1.一种多通道射频RF发生器模块，包括：
N个功率放大器，所述N个功率放大器分别产生N个RF输出，每个输出被施加给相应的RF通道，其中每个RF通道均对应于等离子体室的电极；
M个驱动器，所述M个驱动器分别根据M个驱动器控制信号驱动所述N个功率放大器；
供电模块，所述供电模块接收交流AC输入功率，并且根据L个线轨电压设定点将L个线轨电压分别施加给所述N个功率放大器；以及
控制模块，所述控制模块设置所述L个线轨电压设定点以及所述M个驱动器控制信号，其中N是大于1的整数，L和M是大于0的整数，并且M和L小于或等于N。
2.根据权利要求1所述的多通道RF发生器模块，其中L、M和N等于2。
3.根据权利要求1所述的多通道RF发生器模块，其中L和M中的一个等于2，L和M中的另一个等于1。
4.根据权利要求1所述的多通道RF发生器模块，还包括：参数确定模块，所述参数确定模块分别确定所述N个RF输出的N个反射系数，
其中所述控制模块根据所述N个反射系数分别确定所述M个驱动器控制信号，并且其中M等于N。
5.根据权利要求1所述的多通道RF发生器模块，还包括：
参数确定模块，所述参数确定模块分别确定所述N个RF输出的N个反射系数；和分离器模块；
其中所述控制模块根据所述N个反射系数中最大的一个确定一个驱动器控制信号，其中M等于1，这一个驱动器根据所述一个驱动器控制信号产生一个驱动器信号，并且其中所述分离器模块将所述一个驱动器信号分离成N个驱动器信号并且根据所述N个驱动器信号分别驱动所述N个功率放大器。
6.根据权利要求1所述的多通道RF发生器模块，还包括：
参数确定模块，所述参数确定模块分别确定所述N个RF输出的N个实际前向功率和N个反射系数；
其中所述控制模块根据所述N个实际前向功率分别设置所述L个线轨电压设定点，并且其中L等于N。
7.根据权利要求1所述的多通道RF发生器模块，还包括：
参数确定模块，所述参数确定模块分别确定所述N个RF输出的N个实际前向功率；以及反馈模块，所述反馈模块根据所述N个实际前向功率确定所述多通道RF发生器模块的总前向功率，
其中所述控制模块根据所述总前向功率设置所述L个线轨电压设定点。
8.根据权利要求7所述的多通道RF发生器模块，其中所述参数确定模块还分别确定所述N个RF输出的N个反射系数，并且
其中所述反馈模块根据所述N个实际前向功率和所述N个反射系数的函数关系，确定所述总前向功率。
9.根据权利要求7所述的多通道RF发生器模块，其中所述反馈模块设置等于所述N个实际前向功率的平均值的所述总前向功率。
10.根据权利要求7所述的多通道RF发生器模块，其中所述参数确定模块还分别确定所述N个RF输出的N个反射系数，并且
其中当所述N个RF输出中一个RF输出的反射系数的第一幅度大于所述N个RF输出中另一个RF输出的反射系数的第二幅度时，所述反馈模块设置等于所述N个实际前向功率中与所述N个RF输出中的所述一个RF输出关联的一个实际前向功率的所述总前向功率。
11.根据权利要求7所述的多通道RF发生器模块，其中所述参数确定模块还分别确定所述N个RF输出的N个反射系数，并且
其中当N等于2时，所述反馈模块设置等于
的所述总前向功率，ΓN是所述N个反射
系数中的第N个反射系数，并且其中PFwdN是所述N个实际前向功率中的第N个实际前向功率。
12.根据权利要求7所述的多通道RF发生器模块，其中所述参数确定模块还分别确定所述N个RF输出的N个反射系数，并且
其中当N等于2时，所述反馈模块设置等于
的所述总前向功率，ΓN是所述N个反射系数中的第N
个反射系数，并且其中PFwdN是所述N个实际前向功率中的第N个实际前向功率。
