VORRICHTUNG ZUM BEAUFSCHLAGEN VON SCHÜTTGUT MIT BESCHLEUNIGTEN ELEKTRONEN

Vorrichtung zum Beaufschlagen von Schüttgut mit beschleunigten Elektronen

Beschreibung Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zum Behandeln von Schüttgut, vorzugsweise von Saatgut, mit beschleunigten Elektronen. Das bevorzugte Anwendungsgebiet ist die phytosanitäre Behandlung von Saatgut gegen samenbürtige Schaderreger, die überwiegend in der Samenschale der Samenkörner angesiedelt sind. Weitere Anwendungsgebiete sind die Oberflächensterilisation von Granulaten und Pulvern, die chemische Oberflächenaktivierung sowie die Durchführung anderer strahlenchemischer Prozesse an Schüttgut.

Stand der Technik Es sind verschiedene Verfahren und die entsprechenden Vorrichtungen zum Beaufschlagen von Schüttgut mit beschleunigten Elektronen in verschiedenen Ausführungen - angepasst an das zu behandelnde Schüttgut - bekannt.

So wird in einer evakuierten Kammer durch gegenüberliegendes Anordnen zweier

Elektronenbeschleuniger ein Elektronenfeld mit entgegengesetzten Geschwindigkeitskomponenten der Elektronen erzeugt, durch welches das Schüttgut im freien Fall in einem ausgedehnten transparenten Strom geführt wird (DD 291 702 A5). Zur Elektronenbehandlung wird das Schüttgut über Zellenradschleusen in die Kammer eingeschleust und nach dem Elektronenstrahlprozess wieder ausgeschleust. Der Nachteil solcher Vorrichtungen ist jedoch der hohe apparative Aufwand für das Erzeugen des Elektronenfeldes, da mindestens zwei Elektronenbeschleuniger erforderlich sind, und der hohe vakuumtechnische Aufwand.

Es ist außerdem bekannt, ein Elektronenfeld mit entgegengesetzten Geschwindigkeits- komponenten dadurch zu erzeugen, dass der Elektronenstrahl, nachdem er den Strom der Schüttgutteilchen passiert hat, durch eine magnetische Umlenkung auf den Teilchenstrom zurückgelenkt wird. Vorrichtungen dieser Art vermeiden den Aufwand für einen zweiten Elektronenbeschleuniger. Der Nachteil dieses Verfahrens besteht jedoch darin, dass durch den relativ langen Weg, den der Elektronenstrahl in der Prozesskammer durchläuft, ein wesentlich besseres Vakuum benötigt wird, was bezüglich der Vakuumerzeugung einen noch höheren apparativen Aufwand erfordert.

Es sind auch Verfahren und Vorrichtungen bekannt, die mit zwei einander gegenüber- liegenden Elektronenbeschleunigern arbeiten, wobei die Elektronen über ein Strahlaustrittsfenster an Atmosphärendruck austreten (DE 44 34 767 C 1 ). Das Schüttgut wird dabei ebenfalls im freien Fall durch das Elektronenfeld geführt. Bei dieser Lösung entfällt der Aufwand zum sonst erforderlichen Evakuieren der Prozesskammer. Dennoch verbleibt der Nachteil des hohen apparativen Aufwandes durch den notwendigen Einsatz von mindestens zwei Elektronenbeschleunigern.

Es ist weiterhin bekannt, pulverförmige und körnige Materialien an Atmosphärendruck mit Elektronen zu beaufschlagen, wobei nur ein Elektronenbeschleuniger zum Einsatz gelangt und die zu bestrahlenden Teilchen in einem Gasstrom durch das Elektronenfeld getragen werden (WO 98/43274 A1 ). Der Gasstrom mit den zu bestrahlenden Teilchen wird durch einen rechteckigen Kanal geführt, der an einer Seite mit einer 25 μιτι dicken Aluminiumfolie verschlossen ist, durch welche die Elektronen nach ihrer Ausschleusung über eine 13 μιτι dicke Titanfensterfolie und Durchlaufen der Distanz bis zum Bestrahlungskanal eindringen. Der Aluminiumfolie gegenüberliegend wird der rechteckige Kanal durch eine ebene Platte aus einem Werkstoff hoher Ordnungszahl gebildet. Nach Durchdringen des Kanalquerschnitts werden die Elektronen von dieser Platte zu einem gewissen Anteil rückgestreut. Die rückgestreuten Elektronen haben eine der ursprünglichen Einfallsrichtung der

Elektronen entgegengerichtete Geschwindigkeitskomponente und ermöglichen, dass auch die bezüglich der ursprünglichen Einfallsrichtung der Elektronen abgewandte Seite der Teilchen einem Elektronenbeschuss ausgesetzt ist.

Von Nachteil ist, dass die Intensität der Bestrahlung durch die rückgestreuten Elektronen wesentlich niedriger ist als die Intensität der Bestrahlung durch die unmittelbar aus dem Strahlaustrittsfenster austretenden Elektronen, was zu einer ungleichmäßigen Bestrahlung der einzelnen Teilchen führt. Nachteilig ist auch, dass die zum Tragen der Teilchen erforderliche Gasgeschwindigkeit mit steigendem Verhältnis von Masse zur Oberfläche der transportierten Teilchen stark ansteigt. Somit würden für größerkörnige Schüttgüter - wie z. B. Weizen oder Mais - sehr hohe Gasströmungsgeschwindigkeiten erforderlich werden. Bei diesen hohen Geschwindigkeiten würden die im Elektronenfeld übertragbaren Energie- dosen auf sehr kleine, für zahlreiche Anwendungen wesentlich zu geringe Werte begrenzt werden. Ein weiterer Nachteil dieser bekannten Lösung besteht darin, dass die Elektronen nach dem Austritt aus dem Elektronenbeschleuniger noch zusätzlich die den rechteckigen Kanal verschließende Aluminiumfolie durchdringen müssen, bevor sie auf die zu behandelnden Teilchen treffen. Dadurch erleiden die Elektronen einen zusätzlichen unerwünschten Energieverlust.

In DE 1 99 42 142 A1 ist schließlich eine Vorrichtung offenbart, bei der Schüttgut im mehrfachen freien Fall an einer Elektronenstrahleinrichtung vorbeigeführt und mit beschleunigten Elektronen beaufschlagt wird. Aufgrund des Mehrfachdurchlaufs, verbunden mit einer zwischenzeitlichen Durchmischung des Schüttguts, ist die Wahrscheinlichkeit bei dieser Ausführungsform sehr hoch, dass die Partikel des Schüttgutes allseitig mit beschleunigten Elektronen beaufschlagt werden. Der Mehrfachdurchlauf erfordert allerdings einen hohen Zeitaufwand bei der Durchführung des Behandlungsprozesses. Aufgabenstellung

Der Erfindung liegt daher das technische Problem zugrunde, eine Vorrichtung zum

Beaufschlagen von Schüttgut mit beschleunigten Elektronen zu schaffen, mittels der die Nachteile des Standes der Technik überwunden werden können. Insbesondere soll die Vorrichtung gegenüber dem Stand der Technik kompaktere Abmaße ermöglichen und trotzdem einen hohen Durchsatz von zu behandelndem Schüttgut zulassen.

