本发明，涉及将由能量线的照射引起的照射图形形成于圆盘状基材上的能量线照射装置。

在制造CD、DVD等的光记录媒体(光盘)及硬盘装置用的磁记录媒体时，往往使用表面上形成有微细凹凸的压印器。在制造该压印器时，通过使用例如在日本专利特开2001-242300号公报中所揭示的电子线照射装置等的能量线照射装置而照射能量线，在圆盘状基材(作为一例的圆板状的基材，以下也称作“基材”)的表面形成的保护层上形成潜像，再通过使该保护层显像而在保护层上形成微细凹凸。接着，在基材的形成有微细凹凸的表面上，例如，在进行镀镍而形成金属层后，通过将该金属层剥离，来制作表面上形成有与微细凹凸相反形状的微细凹凸的压印器。
可是，在上述公报中的能量线照射装置中，作为对照射能量线的被电子线照射体(3)进行支承的支承部(4)，采用了利用吸附装置(23)将该被电子线照射体(3)进行吸附支承的结构，而作为对被电子线照射体进行支承的结构，还存在利用吸附以外的方法进行支承的结构。例如，如图13所示，一般还采用将作为被电子线照射体的基材12安装在具有支架本体52和盖体53的基材用支架51上进行夹持的结构。该场合，支架本体52如图14所示，作为一例，俯视形状形成为正方形的板状，并在其上面立设有对基材12进行定位配置用的定位销21a、21a。又，在支架本体52的4个转角处，分别形成有与导电性的紧固螺栓23、23…(参照图13)螺合的螺孔21b、21b…。另一方面，盖体53如图15所示，形成为与支架本体52相同形状的板状，并在其中央部分上形成有比基材12直径小的圆形孔53a。又，在盖体53的与支架本体52的相对面侧，形成有插入支架本体52的各定位销21a、21a的前端部的插入孔22c、22c。又，在盖体53的4个转角处，分别形成有插通紧固螺栓23、23…用的插通孔22e、22e…。
在将基材12安装在该基材用支架51上时，如图13所示，首先，将基材12载置在支架本体52上。这时，在图14中如虚线所示，通过使基材12的外缘与各定位销21a、21a抵接而将基材12定位在预先决定的载置位置上。由此成为使基材12的中心与载置位置的中心一致的状态。接着，将各定位销21a、21a的前端插入各插入孔22c、22c内并将盖体53覆盖在支架本体52上。由此，能防止支架本体52与盖体53的相对位置偏移。其次，将紧固螺栓23、23…插通于盖体53的各插通孔22e、22e…中，并使各自的前端与螺孔21b、21b…螺合地紧固。这时，由于使盖体53的圆形孔53a形成比基材12小的直径，故基材12的上面的外缘，沿全周与盖体53下面的圆形孔53a的口缘抵接。由此，基材12，在被支架本体52与盖体53夹持的状态下被安装于基材用支架51上。
接着，将安装有基材12的基材用支架51固定在能量线照射装置的移动台(由旋转台及X-Y台构成)上的规定位置。该场合，将基材用支架51正确地固定在移动台上的规定位置，使基材用支架51的载置位置的中心与预先设定在移动台上的座标系(例如X-Y座标系)内的基准点一致。然后，能量线照射装置，一边照射能量线一边根据预先设定的移动图形使移动台进行移动。该场合，移动图形是被规定成将设定在移动台上的上述基准点作为基准。例如，用将基准点作为基准的上述的X-Y座标系中的相对座标数据来规定移动图形。因此，在将基材12正确地安装在基材用支架51的载置位置上、并将基材用支架51正确地安装在移动台的规定位置的场合，在形成于基材12的表面的保护层上，利用能量线的照射，以基材12的中心作为基准而可正确地形成以移动台上设定的基准点作为基准所规定的与移动图形对应的照射图形(潜像)。
[专利文献1]日本专利特开2001-242300号公报(第4页、图1)可是，在具有该基材用支架51的能量线照射装置上，存在着应进行以下改善的课题。也就是说，因该能量线照射装置是利用2个定位销21a、21a对基材12进行定位的结构，故在将盖体53覆盖于支架本体52上时，存在基材12从各定位销21a、21a离开的方向上发生位置偏移的可能性。该场合，载置位置的中心与基材12的中心发生位置偏移，其结果，移动台的基准点与基材12的中心发生位置偏移。因此，在该能量线照射装置上，存在的课题是要想对基材12、以其中心作为基准正确地形成照射图形是困难的。又，即使临时将基材12能正确地安装在基材用支架51的载置位置上，基材用支架51也往往会偏离移动台的规定位置而被固定。因此，在这时，移动台的基准点与基材12的中心也发生位置偏移，其结果，存在着要想对基材12、以其中心作为基准正确地形成照射图形是困难的课题。
