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元件供给装置
申请号	CN201280076708.4	申请日	2012-10-29	公开(公告)号	CN104770075B	公开(公告)日	2017-12-26
申请人	富士机械制造株式会社;			发明人	清水利律; 大桥广康; 山崎敏彦; 村井正树;
摘要	元件供给装置具有载置晶圆片的工作台和吸附载置于工作台的晶圆片上的元件的吸附头。吸附头具有多个元件供给侧吸嘴和切换机构，该切换机构将多个元件供给侧吸嘴在多个元件供给侧吸嘴的前端朝向下方的吸附位置和使多个元件供给侧吸嘴的前端朝向上方的交接位置之间进行切换。多个元件供给侧吸嘴的配置与配备于安装机的安装头上的多个安装机侧吸嘴的配置相对应。
权利要求	1.一种元件供给装置，与具有向基板上安装元件的安装头的安装机相邻配置，向所述安装机供给所述元件，其中，所述元件供给装置具有：晶圆片补给部，被补给在薄片上配置有多个元件的晶圆片；及晶圆片搬运部，搬运向所述晶圆片补给部补给的晶圆片，所述晶圆片搬运部具有：工作台，载置所述晶圆片；及吸附头，吸附载置于所述工作台的所述晶圆片上的元件，所述吸附头具有：多个元件供给侧吸嘴；及切换机构，将所述多个元件供给侧吸嘴在所述多个元件供给侧吸嘴的前端朝向下方的吸附位置和使所述多个元件供给侧吸嘴的前端朝向上方的交接位置之间进行切换，所述多个元件供给侧吸嘴的配置与配备于所述安装机的所述安装头上的多个安装机侧吸嘴的配置相对应，所述吸附头还具有：第一壳体；及第二壳体，被以能够相对于所述第一壳体转动的方式进行支撑，并安装有所述多个元件供给侧吸嘴，所述切换机构具有使所述第二壳体相对于所述第一壳体转动的齿轮齿条机构，所述切换机构还具有旋转速度调整机构，所述旋转速度调整机构使所述第二壳体在所述吸附位置和所述交接位置附近的区域的旋转速度比所述第二壳体在除所述区域之外的其他区域的旋转速度慢。 2.如权利要求1所述的元件供给装置，其中，所述吸附头以能够相对于所述工作台沿平面方向移动的方式进行安装，所述晶圆片搬运部具备使安装有所述吸附头的所述工作台在直接供给位置和比该直接供给位置靠下的间接供给位置之间上下移动的机构，所述吸附头位于所述工作台的上方，所述工作台被定位于所述直接供给位置时的工作台的高度与所述工作台被定位于间接供给位置且所述元件供给侧吸嘴被定位于所述交接位置时的所述元件供给侧吸嘴的高度一致。
说明书全文	元件供给装置技术领域 [0001] 本说明书所公开的技术涉及对向基板上安装元件的安装机供给元件的元件供给装置。背景技术 [0002] 作为从元件供给装置向安装机供给元件的方案有：使元件的薄片侧的面安装于基板时进行的面朝上供给；和使元件的与薄片侧的面相反一侧的面安装于基板时进行的面朝下供给。在对元件进行面朝下供给的情况下，由元件供给装置侧的吸附头吸附薄片上的元件并使其翻转，将翻转后的元件交接到安装机侧的安装头上。日本特开2002-118153号公报中公开了用于进行面朝下供给的元件供给装置。发明内容 [0003] 为了缩短向基板上安装元件的时间，需要将配置在薄片上的元件向安装机侧进行供给。在面朝上供给中，由于能够由安装机侧的安装头直接吸附薄片上的元件，所以能够以短时间进行向安装机侧的元件供给。另一方面，在面朝下供给中，由于需要由元件供给装置侧的吸附头吸附薄片上的元件并使其翻转，所以向安装机侧的元件供给需要与其相应的时间。在以往的技术中，没有进行用于以短时间进行面朝下供给的研究，存在向安装机侧的元件供给需要时间这样的问题。 [0004] 在本说明书所公开的元件供给装置中，元件供给装置侧的吸附头具有多个元件供给侧吸嘴。这些多个元件供给侧吸嘴在吸嘴的前端朝向下方的吸附位置和使吸嘴的前端朝向上方的交接位置之间进行切换。并且，多个元件供给侧吸嘴的配置与配备于安装机侧的安装头上的多个安装机侧吸嘴的配置相对应。 [0005] 在该元件供给装置中，由于吸附头具有多个元件供给侧吸嘴，所以能够使吸附头同时吸附薄片上的多个元件并使其翻转。另外，由于吸附头的多个元件供给侧吸嘴的配置与安装头的安装机侧吸嘴的配置相对应，所以能够同时从吸附头向安装头交接多个元件。其结果是，与以往的装置相比，能够以短时间进行面朝下供给。 [0006] 另外，在本说明书中，上述的“对应”并非是指元件供给侧吸嘴的配置与安装机侧吸嘴的配置完全对应，只要元件供给侧吸嘴与安装机侧吸嘴的至少一部分对应并同时交接多个元件即可。因此，即使一方的吸嘴比另一方的吸嘴多，只要在这些吸嘴之间同时交接多个元件，则这些吸嘴的配置也相当于上述的“对应”。另外，在一方的吸嘴的一部分仅与另一方的吸嘴的一部分对应的情况下，也只要在这些吸嘴之间同时交接多个元件，则这些吸嘴的配置就相当于上述的“对应”。附图说明 [0007] 图1是实施例的元件安装系统的俯视图。 [0008] 图2是用于说明配备于图1的元件安装系统的元件供给装置的概略结构的图。 [0009] 图3是表示设于晶圆片补给部的安装面上的安装结构的图。 [0010] 图4是表示设于晶圆片搬运部的安装面上的安装结构的图。 [0011] 图5是在图4的V-V线剖面中表示晶圆片补给部和晶圆片搬运部的安装结构的图。 [0012] 图6是在图3的VI-VI线剖面中表示晶圆片补给部和晶圆片搬运部的安装结构的图。 [0013] 图7是示意性地表示移动工作台的结构的主视图。 [0014] 图8是晶圆工作台的俯视图。 [0015] 图9是一并表示晶圆工作台的旋转前的状态和旋转后的状态的图。 [0016] 图10是示意性地表示面朝下供给时的移动工作台、吸附头和安装头的关系的图。 [0017] 图11是吸附头的侧视图(吸嘴被定位在吸附位置的状态)。 [0018] 图12是吸附头的侧视图(吸嘴被定位在交接位置的状态)。 [0019] 图13是表示使吸附头的吸嘴翻转的机构的图(吸嘴被定位在吸附位置的状态)。 [0020] 图14是表示使吸附头的吸嘴翻转的机构的图(吸嘴被定位在交接位置的状态)。 [0021] 图15是表示凸轮从动件的轨迹的图。 [0022] 图16是表示吸附头的轴部的结构的图。 [0023] 图17是晶圆片的俯视图。 [0024] 图18是表示将晶圆片上的元件安装于基板时的元件安装装置的动作的流程图。具体实施方式 [0025] 本说明书所公开的技术的一实施方式的元件供给装置与具有向基板上安装元件的安装头的安装机相邻配置，向安装机供给元件。该元件供给装置具有：晶圆片补给部，被补给在薄片上配置有多个元件的晶圆片；及晶圆片搬运部，搬运向晶圆片补给部补给的晶圆片。晶圆片搬运部具有：工作台，载置晶圆片；及吸附头，吸附载置于工作台上的上述晶圆片上的元件。吸附头具有：多个元件供给侧吸嘴；及切换机构，将多个元件供给侧吸嘴在多个元件供给侧吸嘴的前端朝向下方的吸附位置和使多个元件供给侧吸嘴的前端朝向上方的交接位置之间进行切换。并且，多个元件供给侧吸嘴的配置与配备于安装机的安装头上的多个安装机侧吸嘴的配置相对应。 [0026] 在该元件供给装置中，能够由吸附头同时吸附从晶圆片补给部载置到工作台上的晶圆片的多个元件。另外，能够在吸附头与安装头之间同时交接多个元件。其结果是，能够与以往相比高效地从元件供给装置向安装机供给元件。 [0027] 在上述一实施方式的元件供给装置中，吸附头以能够相对于工作台沿平面方向移动的方式进行安装。另外，晶圆片搬运部也可以还具备使安装有吸附头的工作台在直接供给位置和比该直接供给位置靠下的间接供给位置之间上下移动的机构。在这种情况下，吸附头也可以位于工作台的上方。并且，也可以使工作台被定位于直接供给位置时的工作台的高度与工作台被定位于间接供给位置且元件供给侧吸嘴被定位于交接位置时的元件供给侧吸嘴的高度一致。根据这样的结构，安装机侧的安装头从晶圆片直接吸附元件时的元件的高度与安装机侧的安装头从吸附头吸附元件时的元件的高度相同。因此，能够不变更安装机侧的安装头的高度，而从薄片吸附元件，并从吸附头吸附元件。 [0028] 另外，在上述一实施方式的元件供给装置中，吸附头也可以还具有：第一壳体；及第二壳体，被以能够相对于第一壳体转动的方式进行支撑，并安装有多个元件供给侧吸嘴。并且，切换机构具有使第二壳体相对于第一壳体转动的齿轮齿条机构。根据这样的结构，能够以简易的结构使元件供给侧吸嘴转动。 [0029] 另外，在上述一实施方式的元件供给装置中，切换机构也可以还具有旋转速度调整机构，该旋转速度调整机构使第二壳体在吸附位置和交接位置附近的区域的旋转速度比第二壳体在除该区域之外的其他区域的旋转速度慢。根据这样的结构，能够抑制停止吸附头的转动时的冲击。 [0030] 实施例1 [0031] 对于实施例的元件安装系统10，参照附图进行说明。如图1所示，元件安装系统10具有：元件供给装置(60、160)、与元件供给装置(60、160)相邻配置的安装机20、对元件供给装置(60、160)和安装机20进行控制的控制装置200。首先，基于图1，说明元件安装系统10的整体的概略结构。 [0032] 元件供给装置(60、160)具有晶圆片补给部160和晶圆片搬运部60。由操作员向晶圆片补给部160补给晶圆片W2。晶圆片W2的补给从与设有晶圆片搬运部60的方向相反一侧的侧面162b进行。晶圆片搬运部60将由操作员补给的晶圆片W2从晶圆片补给部160搬出。 [0033] 如图17所示，晶圆片W2具备配置在薄片192上的多个元件W1。多个元件W1以特定的图案、即在本实施例中沿x方向和y方向彼此隔开间隔而配置。因此，将沿y方向排列的多个元件W1的中心(例如C1、C3)连接的直线L1沿y方向延伸，并且将沿x方向排列的多个元件W1的中心(例如C1、C2)连接的直线L2沿x方向延伸。这些直线L1、L2在计算晶圆片W2的倾斜度时利用。 [0034] 返回到图1，晶圆片搬运部60与晶圆片补给部160的靠安装机侧的侧面162a相邻配置。如后所述，晶圆片补给部160以能够相对于晶圆片搬运部60的侧面62b滑动的方式进行安装。晶圆片搬运部60将从晶圆片补给部160搬出的晶圆片W2搬运到安装机20附近的元件供给位置(安装机20附近的位置)。 [0035] 安装机20与晶圆片搬运部60的侧面62a(即，与晶圆片补给部160侧相反一侧的侧面)相邻配置。具体地，在安装机20的靠晶圆片搬运部60侧的面上设置凹部26，在该凹部26内收容晶圆片搬运部60。并且，以晶圆片搬运部60的侧面62a与安装机20的凹部26的底面抵接的方式相对于晶圆片搬运部60配置安装机20。另外，当相对于晶圆片搬运部60配置安装机20时，在晶圆片搬运部60的右侧方形成空间。在该空间内设置载置未图示的其他元件供给装置(例如供料器)等的载置台(例如供料器设备台)。安装机20具有搬运基板的基板搬运部22a、22b。在安装机20的左侧面24a配置上游侧的元件安装系统。在安装机20的右侧面24b配置下游侧的元件安装系统。向基板搬运部22a、22b供给通过上游侧的元件安装系统安装了元件的基板。向基板搬运部22a、22b供给的基板被送到安装机20的中央。安装机20的安装头30吸附由晶圆片搬运部60搬运到元件供给位置的晶圆片W2上的元件W1，将所吸附的元件W1安装于基板搬运部22a、22b上的基板。安装有元件W1的基板由基板搬运部22a、22b送到下游侧的元件安装系统。基板通过多个元件安装系统，从而向基板安装需要的元件。另外，也可以在安装机20的右侧面24b配置上游侧的元件安装系统，在安装机20的左侧面24a配置下游侧的元件安装系统。在这种情况下，从安装机20的右侧面24b侧向左侧面24a侧搬运基板。 [0036] (晶圆片补给部160) [0037] 接着，对元件安装系统10的各部，详细地进行说明。首先，对晶圆片补给部160进行说明。如图2所示，晶圆片补给部160具备壳体162、料仓170和升降机构168。 [0038] 壳体162收容料仓170和升降机构168。在壳体162的靠晶圆片搬运部60侧的侧面162a形成有搬出晶圆片W2的搬出口174。另外，在壳体162的侧面162a与晶圆片搬运部60的侧面62b之间设有用于使晶圆片补给部160相对于晶圆片搬运部60滑动的滑动机构(后述)。 [0039] 料仓170具备收容晶圆片W2的多个晶圆片收容部172。多个晶圆片收容部172沿高度方向(z方向)层叠。在各晶圆片收容部172中收容有晶圆片W2。料仓170形成为x-z剖面为矩形的筒状。即，料仓170的后端(与晶圆片搬运部60相反一侧的端部)和料仓170的前端(晶圆片搬运部60侧的端部)开放。因此，操作员能够从料仓170的后端向晶圆片收容部172补给晶圆片W2。另一方面，收容于晶圆片收容部172的晶圆片W2能够从料仓170的前端向晶圆片搬运部60搬出。 [0040] 升降机构168具有滚珠丝杠166和使滚珠丝杠166旋转的马达164。与滚珠丝杠166卡合的螺母(未图示)固定于料仓170。