Fluid switch and a method of manufacturing the same |
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申请号 | JP2006204401 | 申请日 | 2006-07-27 | 公开(公告)号 | JP4701136B2 | 公开(公告)日 | 2011-06-15 |
申请人 | アバゴ・テクノロジーズ・イーシービーユー・アイピー(シンガポール)プライベート・リミテッド; | 发明人 | ウィー・レン・ウィンナ・チア; ユー・ファ・ワン; | ||||
摘要 | |||||||
权利要求 | 互いに接合され、その間に複数のキャビティ(106-114)が画定された第1の基板(102)及び第2の基板(104)と、 前記キャビティのうちの少なくとも1つの近くまで延びる複数の導電性素子(116,118,120)と、 前記キャビティのうちの1つの中に保持されるスイッチング流体であって、該スイッチング流体に加わる力に応じて少なくとも一対の前記導電性素子(116/118, 118/120)を物理的にではなく電気的に接続及び分離する働きをするスイッチング流体と、 前記導電性素子のうちの少なくとも1つを覆うパッシベーション層(126)であって、(i)前記導電性素子のうちの1つを前記キャビティのうちの少なくとも1つから分離する働きをすると共に、(ii)前記導電性素子のうちの1つと前記スイッチング流体との間に形成されるコンデンサのための誘電体でもあるパッシベーション層(126)と を含み、前記パッシベーション層(126)は二酸化ケイ素からなる 、スイッチ(100)。 互いに接合され、その間に複数のキャビティ(106-114)が画定された第1の基板(102)及び第2の基板(104)と、 前記キャビティのうちの少なくとも1つの近くまで延びる複数の導電性素子(116,118,120)と、 前記キャビティのうちの1つの中に保持されるスイッチング流体であって、該スイッチング流体に加わる力に応じて少なくとも一対の前記導電性素子(116/118, 118/120)を物理的にではなく電気的に接続及び分離する働きをするスイッチング流体と、 前記導電性素子のうちの少なくとも1つを覆うパッシベーション層(126)であって、(i)前記導電性素子のうちの1つを前記キャビティのうちの少なくとも1つから分離する働きをすると共に、(ii)前記導電性素子のうちの1つと前記スイッチング流体との間に形成されるコンデンサのための誘電体でもあるパッシベーション層(126)と を含み、前記パッシベーション層(126)は窒化ケイ素からなる 、スイッチ(100)。 互いに接合され、その間に複数のキャビティ(106-114)が画定された第1の基板(102)及び第2の基板(104)と、 前記キャビティのうちの少なくとも1つの近くまで延びる複数の導電性素子(116,118,120)と、 前記キャビティのうちの1つの中に保持されるスイッチング流体であって、該スイッチング流体に加わる力に応じて少なくとも一対の前記導電性素子(116/118, 118/120)を物理的にではなく電気的に接続及び分離する働きをするスイッチング流体と、 前記導電性素子のうちの少なくとも1つを覆うパッシベーション層(126)であって、(i)前記導電性素子のうちの1つを前記キャビティのうちの少なくとも1つから分離する働きをすると共に、(ii)前記導電性素子のうちの1つと前記スイッチング流体との間に形成されるコンデンサのための誘電体でもあるパッシベーション層(126)と を含み、前記パッシベーション層(126)はポリシリコンからなる 、スイッチ(100)。 前記キャビティ(106-114)のうちの少なくとも1つの内部における前記スイッチング流体(122)によって濡れる複数の表面(702-706, 802-816)を更に有する、請求項1 〜 3 のいずれか一項に記載のスイッチ(100)。 前記導電性素子(116, 118, 120)は、前記キャビティ(106-114)のうちの1つの近くから前記スイッチの1以上の外面まで延びる導電性経路からなる、請求項1 〜4のうちのいずれか一項に記載のスイッチ(6)。 スイッチ(100)を形成する方法(900)であって、 第1の基板(102)上に複数の導電性素子(116, 118, 120)を蒸着するステップ(902)と、 前記導電性素子のうちの少なくとも1つの上にパッシベーション層(126)を蒸着するステップ(904)と、 前記第1の基板を第2の基板(104)に接合し、前記第1の基板と前記第2の基板との間に形成される1以上のキャビティ(106-114)の中にスイッチング流体(122)を密閉するステップ(906)であって、前記1以上のキャビティは前記スイッチング流体を第1の状態と第2の状態との間で移動させることが可能なサイズに形成され、前記パッシベーション層は、(i)前記導電性素子のうちの少なくとも1つを前記1以上のキャビティから分離すると共に、(ii)前記導電性素子のうちの1つと前記スイッチング流体との間に形成されるコンデンサのための誘電体としても機能する、スイッチング流体を密閉するステップ(906)と からなる方法(900)。 