MICROMACHINE SWITCH AND METHOD OF MANUFACTURE THEREOF |
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| 申请号 | EP00922875 | 申请日 | 2000-04-26 | 公开(公告)号 | EP1176620A4 | 公开(公告)日 | 2002-06-19 |
| 申请人 | NEC CORP; | 发明人 | MARUMOTO TSUNEHISA; | ||||
| 摘要 | |||||||
| 权利要求 | |||||||
| 说明书全文 | |||||||
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MICROMACHINE SWITCH AND METHOD OF MANUFACTURE THEREOF |
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| 申请号 | EP00922875 | 申请日 | 2000-04-26 | 公开(公告)号 | EP1176620A4 | 公开(公告)日 | 2002-06-19 |
| 申请人 | NEC CORP; | 发明人 | MARUMOTO TSUNEHISA; | ||||
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