另一方面，例如，在制作分立轨迹媒体用的压印器的场合，相对于基材12的表面上所形成的保护层，需要将以基材12的中心作为基准预先设定的多个同心圆状的照射图形(潜像)，形成为相对基材12的中心的偏心量±10μm以内的状态。然而，实际上，因在将上述基材12载置在基材用支架51上时或在将基材用支架5 1固定在移动台上时引起的各位置偏移，基材12的中心与移动台的基准点会产生最大约300μm的偏心，在该场合，由于基材12的保护层上所形成的照射图形的中心离基材12的中心偏心约300μm，故希望对其进行改善。又，在将使用这种状况下作成的压印器而制作的分立轨迹媒体安装在记录再生装置上时，存在磁头在轨迹上可移动的时间变短的不良情况。

本发明，是鉴于上述应改善的课题而作成的，其主要目的在于，提供如下一种能量线照射装置：即使在圆盘状基材位置偏移的状态下被安装在基材用支架上时、或在基材用支架位置偏移的状态下被安装在移动台上时，也能将圆盘状基材的中心作为基准预先设定的照射图形，利用能量线的照射而能正确地形成在圆盘状基材上。
为了达到上述目的，本发明的能量线照射装置，具有：安装有圆盘状基材的基材用支架；使该基材用支架移动的移动台；向安装于所述基材用支架上的所述圆盘状基材的表面照射能量线的能量线照射机构；以及根据将在所述移动台上预先规定的基准点作为基准所设定的移动图形、通过使该移动台进行移动而在所述圆盘状基材的表面上形成因所述能量线的照射所产生的照射图形的控制部，所述基材用支架，具有：载置所述圆盘状基材的支架本体；以及在使所述圆盘状基材的外缘或内缘上的至少一部分的区域和该圆盘状基材上的所述照射图形的形成区域露出的状态下、在与所述支架本体之间对该圆盘状基材进行夹持的压板，所述控制部，根据所述圆盘状基材上的所述露出的所述外缘或内缘上的至少一部分的轮廓，对该圆盘状基材的中心进行算出，同时根据将该算出后的中心作为所述基准点的所述移动图形，使所述移动台进行移动。
该场合，最好是将限制所述基材用支架上所安装的所述圆盘状基材的移动的限制销，配设在所述支架本体和所述压板的至少一方。
又，最好是所述能量线采用电子线，所述压板用导电性材料来形成。
如上所述，采用本发明的能量线照射装置，控制部根据露出的圆盘状基材的外缘或内缘上的至少一部分的轮廓来算出圆盘状基材的中心，并通过将该中心作为移动台用的移动图形的基准点使移动台进行移动，即使在圆盘状基材位置偏移的状态下被安装在基材用支架上、或在基材用支架位置偏移的状态下被安装在移动台上的场合，也能用以圆盘状基材的中心作为基准的移动图形使圆盘状基材进行移动，其结果，利用能量线的照射，能使与移动图形对应的照射图形在圆盘状基材上正确地形成。
又，采用本发明的能量线照射装置，由于将限制基材用支架上所安装的圆盘状基材的移动的限制销，配设在支架本体和压板的至少一方，故能限制圆盘状基材在基材用支架内的移动，其结果，例如，在利用紧固螺栓对支架本体和压板进行紧固作业时，能防止圆盘状基材在基材用支架内的大的位置偏移。
又，采用本发明的能量线照射装置，作为能量线使用电子线，通过用导电性材料形成压板，在将能量线照射在外缘或内缘上形成有导电膜的圆盘状基材上时，由于使圆盘状基材的外缘或内缘与压板电气地连接，故能使因电子线的照射引起的表面上发生的电荷，经过其外缘或内缘以及导电性的压板而向大地等进行放电，其结果，能预防在圆盘状基材上的表面的带电。
附图说明
图1是表示本发明的实施形态的能量线照射装置1的结构的方框图。
图2是支架本体21的俯视图。
图3是盖体22的俯视图。
图4是表示基材12在基材用支架8上的安装顺序的说明图。
图5是安装有基材12的基材用支架8的俯视图。