13.根据权利要求1所述的多通道RF发生器模块，其中所述N个RF输出中的每个RF输出被施加给负载的相应电极。
14.根据权利要求13所述的多通道RF发生器模块，其中所述负载是等离子体室。
15.一种多通道射频RF发生器模块，包括：
N个功率放大器，所述N个功率放大器分别产生N个RF输出，每个输出被施加给相应的RF通道，其中每个RF通道均对应于等离子体室的电极；
M个驱动器，所述M个驱动器分别根据M个驱动器控制信号驱动所述N个功率放大器；
供电模块，所述供电模块接收交流AC输入功率，并且根据L个线轨电压设定点将L个线轨电压分别施加给所述N个功率放大器；
参数确定模块，所述参数确定模块分别确定所述N个RF输出的N个实际前向功率，并且分别确定所述N个RF输出的N个反射系数；
反馈模块，所述反馈模块根据所述N个实际前向功率和所述N个反射系数确定所述多通道RF发生器模块的总前向功率；以及
控制模块，所述控制模块根据所述总前向功率控制所述L个线轨电压设定点，其中N是大于1的整数，L和M是大于0的整数，并且M和L小于或等于N。
16.根据权利要求15所述的多通道RF发生器模块，其中所述反馈模块设置等于所述N个实际前向功率的平均值的所述总前向功率。
17.根据权利要求15所述的多通道RF发生器模块，其中当所述N个RF输出中一个RF输出的反射系数的第一幅度大于所述N个RF输出中另一个RF输出的反射系数的第二幅度时，所述反馈模块设置等于所述N个实际前向功率中与所述N个RF输出中的所述一个RF输出关联的一个实际前向功率的所述总前向功率。
18.根据权利要求15所述的多通道RF发生器模块，其中当N等于2时，所述反馈模块设置等于
的所述总前向功率，ΓN是所述N个反射
系数中的第N个反射系数，并且其中PFwdN是所述N个实际前向功率中的第N个实际前向功率。
19.根据权利要求15所述的多通道RF发生器模块，其中当N等于2时，所述反馈模块设置等于
的所述总前向功率，ΓN是所述N个反射系数中的第N
个反射系数，并且其中PFwdN是所述N个实际前向功率中的第N个实际前向功率。
20.根据权利要求15所述的多通道RF发生器模块，其中L和M等于2。
21.根据权利要求15所述的多通道RF发生器模块，其中L和M中的一个等于2，L和M中的另一个等于1。
22.根据权利要求15所述的多通道RF发生器模块，还包括分离器模块，其中所述控制模块根据所述N个反射系数中最大的一个反射系数产生一个驱动器控制信号，
其中M等于1，这一个驱动器根据所述一个驱动器控制信号产生一个驱动器信号，并且其中所述分离器模块将所述一个驱动器信号分离成N个驱动器信号并且根据所述N个驱动器信号分别驱动所述N个功率放大器。
23.根据权利要求15所述的多通道RF发生器模块，其中所述N个RF输出中的每个RF输出被施加给负载的相应电极。
24.根据权利要求23所述的多通道RF发生器模块，其中所述负载是等离子体室。
25.一种多通道射频RF发生器模块，包括：
至少两个功率放大器，所述至少两个功率放大器每个产生RF输出；
至少一个驱动器，所述至少一个驱动器根据至少一个驱动器控制信号驱动所述功率放大器；
供电模块，所述供电模块接收交流AC输入功率，并且根据至少一个线轨电压设定点将至少一个线轨电压施加给所述功率放大器；以及
控制模块，所述控制模块设置所述至少一个线轨电压设定点并且设置所述至少一个驱动器控制信号，
其中每个通道均对应于等离子体室的电极。
26.根据权利要求25所述的多通道RF发生器模块，其中所述至少两个功率放大器包括两个功率放大器，所述至少一个驱动器包括两个驱动器，并且所述至少一个线轨电压包括两个线轨电压。