Die Lösung des technischen Problems ergibt sich durch Gegenstände mit den Merkmalen des Patentanspruchs 1 . Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus den abhängigen Patentansprüchen.

Ein wesentliches Merkmal einer erfindungsgemäßen Vorrichtung besteht darin, dass diese ringförmig ausgebildet ist, bei der die Elektronen in Richtung des Ringinneren beschleunigbar sind. Auf diese Weise kann ein Substrat, welches durch das Ringinnere der Vorrichtung geführt wird, in einem Bestrahlungsdurchgang vollumfänglich bezüglich eines Substratquerschnitts mit beschleunigten Elektronen beaufschlagt werden. An dieser Stelle sei ausdrücklich darauf verwiesen, dass der Begriff „ringförmig " im Erfindungssinn bei allen nachfolgend beschriebenen ringförmigen Vorrichtungen und Bauelementen nicht nur auf einen Ring in Kreisform begrenzt ist, sondern dass sich der Begriff „ringförmig " im Erfindungssinn lediglich auf einen schleifenförmig in sich geschlossenen Gegenstand bezieht, wobei der schleifenförmig in sich geschlossenen Gegenstand einen Freiraum in seinem Querschnitt vollständig umschließt und wobei Schüttgut durch diesen Freiraum im Inneren des Ringes hindurchgeführt werden kann. Dabei ist der von einem Ring vollständig umschlossene Querschnitt des Freiraumes zwar bei einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung kreisförmig ausgebildet, kann aber im weitesten Erfindungssinn auch jede andere geometrische Form aufweisen.

Der ringförmige Elektronenstrahlerzeuger einer erfindungsgemäßen Vorrichtung ist bei einer Ausführungsform derart angeordnet, dass die Ringachse des ringförmigen Elektronenstrahl- erzeugers senkrecht ausgerichtet ist. Alternativ sind auch Ausführungsvarianten möglich, bei der die Ringachse bis zu 45° von der Senkrechten abweicht. Vorzugsweise weicht die Ringachse des ringförmigen Elektronenstrahlerzeugers nicht mehr als 1 0° von der Senkrechten ab. Bei einem derart angeordneten ringförmigen Elektronenstrahlerzeuger ist es möglich, Schüttgut im freien Fall durch das Ringinnere des ringförmigen Elektronenstrahlerzeugers hindurchfallen zu lassen und während des freien Falls durch das Ringinnere das Schüttgut mit beschleunigten Elektronen zu beaufschlagen.

Wenn sichergestellt werden soll, dass die Schüttgutpartikel möglichst vollumfänglich mit beschleunigten Elektronen beaufschlagt werden, wird der durch das Ringinnere des ring- förmigen Elektronenstrahlerzeugers fallende Schüttgutstrom vorzugsweise derart ausgebildet, dass die Schüttgutpartikel vereinzelt durch das Ringinnere hindurchfallen. Eine erfindungsgemäße Vorrichtung umfasst daher neben einem ringförmigen Elektronenstrahlerzeuger auch noch eine oberhalb des ringförmigen Elektronenstrahlerzeugers angeordnete Einrichtung zum Vereinzeln von Schüttgutpartikeln, deren untere Begrenzung mindestens eine Öffnung aufweist, aus der Schüttgutpartikel heraus- und von dort durch den vom Elektronenstrahlerzeuger geformten Ring hindurchfallen. Die Einrichtung zum Vereinzeln von Schüttgutpartikeln kann beispielsweise ein Gefäß zur Aufnahme von Schüttgutpartikeln umfassen, wobei der Boden des Gefäßes mindestens eine Öffnung aufweist, aus der die Schüttgutpartikel herausfallen können. Vorzugsweise wird die Öffnung so groß

dimensioniert, dass lediglich immer nur ein Schüttgutpartikel nach dem anderen durch die Öffnung im Boden des Gefäßes hindurchfallen kann. Wenn die Schüttgutpartikel eine annähernd gleiche Größe aufweisen, kann die Größe der Öffnung im Boden des Gefäßes derart ausgebildet sein, dass deren Durchmesser kleiner ist als der zweifache mittlere Durchmesser der Schüttgutpartikel. Bei Verwendung eines kreisrunden ringförmigen Elektronen- Strahlerzeugers, dessen Ringachse senkrecht ausgerichtet ist, wird die Einrichtung zum Ver- einzeln von Schüttgutpartikeln vorzugsweise derart oberhalb des Elektronenstrahlerzeugers angeordnet, dass sich die Öffnung im Boden des Gefäßes zur Aufnahme von Schüttgutpartikeln auf der verlängerten Ringachse des Elektronenstrahlerzeugers befindet. Auf diese Weise fallen die Schüttgutpartikel mittig durch den Elektronenstrahlerzeuger und werden vollumfänglich mit einer zumindest annähernd gleichen Energiedosis beaufschlagt.

Bei einer solchen Vorrichtung, bei der immer nur ein Schüttgutpartikel nach dem anderen durch das Ringinnere des ringförmigen Elektronenstrahlerzeugers hindurchfällt, kann sichergestellt werden, dass die Schüttgutpartikel vollumfänglich mit beschleunigten Elektronen beaufschlagt werden. Der Durchsatz der mit Elektronen beaufschlagten Schüttgutpartikel ist jedoch nur gering.

Bei einer alternativen Ausführungsform weist die Bodenwandung eines Gefäßes zur Aufnahme und Vereinzelung von Schüttgutpartikeln eine oder mehrere Öffnungen auf, die nicht an der Position der verlängerten Ringachse des ringförmigen Elektronenstrahlerzeugers angeordnet sind. Ein weiteres Merkmal der Bodenwandung besteht darin, dass diese rotierbar oder innerhalb der horizontalen Ebene bewegbar angeordnet ist.

Bei einer weiteren alternativen Ausführungsform umfasst eine erfindungsgemäße Vor- richtung einen kreisrunden, ringförmigen Elektronenstrahlerzeuger, dessen Ringachse senkrecht ausgerichtet ist, sowie eine oberhalb des Elektronenstrahlerzeugers angeordnete Einrichtung zum Vereinzeln von Schüttgutpartikeln, die mehrere Öffnungen in der Bodenwandung aufweist. Die Öffnungen in der Bodenwandung sind vorzugsweise radialsymmetrisch, mit jeweils gleichem Abstand auf einer kreisförmigen Bahn um die verlängerte Achse des Elektronenstrahlerzeugers herum angeordnet. Dabei ist der Radius der kreisförmigen Bahn, auf der die Öffnungen in der Bodenwandung eingebracht sind, kleiner als der Innenradius des ringförmigen Elektronenstrahlerzeugers, so dass auch alle aus den Öffnungen der Bodenwandung fallenden Schüttgutpartikel durch die Ringöffnung des ringförmigen Elektronenstrahlerzeugers hindurchfallen. Vorzugsweise sind die Öffnungen in der Bodenwandung der Einrichtung zum Vereinzeln der Schüttgutpartikel so groß ausgebildet, dass immer nur ein Schüttgutpartikel nach dem anderen durch eine Öffnung hindurchfallen kann.