因此，当由马达164使滚珠丝杠166旋转时，料仓170在壳体162内沿上下方向移动。通过使料仓170沿上下方向移动，能够使料仓170的任意的晶圆片收容部172与壳体162的搬出口174的高度一致。由此，能够从晶圆片收容部172通过搬出口174而向晶圆片搬运部60搬出晶圆片W2。另外，晶圆片W2从晶圆片收容部172向晶圆片搬运部60的搬运由未图示的机器人进行。 [0041] 在此，对用于使晶圆片补给部160相对于晶圆片搬运部60滑动的滑动机构进行说明。滑动机构具有：设于晶圆片补给部160的侧面162a的滑动块178、186等；和形成在晶圆片搬运部60的侧面62b的卡合槽138a、138b等。 [0042] 如图3所示，在晶圆片补给部160的侧面162a(即，壳体162的侧面162a)设有沿x方向延伸的第一滑动块178和相对于第一滑动块178沿z方向隔开间隔而配置的多个第二滑动块186。 [0043] 在第一滑动块178形成有收容引导辊182的多个凹部178a和收容引导辊184的多个凹部178b。引导辊182能够绕与y轴(与纸面正交的轴)平行的旋转轴旋转。引导辊184能够绕与z轴平行的旋转轴旋转。第一滑动块178经由基座块180(参照图5)固定于壳体162的侧面162a。 [0044] 多个第二滑动块186彼此沿x方向隔开间隔而配置。多个第二滑动块186所配置的方向与第一滑动块178所延伸的方向平行。多个第二滑动块186也通过未图示的基座块而固定于壳体162的侧面162a。在第二滑动块186分别形成有收容引导辊188的凹部186a。引导辊188能够绕与z轴平行的旋转轴旋转。在相邻的第二滑动块186之间配置有引导辊190。引导辊190能够绕与y轴(与纸面正交的轴)平行的旋转轴旋转。 [0045] 在第一滑动块178与第二滑动块186的高度方向的中间位置配置有卡合块176。卡合块176固定于壳体162的侧面162a。在卡合块176的中央部形成有凹槽176a(参照图6)。凹槽176a从晶圆片搬运部60侧向晶圆片补给部160侧凹陷。 [0046] 如图4所示，在晶圆片搬运部60的侧面62b形成有收容第一滑动块178的第一卡合槽138b和收容第二滑动块186的第二卡合槽138a。第一卡合槽138b和第二卡合槽138a沿x方向延伸。如图5所示，第一卡合槽138b由第一框架部件148和安装在第一框架部件148的上端的第二框架部件150构成。在由第一框架部件148和第二框架部件150包围的空间内收容第一滑动块178和引导辊182、184。引导辊182与第一框架部件148的沿y方向延伸的面148b接触。因此，在引导辊182与第一框架部件148之间作用z方向的力。如上所述，引导辊182能够绕与y轴平行的旋转轴旋转。因此，晶圆片补给部160通过引导辊182而能够相对于晶圆片搬运部60沿x方向(与纸面正交的方向)滑动移动并在z方向上被支撑。引导辊184与第一框架部件148的沿z方向延伸的面148a接触，并与第二框架部件150的突片150a接触。因此，在引导辊184与框架部件148、150之间作用y方向的力。如上所述，引导辊184能够绕与z轴平行的旋转轴旋转。因此，晶圆片补给部160通过引导辊184而能够相对于晶圆片搬运部60沿x方向滑动移动并在y方向上被支撑。另外，在图5中，图示了引导辊182和引导辊184，但实际上如图3所示，引导辊182和引导辊184的x方向上的位置不同。请注意，在图5中为了方便说明，将引导辊182和引导辊184图示在同一附图上。 [0047] 第二卡合槽138a也与第一卡合槽138b同样地构成。即，在第二卡合槽138a内收容第二滑动块186和引导辊188、190，引导辊188、190与第二卡合槽138a的内表面接触。晶圆片补给部160通过引导辊188、190而相对于晶圆片搬运部60在y方向和z方向上被支撑。 [0048] 如图4所示，在晶圆片搬运部60的侧面62b形成有引导槽142。引导槽142位于第一卡合槽138b与第二卡合槽138a之间，并沿x方向延伸。在引导槽142内配置有锁定销146。锁定销146与连杆部件144的一端连接。连杆部件144的另一端与解除按钮140连接。锁定销146被未图示的施力单元(例如弹簧)向图6的由实线所示的位置施力。