Electrostatic drive self-latch type relay

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、電子機器や電力機器の制御に用いるリレーの改良技術に関する。

【０００２】

【従来の技術】図７は、従来の自己ラッチ形リレーの一例を示す図である。 この従来例において、電磁石コア１
０は半硬質磁性材料で構成され、コイル１１が電磁石コア１０に巻かれ、制御端子１２、１３がコイル１１に接続され、永久磁石１４が電磁石コア１０と隣接して設置され、板ばね１５が軟磁性材料で構成され、可動電極１
６が板ばね１５に固定、継鉄１７が軟磁性材料で構成され、固定電極１８が継鉄１７に固定され、被制御端子１
９、２０がそれぞれ可動電極１６、固定電極１８に接続されている。

【０００３】この従来例において、制御端子１２、１３
に直流電圧を加えることによってコイル１１に電流を流すと、磁界が発生し、電磁石コア１０が磁化する。 この磁化の向きが永久磁石１４の向きと同じであれば、板ばね１５と継鉄１７との間に磁力が働き、板ばね１５がたわみ、可動電極１６と固定電極１８との間が閉成する。
一方、電磁石コア１０と永久磁石１４との磁化の向きが逆であれば、両磁石の合計の磁力がゼロになって、板ばね１５に磁力が働かず、電極１６、１８の間が開離する。 また、電磁石コア１０は半硬質磁性材料でできているから、コイルにパルス状の電流を流すことによって一旦、電磁石コア１０に磁界を加えて磁化させれば、その後はコイル１１に電流を流すことを停止しても、電磁石コア１０の磁化状態は保持される。

【０００４】このように、従来の自己ラッチ形リレーでは、コイル１１に流す電流の向きに応じて、電極１６、
１８間の閉成、開離を行うことができ、しかも、閉成、
開離を行う瞬間のみ、コイル１１に電流を流せばよいので、通常のリレーに比べて制御電力を著しく節減することができる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来例においては、まず、電極１６、１８の開閉に磁気力を用いているので、コイルが必要であり、また、２本の被制御線の他に、コイルに通電する制御線も必要であり、このために構造が複雑であるという問題があり、また、リレーの小型化が困難であるという問題がある。

【０００６】自己ラッチ形リレーの構造を簡素にし、しかも小型化を容易にすることを目指して、本件出願人は、平成４年８月２０日付の特許願で、図８に示すような静電駆動式自己ラッチ形リレーを提案している。

【０００７】図８（１）は背景技術の説明図であり、図８（２）は図８（１）のＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ断面図であり、この背景技術は、絶縁性基板ＧＢの上に電極Ａ、
Ｂ、Ｃが設けられ、スイッチＤ、Ｅ、Ｆを介して電極Ａ、Ｂ、Ｃのそれぞれに被制御端子Ｔ１、Ｔ２、Ｔ３が接続され、絶縁性基板ＧＢとしてガラス等の水銀Ｈｇと濡れ性のない材料が使用され、電極Ａ、Ｂ、Ｃとして鉄等の水銀Ｈｇと濡れ性のある材料が使用されている。 そして、初期状態では、水銀Ｈｇによって電極Ａと電極Ｂ
とが架橋され、被制御端子Ｔ１が被制御端子Ｔ２に接続されている。 すなわち、電極Ａ、Ｂと水銀Ｈｇとは濡れ性があるので、界面力によって水銀Ｈｇが電極Ａ、Ｂに凝着し、基板ＧＢと水銀Ｈｇとは濡れ性がないので、水銀Ｈｇが基板ＧＢには広がらず、表面張力によってほぼ直線状に電極ＡとＢとの間を結んでいる。 つまり初期状態では端子Ａ、Ｂ間の接続が安定的に維持される。

【０００８】ここで、電源ＢＴによって、電極Ａ、Ｃ間に直流電圧を印加すると、水銀Ｈｇと電極Ｃとの間に静電引力が働き、水銀Ｈｇが電極Ｃに引き寄せられ、電極Ａ、Ｂ間の架橋が切断され、電極Ａ、Ｃ間が架橋され、
その後、電極Ａ、Ｃ間の直流電圧印加を停止するが、このときに、水銀Ｈｇと電極Ｃとの間の界面力によって電極Ａ、Ｃの架橋状態が維持される。 次に電極Ａ、Ｂ間に直流電圧を印加すると、上記と同様の動作によって電極Ａ、Ｂが架橋され、この架橋状態が維持される。 このような動作を繰り返すことによって、電極Ａ、Ｂ間の接続と電極Ａ、Ｃ間の接続とが切り換えられ、しかも一旦、
切り換えられれば、その後電源ＢＴによる電圧印加を遮断しても、その接続状態が安定して維持される。