Auf diese Weise wird ein transparenter, ringförmiger Schüttgutstrom - bestehend aus fallenden Schüttgutpartikeln - erzeugt, der durch die Ringöffnung des ringförmigen Elektronenstrahlerzeugers hindurchfällt und dabei mit beschleunigten Elektronen beaufschlagt wird. Transparent in Hinsicht auf den ringförmigen Strom fallender Schüttgutpartikel bedeutet, dass benachbarte fallende Schüttgutpartikel jeweils mit einem Maß voneinander beabstandet sind, so dass auch immer einige vom ringförmigen Elektronenstrahlerzeuger beschleunigte Elektronen zwischen den fallenden Schüttgutpartikeln hindurchgelangen können, welche dann auf der gegenüberliegenden Seite des ringförmigen, fallenden Schüttgutstroms auf die zur Ringachse ausgerichtete Rückseite von Schüttgutpartikeln auftreffen, wodurch auch bei einer solchen Vorrichtung die fallenden Schüttgutpartikel vollumfänglich mit beschleunigten Elektronen beaufschlagt werden.

Alternativ kann ein transparenter, ringförmiger Schüttgutstrom - bestehend aus fallenden, vereinzelten Schüttgutpartikeln - erzeugt werden, indem in die Bodenwandung einer oberhalb eines ringförmigen Elektronenstrahlerzeugers angeordneten Einrichtung zum Vereinzeln von Schüttgutpartikeln eine ringförmige Öffnung eingebracht wird. Dabei wird die Ringöffnung vorzugsweise radialsymmetrisch um die verlängerte Ringachse des ringförmigen Elektronenstrahlerzeugers herum ausgebildet. Die Spaltbreite der ringförmigen Öffnung wird dabei vorzugsweise so groß dimensioniert, dass bezüglich der Spaltbreite nur ein Schüttgutpartikel hindurchpasst. Auf diese Weise wird ebenfalls ein transparenter, ringförmiger Schüttgutstrom aus fallenden Schüttgutpartikeln mit einer Ringbreite von einem Schüttgutpartikel erzeugt.

Ebenfalls vorteilhaft ist es, wenn bei allen zuvor aufgeführten Ausführungsbeispielen mindestens ein Bauteil der Einrichtung zum Vereinzeln von Schüttgutpartikeln mit einer Vibration beaufschlagt wird, damit die mindestens eine Öffnung in der Bodenwandung der Einrichtung nicht von Schüttgutpartikeln verstopft wird. So kann zum Beispiel die Bodenwandung der Einrichtung zum Vereinzeln von Schüttgutpartikeln oder deren seitliche Wandungen mit einer Schwingung beaufschlagt und somit in Vibrationen versetzt werden. Hierfür einsetzbare Schwingungserzeuger, die mit einem Bauteil der Einrichtung zum Vereinzeln von Schüttgutpartikeln in mechanischen Kontakt gebracht werden, sind bekannt.

Ausführungsbeispiel

Die Erfindung wird nachfolgend anhand von Ausführungsbeispielen näher erläutert, zeigen: Fig. 1 eine schematische und perspektivische Schnittdarstellung eines ringförmigen

Elektronenstrahlerzeugers mit Poloidalspulen;

Fig. 2 eine schematische und perspektivische Schnittdarstellung eines alternativen ringförmigen Elektronenstrahlerzeugers mit anodischen drahtförmigen

Elektroden;

Fig. 3 eine schematische Schnittdarstellung einer erfindungsgemäßen Vorrichtung im

Querschnitt;

Fig. 4a eine schematische Schnittdarstellung einer alternativen erfindungsgemäßen

Vorrichtung im Querschnitt;

Fig. 4b eine schematische Darstellung eines Gefäßes zur Aufnahme von Schüttgutpartikeln der Vorrichtung aus Fig. 4a als Draufsicht;

Fig. 5a eine schematische Schnittdarstellung einer weiteren alternativen erfindungsgemäßen Vorrichtung im Querschnitt;

Fig. 5b eine schematische Darstellung eines Gefäßes zur Aufnahme von Schüttgutpartikeln der Vorrichtung aus Fig. 5a als Draufsicht;

Fig. 6 eine schematische Schnittdarstellung einer erfindungsgemäßen Vorrichtung mit Elektronenreflektor;

Fig. 7 eine schematische Schnittdarstellung eines alternativen Gefäßes zur Aufnahme von Schüttgutpartikeln.

In den Fig. 1 und 2 sind zunächst einmal ringförmige Elektronenstrahlerzeuger schematisch dargestellt, die bei einer erfindungsgemäßen Vorrichtung verwendet werden können. Zum besseren Verständnis seien an dieser Stelle noch die Begriffe„Ringzylinder" und„Ringscheibe" in Bezug auf einen ringförmigen Gegenstand definiert. Wird der Innenradius eines kreisförmigen Ringes von seinem Außenradius subtrahiert, dann ergibt sich ein Maß. Ist dieses Maß kleiner als die Ausdehnung des Ringes in Richtung seiner Ringachse, so ist der Ring als Ringzylinder ausgebildet. Ist dieses Maß hingegen größer als die Ausdehnung des Ringes in Richtung seiner Ringachse, so ist der Ring als Ringscheibe ausgebildet. Fig. 1 zeigt einen ringförmigen Elektronenstrahlerzeuger 1 00 als schematische perspektivische Schnittdarstellung. Ein solcher Elektronenstrahlerzeuger umfasst zunächst ein ringförmiges Gehäuse 1 01 , welches zumindest in einem Bereich einen evakuierbaren Raum 1 02 begrenzt, der in die evakuierbaren Räume 102a und 102b unterteilt ist. Dieser evakuierbare Raum 1 02 ist aufgrund der Gehäuseform ebenfalls ringförmig. Im Ausführungsbeispiel von Fig. 1 ist das Gehäuse 101 radialsymmetrisch um eine Ringachse 1 03 ausgebildet. Alle nach- folgend beschriebenen, zum Elektronenstrahlerzeuger 1 00 zugehörigen und als ringförmig bezeichneten Bauelemente sind ebenfalls radialsymmetrisch und weisen ein und dieselbe Ringachse 1 03 auf. An der Ringinnenseite des Gehäuses 1 01 ist das Gehäuse 1 01 als Elektronenaustrittsfenster 104 in Form eines Ringzylinders ausgebildet, dh in Austritts- richtung der Elektronen betrachtet weist das Elektronenaustrittsfenster 104 eine Oberflächensenkrechte auf, die zum Ringinneren und bei einem kreisförmigen Ringzylinder wie beim Elektronenaustrittsfenster 104 zur Ringachse 103 ausgerichtet ist. Durch mindestens einen in Fig. 1 nicht dargestellten Einlass im Gehäuse 1 01 wird ein Arbeitsgas in den evakuierbaren Raum 1 02 eingelassen und mittels mindestens einer in Fig. 1 ebenfalls nicht dargestellten Pumpeinrichtung ein Vakuum im evakuierbaren Raum 1 02 im Bereich von 0,5 Pa bis 1 ,5 Pa und bevorzugt im Bereich von 0,9 Pa bis 1 , 1 Pa aufrechterhalten.

