一种显影装置及其喷嘴 |
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| 申请号 | CN201710714454.9 | 申请日 | 2017-08-18 | 公开(公告)号 | CN107433233A | 公开(公告)日 | 2017-12-05 |
| 申请人 | 武汉华星光电技术有限公司; | 发明人 | 欧阳志华; | ||||
| 摘要 | 本 发明 公开了一种显影装置的 喷嘴 ，包括喷嘴本体，所述喷嘴本体内开设有中空的通道，所述喷嘴本体末端开设有连通所述通道的喷孔，且所述喷嘴本体末端包括相邻且形成夹 角 的第一端面和第二端面，所述喷孔设于所述第一端面和所述第二端面的交界线上。本发明还公开了一种显影装置。本发明的显影装置的喷嘴端面具有第一端面，该第一端面下端低于喷孔，使得第一端面成上翘状态，当喷孔喷出显影液时，喷出速度低或被溅射回的显影液经第一端面均匀、缓慢地流到 基板 上，可以防止显影液反溅以及显影液气泡产生，从而达到降低光阻破洞及光阻残留等产品不良现象的发生几率。 | ||||||
| 权利要求 | 1.一种显影装置的喷嘴，包括喷嘴本体(11)，其特征在于，所述喷嘴本体(11)内开设有中空的通道(12)，所述喷嘴本体(11)末端开设有连通所述通道(12)的喷孔，且所述喷嘴本体(11)末端包括相邻且形成夹角的第一端面(111)和第二端面(112)，所述喷孔设于所述第一端面(111)和所述第二端面(112)的交界线上。 |
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| 说明书全文 | 一种显影装置及其喷嘴技术领域背景技术[0002] TFT(Thin Film Transistor，即薄膜晶体管)侧的曝光生产工艺中，玻璃基板首先完成清洗(Cleaner)，并涂布(Coater)上光阻后，经过真空干燥处理(VCD)、烘烤(Pre-bake)，再进入曝光机(Exposure)进行曝光，利用掩膜版(MASK)在玻璃基板上的光阻上定义图形，然后再经过显影制程(Developer)显示图形。 [0003] TFT侧显影设备采用的显影方式为静置显影，即曝光后的基板流经显影槽时，在显影入口涂覆显影液，显影液在基板上保持相对静止，在一定时间内，显影液与被曝光的光阻充分反应后，再在显影槽出口用纯水将显影液及发生反应的光阻冲洗去掉。 [0004] 目前已知在静置显影设备中，显影液的涂覆通常采用狭缝式喷嘴，在基板传送涂覆过程中，被从前段至后段依次喷涂显影液，由于显影液为碱性液体，很容易发生液体飞溅及产生气泡，意外飞溅至基板后段的显影液会引起光阻的提前反应，从而造成显影时间变相延长，产生光阻破洞，气浮会附着在基板上，造成有气泡的区域无法完成显影而产生光阻残留。 发明内容[0005] 鉴于现有技术存在的不足，本发明提供了一种显影装置及其喷嘴，可以避免显影液反溅以及显影液气泡产生，降低光阻破洞及光阻残留等产品不良的发生几率。 [0006] 为了实现上述的目的，本发明采用了如下的技术方案： [0007] 一种显影装置的喷嘴，包括喷嘴本体，所述喷嘴本体内开设有中空的通道，所述喷嘴本体末端开设有连通所述通道的喷孔，且所述喷嘴本体末端包括相邻且形成夹角的第一端面和第二端面，所述喷孔设于所述第一端面和所述第二端面的交界线上。 [0008] 作为其中一种实施方式，所述喷孔开设于所述第一端面，所述第一端面与临近的所述喷嘴本体侧壁的夹角为钝角。 [0009] 作为其中一种实施方式，所述第一端面固定有挡片，所述挡片一端靠近所述喷孔，所述挡片的另一端为远离所述喷孔的自由端，与所述第一端面之间形成间隙。 [0010] 作为其中一种实施方式，所述通道呈蛇形的迂回形状。 [0011] 作为其中一种实施方式，所述通道包括多个弯折的拐角部。 [0012] 作为其中一种实施方式，所述通道至少包括一段逆流段，自所述通道的进液口至所述喷孔方向，所述逆流段的下游端相比其上游端更远离所述喷嘴本体末端。 [0013] 作为其中一种实施方式，所述通道至少包括一段扩口段，自所述通道的进液口至所述喷孔方向，所述扩口段的下游端的截面积大于其上游端的截面积。 [0014] 作为其中一种实施方式，所述通道至少包括一段缓冲腔，所述缓冲腔自所述通道的主干部分引出，用于存储一部分液体。 [0015] 本发明的另一目的在于提供一种显影装置，包括所述的喷嘴和传送机构，所述传送机构用于承载基板并进行传输，所述喷嘴本体与所述传送机构的承载面之间的夹角为锐角，所述第一端面朝向所述基板，且所述第一端面的底端相对于所述交界线更靠近所述传送机构。 [0016] 本发明的显影装置的喷嘴端面具有第一端面，该第一端面下端低于喷孔，使得第一端面成上翘状态，当喷孔喷出显影液时，喷出速度低或被溅射回的显影液经第一端面均匀、缓慢地流到基板上，可以防止显影液反溅以及显影液气泡产生，从而达到降低光阻破洞及光阻残留等产品不良现象的发生几率。附图说明 [0017] 图1为本发明实施例1的显影装置的结构示意图； [0018] 图2为本发明实施例1的喷嘴的结构示意图； [0019] 图3为本发明实施例2的喷嘴的结构示意图； [0020] 图4为本发明实施例3的喷嘴的结构示意图； [0021] 图5为本发明实施例4的喷嘴的结构示意图； [0022] 图6为本发明实施例5的喷嘴的结构示意图。 具体实施方式[0023] 为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。 [0024] 本发明的喷嘴主要用于显影装置的显影工艺中的显影液的喷射，喷嘴包括喷嘴本体，喷嘴本体内开设有中空的通道，可供显影液通过，在喷嘴本体上开设有用于注入显影液的进液口，喷嘴本体的末端开设有连通通道的喷孔，且喷嘴本体末端包括相邻且形成夹角的第一端面和第二端面，喷孔设于第一端面和第二端面的交界线上。在显影装置中，喷嘴位于带显影的基板的搬运路径正上方，在基板平移过程中，喷嘴自基板前段至后段喷射显影液，喷嘴相对于基板呈锐角倾斜设置，且喷嘴的喷孔所在端位于基板平移方向的前方，第一端面与喷孔均朝向基板，且第一端面的底端相对于交界线更靠近传送机构，使得第一端面呈微微上翘的趋势，喷出速度低或被溅射回的显影液经第一端面均匀、缓慢地流到基板上，同时，第一端面也可以阻挡显影液反溅至基板的后段，可以防止显影液反溅以及显影液气泡产生。 [0025] 实施例1 [0026] 参阅图1和图2，本实施例的喷嘴10包括喷嘴本体11，喷嘴本体11内开设有中空的通道12，喷嘴本体11末端开设有连通通道12的喷孔，且喷嘴本体11末端包括相邻且形成夹角的第一端面111和第二端面112，喷孔设于第一端面111和第二端面112的交界线上。 [0027] 显影装置包括显影室C、喷嘴10和传送机构20，传送机构20用于承载基板1并沿水平方向进行传输，传送机构20为传送辊，传送辊表面共同形成用于承载基板1的承载面，喷嘴本体11与传送机构20的承载面之间的夹角为锐角，喷嘴本体11略微前倾，第一端面111朝向基板1，且第一端面111的底端相对于交界线更靠近传送机构20，即最低点并非交界线。在基板1的前半段，距离喷嘴10的一定距离的部位，还可以设置有垂直于基板1的另一竖直喷嘴2，与喷嘴10同时对基板1的不同部位进行显影。