当操作员操作解除按钮140时，锁定销146向图6的由虚线所示的位置后退。 [0049] 在上述的引导槽142内配置晶圆片补给部160的卡合块176。通过将卡合块176配置在引导槽142内，限制晶圆片补给部160相对于晶圆片搬运部60的可滑动范围。由此，防止将晶圆片补给部160侧的设备和晶圆片搬运部60侧的设备连接的配线脱离。 [0050] 另外，锁定销146能够与配置于引导槽142内的卡合块176的凹槽176a卡合。通过将锁定销146与卡合块176的凹槽176a卡合，成为晶圆片补给部160相对于晶圆片搬运部60不能滑动的状态。在本实施例中，仅在设为晶圆片补给部160相对于晶圆片搬运部60不能滑动的状态时，能够从晶圆片补给部160向晶圆片搬运部60搬出晶圆片W2。由此，能够防止在错误的位置从晶圆片补给部160向晶圆片搬运部60搬出晶圆片W2。 [0051] 另一方面，当操作员操作解除按钮140时，锁定销146从卡合块176的凹槽176a脱离(锁定销146向图6的由虚线所示的位置后退)。由此，晶圆片补给部160能够相对于晶圆片搬运部60滑动。因此，在使晶圆片补给部160滑动时，操作员操作解除按钮140，向滑动方向按压晶圆片补给部160即可。 [0052] 另外，如图1所示，晶圆片补给部160能够相对于晶圆片搬运部60沿x方向(即，与供给晶圆片W2的方向(y方向)正交的方向)滑动。并且，在本实施例中，晶圆片补给部160所能够滑动移动的范围设为从图1的实线所示的位置到由点划线所示的位置的范围，设为安装机20的x方向上的宽度内。因此，即使使晶圆片补给部160滑动移动，晶圆片补给部160也不会与上游侧的元件安装系统干涉，并且也不会与下游侧的元件安装系统干涉。另外，如根据图1明确的那样，在使晶圆片补给部160向左方向滑动后的由点划线所示的位置上，晶圆片搬运部60的侧面62b较大地开放。因此，在安装机20发生不良情况等的情况下，操作员操作解除按钮140而使晶圆片补给部160滑动，能够充分确保用于向安装机20进行存取的空间。由于不需要事先设置用于向安装机20进行存取的空间，所以能够实现元件安装系统10的紧凑化。 [0053] (晶圆片搬运部60) [0054] 接着，对晶圆片搬运部60进行说明。如图2所示，晶圆片搬运部60具有：移动工作台62、使移动工作台62升降的工作台升降机构110、能够相对于移动工作台62沿xy方向移动的吸附头100、拍摄载置于移动工作台62的晶圆片W2的相机104。 [0055] 如图7所示，移动工作台62具有：基座64、相对于基座64滑动移动的滑动件78、相对于滑动件78旋转移动的晶圆工作台88。基座64通过工作台升降机构110而能够沿上下方向移动。即，如图2所示，工作台升降机构110具有滚珠丝杠106和使滚珠丝杠106旋转的马达108。与滚珠丝杠106卡合的螺母(未图示)固定于基座64。因此，当由马达108使滚珠丝杠106旋转时，基座64沿上下方向移动。通过使基座64沿上下方向移动，晶圆工作台88也沿上下方向移动。 [0056] 滑动件78以能够相对于基座64沿y方向滑动的方式被支撑。具体地，在基座64的上表面设有引导件72。滑动件78的引导部74与引导件72卡合。因此，滑动件78以能够相对于基座64沿y方向移动的方式被支撑。滑动件78的移动通过未图示的滚珠丝杠机构和对滚珠丝杠机构进行旋转驱动的马达进行。 [0057] 如图7、图8所示，在滑动件78以能够绕沿z方向延伸的旋转轴(以下称作θ轴(具体地，通过图9所示的C点而沿z方向延伸的轴))转动的方式支撑有晶圆工作台88。具体地，在滑动件78的靠安装机20侧的边缘设有R型引导件82。在晶圆工作台88的下表面安装有滑动件84，滑动件84由R型引导件82引导。另外，在滑动件78的左右边缘设有十字引导件80a、80b。设定于晶圆工作台88的下表面的支撑点86a、86b由十字引导件80a、80b(详细地说是十字引导件80a、80b的球轴承)支撑。因此，晶圆工作台88在设置滑动件84的位置和支撑点 86a、86b这三点被滑动件78支撑。 [0058] 在此，设置滑动件84和支撑点86a、86b这三点设定成成为以图9所示的C点为中心的同一圆的圆周上。即，晶圆工作台88在以C点(θ轴)为中心的同一圆周上的三点被支撑。