Der ringförmige Elektronenstrahlerzeuger weist ferner mindestens eine erste Kathode und mindestens eine erste Anode auf, zwischen denen mittels einer ersten angelegten elektrischen Spannung, die von einer ersten Stromversorgungseinrichtung bereitgestellt wird, ein Glimmentladungsplasma im evakuierbaren Raum 102 erzeugbar ist. Im Ausführungsbeispiel wurden zwei als Ringscheibe ausgebildete erste Kathoden 1 05a und 105b verwendet, die im Raum 1 02a gegenüberliegend in der Nähe der seitlichen Innenwandungen des Gehäuses 101 angeordnet sind. Beim Elektronenstrahlerzeuger 1 00 wurde ferner das Gehäuse 101 als erste Anode geschaltet, wobei das Gehäuse 1 01 gleichzeitig das elektrische Massepotenzial des Elektronenstrahlerzeugers 1 00 aufweist. Alternativ kann aber auch mindestens eine separate Elektrode als erste Anode geschaltet werden, die vom

Gehäuse 101 elektrisch isoliert ist. Die ringförmigen ersten Kathoden 105a und 1 05b sind mit einem derart geringen Maß von den jeweils angrenzenden Wandungen des Gehäuses 1 01 beabstandet, dass infolge einer Dunkelfeldabschirmung keine elektrische Entladung zwischen den Kathoden 1 05 und den unmittelbar angrenzenden Wandungen des als erste Anode geschalteten Gehäuses 101 ausgebildet wird. Eine zwischen dem als erste Anode geschalteten Gehäuse 1 01 und den ersten Kathoden 1 05 angelegte erste elektrische Spannung führt somit dazu, dass eine Glimmentladung zwischen einer ersten Kathode 105a, 1 05b und einer jeweils gegenüberliegenden Wandung des Gehäuses 101 ausgebildet wird. Ein auf diese Weise erzeugtes Plasma 1 06 füllt somit den Raum 1 02a zwischen den beiden ersten Kathoden 105a und 1 05b aus.

Ein ringförmiger Elektronenstrahlerzeuger umfasst des Weiteren mindestens eine zweite Kathode und mindestens eine zweite Anode, zwischen denen mittels einer zweiten Strom- Versorgungseinrichtung eine zweite elektrische Spannung geschaltet ist. Beim Elektronenstrahlerzeuger 1 00 ist eine ringförmige Kathode 1 07 als zweite Kathode und eine ringförmige und gleichzeitig gitterförmige Anode 1 08 als zweite Anode ausgebildet. Die zweite Kathode stellt bei einem ringförmigen Elektronenstrahlerzeuger die Kathode zum Emittieren von Sekundärelektronen dar, welche anschließend beschleunigt werden, und weist hierfür ein elektrisches Hochspannungspotenzial von mindestens -50 kV, bevorzugt im Bereich von -1 00 kV bis -300 kV, auf. Mittels eines Isolators 109 ist die zweite Kathode 107 elektrisch gegenüber dem Gehäuse 101 isoliert.

Bei der in Fig. 1 beschriebenen Ausführungsform eines ringförmigen Elektronenstrahl- erzeugers weisen die zweite Anode 108 und die ersten Kathoden 1 05a, 105b das gleiche elektrische Potenzial auf, das nur wenige Prozent des Spannungspotenzials der zweiten Kathode 1 07 beträgt und vorzugsweise aus dem Bereich von -0,5 kV bis -5 kV ausgewählt ist. Alternativ können die zweite Anode und die erste Kathode auch unterschiedliche elektrische Potenziale aufweisen, wobei jedoch die beiden Spannungspotenziale eine wesentlich geringere Spannungsdifferenz zur ersten Anode als zur zweiten Kathode aufweisen. Aus dem Plasma 106 im Raum 102a driften Ionen durch die gitterförmige zweite Anode 1 08 in Richtung der zweiten Kathode 1 07. Dort treffen die Ionen auf einen Oberflächenbereich 1 10 der zweiten Kathode 107, dessen Oberflächensenkrechte zum Ringinneren des Gehäuses und bei einem radialsymmetrischen Gehäuse, wie Gehäuse 1 01 , zur Ringachse 1 03 ausgerichtet ist. Beim Auftreffen der Ionen auf den Oberflächenbereich 1 10 haben die Ionen somit eine Potenzialdifferenz durchfallen, die weitgehend der Beschleunigungsspannung des Elektronenstrahlerzeugers 1 00 entspricht. Bei ihrem Auftreffen wird die Energie der Ionen in einer sehr dünnen Randschicht der Kathode 1 07 im Oberflächenbereich 1 10 frei, was zur Auslösung von Sekundärelektronen führt. Bei den zuvor genannten elektrischen Spannungen an der zweiten Kathode 1 07 ist das Verhältnis zwischen aus- gelösten Elektronen und auftreffenden Ionen in der Größenordnung 10 angesiedelt, was diese Art des Erzeugens beschleunigter Elektronen sehr effizient macht. Die entstandenen Sekundärelektronen werden vom anliegenden elektrischen Feld stark beschleunigt und durchfliegen die in Form eines Ringzylinders ausgebildete gitterförmige Anode 1 08 und das Plasma 106 im Raum 1 02a. Nach dem Durchqueren des Elektronenaustrittsfensters 1 04, das beispielsweise als dünne Metallfolie ausgeführt sein kann, dringen die Elektronen in den vom ringförmigen Gehäuse 101 umschlossenen Freiraum vor, in dem ein höherer Druck als im Raum 1 02 herrschen kann und durch den ein mit Elektronen zu beaufschlagendes Schüttgut hindurchfallen kann. Als Material für das Elektronenaustrittsfenster 104 können alle aus dem Stand der Technik für ein Elektronenaustrittsfenster bekannten Materialien, wie beispielsweise Titan, verwendet werden. Außerdem ist es zum Zwecke einer höheren mechanischen Stabilität des Elektronenaustrittsfensters 104 vorteilhaft, dieses mit einem Stützgitter zu versehen, wie es ebenfalls aus dem Stand der Technik bekannt ist.