图6是用于说明能量线照射装置1的基材12的中心O的算出处理的说明图。
图7是支架本体31的俯视图。
图8是沿图7的A-A线的剖视图。
图9是盖体32的俯视图。
图10是基材用支架41的俯视图。
图11是基材用支架41的剖视图。
图12是将基材12安装在基材用支架41上的状态的剖视图。
图13是基材用支架51的结构图。
图14是支架本体52的俯视图。
图15是盖体53的俯视图。

以下，参照附图对本发明的能量线照射装置的最佳实施形态进行说明。作为一例，对在制作分立轨迹媒体用的压印器时、使用能量线照射装置在基材的表面所形成的保护层(未图示)上、形成由多个同心圆所构成的照射图形(潜像)的例子进行说明。
先参照附图对能量线照射装置的结构作出说明。
能量线照射装置1，如图1所示，具有：电子枪2、电子线控制机构3、偏向器4、偏向驱动部5、检测器6、信号处理部7、基材用支架8、移动台9、台控制部10和总控制部(控制部)11，并构成为：在安装于基材用支架8的基材12上，通过照射电子线B，在基材12的表面上所形成的保护层(未图示)上，能形成由多个同心圆所构成的潜像。又，电子枪2、电子线控制机构3、偏向器4、检测器6、基材用支架8和移动台9，被配设在未图示的真空容器内。
电子枪2，如图1所示，在输入动作信号S时输出电子线B。电子线控制装置3，具有多个(例如2个)的电子透镜3a、3b，并具有对利用电子枪2所输出的电子线B进行收敛且照射在基材12上的功能。偏向驱动部5，根据输入的偏向数据D1生成偏向信号S1通过向偏向器4输出对由偏向器4产生的电子线B的偏向动作进行控制，使电子线B在基材12上的照射位置发生变化。利用该电子枪2、电子线控制装置3、偏向器4和偏向驱动部5来构成本发明的能量线照射机构。
检测器6，如该图所示，对用电子线B在基材12上进行扫描时的反射电子(二次电子)进行检测并输出检测信号S2。信号处理部7，输入该检测信号S2并变换成检测数据D2后进行输出。该场合，由于检测数据D2表示电子线B的扫描位置上的反射电子强度，故能根据该检测数据D2的值对基材12的形状(外缘的轮廓等)进行判别。
基材用支架8，如该图所示，是具有支架本体21和作为压板的盖体22的结构。该场合，支架本体21如图2所示，作为一例，俯视形状形成为正方形的板状，并在其上面立设有2根对基材12进行定位用的定位销(限制销)21a、21a。又，在支架本体21的四个转角处，每1处形成有与紧固螺栓螺合的螺孔21b、21b…。又，支架本体21，在其上面形成有1个俯视形状为长圆状的凹部21c。该场合，各定位销21a、21a和凹部21c，作为一例，以载置基材12的载置位置的中心(换言之，用正确载置在该载置位置上的基材12的外缘所描绘的圆(轮廓)的中心)P作为中心，以约120度的间隔被配设在该圆的附近。
另一方面，如图3所示，盖体22与支架本体21一起形成相同形状的板状，虽然并不特别限定，但要用导电性材料(导电性金属材料)形成。又，盖体22，在其中央部分形成有比基材12直径小的圆形孔22a。又，在盖体22的圆形孔22a的口缘部分，以圆形孔22a的中心为中心并以120度的间隔形成有3个长方形的缺口部22b。因此，在将盖体22覆盖于载置在支架本体21上的基材12时，基材12的外缘从该各缺口部22b露出。又，盖体22，在与该支架本体21的相对面侧，分别形成有可插入支架本体21的各定位销21a、21a的前端的插入孔22c、22c。又，在盖体22的该相对面上，在与支架本体21的凹部21c对应的位置上立设有定位销(限制销)22d。该场合，定位销22d与各定位销21a、21a相配合，将载置于支架本体21上的基材12的全方向(支架本体21上的全方向)的移动限制在微小量以内。又，在盖体22的四个转角处，分别形成有插通紧固螺栓用的插通孔22e、22e…。
台控制部10，如图1所示，根据输入的位置数据D3生成驱动信号S3，通过向移动台9输出而使安装在移动台9上的基材用支架8向与位置数据D3对应的任意位置进行移动。该场合，作为一例，移动台9用X-Y台构成。