【０００９】なお、上記背景技術においては、静電引力によって水銀Ｈｇを駆動する場合、なるべく低い電源電圧で駆動できることが好ましく、電源電圧を低くすればする程、電極Ｂ、Ｃ間の距離を短くする必要がある。 これは、静電引力が電極間の距離の２乗に反比例するからである。

【００１０】ところが、電極間の距離を所定以上短くすると、電極Ａ、Ｃ間を架橋するために水銀Ｈｇを電極Ｃ
に移動させたときに、電極Ｂに水銀Ｈｇが残り、電極Ａ、Ｂ、Ｃが全て架橋され、電極Ａ、Ｂ間の切断を実行できなくなる。 したがって、電極Ｂ、Ｃ間の距離をある程度以下に設定した場合、リレーの切り換えを確実に行わせるためには、電源ＢＴによる制御電圧を高くして、
静電引力を大きくする必要がある。 しかし、これでは、
電源電圧を低くするという目的を達成できないという問題がある。

【００１１】本発明は、導電性流体と濡れ性のない絶縁性基板の上に、導電性流体と濡れ性のある複数の電極が設けられ、２つの電極に制御電圧を印加することによって、制御電圧が印加されている電極と導電性流体との間に静電引力を発生させ、これによって、架橋されていた２つの電極の架橋を切断し、制御電圧が印加されていた２つの電極を架橋する静電駆動式自己ラッチ形リレーにおいて、低い制御電圧で、リレーの切り換えを確実に行うことができる静電駆動式自己ラッチ形リレーを提供することを目的とするものである。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明は、導電性流体と濡れ性のない絶縁性基板の上に、導電性流体と濡れ性のある複数の電極が設けられ、２つの電極に制御電圧を印加することによって、制御電圧が印加されている電極と導電性流体との間に静電引力を発生させ、これによって、架橋されていた２つの電極の架橋を切断し、制御電極が印加されていた２つの電極を架橋する静電駆動式自己ラッチ形リレーにおいて、上記複数の電極として第１、２、３の電極を設け、第２、３の電極の一部を絶縁材料によって遮蔽して被遮蔽部を構成し、第２、３の電極のうちで架橋されていない電極の被遮蔽部を導電性流体側に張り出したものである。

【００１３】

【作用】本発明は、複数の電極として第１、２、３の電極を設け、第２、３の電極の一部を絶縁材料によって遮蔽して被遮蔽部を構成し、第２、３の電極のうちで架橋されていない電極の被遮蔽部を導電性流体側に張り出したので、被遮蔽部と導電性流体との距離が比較的短く設定されていることによって、低い制御電圧でも大きな静電引力を発生させることができ、この大きな静電引力と電極の露出部同士の距離が比較的長く設定されていることとによって、隣接した３つの電極が導電性流体で同時に架橋されることはなく、このために、リレーの切換を確実に実行でき、したがって、背景技術よりも低い制御電圧で、リレーの切換を確実に行うことができる。

【００１４】

【実施例】図１（１）は、本発明の一実施例の説明図であり、図１（２）は、図１（１）のＩ−Ｉ断面図である。

【００１５】この実施例は、導電性流体としての水銀Ｈ
ｇと、絶縁性基板ＧＢと、第１の電極Ｅ１、第２の電極Ｅ２、第３の電極Ｅ３と、２つのスイッチＳ１、Ｓ２
と、電源ＢＴと、被制御端子Ｔ１、Ｔ２、Ｔ３とで構成されている。

【００１６】絶縁性基板ＧＢは、ガラスを材料とし、水銀Ｈｇと濡れ性のない基板であり、電極Ｅ１、Ｅ２、Ｅ
３は、鉄で構成されている。 第１の電極Ｅ１は、絶縁性基板ＧＢの表面に設置され、水銀Ｈｇと濡れ性のある導電体で構成されている。 第２の電極Ｅ２は、絶縁性基板ＧＢから露出し、水銀Ｈｇと濡れ性のある導電体で構成されている露出部Ｅ２ｅと、被遮蔽部としての埋没部Ｅ
２ｂとで構成され、埋没部Ｅ２ｂは、絶縁性基板ＧＢによって埋没し、露出部Ｅ２ｅと接続された導電性材料である。 第３の電極Ｅ３は、絶縁性基板ＧＢから露出し、
水銀Ｈｇと濡れ性のある導電体で構成されている露出部Ｅ３ｅと、被遮蔽部としての埋没部Ｅ３ｂとで構成され、埋没部Ｅ３ｂは、絶縁性基板ＧＢによって埋没し、
露出部Ｅ３ｅと接続された導電性材料である。