另外，以滑动件84在该以C点(θ轴)为中心的同一圆的圆周上移动的方式设定R型引导件82的曲率。因此，当滑动件84被R型引导件82引导而绕θ轴作圆弧运动时，支撑点86a、86b也被十字引导件80a、80b引导而绕θ轴作圆弧运动。其结果是，晶圆工作台88绕θ轴旋转。 [0059] 在本实施例中，为了使晶圆工作台88绕θ轴旋转，采用了滚珠丝杠机构(94、85)。即，如图8所示，滚珠丝杠94可旋转地支撑于滑动件78的靠安装机20侧的边缘。在滚珠丝杠 94的一端固定马达92的输出轴，滚珠丝杠94由马达92旋转驱动。滚珠丝杠94沿x方向延伸，与螺母部件85卡合。螺母部件85和滑动件84以能够在x方向上以一体进行移动、在y方向上相对移位的方式连接。因此，当由马达92对滚珠丝杠94进行旋转驱动时，螺母部件85沿滚珠丝杠94在x方向上移动。对应于螺母部件85的x方向上的移动，滑动件84被R型引导件82引导并在x方向上移动。由此，如图9所示，晶圆工作台88绕θ轴旋转。 [0060] 在上述晶圆工作台88形成有载置晶圆片W2的载置面。如图8所示，在晶圆工作台88的载置面的中央形成有开口88a。通过在载置面的中央形成开口88a，能够在晶圆片W2的下表面侧配置顶起晶圆片W2的机构。通过从下表面顶起晶圆片W2，能够容易地从晶圆片W2吸附元件W1。另外，载置于晶圆工作台88的晶圆片W2能够由固定于移动机构102的相机104进行拍摄。 [0061] 另外，如图7、图8所示，在晶圆工作台88的左右边缘设有沿y方向延伸的夹具安装部89a、89b。在夹具安装部89a、89b安装晶圆夹具90a、90b。由晶圆夹具90a、90b夹紧晶圆片W2，将晶圆片W2保持于晶圆工作台88。 [0062] 接着，对吸附头100进行说明。如图11、图12所示，吸附头100具有：第一壳体111、可旋转地支撑于第一壳体的旋转轴116、固定于旋转轴116的第二壳体112。在第二壳体112安装有多个吸嘴114a、114b。多个吸嘴114a、114b的配置与配备于安装机20的安装头30上的多个吸嘴32的配置相对应。由于多个吸嘴114a、114b安装于第二壳体112，所以当第二壳体112与旋转轴116一起旋转时，吸嘴114a、114b在吸嘴114a、114b的前端朝向下方的吸附位置(图11的状态)和吸嘴114a、114b的前端朝向上方的交接位置(图12的状态)之间进行移动。 [0063] 如图13、图14所示，吸附头100具备将吸嘴114a、114b在吸附位置和交接位置之间进行切换的机构(118、120等)。即，在第一壳体110以能够沿上下方向移动的方式安装有齿条118。小齿轮120与齿条118啮合。小齿轮120固定于旋转轴116。因此，通过使齿条118沿上下方向移动，小齿轮120和旋转轴116进行旋转，吸嘴114a、114b也在吸附位置和交接位置之间进行移动。 [0064] 上述齿条118的上下方向的移动通过使转动部件126绕支撑轴128旋转而实施。即，在齿条118的上端安装有凸轮从动件122。在凸轮从动件122形成有引导槽124。销130与凸轮从动件122的引导槽124卡合，销130固定于转动部件(凸轮部件)126的一端。因此，当由未图示的促动器(例如气缸)使转动部件126绕支撑轴128旋转时，对应于转动部件126的旋转，销130也进行旋转。由此，与销130卡合的凸轮从动件122也沿上下方向移动，齿条118沿上下方向移动。 [0065] 如根据上述说明明确的那样，凸轮从动件122(即，齿条118)的上下方向的移动速度在吸嘴114a、114b处于吸附位置和交接位置的附近时较慢、在吸嘴114a、114b处于吸附位置和交接位置的中间时较快。即，如图15所示，在吸嘴114a、114b处于吸附位置和交接位置的附近时，相对于销130的旋转角度的变化，上下方向上的移动量S1较小。另一方面，在吸嘴114a、114b处于吸附位置和交接位置的中间时，相对于销130的旋转角度的变化，上下方向上的移动量S2较大。因此，通过使用上述的凸轮机构(122、126、130)，能够降低吸嘴114a、 114b处于吸附位置和交接位置的附近时的第二壳体112的旋转速度。由此，能够抑制第二壳体112的旋转停止时的冲击。 [0066] 另外，如图16所示，在吸附头100的旋转轴116形成有吸气通路132。