简易光刻机 |
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| 申请号 | CN201710433003.8 | 申请日 | 2017-06-09 | 公开(公告)号 | CN107065451A | 公开(公告)日 | 2017-08-18 |
| 申请人 | 福州大学; | 发明人 | 王伟; 白瑞光; 林萍; | ||||
| 摘要 | 本 发明 涉及一种简易 光刻 机,包括 箱体 ，箱体顶部设置有盒体，盒体内设置有电源，箱体一侧设置铰接有 开关 门 ，箱体内部上侧设置有高压汞灯，箱体内底部设置有电动转盘，高压汞灯、电动转盘均与电源电性连接，箱体下部设置有进 风 口，上部设置有出风口，开关门上设置有观察窗和把手，观察窗上设置有绿基玻璃，出风口设置有与电源电性连接的 散热 风扇，箱体内部上侧沿横向设置有卷轴，卷轴上对称设置有两个绕 线轴 围，绕线轴围上缠绕有悬挂软线，悬挂软线一端与绕线轴围相连接，另一端与高压汞灯相连接，本发明结构简单，设计合理，操作使用方便，简易、安全和曝光均匀。 | ||||||
| 权利要求 | 1.一种简易光刻机，其特征在于：包括箱体，箱体顶部设置有盒体，盒体内设置有电源，箱体一侧设置铰接有开关门，箱体内部上侧设置有高压汞灯，箱体内底部设置有电动转盘，高压汞灯、电动转盘均与电源电性连接，箱体下部设置有进风口，上部设置有出风口。 |
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| 说明书全文 | 简易光刻机技术领域背景技术[0002] 光刻机又称掩模对准曝光机，常用于电子工艺中硅片、电路版的曝光工艺工序。光刻机通常以高压汞灯作为光源，通过光路优化得到均匀稳定的以紫外光为主的光线对光刻胶进行曝光。商品化的光刻机的体积庞大而且价格昂贵，一般的光刻机售价都在十几万元以上，因此对于普通精度的曝光（> 1 μm），使用简易的光刻机即可满足光刻要求。 [0003] 目前除采用商品化光刻机进行曝光以外，对于简单的曝光，通常采用汞灯直接照射的方法。直接照射法的曝光方式有几个明显的缺点，首先是操作人员曝露在强紫外光的环境中，容易受到紫外光的照射伤害，使用人也有受到汞灯高压模块电击的危险；其次是对于不同样品的曝光强度很难调整，且有时很难重现之前的曝光强度；再次是曝光时对样品的光照很难达到均匀，基片上不同地方的光照不均匀，显影后效果不佳；最后是直接照射的散热性能不佳，有时会因为过近的曝光距离而烤伤掩膜。所以，设计一种简易、安全和曝光均匀的光刻机来解决上述问题就显得十分必要。 发明内容[0004] 本发明的目的是针对以上不足之处，提供了一种简易光刻机。 [0005] 本发明解决技术问题所采用的方案是，一种简易光刻机，包括箱体，箱体顶部设置有盒体，盒体内设置有电源，箱体一侧设置铰接有开关门，箱体内部上侧设置有高压汞灯，箱体内底部设置有电动转盘，高压汞灯、电动转盘均与电源电性连接，箱体下部设置有进风口，上部设置有出风口。 [0006] 进一步的，所述开关门上设置有观察窗和把手，观察窗上设置有绿基玻璃。 [0007] 进一步的，所述出风口设置有与电源电性连接的散热风扇。 [0008] 进一步的，所述箱体内部侧壁沿竖向设置有标尺。 [0009] 进一步的，所述电源为高压电源模块。 [0010] 进一步的，所述箱体内部上侧沿横向设置有卷轴，卷轴上对称设置有两个绕线轴围，绕线轴围上缠绕有悬挂软线，悬挂软线一端与绕线轴围相连接，另一端与高压汞灯相连接。 [0013] 图1为本发明的结构示意图；图2为本发明的内部结构示意图。 [0014] 图中：1-盒体；2-箱体；3-观察窗；4-把手；5-电源；6-供电线；7-散热风扇；8-悬挂软线；9-电动转盘；10-进风口；11-标尺；12-高压汞灯；13-卷轴；14-绕线轴围。 具体实施方式[0015] 下面结合附图和具体实施方式对本发明进一步说明。 [0016] 如图1-2所示，一种简易光刻机，包括箱体，箱体顶部设置有盒体，盒体内设置有电源，箱体一侧设置铰接有开关门，箱体内部上侧设置有高压汞灯，箱体内底部设置有电动转盘，高压汞灯、电动转盘均与电源电性连接，箱体下部设置有进风口，上部设置有出风口，电动转盘用于放置待曝光的基片，转盘的转动速度可调，曝光时转动的目的是让曝光更加均匀。 [0017] 在本实施例中，所述开关门上设置有观察窗和把手，观察窗上设置有绿基玻璃，用于在观测时过滤紫外线，防止产生人体伤害。 [0018] 在本实施例中，所述出风口设置有与电源电性连接的散热风扇。 [0019] 在本实施例中，所述箱体内部侧壁沿竖向设置有标尺，标尺的作用是测定或保持高压汞灯的高度，通过固定高度来固定不同的曝光强度。 [0020] 在本实施例中，所述电源为高压电源模块。 [0021] 在本实施例中，所述箱体内部上侧沿横向设置有卷轴，卷轴上对称设置有两个绕线轴围，绕线轴围上缠绕有悬挂软线，悬挂软线一端与绕线轴围相连接，另一端与高压汞灯相连接，绕线轴围的作用是使悬挂软线能精确地卷在卷轴的固定区域，从而使得两条软线的收放距离相等。 [0022] 在本实施例中，光刻机为木质结构，盒体和下面的箱体相互隔离，只有电源的供电线从箱体顶部的两个小孔穿下给高压汞灯供电，箱体的长、宽、高分别为30 cm，30 cm，60 cm，盒体的长、宽、高分别为 25 cm，25 cm，20 cm，箱体左下部高度3 cm的位置开了一个直径3 cm的进风口，在箱体的右上部分高度50 cm的位置开了一个直径5 cm的出风口。 [0023] 使用时，转动转轴，根据标尺调节高压汞灯的高度，供电线可以从盒体内内放出或收入其中，打开散热风扇形成箱体气流对流进行散热，将待曝光的基片放置于电动转盘上，开动电动转盘，调节转速，关闭箱门并给高压汞灯供电，光刻的同时开始记时，光刻时间到就关闭高压汞灯，取出曝光好的基片，光刻完成。 [0024] 本简易光刻机，制造方便，价格便宜；采用密闭式结构设计，杜绝了紫外光外泄，不会对人体造成伤害，此外还隔离了高压模块，对高压电进行隔离防护；高压汞灯的高度可以任意且精确调节，从而改变曝光的强度；设置了曝光用的电动转盘，可以实现在非均匀光线下的均匀曝光；设计了通风对流装置，可以保证长时间的曝光不会产生过热。 [0025] 上列较佳实施例，对本发明的目的、技术方案和优点进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。 |
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