在显影室C的下游端，还可以布置有气刀3，可以通过对经过的基板1喷射高压气体，实现显影液的回收。 [0028] 由于最低点并非第一端面111与第二端面112的交界线，自喷孔慢速流出的液体可以沿着喷孔下方的第一端面111均匀流至下方的基板1上，因喷出速度过快而反溅回的显影液也可以顺着第一端面111流下，避免了显影液背向基板平移方向溅射至基板1的后段。 [0029] 本实施例的第二端面112垂直于喷嘴本体11的侧壁，喷孔开设于第一端面111，第一端面111与临近的喷嘴本体11侧壁的夹角为钝角，第一端面111与第二端面112的夹角也呈钝角。 [0030] 如图2所示，通道12最好呈蛇形的迂回形状，包括多个弯折的拐角部。优选该通道为多段相连的线型区段组成，相邻的两条线型区段相互垂直，形成90°拐角，可以大幅减缓液体在通道内的流速，使得自喷孔喷出的显影液具有较低的速度和较小的压力，减少溅射情形的发生。 [0031] 实施例2 [0032] 如图3所示，在实施例1的基础上，喷嘴10的第一端面111还可固定有挡片113，该挡片113一端靠近喷孔，其另一端为远离喷孔的自由端，与第一端面111之间形成间隙。 [0033] 在显影装置中，喷嘴10倾斜地朝基板1喷出显影液，第一端面111朝向基板1，挡片113可以将基板1的后段与前段隔开，防止前段的显影液溅射到后段，造成后段基板上光阻的提前反应。 [0034] 实施例3 [0035] 如图4所示，通道12的构造也可以与实施例1略有不同，本实施例的通道12至少包括一段逆流段121，自通道12的进液口至喷孔方向，靠近进液口的方向称为上游，靠近喷孔的方向称为下游，逆流段121的下游端相比其上游端更远离喷嘴本体11末端，导致流经逆流段121的显影液需要再朝上游迂回一段距离才流至下一段，延长了显影液的喷射时间，也间接减缓了显影液的流速。另外，逆流段121与上游方向的前一段通道之间的夹角也优选为锐角，可以进一步对显影液起到减速效果。 [0036] 实施例4 [0037] 如图5所示，在上述实施例的基础上，本实施例的通道12更进一步地具有至少一段扩口段122，每段扩口段122的下游端的截面积大于其上游端的截面积，使得扩口段122成为一个液体缓冲部位，显影液从较窄的通道流入较宽的通道后流速自然减缓，也减缓自喷孔喷出的显影液的压力和速度，改善反溅现象。优选扩口段122的上游端至下游端的截面积逐渐增大，显影液的流速被层层减速，减速效果更好。 [0038] 实施例5 [0039] 如图6所示，作为对上述实施方式的更进一步地改进，本实施例的通道12还可以设置有至少一段缓冲腔123，缓冲腔123自通道12的主干部分引出，作为单独的储液腔，可用于存储一部分显影液，显影液流经该处后自然减速，也可实现较好的缓冲效果。 [0040] 本发明的显影装置的喷嘴端面具有第一端面，该第一端面下端低于喷孔，使得第一端面成上翘状态，当喷孔喷出显影液时，喷出速度低或被溅射回的显影液经第一端面均匀、缓慢地流到基板上，可以防止显影液反溅以及显影液气泡产生，从而达到降低光阻破洞及光阻残留等产品不良现象的发生几率。另外，通道被设置成呈蛇形的迂回形状，通道会缓冲显影液的吐出压力，降低吐出速度，喷嘴下表面的第一端面小角度上翘会使低吐出压力和吐出速度的显影液沿着喷嘴的下表面的第一端面均匀缓慢流到基板上，从而避免显影液飞溅。 [0041] 以上所述仅是本申请的具体实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本申请的保护范围。 |
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