总控制部11具有CPU和存储器(均未图示)，对能量线照射装置1中的其它的结构要素进行控制。在存储器中，预先存储着CPU的动作程序及对于移动台9的移动图形。该场合，移动图形被储存为以对移动台9预先所设定的X-Y座标系内的规定点(基准点)作为基准的相对座标数据。具体地说，移动图形被规定成：在载置于移动台9上的基材12的中心与该基准点成为一致的状态下，在移动台9按照该移动图形进行移动时，利用电子线B的照射，在基材12的保护层上能形成以基材12的中心为中心(基准)的多个同心圆的照射图形。CPU具有以下的功能：根据输入的检测数据D2  对基材12的形状进行判别，算出在移动台9的X-Y座标系中的基材12的中心O的位置的功能；将算出的基材12的中心O置换修正成移动图形中的基准点，生成能形成以该中心O为中心的多个同心圆的照射图形的位置数据D3，向台控制部10输出的功能；以及生成相对电子线B微小的偏向控制用的偏向数据D1，作为偏向数据D1向偏向驱动部5进行输出的功能。
接着，参照附图说明由能量线照射装置1对基材12上的保护层的照射图形的形成处理。又，保护层预先在基材12的表面上形成。
首先，将基材12安装在基材用支架8上。具体地说，如图4所示，将基材12载置在支架本体21上。这时，如图2中用虚线所示，通过使基材12的外缘与各定位销21a、21a抵接，将基材12定位载置在规定的载置位置。接着，将盖体22覆盖在支架本体21上。该场合，插入盖体22侧的定位销22d的凹部21c形成为长圆状的俯视形状，能允许定位销22d相对凹部21c稍有位置偏移。因此，通过将各定位销21a、21a与各插入孔22c、22c内位置吻合地插入，不用进行定位销22d与凹部21c的定位，能同时将3个定位销21a、21a、22d插入各插入孔22c、22c和凹部21c中。在将盖体22覆盖于支架本体21上的状态下，基材12，利用配设在其周围的3个定位销21a、21a、22d限制向其全方向的移动(向支架本体21的表面上的全方向的移动)。又，由于将定位销21a、21a插入于插入孔22c、22c中，故能限制支架本体21与盖体22的相对的位置偏移。接着，将紧固螺栓23、23…插通于盖体22的各插通孔22e、22e…，并将各自的前端与支架本体21的各螺孔21b、21b…进行螺合而紧固。该场合，如图5所示，由于盖体22的圆形孔22a比基材12的直径小，故基材12的上面的外缘与盖体22的下面的圆形孔22a的口缘(未形成缺口部22b的口缘)抵接。由此，基材12，以被支架本体21与盖体22夹持的状态安装在基材用支架8上。又，在该状态下，如该图所示，基材12的外缘轮廓从各缺口部22b、22b、22b呈圆弧状地露出，且基材12的照射图形的形成区域从圆形孔22a露出。
接着，将安装有基材12的基材用支架8载置在能量线照射装置1的移动台9上的规定位置。然后，在能量线照射装置1上，总控制部11开始对移动台9的X-Y座标系中的基材12的中心O的位置进行算出的处理。在该处理中，总控制部11输出动作信号S，对电子枪2开始进行电子线B的照射，且通过输出位置数据D3和偏向数据D1而对台控制部10和偏向驱动部5进行控制，用电子线B对在盖体22上所形成的各缺口部22b的部位进行扫描。又，总控制部11，通过输入从检测扫描时的反射电子(二次电子)的检测器6所输出的检测数据D2，根据该检测数据D2的值，对从各缺口部22b部分露出的基材12的外缘E1、E2、E3(参照图6)进行检测。这时，总控制部11，根据检测数据D2求出从被检测的各缺口部22b露出的基材12的各外缘E1、E2、E3的各自轮廓的座标数据，存储在存储器中。
接着，总控制部11，如图6所示，在被存储的基材12的各外缘E1、E2、E3的轮廓上设定假想点F1、F2、F3。其次，总控制部11，根据各假想点F1、F2、F3算出基材12的中心O。具体地说，总控制部11，求出连接2个假想点F1、F2的连接线部分L1和连接2个假想点F2、F3的连接线部分L2，再分别求出相对各线部分L1、L2的垂直平分线L3、L4，然后，通过求出各垂直平分线L3、L4相互的交点来算出基材12的中心O。