Aufgrund der ringförmigen Gestalt aller zuvor genannten Bauteile eines ringförmigen Elektronenstrahlerzeugers wird mit diesem ein in sich geschlossenes, ringförmiges Band beschleunigter Elektronen erzeugt, wobei die Bewegungsrichtung der beschleunigten Elektronen auf den vom Gehäusering eingeschlossenen Freiraum ausgerichtet ist. Der Freiraum, der vom Gehäusering umschlossen wird und durch den ein zu behandelndes Schüttgut hindurchfällt, wird nachfolgend auch als Behandlungsraum bezeichnet. Bei einem radialsymmetrischen ringförmigen Elektronenstrahlerzeuger, wie Elektronenstrahlerzeuger 1 00, ist die Bewegungsrichtung der beschleunigten Elektronen vorzugsweise auf die Ringachse 1 03 ausgerichtet. Vereinzeltes Schüttgut, welches durch das Ringinnere des Gehäuses eines solchen ringförmigen Elektronenstrahlerzeugers fällt, kann somit vollumfänglich in einem Durchlauf mit beschleunigten Elektronen beaufschlagt werden. Der Vollständigkeit halber sei an dieser Stelle erwähnt, dass ein ringförmiger Elektronenstrahlerzeuger auch eine Einrichtung zum Kühlen aufweist, wie es auch bei anderen Einrichtungen zum Erzeugen beschleunigter Elektronen aus dem Stand der Technik bekannt ist. So kann diese Einrichtung zum Kühlen eines ringförmigen Elektronenstrahlerzeugers beispielsweise Kühlkanäle umfassen, die sich innerhalb des Isolators 109 erstrecken und durch die ein Kühlmedium strömt.

Die zweite Anode 1 08, welche bei einem ringförmigen Elektronenstrahlerzeuger bevorzugt als gitterförmiger Ringzylinder ausgebildet ist und welche die räumliche Grenze zwischen den evakuierbaren Räumen 102a und 1 02b darstellt, erfüllt zwei wesentliche Aufgaben. Zum einen bewirkt sie aufgrund ihrer Spannungsdifferenz gegenüber der zweiten Kathode 1 07 eine Beschleunigung der emittierten Sekundärelektronen. Aufgrund des Sachverhaltes, dass die ringförmige Gitterstruktur der zweiten Anode 1 08 parallel zur Sekundärelektronen emittierenden Oberfläche 1 10 der zweiten Kathode 107 ausgebildet ist, wird ein elektrisches Feld derart ausgebildet, dass auch die Bahnen der beschleunigten Sekundär- elektronen weitgehend parallel verlaufen. Zum anderen schirmt die zweite Anode 1 08 das Plasma vom Spannungspotenzial der zweiten Kathode 107 ab; verhindert dadurch das Abdriften zu vieler Ionen in Richtung zweiter Kathode 1 07 und trägt somit zum Aufrechterhalten des Plasmas 1 06 im Raum 1 02a bei. Für das Aufrechterhalten des Plasmas 1 06 sind jedoch noch weitere Maßnahmen erforderlich. Der relativ niedrige Druck von etwa 1 Pa im Raum 1 02a ermöglicht nur das Generieren einer relativ geringen Anzahl von niederenergetischen Elektronen infolge der Glimmentladung zwischen den ersten Kathoden 1 05 und des als erste Anode geschalteten Gehäuses 1 01 . Das Driften dieser niederenergetischen Elektronen auf direktem Wege zwischen einer ersten Kathode 1 05 und der ersten Anode würde nur zu einer ungenügenden Anzahl von Stoßreaktionen mit Inertgaspartikeln und somit zum Erzeugen von Ionen führen, die zum Aufrechterhalten des Plasmas 1 06 nicht hinreichend wären. Es sind somit Maßnahmen notwendig, die den Weg der niederenergetischen Elektronen im Raum 102a verlängern und somit deren Stoßwahrscheinlichkeit und -häufigkeit erhöhen.

Eine solche Maßnahme ist in Fig. 1 in Form von ringförmigen Magnetspulen 1 1 1 a, 1 1 1 b, 1 12a, 1 1 2b dargestellt, die jeweils ein Magnetfeld mit poloidal verlaufenden Magnetfeldlinien erzeugen. Derartige Magnetspulen werden daher auch als Poloidalspulen bezeichnet. Die Magnetspulen 1 1 1 a, 1 1 1 b, 1 1 2a, 1 12b sind in zwei Paaren gegenüberliegend und außerhalb des Gehäuses 1 01 auf Höhe der ersten Kathoden 1 05 derart angeordnet, dass ihr Magnetfeld den Raum 1 02a durchdringt. Dabei weisen die Magnetspulen 1 1 1 a und 1 1 1 b identische Ringradien auf, die größer sind als die identischen Ringradien der Magnetspulen 1 12a und 1 12b. Die poloidal verlaufenden Magnetfeldlinien im Raum 102a zwingen die niederenergetischen Elektronen auf gekrümmte Bahnen mit energieabhängigem Gyrations- radius, was die Driftstrecke und dadurch auch die Verweildauer der niederenergetischen Elektronen im Raum 1 02 und somit die Anzahl Ionen erzeugender Stoßereignisse erhöht.

Die Magnetfelder der Magnetspulen 1 1 1 a, 1 1 1 b, 1 12a, 1 12b beeinflussen jedoch nicht nur die Bahnen der niederenergetischen Elektronen, sondern auch die Bahnen der hoch- energetischen, aus der zweiten Kathode 1 07 emittierten und anschließend beschleunigten, sowie den Raum 102a durchfliegenden Elektronen. Ohne die Magnetfelder der Magnetspulen 1 1 1 a, 1 1 1 b, 1 1 2a, 1 1 2b würden die meisten beschleunigten, hochenergetischen Elektronen in einem senkrechten Winkel bzw. in einem Winkel nahe dem senkrechten Winkel durch das Elektronenaustrittsfenster 1 04 hindurchtreten. Die Magnetfelder der Magnetspulen 1 1 1 a, 1 1 1 b, 1 1 2a, 1 1 2b verändern jedoch diesen Durchtrittswinkel, was je nach Anwendungsfall von Vorteil oder Nachteil sein kann. Vorteilhaft ist dies beispielsweise beim Homogenisieren des Energieeintrags in Substrate mit gekrümmten Oberflächenbereichen oder zum Beaufschlagen von Oberflächenbereichen eines Substrates, die sich bei rein radialer Ausbreitungsrichtung der beschleunigten Elektronen in abgeschattet liegenden Oberflächenbereichen befinden würden.

Bei vielen Anwendungsfällen ist es jedoch vorteilhaft, wenn der Durchtritt von beschleunigten Elektronen durch das Elektronenaustrittsfenster 104 mit einem rechten Winkel zur Oberfläche des Elektronenaustrittsfensters 1 04 bzw. mit einem Winkel nahe dem rechten Winkel erfolgt. Außerdem führt jede Abweichung vom Normaleinfall zu einer höheren

Absorption von Elektronen in der Folie des Elektronenaustrittsfensters 1 04 und insbesondere auch in der die Folie üblicherweise stützenden und kühlenden Gitterstruktur des Elektronenaustrittsfensters. Bei den Anwendungsfällen, bei denen die beschleunigten Elektronen möglichst senkrecht durch das Elektronenaustrittsfenster 104 hindurchtreten sollen, ist daher bei Benutzung von Magnetspulen 1 1 1 a, 1 1 1 b, 1 1 2a, 1 1 2b eine Korrektur der Flugbahn der beschleunigten Elektronen erforderlich.