【００１７】電源ＢＴは、第１の電極Ｅ１、第２の電極Ｅ２、第３の電極Ｅ３のうちの２つを架橋している水銀Ｈｇと、第１の電極Ｅ１、第２の電極Ｅ２、第３の電極Ｅ３のうちで水銀Ｈｇによって架橋されていない電極との間に電圧を加えることが可能な電源である。

【００１８】スイッチＳ１は、電源ＢＴのプラス端子と被制御端子Ｔ１とを断続するスイッチであり、スイッチＳ２は、その可動接片Ｓ２１が電源ＢＴのマイナス端子に接続され、その固定接点Ｓ２２、Ｓ２３がそれぞれ、
被制御端子Ｔ２、Ｔ３に接続されているスイッチである。

【００１９】また、第１の電極Ｅ１と第２の電極Ｅ２とが水銀Ｈｇで架橋されているときにおける第３の電極の埋没部Ｅ３ｂと水銀Ｈｇとの距離は、第３の電極の露出部Ｅ３ｅと水銀Ｈｇとの距離、第３の電極Ｅ３と第２の電極Ｅ２との距離、第３の電極Ｅ３と第１の電極Ｅ１との距離のいずれの距離よりも短く設定され、また、第１
の電極Ｅ１と第３の電極Ｅ３とが水銀Ｈｇで架橋されているときにおける第２の電極の埋没部Ｅ２ｂと水銀Ｈｇ
との距離は、第２の電極の露出部Ｅ２ｅと水銀Ｈｇとの距離、第２の電極Ｅ２と第３の電極Ｅ３との距離、第２
の電極Ｅ２と第１の電極Ｅ１との距離のいずれの距離よりも短く設定されている。

【００２０】なお、被制御端子Ｔ１、Ｔ２、Ｔ３は、上記実施例である静電駆動式自己ラッチ形リレーの外部に存在する電子回路等に接続されている。

【００２１】また、上記実施例において、第２の電極Ｅ
２または第３の電極Ｅ３と第１の電極Ｅ１との間を水銀Ｈｇが架橋し、スイッチＳ１、Ｓ２を切り換えることによって、水銀Ｈｇによって架橋されている２つの電極に電源ＢＴのプラス端子が接続され、水銀Ｈｇによって架橋されていない電極に電源ＢＴのマイナス端子が接続され、したがって、水銀Ｈｇによって架橋されていない電極と水銀Ｈｇとの間で、電源ＢＴの電圧によって静電引力が発生する。 この場合、その静電引力は、水銀Ｈｇによって架橋されている電極と水銀Ｈｇとの間の凝着力よりも大きく設定されている。 なお、水銀Ｈｇが蒸発することから、図１（２）における基板ＧＢの上部を密閉することが好ましい。

【００２２】次に、上記実施例の動作について説明する。

【００２３】まず、初期状態においては、図１に示すように、水銀Ｈｇは電極Ｅ１、Ｅ２間を架橋している。 鉄は水銀Ｈｇと濡れ性があるために、界面力によって、水銀Ｈｇは、第１の電極Ｅ１と第２の電極の露出部Ｅ２ｅ
とに凝着している。 また、ガラスと水銀Ｈｇは濡れ性がないために、水銀Ｈｇは基板ＧＢ上には広がらず、表面張力によってほぼ直線状に第１の電極Ｅ１と第２の電極の露出部Ｅ２ｅとの間を結んでいる。 この初期状態において、スイッチＳ１、Ｓ２はともにオフされ、水銀Ｈｇ
の架橋を介して被制御端子Ｔ１とＴ２とが接続され、被制御端子Ｔ３が開放されている。

【００２４】この初期状態から、被制御端子Ｔ１とＴ３
とを接続し、被制御端子Ｔ２を開放させる（リレーの切換を行う）には、以下のようにする。

【００２５】すなわち、図２に示すように、スイッチＳ
１をオンし、スイッチＳ２の可動接片Ｓ２１を固定接点Ｓ２３に切り換える。 これによって、第１の電極Ｅ１と第３の電極Ｅ３との間、つまり水銀Ｈｇと第３の電極Ｅ
３との間に電源ＢＴの制御電圧が印加される。 このときに、水銀Ｈｇにはプラスの電荷、電極Ｅ３にはマイナスの電荷が誘導され、両者間に静電引力が働く。