接着，总控制部11，通过输出动作信号S对电子枪2开始电子线B的照射，同时根据以算出的基材12的中心O作为基准点的移动图形，生成位置数据D3和偏向数据D1，根据生成后的移动图形对台控制部10进行控制，并通过输出偏向数据D1来控制偏向驱动部5。由此，在基材12上，在以基材12的中心O为中心(基准)的多个同心圆上照射电子线B，其结果，在基材12的表面所形成的保护层上，正确地形成有由以基材12的中心O为中心的多个同心圆构成的潜像。另一方面，因电子线B的照射而发生的电荷，也往往使基材12的保护层上带电。该场合，在该能量线照射装置1中，由于用导电性材料形成盖体22，故在其外缘形成有导电膜的基材12上照射电子线B时，由于基材12的外缘与盖体22电气地连接着，故在保护层上发生的电荷通过基材12的外缘和盖体22能向大地等可靠地放电。因此，能预防基材12上的表面的带电。
这样，采用该能量线照射装置1，由于在基材用支架8的盖体22上，形成有使照射图形的形成区域露出的圆形孔22a、同时又使基材12的圆弧状的外缘的一部分露出的3个缺口部22b、22b、22b，总控制部11根据从各缺口部22b、22b、22b露出的基材12的外缘的轮廓算出基材12的中心O，并通过将算出的中心O作为相对移动台9用的移动图形的基准点，对移动台9和偏向器4的动作进行控制，因此，即使在基材12位置偏移的状态下被安装在基材用支架8上、或在基材用支架8位置偏移的状态下被安装在移动台9上的场合，也能在保护层上正确地形成以基材12的中心O为中心的多个同心圆构成的照射图形(潜像)。
又，采用该能量线照射装置1，利用在支架本体21上形成的2个定位销21a、21a和在盖体22上形成的定位销22d，能限制在基材用支架8内的基材12向全方向的移动，其结果，能防止紧固螺栓23、23…在紧固作业时的基材用支架8内的基材12的大的位置偏移。因此，采用该能量线照射装置1，由于能使基材12的外缘从各缺口部22b、22b、22b可靠地露出，故能始终正确地进行对基材12的中心O的位置的算出处理。其结果，能在保护层上始终正确地形成以基材12的中心O为中心的多个同心圆构成的照射图形(潜像)。
又，本发明不限于上述实施形态。例如，在本发明的实施形态中，对将在盖体22上形成的定位销22d形成为圆柱状的形状的例子作了说明，但本发明不限于此，也可以形成为平板状。又，对定位销21a、21a形成于支架本体21上而定位销22d形成于盖体22上的例子作了说明，但也能将3个定位销集中地形成于支架本体21和盖体22的任何一方。该场合，在支架本体21和盖体22的任何另一方形成各定位销用的插入孔。又，还能将3个定位销内的至少1个沿基材12的半径方向可滑动地构成。
具体地说，作为一例，将图7～图9所示的支架本体31和盖体32作为例子进行说明。又，对与支架本体21和盖体22相同的结构标上相同的符号，并省略重复的说明。该场合，在支架本体31侧，在支架本体21上的凹部21c的形成位置上配设有定位销33。具体地说，如图8所示，在支架本体31的定位销33的配设位置的内部，在形成空隙部31a的同时，在该配设位置的表面上，如图7、8所示，形成有与空隙部31a连通的长圆状的贯通孔31b。定位销33如图7、8所示，具有：沿基材12的半径方向(同图中的箭头方向)滑动自如地配设在空隙部31a内的滑动构件33a；突设在滑动构件33a上并插入于贯通孔31b内的连接销33b；以及安装在连接销33b的上端并从支架本体31的表面沿其表面垂直地延伸的平板状的定位销本体33c。另一方面，在盖体32上，如图9所示，能插入定位销33的前端(定位销本体33c的前端)的插入孔32a形成于盖体22上的定位销22d的配设位置。
在使用该支架本体31和盖体32的基材用支架上安装基材12时，首先，使定位销本体33c向支架本体31的外缘侧移动，然后，将基材12载置在各定位销21a、21a、33之间。该场合，由于各定位销21a、21a与定位销33之间隔相对基材12的直径，形成有较大的余量，故能将基材12容易地载置在支架本体31上。接着，使定位销33的定位销本体33c向基材12侧滑动，用各定位销21a、21a、33将基材12定位在载置位置上。最后，将各定位销21a、21a、33的前端插入与盖体32对应的各插入孔22c、22c、32a中，并将盖体32覆盖在支架本体31上。在该状态下，利用各定位销21a、21a、33，基材12被限制其向全方向的移动。因此，即使是使用该支架本体31和盖体32的基材用支架，也与基材用支架8同样，能充分地防止基材12的位置偏移。