Das Ablenken der Flugbahnen beschleunigter Elektronen infolge der Magnetfelder der Magnetspulen 1 1 1 a, 1 1 1 b, 1 1 2a, 1 1 2b kann beispielsweise mittels mindestens eines zu- sätzlichen Paares von gegenüberliegend angeordneten Poloidalspulen ausgeglichen werden, wobei das zusätzliche Paar von Poloidalspulen einen äußeren Radius aufweist, der noch kleiner ist als der innere Radius der Magnetspulen 1 1 1 a, 1 1 1 b. Dabei sind jedoch vorzugsweise die Innenradien aller drei ringförmigen Magnetspulenpaare größer als der Außenradius des zylinderförmigen Elektronenaustrittsfensters 104 und die Außenradien aller der ringförmigen Magnetspulenpaare kleiner als der Innenradius der gitterförmigen zweiten Anode 1 08. Auf diese Weise wird sichergestellt, dass sich die Magnetfelder der ringförmigen Magnetspulen innerhalb einer erfindungsgemäßen Vorrichtung hauptsächlich im Raum 102a erstrecken und dort zum Aufrechterhalten des Plasmas bzw. zur Korrektur der Flugbahn beschleunigter Elektronen beitragen.

Alternativ ist aber auch je nach Anwendungsfall eine andere Anordnung der Magnetspulen möglich. Förderliche Werte für Anzahl, Position und Erregung der Magnetspulen für einen jeweiligen Anwendungsfall lassen sich beispielsweise mittels Simulationsrechnungen finden. Eine weitere Lösung zum Verlängern der Driftbahnen von niederenergetischen Elektronen zwischen erster Kathode und erster Anode ist in Fig. 2 angegeben. In Fig. 2 ist ein alternativer ringförmiger Elektronenstrahlerzeuger 200 als schematische perspektivische Schnittdarstellung aufgezeigt, der zunächst identische Bauteile und Merkmale des

Elektronenstrahlerzeugers 1 00 aus Fig. 1 umfasst, außer den Magnetspulen 1 1 1 a, 1 1 1 b, 1 12a, 1 12b. Statt der Magnetspulen weist Elektronenstrahlerzeuger 200 eine Anzahl von drahtförmigen Elektroden 21 3 auf, die sich durch den Raum 1 02a hindurch erstrecken und bei einem Gehäuse in Form eines kreisförmigen Ringes, wie Gehäuse 1 01 , auf einem identischen Radius und mit gleichem Abstand zueinander um die Achse 1 03 herum angeordnet sind. Dabei werden die drahtförmigen Elektroden 213, die ein leicht positives Spannungspotenzial in einem Bereich von +0,5 kV bis +5,0 kV gegenüber dem Gehäuse 1 01 aufweisen können, elektrisch isoliert durch das Gehäuse 1 01 und die ersten Kathoden 1 05a, 105b hindurchgeführt. Aufgrund der drahtförmigen Elektroden 213 werden die niederenergetischen Elektronen im Raum 102a ebenfalls auf spiralförmige und somit verlängerte Bahnen gelenkt und damit das Plasma 1 06 aufrechterhalten.

Um die Entstehung von Ozon und Stickoxyden zu minimieren, ist die Spülung des

Behandlungsraumes mit einem Edelgas empfehlenswert, wodurch gleichzeitig auch ein Kühleffekt am zu behandelnden Schüttgut und am Elektronenaustrittsfenster entsteht. In diesem Zusammenhang ist es weiterhin denkbar, den Energieeintrag in ein mit beschleunigten Elektronen zu beaufschlagendes Schüttgut, welches durch den Behandlungsraum fällt, durch geeignete Wahl oder Mischung unterschiedlicher Gase im Behandlungsraum zusätzlich zu beeinflussen, da die Energieabsorption und Elektronenstreuung auf der Gasstrecke zwischen Elektronenaustrittsfenster und der zu beaufschlagenden Oberfläche des Schüttgutes von der Massendichte der lokalen Atmosphäre abhängen.

Die Regelung der Hilfsentladung zwischen erster Kathode und erster Anode, über deren Intensität die Elektronenstrahlleistung eines ringförmigen Elektronenstrahlerzeugers geregelt werden kann, ist auf verschiedenen Wegen zu bewerkstelligen. Neben dem Gasfluss in den Elektronenstrahlerzeuger kommen noch die Hilfsentladungsspannung zwischen erster

Kathode und erster Anode sowie der Strom durch die ringförmigen Magnetspulen als Stellgröße hierfür in Frage. Bei einer Ausführungsform mit drahtförmigen Elektroden 213 stehen der Druck im Raum 1 02 und die elektrische Spannung der drahtförmigen Elektroden 213 als komplementäre Stellgrößen zur Auswahl. Dabei ist anzumerken, dass die elektrischen Stellgrößen generell kürzere Zeitkonstanten aufweisen und somit einerseits einer schnellen Regelung dienen können sowie andererseits einen gepulsten Betriebsmodus ermöglichen.

Fig. 3 zeigt eine schematische Schnittdarstellung einer erfindungsgemäßen Vorrichtung 300. Vorrichtung 300 umfasst einen ringförmigen Elektronenstrahlerzeuger 301 , dessen Ringachse senkrecht ausgerichtet ist. Die Ringachse liegt auf der in Fig. 3 dargestellten Schnittebene. Oberhalb des Elektronenstrahlerzeugers 301 ist eine Vorrichtung zum Vereinzeln von Schüttgutpartikeln angeordnet. Die Vorrichtung zum Vereinzeln von Schüttgutpartikeln umfasst ein zylinderförmiges Gefäß 302, in welchem sich Schüttgutpartikel 303 befinden. Die Bodenwandung 304 des Gefäßes 302 ist kegelförmig ausgebildet, mit nach unten gerichteter Kegelspitze. Die Kegelspitze ist genau auf der verlängerten Ringachse des ringförmigen Elektronenstrahlerzeugers 301 positioniert. An der Kegelspitze weist die Bodenwandung 304 des Gefäßes 302 eine Öffnung der Größe auf, dass immer nur ein Schüttgutpartikel 303 nach dem anderen aus dem Gefäß 302 herausfallen und von dort mittig durch die Ringöffnung des ringförmigen Elektronenstrahlerzeugers 301 hindurchfallen kann. Während des Hindurchfallens durch die Ringöffnung des ringförmigen

Elektronenstrahlerzeugers 301 werden die Schüttgutpartikel 303 vollumfänglich mit beschleunigten Elektronen aus dem Elektronenstrahlerzeuger 301 beaufschlagt. Die