【００２６】一般に、プラス電荷をもつ導体とマイナス電荷をもつ導体との間で発生する静電引力は、両導体の最も近接した部分の間で働く。 上記実施例においては、
第１の電極Ｅ１と第２の電極Ｅ２との間が水銀Ｈｇで架橋されたときに、第３の電極の埋没部Ｅ３ｂの先端と、
水銀Ｈｇの架橋部分とが最も近接するように設定されている。 したがって、静電引力は、矢印で示すように、水銀Ｈｇと埋没部Ｅ３ｂとの間で働く。 なお、水銀Ｈｇと埋没部Ｅ３ｂとの間には基板ＧＢのガラス層が存在するが、このガラス層は絶縁体であるために、静電引力への影響はほどんどない。

【００２７】一方、上記実施例とは逆に、第２の電極Ｅ
２と第３の電極Ｅ３との距離、または、第１の電極Ｅ１
と第３の電極Ｅ３との距離が、第３の電極の埋没部Ｅ３
ｂと水銀Ｈｇとの間の距離よりも短い場合には、静電引力はその大部分が電極間で働き、水銀Ｈｇには余り働かず、発生する静電引力は小さいものとなる。

【００２８】そして、上記のように、水銀Ｈｇと第３の電極Ｅ３との間に静電引力が働くと、図３に示すように、水銀Ｈｇの中央付近が、第３の電極の埋没部Ｅ３ｂ
の先端に移動する。 これによって、第３の電極の埋没部Ｅ３ｂの他の部分と水銀Ｈｇとの距離がさらに短くなり、図３に矢印で示したような新たな吸引力が働く。 最終的には、図４に示すように、水銀Ｈｇが第３の電極の埋没部Ｅ３ｂに沿った形状になり、水銀Ｈｇの一端は第３の電極の露出部Ｅ３ｅと接触し、第３の電極Ｅ３側に水銀Ｈｇが移動し、第１の電極Ｅ１と第２の電極Ｅ２との架橋が切断される。

【００２９】次に、図５に示すように、スイッチＳ１、
Ｓ２を開くと、第１の電極Ｅ１と第３の電極Ｅ３との間の電圧が低下するが、水銀Ｈｇと電極Ｅ１、Ｅ３との間の界面力によって、第１の電極Ｅ１と第３の電極Ｅ３との架橋状態は維持される。 また、水銀Ｈｇの表面張力によって、第１の電極Ｅ１と第３の電極Ｅ３との間の架橋がほぼ直線状になる。 この結果、被制御端子Ｔ１とＴ３
との間の短絡状態が安定に維持され、被制御端子Ｔ２が開放されるので、上記リレーの切換が終了する。

【００３０】上記実施例によれば、電極の露出部Ｅ２
ｅ、Ｅ３ｅ同士の距離よりも埋没部Ｅ２ｂまたはＥ３ｂ
と水銀Ｈｇとの距離が短く設定されており、埋没部Ｅ２
ｂまたはＥ３ｂと水銀Ｈｇとの距離が比較的短く設定されていることによって、低い制御電圧でも大きな静電引力を発生させることができ、この大きな静電引力と電極の露出部Ｅ２ｅ、Ｅ３ｅ同士の距離が比較的長く設定されていることとによって、隣接した３つの電極Ｅ１、Ｅ
２、Ｅ３が水銀Ｈｇで同時に架橋されることはなく、このために、リレーの切換を確実に実行でき、したがって、背景技術よりも低い制御電圧で、リレーの切換を確実に行うことができる。

【００３１】この状態（図５に示す状態）から、図１に示す状態に戻す（被制御端子Ｔ１とＴ２とを接続し、被制御端子Ｔ３を開放させてリレーの切換を行う）には、
以下のようにする。

【００３２】図６に示すように、スイッチＳ１をオンし、スイッチＳ２の可動接片Ｓ２１を固定接点Ｓ２２に切り換える。 これによって、水銀Ｈｇと第２の電極Ｅ２
との間に静電引力が働き、上記と同様の動作を行い、第１の電極Ｅ１と第２の電極Ｅ２との間が架橋される。 以下、上記手順を繰り返すことによって、第１の電極Ｅ１
と第２の電極Ｅ２または第３の電極Ｅ３との間を選択的に架橋でき、しかも水銀Ｈｇと電極との界面張力によって、無電圧でリレーの接点の開閉を自己ラッチすることができる。