前記第1の基板を前記第2の基板(102, 104)に接合するステップ(906)の前に、前記パッシベーション層(126)の上に前記スイッチング流体(122)によって濡れる複数の表面(702-706, 802-816)を形成するステップを更に含む、請求項 6に記載の方法(900)。 前記パッシベーション層(126)は、化学気相蒸着プロセスを使用して蒸着(904)される、請求項 6又は請求項 7に記載の方法(900)。 |
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说明书全文 | 本発明は流体スイッチ及びその製造方法に関する。 液体金属マイクロスイッチ(LIMMS)のような流体スイッチはスイッチング流体(例えば、水銀)を含み、スイッチング流体はスイッチング流体に加わる力に応じて少なくとも一対の導体素子を電気的に接続及び分離する働きをする。 通常、スッチング流体に加わる力は、作動流体を加熱する手段やポンプにより加圧する手段によって加えられる。 一実施形態において、スイッチは、互いに接合された第1の基板及び第2の基板を有し、その間に複数のキャビティが画定される。 複数の導電性素子が、前記キャビティのうちの少なくとも1つの近くにまで延びる。 スイッチング流体は、前記キャビティのうちの1つの中に保持され、該スイッチング流体に加わる力に応じて少なくとも一対の導電性素子を物理的にではなく電気的に接続及び分離する働きをする。 パッシベーション層は、前記導電性素子のうちの少なくとも1つを覆い、(i)該第1の導電性素子を前記キャビティのうちの少なくとも1つから分離すると共に、(ii)前記導電性素子のうちの1つと前記スイッチング流体との間に形成されるコンデンサのための誘電体として機能する。 他の実施形態として、スイッチを形成する方法は、第1の基板上に複数の導電性素子を蒸着することを含む。 次に、前記導電性素子のうちの少なくとも1つの上にパッシベーション層を蒸着し、該第1の基板を第2の基板と接合し、第1の基板と第2の基板の間に形成される1以上のキャビティの中にスイッチング流体を密閉する。 これら1以上のキャビティは、スイッチング流体を第1の状態と第2の状態の間で移動させることが可能なサイズに形成される。 パッシベーション層は、(i)導電性素子のうちの1つを前記1以上のキャビティから分離すると共に、(ii)前記導電性素子のうちの1つとスイッチング流体との間に形成されるコンデンサのための誘電体として機能する。 他の実施形態も開示する。 本発明の幾つかの例示的実施形態を図面に示す。 図1〜図3は、流体スイッチ100の第1の実施形態を示している。 スイッチ100は、互いに接合された第1の基板102及び第2の基板104を備え、その間に、複数のキャビティ106、108、110、112及び114が画定される。 図1には5つのキャビティしか描かれていないが、スイッチ100にはそれより少ないキャビティを形成してもよいし、それより多くのキャビティを形成してもよい。 例えば、図示のキャビティは、スイッチング流体キャビティ108、一対の作動流体キャビティ106,110、並びに、作動流体キャビティ106,110をそれぞれ対応するスイッチング流体キャビティ108に接続する一対のキャビティ112,114からなる。 図2は、これらのキャビティの平面図である。 キャビティのうちの1以上にまで延びているのは、複数の導電性素子116、118、120である(図3に最も分かりやすく描かれている)。 図示のスイッチ100は3つの導電性素子しか備えていないが、スイッチの他の実施形態において、導電性素子の数は異なる数(2以上)であってもよい。 キャビティのうちの1以上の中に保持されるスイッチング流体122は、スイッチング流体122に加わる力に応じて少なくとも一対の導電性素子間を接続及び分離する働きをする。 例えば、スイッチング流体122は、水銀、ガリウム、ナトリウム・カリウム、又はそれらの合金のような導電性液体金属からなる。 前記キャビティのうちの1以上の中に保持された作動流体124(例えば、不活性ガス又は液体)を使用して、スイッチング流体122に力を加えることができる。 図3は、導電性素子116〜120に関連するスイッチング流体122を示す、スイッチ100の断面図である。 スイッチング流体122に加える力は、作動流体124の圧力変化によって発生させることができる。 すなわち、作動流体124における圧力変化は、スイッチング流体122に圧力変化を与え、それによって、スイッチング流体122が変形され、移動され、又は分割される。 