27.根据权利要求25所述的多通道RF发生器模块，还包括：参数确定模块，所述参数确定模块分别确定所述至少两个功率放大器的RF输出的至少两个反射系数，其中所述控制模块根据所述反射系数设置所述至少一个驱动器控制信号。
28.根据权利要求25所述的多通道RF发生器模块，还包括：
参数确定模块，所述参数确定模块分别确定所述至少两个功率放大器的RF输出的至少两个反射系数；以及
分离器模块，
其中所述控制模块根据所述反射系数中最大的一个反射系数确定仅一个驱动器控制信号，
其中所述至少一个驱动器仅包括一个驱动器，并且所述驱动器根据所述一个驱动器控制信号产生一个驱动器信号，并且
其中所述分离器模块将所述一个驱动器信号分离成至少两个驱动器信号，并且分别根据所述至少两个驱动器信号驱动所述至少两个功率放大器。
29.根据权利要求25所述的多通道RF发生器模块，还包括：
参数确定模块，所述参数确定模块分别确定所述至少两个功率放大器的RF输出的至少两个实际前向功率和至少两个反射系数，
其中所述控制模块根据所述实际前向功率设置所述至少一个线轨电压设定点。
30.根据权利要求25所述的多通道RF发生器模块，还包括：
参数确定模块，所述参数确定模块分别确定所述至少两个功率放大器的RF输出的至少两个实际前向功率，以及
反馈模块，所述反馈模块根据所述至少两个实际前向功率确定所述多通道RF发生器模块的总前向功率，
其中所述控制模块根据所述总前向功率设置所述至少一个线轨电压设定点。
31.一种多通道射频RF发生器，包括：
至少两个功率放大器模块，所述至少两个功率放大器模块每个用于产生RF输出；
至少一个驱动器模块，所述至少一个驱动器模块用于根据至少一个驱动器信号驱动所述功率放大器模块；
供电模块，所述供电模块用于接收交流AC输入功率并且用于根据至少一个线轨电压设定点将至少一个线轨电压施加给所述功率放大器模块；以及
控制模块，所述控制模块用于设置所述至少一个线轨电压设定点并且用于设置所述至少一个驱动器信号，
其中每个通道均对应于等离子体室的电极。
32.根据权利要求31所述的多通道RF发生器，其中所述至少两个功率放大器模块包括两个功率放大器模块，所述至少一个驱动器模块包括两个驱动器模块，所述至少一个线轨电压包括两个线轨电压。
33.根据权利要求31所述的多通道RF发生器，还包括：确定模块，所述确定模块用于分别确定所述至少两个功率放大器的RF输出的至少两个反射系数，
其中所述控制模块用于根据所述反射系数分别设置所述至少一个驱动器控制信号。
34.根据权利要求31所述的多通道RF发生器，还包括：
确定模块，所述确定模块用于分别确定所述至少两个功率放大器的RF输出的至少两个反射系数；以及
分离器模块，
其中所述控制模块用于根据所述反射系数中最大的一个反射系数确定仅一个驱动器控制信号，
其中所述至少一个驱动器模块仅包括一个驱动器模块，所述一个驱动器模块用于根据所述一个驱动器控制信号产生仅一个驱动器信号，以及
其中所述分离器模块用于将所述一个驱动器信号分离成至少两个驱动器模块并且用于根据所述至少两个驱动器信号分别驱动所述至少两个功率放大器。
35.根据权利要求31所述的多通道RF发生器，还包括：
确定模块，所述确定模块用于分别确定所述至少两个功率放大器的RF输出的至少两个实际前向功率和至少两个反射系数，
其中所述控制模块用于根据所述实际前向功率设置所述至少一个线轨电压设定点。
36.根据权利要求31所述的多通道RF发生器，还包括：
确定模块，所述确定模块用于分别确定所述至少两个功率放大器的RF输出的至少两个实际前向功率；以及
反馈模块，所述反馈模块用于根据所述至少两个实际前向功率确定所述多通道RF发生器的总前向功率，
其中所述控制模块用于根据所述总前向功率设置所述至少一个线轨电压设定点。