【００３３】次に、上記実施例を小型化したときの性能を簡単な計算によって評価する。

【００３４】まず、架橋状態の切り換えに必要な電源Ｂ
Ｔの電圧を見積る。 電源ＢＴの電圧をＶ、第２の電極の埋没部Ｅ２ｂと第３の電極の埋没部Ｅ３ｂとの距離をｄ、電極Ｅ２、Ｅ３の長さをそれぞれＬ、水銀Ｈｇの厚さをｈ、真空の誘電率をε ₀とし、埋没部Ｅ２ｂ、Ｅ３
ｂと基板ＧＢの表面との距離を無視すると、電極と水銀Ｈｇとの間の静電引力Ｆは、 Ｆ＝ε ₀ ｈＬＶ ² ／２ｄ ² ……（１） で与えられる。 また、水銀Ｈｇと鉄の界面力をσとすれば、水銀Ｈｇと電極との間の凝着力Ｇは、 Ｇ＝σＬ……（２） で与えられる。 Ｆ＞Ｇであれば架橋状態が切り換わるから、 Ｖ ² ＞（２σｄ ² ）／（ε ₀ ｈ）……（３） であればよい。

【００３５】式（３）から分かるように、ｄ ² ／ｈが小さい程、電源ＢＴの電圧Ｖは小さくてよい。 すなわち、
形状が相似形であれば、リレーを小型化すればする程、
小さな電源電圧で切り換えが可能になる。 このときに、
第２の電極の露出部Ｅ２ｅと第３の電極の露出部Ｅ３ｅ
との間隔がある程度、広げられているので、電極Ｅ１、
Ｅ２間が架橋されている状態からリレーを切換えたときに、電極Ｅ２に水銀Ｈｇが残ることなく、電極Ｅ１、Ｅ
３間の架橋が実行でき、リレーの切換を確実に実行できる。

【００３６】上記実施例において、基板ＧＢの形状としては、０．５mm×０．３mm程度のものを想定しているが、これ以外の大きさを採用してもよい。

【００３７】また、基板ＧＢの形状が大きい程、水銀Ｈ
ｇの使用量が多くなり、上記実施例のリレーを垂直にして使用した場合（図１（２）において左右方向に９０度回転した場合）に、水銀Ｈｇが重力によって流れるが、
上記想定した程度の大きさであれば水銀Ｈｇが流れることがない。 上記実施例のリレーを裏返して使用した場合（図１（２）において左右方向に１８０度回転した場合）でも、上記想定した程度の大きさであれば水銀Ｈｇ
が流れ落ちることがない。

【００３８】次に、上記実施例において、リレーの切り換えを行ったときの耐外乱性を評価する。

【００３９】まず、振動等の外乱力は、水銀Ｈｇに加わる慣性力であり、この慣性力は水銀Ｈｇの重量に比例するから、寸法の３乗に比例する。 すなわち、リレーの寸法を小さくする程、外乱力が小さくなる。 一方、切り換え力は、電極と水銀Ｈｇとの間の静電引力Ｆであり、これは式（１）より、形状が相似形で、かつ電源ＢＴの電圧Ｖが一定であれば寸法に依存しない。 すなわち、リレーの寸法を小さくしても、切り換え力が変化しない。 したがって、リレーを小型化すればする程、切り換え力と外乱力との比は大きくなり、耐外乱性が向上する。

【００４０】次に、接点保持時の耐外乱性を評価する。

【００４１】接点保持力は、水銀Ｈｇと電極との凝着力Ｇで与えられる。 式（２）より、保持力Ｇは、形状が相似形であれば寸法に比例する。 これに対して外乱力は寸法の３乗に比例するから、自己保持性もリレーを小型化する程、向上する。

【００４２】なお、上記実施例において、水銀Ｈｇの代わりに、他の導電性流体を使用してもよい。 ここで流体とは、静電駆動式自己ラッチ形リレーを使用しているときに流体であればよく、たとえば高温下で静電駆動式自己ラッチ形リレーを使用する場合には、半田等も上記流体に含まれる。 また、上記実施例においては、絶縁性基板ＧＢとしてガラスを使用しているが、導電性流体と濡れ性のない絶縁性基板ならば、石等のようにガラス以外のものを使用してもよい。