在旋转轴116的外周面形成有槽116a，吸气通路132的一端与槽116a的底面连接。另外，吸嘴114a、114b的吸气通路与旋转轴116的槽116a连通。因此，吸嘴114a、114b经由槽116a和吸气通路132而与抽吸装置连接。通过在旋转轴116内设置吸气通路132，能够不需要向吸嘴114a、114b的吸气配管。 [0067] 另外，吸附头100和相机104通过安装于移动工作台62的移动机构102而能够相对于移动工作台62沿xy方向移动。由此，能够由吸附头100吸附载置于晶圆片W2上的任意位置的元件W1，并由相机104进行拍摄。移动机构102能够采用公知的机构(例如滚珠丝杠机构等)。另外，如根据上述的说明明确的那样，吸附头100和相机104经由移动机构102安装于移动工作台62。因此，当移动工作台62通过工作台升降机构110而沿上下方向移动时，对应于此，吸附头100和相机104也沿上下方向移动。 [0068] (安装机20) [0069] 接着，对安装机20进行说明。另外，由于安装机20能够采用以往公知的结构，所以在此对安装机20的结构简单地进行说明。如图2所示，安装机20具有：基板搬运部22a、22b、安装头30、元件相机28。基板搬运部22a、22b通过使传送带旋转而搬运载置于传送带上的基板。安装头30具备：用于吸附元件W1的多个吸嘴32和用于读取晶圆片W2的基准标记的标记相机34。安装头30的吸嘴32的配置与吸附头100的吸嘴114a、114b的配置相对应。即，安装头30能够同时取得保持于吸附头100的吸嘴114a、114b上的多个元件W1。另外，安装头30通过未图示的x方向移动机构和y方向移动机构而能够沿xy方向移动。元件相机28进行吸附于安装头30的元件W1的读取等。 [0070] 接着，对上述的元件安装系统10的动作，参照图18进行说明。如图18所示，首先，从晶圆片补给部160搬运晶圆片W2(S10)。具体地，控制装置200驱动升降机构168，将一个晶圆片收容部172定位在搬出口174。并且，控制装置200驱动移动工作台62，将晶圆工作台88定位在晶圆片载置位置(晶圆片补给部160附近的位置)。晶圆片载置位置是指从晶圆片补给部160的搬出口174搬出晶圆片W2的位置，被设定在晶圆片补给部160的搬出口174的附近。接着，控制装置200驱动机器人，将收容在晶圆片收容部172中的晶圆片W2载置于晶圆工作台88的载置面。 [0071] 当将晶圆片W2载置于晶圆工作台88上时，控制装置200驱动移动工作台62而将晶圆工作台88定位在元件供给位置(安装机20附近的位置)(S12)。元件供给位置设定在安装机20的附近，是从晶圆片W2向安装头30供给元件W1的位置。 [0072] 接着，控制装置200通过相机104拍摄载置于晶圆工作台88上的晶圆片W2(S14)。当拍摄晶圆片W2的图像时，控制装置200根据其拍摄到的图像，算出晶圆片W2的θ方向上的偏移量。即，晶圆片W2向晶圆片收容部172的补给由操作员进行，晶圆片W2从晶圆片收容部172向晶圆工作台88的载置由机器人进行。因此，有时晶圆片W2没有以预先设定的设定角度载置于晶圆工作台88上。因此，由相机104拍摄晶圆工作台88上的晶圆片W2，算出晶圆片W2的偏移量(θ方向上的偏移(角度偏移))。另外，晶圆片W2的θ方向上的偏移例如能够按照下面的步骤进行计算。即，根据由相机104拍摄到的图像，如图17所示，算出多个元件W1的中心点C1～C3。并且，根据连接中心点C1和中心点C2的直线L2与连接中心点C1和中心点C3的直线L1的倾斜角，算出晶圆片W2的θ方向上的偏移(角度偏移)。 [0073] 当算出晶圆片W2的偏移量时，控制装置200驱动移动工作台62，校正绕θ轴的位置偏移(S18)。由此，以预先设定的姿势(角度)定位晶圆片W2。 [0074] 接着，控制装置200判断是否由安装头30直接吸附晶圆片W2上的元件W1(S20)。即，控制装置200判断对晶圆片W2的元件W1进行面朝上供给还是面朝下供给。在由安装头30直接吸附的情况下(S20中为“是”)，跳过步骤S22、24，进入步骤S26。 [0075] 另一方面，在未由安装头30直接吸附晶圆片W2上的元件W1的情况下(S20中为“否”)，控制装置200驱动吸附头100，使晶圆片W2上的元件W1吸附于吸附头100(S22)。