Einrichtung zum Vereinzeln der Schüttgutpartikel 303 umfasst ferner in Fig. 3 nicht dargestellte Mittel, mit denen die Schüttgutpartikel 303 im Gefäß 302 nachgefüllt werden. Des Weiteren kann die Einrichtung zum Vereinzeln von Schüttgutpartikeln mindestens einen in Fig. 3 ebenfalls nicht dargestellten Schwingungserzeuger umfassen, der einen

mechanischen Kontakt mit dem Gefäß 302 aufweist, wodurch das Gefäß 302 vibriert. Zuvor wurde dargelegt, dass die Größe der Öffnung in der Bodenwandung des Gefäßes 302 bevorzugt so dimensioniert ist, dass möglichst nur ein Schüttgutpartikel nach dem anderen durch die Öffnung hindurchfallen kann. Eine solche Ausführungsform ist insbesondere dann geeignet, wenn nur die Oberfläche von Schüttgutpartikeln mit beschleunigten Elektronen beaufschlagt werden, nicht aber ein gesamter Schüttgutpartikel vollständig von Elektronen durchdrungen werden soll, wie es beispielsweise bei der Behandlung von Saatgut der Fall ist.

Besteht eine auszuführende Aufgabe jedoch darin, Schüttgutpartikel vollständig mit beschleunigten Elektronen zu durchdringen, wie beispielsweise beim Modifizieren von Kunststoffpartikeln, kann die Öffnung im Gefäß 302 auch größer dimensioniert werden, so dass mehrere Schüttgutpartikel 303 gleichzeitig durch die Öffnung fallen können. Diese anwendungsbezogene Aussage hinsichtlich der Größe einer Öffnung in der Bodenwandung eines Gefäßes zur Aufnahme von Schüttgutpartikeln ist auch auf alle nachfolgend beschriebenen Ausführungsformen anwendbar. In Fig. 4a ist eine alternative erfindungsgemäße Vorrichtung 400 im Schnitt schematisch dargestellt. Vorrichtung 400 umfasst einen ringförmigen Elektronenstrahlerzeuger 401 , dessen Ringachse senkrecht ausgerichtet ist. Die Ringachse liegt auf der in Fig. 4a dargestellten Schnittebene. Oberhalb des Elektronenstrahlerzeugers 401 ist eine Vorrichtung zum Vereinzeln von Schüttgutpartikeln angeordnet. Die Vorrichtung zum Vereinzeln von

Schüttgutpartikeln umfasst ein zylinderförmiges Gefäß 402, in welchem sich Schüttgutpartikel 403 befinden. Das Gefäß 402 ist in Fig. 4b schematisch als Draufsicht dargestellt. Die Bodenwandung 404 des Gefäßes 402 ist in einem zentralen Bereich kegelförmig ausgebildet, mit nach oben gerichteter Kegelspitze. Die Kegelspitze ist genau auf der verlängerten Ringachse des ringförmigen Elektronenstrahlerzeugers 401 positioniert. Durch die Kegelform des zentralen Bereichs der Bodenwandung 404 werden die Schüttgutpartikel 403 in den unteren Bereich des Gefäßes 402 auf einen ringförmigen äußeren Bereich der Bodenwandung 404 gedrängt, der eine Vielzahl von Öffnungen 405 aufweist. Die

Öffnungen 405 sind rotationssymmetrisch um die verlängerte Ringachse des ringförmigen Elektronenstrahlerzeugers 401 herum angeordnet und mit jeweils gleichem Maß von einer benachbarten Öffnung 405 beabstandet. Jede der Öffnungen 405 ist so groß, dass lediglich ein Schüttgutpartikel 403 nach dem anderen durch eine Öffnung 405 hindurchfallen kann.

Mittels dieser Einrichtung zum Vereinzeln von Schüttgutpartikeln wird ein transparenter, ringförmiger und rotationssymmetrisch um die Ringachse des Elektronenstrahlerzeugers 401 angeordneter Schüttgutstrom, bestehend aus fallenden Schüttgutpartikeln 403 erzeugt, der durch die Ringöffnung des ringförmigen Elektronenstrahlerzeugers 401 fällt und während des freien Falls mit beschleunigten Elektronen beaufschlagt wird.

Mittels solch einer Vorrichtung, bei der ein ringförmiger, transparenter Schüttgutstrom erzeugt wird, der mit beschleunigten Elektronen eines ringförmigen Elektronenstrahlerzeugers beaufschlagt wird, lassen sich kompaktere Anlagenabmaße realisieren als mit einer Vorrichtung aus dem Stand der Technik, bei der ein gleichlanger, transparenter, linearer Schüttgutstrom mit beschleunigten Elektronen aus Linearstrahlern heraus beaufschlagt wird. Ein weiterer Vorteil erfindungsgemäßer Vorrichtungen gegenüber dem Stand der Technik, bei dem zwei gegenüberliegend angeordnete Linearstrahler verwendet werden, besteht darin, dass nur ein Elektronenstrahlerzeuger verwendet wird. Somit werden bei einer erfindungsgemäßen Vorrichtung auch nur ein Satz von Peripheriegeräten (wie beispielsweise Vakuumpumpen und Stromversorgungseinrichtungen) benötigt, wohingegen beim Stand der Technik jeweils zwei Sätze von Peripheriegeräten benötigt werden.

Die Einrichtung zum Vereinzeln der Schüttgutpartikel 403 umfasst ferner in Fig. 4 nicht dargestellte Mittel, mit denen die Schüttgutpartikel 403 im Gefäß 402 nachgefüllt werden. Des Weiteren kann die Einrichtung zum Vereinzeln von Schüttgutpartikeln mindestens einen in Fig. 4 ebenfalls nicht dargestellten Schwingungserzeuger umfassen, der einen

mechanischen Kontakt mit dem Gefäß 402 aufweist, wodurch das Gefäß 402 vibriert.

In Fig. 5a ist eine weitere alternative erfindungsgemäße Vorrichtung 500 im Schnitt schematisch dargestellt. Vorrichtung 500 umfasst einen ringförmigen Elektronenstrahlerzeuger 501 , dessen Ringachse senkrecht ausgerichtet ist. Die Ringachse liegt auf der in Fig. 5a dargestellten Schnittebene. Oberhalb des Elektronenstrahlerzeugers 501 ist eine

Vorrichtung zum Vereinzeln von Schüttgutpartikeln angeordnet. Die Vorrichtung zum Vereinzeln von Schüttgutpartikeln umfasst ein Gefäß zur Aufnahme von Schüttgutpartikeln 503. Das Gefäß besteht aus einer zylinderförmigen Seitenwandung 502 und einer kegelförmigen Bodenwandung 504, wobei zwischen der Seitenwandung 502 und der Boden- wandung 504 ein ringförmiger Spalt 505 ausgebildet ist. Das Gefäß ist in Fig. 5b

schematisch als Draufsicht dargestellt. Die Kegelspitze der Bodenwandung ist nach oben gerichtet und genau auf der verlängerten Ringachse des ringförmigen Elektronenstrahlerzeugers 501 positioniert. Durch die Kegelform der Bodenwandung 504 werden die Schüttgutpartikel 503 im unteren Bereich des Zylinders 502 auf einen ringförmigen äußeren Bereich gedrängt, in dem die Schüttgutpartikel durch die Öffnung in Form des Ringspaltes 505 herausfallen. Der Ringspalt 405 ist rotationssymmetrisch um die verlängerte Ringachse des ringförmigen Elektronenstrahlerzeugers 401 herum angeordnet und weist eine Spaltbreite derart auf, dass bezüglich der Spaltbreite lediglich ein Schüttgutpartikel 503 nach dem anderen durch den Ringspalt 505 hindurchfallen kann. Auf die Länge des Ringspaltes 505 betrachtet können selbstverständlich mehrere Schüttgutpartikel 503 gleichzeitig durch den Ringspalt 505 hindurchfallen.