【００４３】さらに、上記実施例においては、電極Ｅ
１、Ｅ２、Ｅ３として鉄が使用されているが、絶縁性基板ＧＢの表面に設置されしかも導電性流体と濡れ性のある導電体であれば、金、銀、銅、タングステン、ニッケル等の鉄以外の導電体で構成された電極を使用してもよい。 導電性流体として水銀Ｈｇが使用されている場合には、アマルガムを形成しない材料が好ましく、たとえばタングステン、ニッケルが好ましい。 なお、たとえアマルガムを形成したとしても、基本的な動作原理には影響が無い。 また、上記実施例においては、電極が３つ設けられているが、４つ以上の電極を使用し、順次、切換える場合も、上記と同様である。

【００４４】また、第２の電極の露出部Ｅ２ｅと第３の電極の露出部Ｅ３ｅとの間に、第２の電極の埋没部Ｅ２
ｂ、第３の電極の埋没部Ｅ３ｂの代わりにまたはそれらとともに、埋没部Ｅ２ｂ、Ｅ３ｂに対応する埋没部を設けてもよい。

【００４５】さらに、第２の電極Ｅ２、第３の電極Ｅ３
として段差のない電極を使用し、その一部に、導電性流体と濡れ性のある絶縁材料（たとえばＳ _i Ｏ ₂ ）でコーティングし、このコーティングした部分を、埋没部Ｅ２
ｂ、Ｅ３ｂの代わりに使用するようにしてもよい。 この場合、第２の電極Ｅ２、第３の電極Ｅ３として、コーティングの厚さだけ段差を設けた電極を使用し、露出部Ｅ
２ｅとコーティング面とに段差が生じないようにし、露出部Ｅ３ｅとコーティング面とに段差が生じないようにしてもよい。 また、第２の電極の露出部Ｅ２ｅ、第３の電極の露出部Ｅ３ｅだけ残して、基板全体をもコーティングするようにしてもよい。 なお、電極Ｅ２、Ｅ３の一部を基板ＧＢで埋没させた埋没部Ｅ２ｂ、Ｅ３ｂと、電極Ｅ２、Ｅ３の一部を上記のようにコーティングして作った部分との包括概念が「被遮蔽部」であり、この被遮蔽部は、絶縁材料によって遮蔽され、露出部Ｅ２ｅまたはＥ３ｅと接続された導電性の部分である。

【００４６】また、上記実施例において、スイッチＳ１
を短絡し、そのスイッチＳ１を削除するようにしてもよい。

【００４７】

【発明の効果】本発明によれば、電極同士の距離よりも被遮蔽部と導電性流体との距離が短く設定されており、
被遮蔽部と導電性流体との距離が比較的短く設定されていることによって、低い制御電圧でも大きな静電引力を発生させることができ、この大きな静電引力と電極同士の距離が比較的長く設定されていることとによって、隣接した３つの電極が導電性流体で同時に架橋されることはなく、このために、リレーの切換を確実に実行でき、
したがって、背景技術よりも低い制御電圧で、リレーの切換を確実に行うことができるという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例の説明図である。

【図２】上記実施例において、制御電圧印加直後の状態を示す図である。

【図３】上記実施例において、制御電圧を印加し、水銀Ｈｇが移動を開始したときの状態を示す図である。

【図４】上記実施例において、水銀Ｈｇの移動終了後の状態を示す図である。

【図５】上記実施例において、リレーが切換わった後に、制御電圧を切断したときの状態を示す図である。

【図６】上記実施例において、リレーを再び切換えるために制御電圧を印加した直後の状態を示す図である。

【図７】従来の自己ラッチ形リレーの一例を示す図である。

【図８】自己ラッチ形リレーの背景技術の一例を示す図である。

【符号の説明】

Ｈｇ…導電性流体としての水銀、 ＧＢ…絶縁性基板、 Ｅ１…第１の電極、 Ｅ２…第２の電極、 Ｅ３…第３の電極、 Ｅ１ｅ…第１の電極の露出部、 Ｅ２ｅ…第２の電極の露出部、 Ｅ３ｅ…第３の電極の露出部、 Ｅ１ｂ…第１の電極の被遮蔽部としての埋没部、 Ｅ２ｂ…第２の電極の被遮蔽部としての埋没部、 Ｅ３ｂ…第３の電極の被遮蔽部としての埋没部、 ＢＴ…電源、 Ｓ１、Ｓ２…スイッチ、 Ｔ１、Ｔ２、Ｔ３…被制御端子。