光罩线路检测仪 |
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申请号 | CN201520468255.0 | 申请日 | 2015-07-01 | 公开(公告)号 | CN204832763U | 公开(公告)日 | 2015-12-02 |
申请人 | 意力(广州)电子科技有限公司; | 发明人 | 胡德才; 李朝庭; 张义; | ||||
摘要 | 本实用新型公开了一种光罩线路检测仪,包括工作平台、横梁、放大装置及显示装置,所述工作平台上设有用于放置光罩的曝光区,所述曝光区的下方设有灯箱,所述工作平台上还设有两条相对设置的 导轨 ,所述横梁可滑动地安装在两条导轨上,所述放大装置可滑动地安装在横梁上,所述显示装置与放大装置电性连接。上述光罩线路检测仪,可根据检测需要,将放大装置移动至曝光区的任意 位置 对待测光罩上的线路进行放大,放大的图像由显示装置输出。利用该光罩线路检测仪,检测人员可以大幅提升检验的速度,节约检测时间,而且检验的结果更准确,能大大降低了检验成本。检测过程并不需要对光罩进行移动,避免了材料刮花或磨损,也不会对曝光区造成损坏。 | ||||||
权利要求 | 1.一种光罩线路检测仪,其特征在于,包括工作平台、横梁、放大装置及显示装置,所述工作平台上设有用于放置光罩的曝光区,所述曝光区的下方设有灯箱,所述工作平台上还设有两条相对设置的导轨,所述横梁可滑动地安装在两条导轨上,所述放大装置可滑动地安装在横梁上,所述显示装置与放大装置电性连接。 |
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说明书全文 | 光罩线路检测仪技术领域[0001] 本实用新型涉及光罩检测技术领域,特别涉及一种光罩线路检测仪。 背景技术[0002] 光罩,又称光掩模版,其上形成有与半导体芯片对应的电路布线图。目前,在光罩的制造过程中,需要人工使用放大镜(10倍)对光罩上的线路进行检测,但这种检测方式需不停调整光罩的位置,易造成材料刮花、磨损,同时也容易造成漏检,使不良品流往生产线,增加了产品制造的不良风险,形成的废品浪费生产成本。另外由于光罩本身很笨重,难以移动,会导致检测难度增大,检测不精确。发明内容 [0004] 其技术方案如下: [0005] 一种光罩线路检测仪,包括工作平台、横梁、放大装置及显示装置,所述工作平台上设有用于放置光罩的曝光区,所述曝光区的下方设有灯箱,所述工作平台上还设有两条相对设置的导轨,所述横梁可滑动地安装在两条导轨上,所述放大装置可滑动地安装在横梁上,所述显示装置与放大装置电性连接。 [0006] 在其中一个实施例中,两条所述导轨分别安装在曝光区的两侧,所述放大装置吊装在横梁的下方。 [0007] 在其中一个实施例中,所述显示装置固定在横梁上。 [0008] 在其中一个实施例中,所述灯箱内至少设有三根日光灯管。 [0010] 在其中一个实施例中,所述光罩线路检测仪还包括控制器,所述第一驱动电机、第二驱动电机分别与所述控制器电性连接。 [0011] 在其中一个实施例中,所述光罩线路检测仪还包括放大倍数调节器,所述放大倍数调节器与放大装置电性连接。 [0012] 在其中一个实施例中,所述曝光区上铺设有若干静电条。 [0013] 在其中一个实施例中,所述放大装置为CCD摄像头,所述显示装置为CCD显示器。 [0014] 在其中一个实施例中,所述光罩线路检测仪还包括与所述导轨匹配的导轨支架,所述导轨通过导轨支架安装在工作平台上。 [0015] 下面对前述技术方案的优点或原理进行说明: [0016] 上述光罩线路检测仪,在进行线路检测时,将待测光罩置于曝光区上,曝光区下的灯箱提供检测所需的光源,由于横梁可在导轨上滑动,且放大装置可在横梁上滑动,因而可根据检测需要,将放大装置移动至曝光区的任意位置对待测光罩上的线路进行放大,放大的图像由显示装置输出。利用该光罩线路检测仪,检测人员可以大幅提升检验的速度,节约检测时间,而且检验的结果更准确,能大大降低了检验成本。检测过程并不需要对光罩进行移动,避免了材料刮花或磨损,也不会对曝光区造成损坏。附图说明 [0017] 图1为本实用新型实施例所述的光罩线路检测仪的剖视示意图。 [0018] 附图标记说明: [0019] 1、工作平台,2、横梁,3、放大装置,4、显示装置,5、曝光区,6、灯箱,7、导轨,8、导轨支架。 具体实施方式[0020] 下面对本实用新型的实施例进行详细说明: [0021] 如图1所示,本实施例提供了一种光罩线路检测仪,包括工作平台1、横梁2、放大装置3及显示装置4,所述工作平台1上设有用于放置光罩的曝光区5,所述曝光区5的下方设有灯箱6,所述工作平台1上还设有两条相对设置的导轨7,所述横梁2可滑动地安装在两条导轨7上,所述放大装置3可滑动地安装在横梁2上,所述显示装置4与放大装置3电性连接。上述光罩线路检测仪,在进行线路检测时,将待测光罩置于曝光区5上,曝光区5下的灯箱6提供检测所需的光源,由于横梁2可在导轨7上滑动,且放大装置3可在横梁 2上滑动,因而可根据检测需要,将放大装置3移动至曝光区5的任意位置对待测光罩上的线路进行放大,放大的图像由显示装置4输出。利用该光罩线路检测仪,检测人员可以大幅提升检验的速度,节约检测时间,而且检验的结果更准确,能大大降低了检验成本。检测过程并不需要对光罩进行移动,避免了材料刮花或磨损,也不会对曝光区5造成损坏。 [0022] 在本实施例中,两条所述导轨7分别安装在曝光区5的两侧,使横梁2处于曝光区5的上方,所述放大装置3吊装在横梁2的下方,靠近待测光罩以便放大。所述显示装置4固定在横梁2上,跟随横梁2移动,检测人员在观察到图像的同时能够得知横梁2移动至何处,便于检测。可以理解的,显示装置4也可以固定在其它地方,以方便观察为宜。所述光罩线路检测仪还包括第一驱动电机及第二驱动电机,所述横梁2与第一驱动电机驱动连接,所述放大装置3与第二驱动电机驱动连接,驱使横梁2和放大装置3移动。优选的,所述灯箱6内至少设有三根日光灯管,充分照亮曝光区5上的待测光罩,方便检测。 [0023] 本实施例所述的光罩线路检测仪还包括控制器,所述第一驱动电机、第二驱动电机分别与所述控制器电性连接,检测人员通过操作控制器以控制横梁2与放大装置3的移动方向。所述光罩线路检测仪还包括放大倍数调节器,所述放大倍数调节器与放大装置3电性连接,可作放大装置3的倍率调整。所述曝光区5上铺设有若干静电条,防止静电对待测光罩的损坏。 [0024] 本实施例采用CCD摄像头作为放大装置3,畸变小、体积小、寿命长,最大放大倍数可达200倍,显示装置4为CCD显示器,显示图像清晰。所述光罩线路检测仪还包括与所述导轨7匹配的导轨支架8,所述导轨7通过导轨支架8安装在工作平台1上,以提高导轨7与横梁2的高度,方便CCD摄像头吊装。 [0025] 以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合,为使描述简洁,未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述,然而,只要这些技术特征的组合不存在矛盾,都应当认为是本说明书记载的范围。 |