図1において、キャビティ106に保持される作動流体124の圧力は、スイッチング流体122に力を加え、図示のようにスイッチング流体122を分割している。 この状態では、スイッチの一番右にある2つの導電性素子118、120が互いに接続されている。 キャビティ106に保持される作動流体124の圧力を解放し、キャビティ110に保持される作動流体124の圧力を増加させた場合、スイッチング流体122に力を加えて、スイッチング流体122を分離及び合併されることができ、それによって、導電性素子118と導電性素子120を互いに分離し、導電性素子116と導電性素子118を互いに結合することができる。 例えば、作動流体124の圧力変化は、作動流体124を加熱する手段(例えば、ヒーター128、130)や、圧電ポンプ手段によって達成することができる。 前者については、Kondoh他による「Electrical Contact Breaker Switch, Integrated Electrical Contact Breaker Switch, and Electrical Contact Switching Method」と題する米国特許第6,323,447号に記載されている。 この文献は、開示事項を全て参照することにより、本明細書に援用される。 後者については、Wongによる「A Piezoelectrically Actuated Liquid Metal Switch」と題する米国特許第6,750,594号に記載されている。 この文献も、その開示事項を全て参照することにより、本明細書に援用される。 上記の特許は、2つのプッシュプル作動流体キャビティによるスイッチング流体の移動を開示しているが、キャビティからスイッチング流体に対して十分に大きなプッシュプル圧力を加えることができるなら、単一のプッシュプル作動流体キャビティでも十分かもしれない。 図1〜図3に示したようなスイッチの構成及び動作に関する詳しい説明は、上で述べたKondoh他及びWongの特許に記載されている。 スイッチ100の未開示の特徴は、パッシベーション層126である。 パッシベーション層126は、導電性素子116〜120のうちの少なくとも1つを覆い、好ましくは、導電性素子116〜120の全てを覆う。 このようにすると、パッシベーション層126は、導電性素子116〜120のうちの1以上をキャビティ108から分離すると共に、導電性素子116〜120とスイッチング流体122との間に形成される1以上のコンデンサのための誘電体としても機能する。 図15において、パッシベーション層502は、スイッチ500の中央の導電性素子118を覆っている。 このスイッチの実施形態の概略図を図6に示す。 スイッチ100の置かれた状態に関係なく、コンデンサ600(パッシベーション層502によって形成される)が、スイッチ100を通る電気経路上に現れる。 コンデンサ600の値は、パッシベーション層502の形成に使用される材料を選択することによって、又は、その厚さを調節することによって調節することができる。 多くの無線周波数(RF)スイッチング回路は直流(DC)を流す必要がないことから、コンデンサ600はDC遮断コンデンサとして使用される場合がある。 図1〜図3は、パッシベーション層126が導電性素子116〜120の全てを覆うように構成されるスイッチの実施形態100を示している。 さらに、導電性素子116〜120間にもパッシベーション層126を蒸着し、導電性素子116〜120の上に一様で連続的な表面を形成してもよい。 このスイッチの実施形態の概略図を図4に示す。 この回路では、任意の所与の瞬間において、スイッチ100を流れる電気経路上に、2つのコンデンサ(400/402又は402/404)が現われる。 ただし、パッシベーション層126に使用する材料を選択することにより、又は、その厚さを調節することにより、コンデンサ400〜404に、単一のコンデンサ600(図6)と同じ機能を与えることもできる。 図3及び図5に示すパッシベーション層126、502は、スイッチング流体122をパッシベーション層126、502で覆われた導電性素子116〜120に物理的にではなく電気的に接続する。 パッシベーション層126で導電性素子116〜120の全てを覆うと、スイッチング流体12と導電性素子116〜120との間に合金が形成されることを防止することができる。 また、導電性素子116〜120をパッシベーション層126で覆うと、スイッチング流体122や作動流体124への不純物混入や、キャビティ108に溜まる漂流ガス(例えば、酸素)によって生じる導電性素子116〜120の酸化や汚れをいずれも或る程度抑制することができる。 さらに、導電性素子116〜120を覆うことにより、導電性素子116〜120や基板104における不純物混入によるスイッチング流体122の汚れもある程度抑制することができる。 