由于吸附头100具有多个吸嘴114a、114b，所以在吸附头100吸附多个元件W1。接着，控制装置200通过使第二壳体112旋转，使吸附头100的吸嘴114a、114b从吸附位置移动到交接位置。另外，控制装置200驱动工作台升降机构110，而使移动工作台62下降。即，如根据图2、图10明确的那样，吸附头100位于比移动工作台62(详细地说是晶圆工作台88)靠上方。因此，使移动工作台62下降以使吸嘴114a、114b的前端成为基准面A(图10所示)的高度。由于移动工作台62和吸附头100经由移动机构102连接，所以只要使移动工作台62下降，则也能够使吸附头100下降。在此，基准面A是由安装头30直接吸附晶圆片W2上的元件W1时的晶圆工作台88的位置(高度)。在本实施例中，由于吸嘴114a、114b被定位于基准面A，所以安装头30吸附元件W1的高度无论面朝上供给还是面朝下供给都不变。因此，能够容易地进行元件W1向安装头30的吸附。 [0076] 接着，控制装置200使元件W1吸附于安装头30(S26)。即，在使晶圆片W2上的元件W1直接吸附于安装头30的情况下，从晶圆工作台88上的晶圆片W2吸附元件W1。另一方面，在从吸附头100的吸嘴114a、114b吸附元件W1的情况下，从吸附头100的吸嘴114a、114b吸附元件W1。此时，由于吸附头100的吸嘴114a、114b的配置与安装头30的吸嘴32的配置相对应，所以能够同时从吸附头100向安装头30交接多个元件W1。另外，设于吸附头100的吸嘴和设于安装头30的吸嘴只要其一部分对应并能够同时交接多个元件W1即可。例如，也可以是：吸附头100的吸嘴配置成2行×2列(即，在x方向上排列两个、在y方向上排列两个的配置)，安装头 30的吸嘴配置成1行×2列，同时从吸附头100向安装头交接两个元件W1。或者，也可以是：吸附头100的吸嘴配置成1行×2列，安装头30的吸嘴配置成2行×2列，同时从吸附头100向安装头交接两个元件W1。另外，也可以是：吸附头100的吸嘴配置成4行×2列，安装头30的吸嘴配置成2行×4列，同时从吸附头100向安装头交接四个元件W1。 [0077] 当元件W1吸附于安装头30时，控制装置200驱动安装头30，将吸附于安装头30的元件W1安装在基板搬运部22a、22b上的基板。由此，向基板上安装元件W1。 [0078] 如以上所说明的那样，在本实施例的元件安装系统10中，由于晶圆片补给部160能够相对于晶圆片搬运部60滑动，所以能够容易地进行向安装机20的存取。另一方面，通过限制晶圆片补给部160的可滑动范围，能够防止晶圆片补给部160与相邻的元件安装系统干涉。其结果是，能够放大操作员向安装机20的存取区域，并抑制元件安装系统10大型化。 [0079] 另外，在本实施例的元件安装系统10中，能够将载置于晶圆工作台88的晶圆片W2的θ方向上的角度调整为预先设定的角度。其结果是，能够缩短安装头30的移动距离，能够实现生产率的提高。另外，使晶圆工作台88绕θ轴旋转的机构采用R型引导件82和十字引导件80a、80b，从而能够以简易的机构使晶圆工作台88绕θ轴旋转。 [0080] 另外，在对元件W1进行面朝下供给时，能够同时从吸附头100向安装头30交接多个元件W1。因此，能够减少元件W1的交接次数，能够实现生产率的提高。 [0081] 以上，对本实施例详细地进行了说明，但是这些说明仅是示例，而并非是对权利要求的范围进行限定。权利要求的范围所记载的技术中包含对以上例示的具体例进行各种变形和变更后的方案。 [0082] 例如，吸附头100的吸嘴114a、114b的配置和安装头30的吸嘴32的配置能够采用各种方式。吸附头100的吸嘴的配置与安装头30的吸嘴的配置可以完全一致，也可以仅其一部分一致。另外，使吸附头100的吸嘴114a、114b翻转的机构能够采用各种机构。 [0083] 本说明书或附图中说明的技术要素单独或通过进行各种组合来发挥其技术有效性，不限于提出申请时权利要求记载的组合。另外，本说明书或附图例示的技术同时实现了多个目的，实现其中一个目的本身即具有技术有效性。

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