1.一种集成微波波导包括：
波导区块；
在所述波导区块中的第一波导部分；
在所述波导区块中的第二波导部分；
与所述波导区块中的所述第一波导部分集成的第一阻抗转换部分，其中所述第一阻抗转换部分包括具有第一端和第二端的第一导管，其中所述第一导管从所述第一端到所述第二端逐渐变细；和
与所述波导区块中的所述第二波导部分集成的第二阻抗转换部分，其中所述第二阻抗转换部分包括具有第三端和第四端的第二导管，其中所述第二导管从所述第三端到所述第四端逐渐变细，并且其中所述第一阻抗转换部分的所述第二端与所述第二阻抗转换部分的所述第四端在天线接头处相连接。
2.如权利要求1的集成微波波导，其中所述第一波导部分包括具有第五端和第六端的第三导管，其中所述第一波导部分的第五端连接至所述波导区块的表面。
3.如权利要求2的集成微波波导，其中所述第二波导部分包括具有第七端和第八端的第四导管，其中所述第二波导部分的第七端连接至所述波导区块的表面。
4.如权利要求2的集成微波波导，其中所述第一阻抗转换部分的第一端是连接至所述波导区块的表面。
5.如权利要求2的集成微波波导，其中所述第一波导部分的第六端与所述第一阻抗转换部分的第一端相连接。
6.如权利要求3的集成微波波导，其中所述第二阻抗转换部分的第三端连接至所述波导区块的表面。
7.如权利要求3的集成微波波导，其中所述第二波导部分的第八端与所述第二阻抗转换部分的第三端连接。
8.如权利要求1的集成微波波导，其中
所述第一波导部分的一部分与所述第二波导部分的一部分平行；以及
所述天线接头被配置用于与所述第一波导部分的与所述第二波导部分的一部分平行的一部分成约90度角定向的天线。
9.如权利要求1的集成微波波导，进一步包括：
连接至所述第一波导部分的微波发生器；和
连接至所述第二波导部分的可移动活塞。
10.如权利要求1的集成微波波导，其中所述波导区块由铝、铜、黄铜和银中至少一种构成。
11.一种集成微波波导包括：
波导区块；
在所述波导区块中的第一阻抗转换部分，其中所述第一阻抗转换部分包括具有第一端和第二端的第一导管，其中所述第一导管从所述第一端到所述第二端逐渐变细，并且其中所述第一端连接至所述波导区块的表面；以及
在所述波导区块中的第二阻抗转换部分，其中所述第二阻抗转换部分包括具有第三端和第四端的第二导管，其中所述第二导管从所述第三端到所述第四端逐渐变细，其中所述第三端连接至所述波导区块的表面，并且其中所述第一阻抗转换部分的所述第二端与所述第二阻抗转换部分的所述第四端在天线接头处相连接。
12.一种用于处理衬底表面的系统，所述系统包括：
处理室；
放置在所述处理室内部的衬底支架，所述衬底支架构造为支撑衬底；
设置在所述处理室内部的天线；
连接至所述天线的如权利要求1或11所述的集成微波波导；
连接至所述集成微波波导的微波发生器；和
连接至所述集成微波波导的可移动活塞。
13.如权利要求12的系统，进一步包括：
部分围绕所述天线的至少一个包覆护罩。
14.如权利要求12的系统，其中所述天线是功率隙缝天线。
15.如权利要求12的系统，其中所述集成微波波导由铝、铜、黄铜和银中至少一种构成。
16.一种用于处理衬底表面的方法，所述方法包括：
建立集成微波波导，其中所述建立包括：
将第一波导部分与波导区块中的第一阻抗转换部分集成；
将第二波导部分与波导区块中的第二阻抗转换部分集成；以及
将所述第一阻抗转换部分与所述第二阻抗转换部分在波导区块中的天线接头处相连接；
将微波发生器连接至所述集成微波波导的所述第一波导部分；
将可移动活塞连接至所述集成微波波导的所述第二波导部分；
将天线与所述集成微波波导在所述天线接头处相连接；
使用所述微波发生器来产生微波功率信号；
使用所述集成微波波导来引导所述微波功率信号至天线中；
使用所述微波功率来产生围绕所述天线的等离子体；
使用所述等离子体来产生至少一种等离子体物种；以及
使用由所述等离子体所产生的所述至少一种等离子体物种来处理衬底表面。
17.如权利要求16的方法，其中将所述第一波导部分与波导区块中的第一阻抗转换部分集成包括：
将所述第一波导部分的第二端与所述第一阻抗转换部分的第三端相连接，其中所述第一波导部分由具有第一端和第二端的第一导管构成，其中所述第一阻抗转换部分由具有第三端和第四端的第二导管构成，其中所述第二导管从所述第三端到所述第四端逐渐变细。
18.如权利要求16的方法，其中将所述第一波导部分与波导区块中的所述第一阻抗转换部分集成包括：
将所述第一波导部分与所述第一阻抗转换部分集成使得所述第一阻抗转换部分的第三端是所述第一波导部分的第一端并且所述第一阻抗转换部分的第四端是所述第二波导部分的第二端。
19.如权利要求16的方法，进一步包括：
使用所述可移动活塞来控制所述微波功率信号的节点位置。