従来の流体スイッチでは、スイッチング流体122が導電性素子116〜120を濡らす際のスイッチング流体122の表面張力によってときどき吸着が起き、作動流体124によって加えられた力が、それに打ち勝つことができない場合があった。 これが発生すると、スイッチは適切に切り替わらなくなる。 導電性素子116〜120のうちの1以上を覆うことにより、パッシベーション層126、502は、導電性素子116〜120とスイッチング流体122の間に生じるこの吸着の作用を軽減することができる。 ただし、スイッチの不慮の切り換え(例えば、衝撃、落下、振動)を防止するために、一般には、或る程度の吸着が必要である。 パッシベーション層126、502が吸着を抑制しすぎる場合は、スイッチング流体で塗れる複数の表面をスイッチに設けることにより、吸着を増加させることができる。 図7は、パッシベーション層126の幾つかの部分を粗面処理(そめんしょり)することにより、濡らすことが可能な表面702、704、706が形成されたスイッチ700を示している。 図8は、キャビティ108の壁に金属層を蒸着することにより、濡らすことが可能な表面802、804、806、808、810、812、814及び816が形成されたスイッチ800を示している。 金属層は種々の場所に蒸着することができ、例えば、パッシベーション層126「上」や、キャビティ108の他の壁、その上部、下部、側部、端部などに蒸着することができる。 金属層の材料は、スイッチング流体122によって濡らすことが出来るものであればどのような材料であってもよい。 ただし、それらの層のうちの1つは、スイッチング流体122との間で合金を形成する可能性の低い(又は無い)ものであることが望ましい。 このようにすれば、濡らすことが可能な表面802〜816がスイッチング流体122の中に全て溶け込むことはないであろう。 例えば、濡らすことが可能な表面802〜816は、イリジウム、ロジウム、プラチナ、及び、クロムのうちの少なくとも1つを含む場合がある。 濡らすことが可能な表面702〜706又は802〜816は、導電性素子116〜120の上に、又は、それらに位置を揃えて配置することが望ましい。 このようにすれば、パッシベーション層126及び502によって形成されるコンデンサの値をより正確に調節することができ、寄生容量や他の望ましくない電気的現象を回避することができる。 例えば、パッシベーション層126、502は、二酸化ケイ素、窒化ケイ素、炭化ケイ素、又は、ポリシリコンから構成され、場合によっては、パッシベーション層は、異なる材料からなる複数の層から構成される。 一実施形態において、パッシベーション層は、化学気相蒸着プロセスを使用して蒸着される。 従来、スイッチのスイッチング流体キャビティの内部から外側まで延びる導体経路を備えた流体スイッチを構成することは難しかった。 その理由は、スイッチング流体122は普通、導電性経路116〜120を濡らし、スイッチ製造の際に、スイッチング流体122は基板102、104間に引き込まれることになる。 しかしながら、スイッチ100では、スイッチング流体122が導電性経路116〜120には物理的に接触しない。 また、パッシベーション層126は、それがスッチング流体122によって濡れないように選択される。 このようにすれば、スイッチング流体122が基板102、104間に引き込まれることなく、キャビティ108のうちの1つの近くからスイッチ100の1以上の外面まで延びる導電性経路116〜120を形成することができる。 導電性経路116〜120の端部に、複数のボンディングパッド132、134、136を形成してもよい。 実施形態によっては、ボンディングパッド132〜136、及び/又は、導電性経路116〜120は全体として、チタニウムの層から構成され、その上にプラチナの層が蒸着し、その上に金の層が蒸着される場合がある。 代替実施形態において、ボンディングパッド132〜136、及び/又は、導電性経路116〜120は、1以上の他の材料(又は、材料の組み合わせ)から形成される場合がある。 図9は、スイッチ100を形成する方法の例を示している。 この方法は、第1の基板104上に複数の導電性素子116〜120を蒸着するステップ(902)を含む。 次に、導電性素子118のうちの少なくとも1つの上に、パッシベーション層26を蒸着する。 その後、第1の基板102と第2の基板104を接合し(906)、第1の基板102と第2の基板104との間に形成されるキャビティ108の中にスイッチング流体122を密閉する。 キャビティは、スイッチング流体122を第1の状態と第2の状態の間で移動させることが可能なサイズに形成される。 パッシベーション層126は、(1)導電性素子118のうちの1つをキャビティ108から分離する働きをすると共に、(2)導電性素子118のうちの1つとスイッチング流体122との間に形成されるコンデンサのための誘電体としても機能する。 本発明の種々の例示的実施形態を以下に列挙する。 |