功率电平的改变对等离子体阻抗的影响的方法，其中渡越的所述次级速率小于渡越的所述主速率。
20.如权利要求18所述的用于减少射频信号的功率电平的改变对等离子体阻抗的影响的方法，其中从所述第一次级频率输入渡越到所述第二次级频率输入所耗费的第一时间量大于从所述第一主频率输入渡越到所述第二主频率输入所耗费的第二时间量。
21.如权利要求20所述的用于减少射频信号的功率电平的改变对等离子体阻抗的影响的方法，其中所述第一时间量小于用于在所述第二状态使等离子体阻抗稳定的第三时间量。
22.如权利要求20所述的用于减少射频信号的功率电平的改变对等离子体阻抗的影响的方法，其中所述第一时间量小于第三时间 量，所述第三时间量用于使产生所述次级射频信号的产生器的一或多个部件的阻抗与等离子体室的一或多个部件的阻抗相匹配。
23.如权利要求20所述的用于减少射频信号的功率电平的改变对等离子体阻抗的影响的方法，其中所述第一状态是高状态而所述第二状态是低状态。