又，在本发明的实施形态中，采用的结构是将3个缺口部22b、22b、22b形成于盖体22上，相对从各缺口部22b、22b、22b露出的基材12的外缘的轮廓分别设定1个假想点F1、F2、F3，算出基材12的中心O，但例如、可以采用加大1个缺口部22b的沿基材12的圆周方向的缺口宽度、将多个基准点设定在该缺口部22b内的结构，也能使缺口部22b的数目减少。具体地说，在1个缺口部22b中设定2个基准点的场合，能将在盖体22上形成的缺口部22b的数目作成2个，又，在1个缺口部22b中设定3个基准点的场合，能将缺口部22b的数目减少至1个。
又，作为能量线的一例，将照射电子线的能量线照射装置1作为例子进行了说明，当然本发明也能应用于照射电子线以外的紫外线或激光等的能量线的能量线照射装置。又，对设置有3个限制基材12的移动的定位销的能量线照射装置1作为例子进行了说明，但也能采用配设3个以上的定位销的结构。又，当然也可以将定位销配设在支架本体21(31)和盖体22(32)的任何一方。
又，在上述实施形态中，对采用将压板形成于盖体22(32)、通过在与支架本体21之间将基材12的外缘夹持地被安装在基材用支架8上的结构的例子作了说明，但在基材12上形成有中心孔12a的场合，也能采用由压板和支架本体对基材12的内缘进行夹持而安装在基材用支架上的结构。
具体地说，作为一例，对具有图10～图12所示的支架本体42和2个压板43、43的基材用支架41作为例子进行说明。又，对与上述实施形态相同的结构标上相同的符号，并省略重复的说明。该场合，支架本体42的结构是从支架本体21除去螺孔21b、21b…和凹部21c，而在中央部分设有2个螺孔42a、42a。该场合，螺孔42a、42a，设有能同时进入基材12上所形成的中心孔12a内的间隔。另一方面，各压板43、43，分别由在一方的端部附近形成1个插通孔43a的俯视长方形的板体而构成。又，各压板43、43，在各插通孔43a中插入紧固螺栓23，并通过将各紧固螺栓23、23与螺孔42a、42a螺合，分别被安装在支架本体42上。该场合，由于插通孔43a的内径形成比紧固螺栓23的外径大的直径，故各压板43、43，在安装于支架本体42上的状态下，以紧固螺栓23、23为中心可转动自如。又，各压板43、43与盖体22同样，由导电性材料构成。
在将基材12安装在该基材用支架41上时，首先如图10、图11所示，将各压板43、43转动，以使相互的另一方的端部(离插通孔43a的长度为长的一方的端部)分别朝向支架本体42的中心侧。由此，构成中心孔12a的基材12的内周面与各压板43、43成为不干扰的状态。其次，在使外缘与各定位销21a、21a抵接的状态下将基材12载置在支架本体42上。该场合，各压板43、43，被配设在基材12的中心孔12a内。接着，通过抬起各压板43、43而进行180度旋转，如图12所示，使各另一方的端部与基材12的内缘(基材12的中心孔12a的口缘)接触。再通过将各紧固螺栓23、23进行紧固，将基材12在用支架本体42和各压板43、43夹持的状态下安装于基材用支架41上。使用该基材用支架41的场合，基材12的外缘和内缘呈同时露出的状态。因此，将假想点F1、F2、F3分别设定在基材12的外缘或内缘的一方的轮廓上，算出基材12的中心O。又，因电子线B的照射而在保护层上发生的电荷，通过基材12的内缘和各压板43、43而向大地等放电。又，各压板43、43作为一例，已对由俯视为长方形的板体构成的例子作了说明，但其形状不限于长方形，例如也能用椭圆形等的各种形状来形成。又，虽未图示，但也可以将用压板43、43对基材12的内缘固定的结构和用盖体22将基材12的外缘固定的结构并用而构成基材用支架。