Mittels dieser Einrichtung zum Vereinzeln von Schüttgutpartikeln wird ein transparenter, ringförmiger und rotationssymmetrisch um die Ringachse des Elektronenstrahlerzeugers 501 angeordneter Schüttgutstrom, bestehend aus fallenden Schüttgutpartikeln 503, erzeugt, der durch die Ringöffnung des ringförmigen Elektronenstrahlerzeugers 501 fällt und während des freien Falls mit beschleunigten Elektronen beaufschlagt wird. Gegenüber einer Vorrichtung 400 aus Fig. 4a kann der mit einer Vorrichtung 500 erzeugte ringförmige Schüttgutstrom bezüglich seiner Ringwinkelausdehnung mit einer höheren Partikeldichte ausgebildet werden und ermöglicht somit einen höheren Schüttgutdurchsatz.

Auch die hierbei verwendete Einrichtung zum Vereinzeln der Schüttgutpartikel 503 umfasst in Fig. 5a nicht dargestellte Mittel, mit denen die Schüttgutpartikel 503 in den Zylinder 502 nachgefüllt werden. Des Weiteren kann diese Einrichtung zum Vereinzeln von Schüttgut- partikeln mindestens einen in Fig. 5a ebenfalls nicht dargestellten Schwingungserzeuger umfassen, der einen mechanischen Kontakt mit dem Zylinder 502 und/oder der

Bodenwandung 504 aufweist, wodurch diese Bauteile vibrieren und dadurch einen kontinuierlichen, fallenden Schüttgutstrom gewährleisten. In Fig. 6 ist eine weitere erfindungsgemäße Vorrichtung 600 schematisch im Schnitt dargestellt, die zunächst einmal alle Merkmale der Vorrichtung 500 aus Fig. 5a aufweist.

Zusätzlich weist die Vorrichtung 600 einen zylinderförmigen Elektronenreflektor 506 auf, der sich durch die Ringöffnung des ringförmigen Elektronenstrahlerzeugers 501 hindurch erstreckt. Dabei ist der zylinderförmige Elektronenreflektor 506 rotationssymmetrisch um die Ringachse des ringförmigen Elektronenstrahlerzeugers herum ausgebildet und weist einen Radius auf, der kleiner ist als der Radius des transparenten, ringförmigen Schüttgutstromes bestehend aus fallenden Schüttgutpartikeln 503. Mittels des zylinderförmigen Elektronenreflektors 506 können die beschleunigten Elektronen, die den transparenten ringförmigen Schüttgutstrom durchdringen, reflektiert und dadurch die fallenden Schüttgutpartikel 503 auf deren zur Ringachse ausgerichteten Rückseite mit beschleunigten Elektronen beaufschlagt werden.

Bei einer weiteren Ausführungsform ist der zylinderförmige Elektronenreflektor 506 bezüglich seiner Ringwinkelausdehnung in Segmente unterteilt, wobei jedes Segment elektrisch kontaktiert und mittels elektrischer Verbindungselemente mit einer Auswerteeinrichtung verbunden ist. Auf diese Weise wird für jedes Segment ein Wert erfasst, der der Anzahl der auf das Segment auftreffenden Elektronen entspricht. So kann beispielsweise für jedes Segment ein Wert für den elektrischen Strom erfasst werden. Eine solche Ausführungsform kann beispielsweise zur Qualitätssicherung verwendet werden, weil sich damit eine qualitative Aussage treffen lässt, ob verschiedene Ringwinkelsegmente des transparenten ringförmigen Schüttgutstromes mit einer zumindest annähernd gleichen Energiedosis beaufschlagt wurden. Wird bei einer solchen Vorrichtungskonfiguration auch noch ein ringförmiger Elektronenstrahlerzeuger verwendet, dessen zweite Kathode segmentiert ausgebildet ist oder ein Elektronenstrahlerzeuger, der drahtförmige Elektroden 213 aufweist, dann kann der ringförmige Elektronenstrahl des ringförmigen Elektronen- Strahlerzeugers segmentweise derart geregelt werden, dass mögliche Unterschiede beim Elektronenstrom, der auf verschiedenen Segmenten des zylinderförmigen Elektronenreflektors erfasst wird, ausgeglichen werden. Damit kann eine gleichmäßige Beaufschlagung des ringförmigen Schüttgutstromes auf dem gesamten Ringumfang gewährleistet werden.

Solch ein zylinderförmiger Elektronenreflektor 506, ob segmentiert oder nicht segmentiert, kann bei allen Ausführungsformen der Erfindung, bei der ein ringförmiger, fallender Schüttgutstrom erzeugt wird, wie beispielsweise auch bei einer Ausführungsform gemäß Fig. 4a, verwendet werden.

In Fig. 7 ist eine alternative Ausführungsform eines Gefäßes zur Aufnahme von Schüttgutpartikeln 703 schematisch im Schnitt dargestellt. Das Gefäß besteht aus einer zylinderförmigen Seitenwandung 702 und einer kegelförmigen Bodenwandung 704, wobei zwischen der Seitenwandung 702 und der Bodenwandung 704 ein ringförmiger Spalt ausgebildet ist. Die Kegelspitze der Bodenwandung 704 ist nach oben gerichtet und genau auf der verlängerten Ringachse eines zugehörigen ringförmigen Elektronenstrahlerzeugers positioniert. Durch die Kegelform der Bodenwandung 704 werden die Schüttgutpartikel 703 im unteren Bereich des Zylinders 702 auf einen ringförmigen äußeren Bereich gedrängt, in dem die Schüttgutpartikel durch die Öffnung in Form des Ringspaltes herausfallen. Die Bodenwandung 704 und/oder die zylinderförmige Seitenwandung 702 sind höhenverstellbar ausgebildet. Dadurch kann die Breite des Ringspaltes zwischen Seitenwandung

702 und Bodenwandung 702 eingestellt und an eine jeweilige Größe der Schüttgutpartikel

703 angepasst werden.