1.一种连接件，用于将偏压传递至被支撑在封闭真空腔室中的旋转台板，该连接件包括：
导电轴承杯，所述轴承杯在底座处被轴向地固定在所述旋转台板且具有从所述底座轴向地延伸进入旋转台板转接器的轴向孔中的环形侧壁；
共轴地设置在所述旋转台板转接器的轴向孔中的固定导电棒，所述导电棒被连接至偏压的外部源并在所述轴承杯的环形侧壁中共轴地延伸；
装配在所述轴承杯中的导电轴承，所述轴承具有外座圈、内座圈和多个导电滚子元件，该外座圈具有电连接至所述轴承杯的外径，该内座圈具有配合至所述导电棒的内径，该多个导电滚子元件被设置在所述内座圈和所述外座圈之间；且
其中所述棒、所述轴承和所述轴承杯限定用于从所述外部源将所述偏压输送至所述旋转台板的通路。
2.如权利要求1所述的连接件，还包括位于所述轴承杯的内径中的EMI罩；
其中所述轴承的所述外座圈的外径位于所述EMI罩的内径中；且
其中所述EMI罩包括在所限定的用于输送偏压的通路中。
3.如权利要求2所述的连接件，其中所述轴承杯的内径包括环形凹进区域，所述凹进区域被配置成接收并保持所述EMI罩。
4.如权利要求1所述的连接件，还包括设置在所述轴承的至少一部分和所述轴承杯之间的金属网，所述金属网包括在所限定的用于输送所述偏压的通路中。
5.如权利要求1所述的连接件，其中所述导电棒由铜构成。
6.如权利要求1所述的连接件，其中所述轴承是球轴承，且其中所述多个滚子元件是球。
7.如权利要求1所述的连接件，其中所述外座圈、所述内座圈和所述多个滚子元件由不锈钢构成。
8.如权利要求1所述的连接件，还包括固定至所述导电棒的轴向端的保持垫片，所述保持垫片邻靠所述轴承内座圈的轴向端的至少一部分，以将所述轴承保持在所述导电棒上。
9.一种用于将偏压传递至旋转构件的连接件，该连接件包括：
旋转支座，用于支撑所述旋转构件，所述旋转支座具有在与所述旋转构件相邻的轴向端处的轴向孔；
固定导电棒，其被设置在所述旋转支座的轴向孔中，所述棒电连接至偏压的外部源；
轴承杯，其轴向地固定至所述旋转构件用于与其共同旋转，所述轴承杯具有延伸进入所述旋转支座的所述轴向孔中的环形侧壁，且其围绕所述导电棒共轴地设置；
导电轴承，其具有连接至所述固定棒的内座圈，连接至所述轴承杯的环形侧壁且与其共同旋转的外座圈，以及设置在所述内座圈和所述外座圈之间的多个滚子元件；且其中所述棒、所述轴承和所述轴承杯限定用于将偏压输送至所述旋转构件的通路。
10.如权利要求9所述的连接件，还包括设置在所述轴承杯中的EMI罩，所述EMI罩将所述轴承的外座圈支撑在所述轴承杯中。
11.如权利要求9所述的连接件，其中所述轴承杯是导电的。
12.如权利要求9所述的连接件，其中所述旋转构件被支撑在真空腔室中。
13.一种用于将偏压输送至被支撑在封闭真空腔室中的连接件，该连接件包括：
导电轴承杯；
固定导电棒，所述导电棒连接至偏压的外部源；
导电轴承，其装配在所述轴承杯中；并且
其中所述棒、所述轴承和所述轴承杯限定用于从所述外部源至所述旋转台板输送偏压的通路。
14.如权利要求13所述的连接件，其中所述轴承杯在底部处被轴向地固定至所述旋转台板且具有从所述底座轴向地延伸进入旋转台板转接器的轴向孔中的环形侧壁。
15.如权利要求14所述的连接件，其中所述导电棒被共轴地设置在所述旋转台板转接器的轴向孔中，且在所述轴承杯的环形侧壁中共轴地延伸。
16.如权利要求13所述的连接件，其中所述轴承具有外座圈、内座圈和多个导电滚子元件，该外座圈具有电连接至所述轴承杯的外径，该内座圈具有装配至所述导电棒的内径，该多个导电滚子元件被设置在所述内座圈和所述外座圈之间。
17.如权利要求16所述的连接件，还包括设置在所述轴承杯中的EMI罩，所述EMI罩将所述轴承的外座圈支撑在所述轴承杯中。
18.如权利要求17所述的连接件，其中所述轴承杯的内径包括环形凹进区域，该环形凹进区域被配置成接收并保持所述EMI罩。
19.如权利要求13所述的连接件，还包括固定至所述导电棒的轴向端的保持垫片，所述保持垫片邻靠所述轴承内座圈的轴向端的至少一部分以将所述轴承保持在所述导电棒上。
20.如权利要求13所述的连接件，还包括设置在所述轴承杯和所述轴承的至少一部分之间的金属网，所述金属网包括在所限定的用于输送所述偏压的通路中。