1.一种用于半导体装置的自动化检验的检验配方产生的方法，其包括以下步骤：
使用参考数据集来进行检验配方产生；
借助初始配方对所述参考数据集的裸片的图像运行自动检验；
将来自所述自动检验的所检测检验结果分类且将经分类检验结果与裸片中的缺陷的专家分类进行比较；
基于所述经分类检验结果与裸片中的缺陷的专家分类的比较，自动产生过杀及漏杀数目；以及
如果所述检测及/或所述分类不符合预定义条件，那么修改检验配方参数且重复所述自动检验。
2.根据权利要求1所述的方法，其中所述参考数据集为上传到计算机的所存储参考图或调谐图。
3.根据权利要求2所述的方法，其中在所述上传到所述计算机之前执行现有参考图或现有调谐图的改进、调谐及修改。
4.根据权利要求1所述的方法，其中现有检验配方经存储并上传到计算机。
5.根据权利要求4所述的方法，其中在所述上传到所述计算机之前执行现有初始检验配方的改进、调谐及修改。
6.根据权利要求2所述的方法，其中所述调谐图含有所关注裸片且裸片分类可由用户来选择。
7.根据权利要求6所述的方法，其中将来自不同半导体装置的裸片添加到所述调谐图。
8.根据权利要求1所述的方法，其中分类表展示所述参考数据集与测试数据集之间的比较结果，其中所述测试数据集为测试图。
9.根据权利要求1所述的方法，其中在使用参考数据集来进行检验配方产生之前，所述数据集及初始配方的所述产生包括以下步骤：
将半导体装置加载到检验系统中且执行设置及调谐对准；
运行所述所加载半导体装置的自动检验；
在裸片层级上审核结果；以及
将裸片分类且将裸片图像及所有缺陷信息添加到调谐图。
10.根据权利要求9所述的方法，其中如果所述调谐图的裸片的知识数据库不够大，那么将新半导体装置加载到所述检验系统中，且执行所述新加载的半导体装置的自动检验。
11.一种用于半导体装置的自动化检验的检验配方产生的计算机系统，其包括：
计算机，其用于使用参考数据集来进行检验配方产生且借助初始配方对所述参考数据集的裸片的图像运行自动检验；
对话框，其具有：第一窗口，其至少展示所述参考数据；第二窗口，其至少展示测试数据；第三窗口，其展示调谐图；及第四窗口，其展示分类表，所述分类表关于过杀及漏杀数目实现经分类检验结果与裸片中的缺陷的专家分类之间的比较；
过杀及漏杀数目的自动产生及显示；以及
如果检测及/或分类不符合预定义条件，那么进行检验配方参数的修改及所述自动检验的重复。
12.根据权利要求11所述的计算机系统，其中所述参考数据集为上传到所述计算机的所存储参考图或调谐图。
13.根据权利要求12所述的计算机系统，其中在所述上传到所述计算机之前执行现有参考图或现有调谐图的改进、调谐及修改。
14.根据权利要求11所述的计算机系统，其中现有检验配方经存储并上传到所述计算机系统。
15.根据权利要求12所述的计算机系统，其中在所述上传到所述计算机之前执行现有初始检验配方的改进、调谐及修改。
16.根据权利要求11所述的计算机系统，其中调谐图含有所关注裸片且裸片分类可由用户经由所述对话框来选择。
17.根据权利要求16所述的计算机系统，其中来自不同半导体装置的裸片经添加到所述调谐图且显示于所述对话框的所述第三窗口中。
18.根据权利要求11所述的计算机系统，其中排在第四窗口的分类表展示所述参考数据集与测试数据集之间的比较结果，其中所述测试数据集为测试图。
19.根据权利要求11所述的计算机系统，其中检验系统连接到所述计算机系统且所述检验系统用于运行所加载半导体装置的自动检验。
20.一种用于半导体装置的自动化检验的检验配方产生的设备，其包括：
检验系统，其具有：至少一入射光照明系统；摄像机，其经布置以接收来自所述半导体装置的表面的光，其中所述光被转换成电像数据以供进一步分析；
计算机，其用于使用参考数据集来进行检验配方产生且借助初始配方对所述参考数据集的裸片的图像运行自动检验；以及
至少一个显示器，其细分成第一窗口、第二窗口、第三窗口及第四窗口；其中所述第一窗口至少展示所述参考数据，所述第二窗口至少展示测试数据；所述第三窗口展示调谐图且所述第四窗口展示分类表，所述分类表关于自动产生及显示的过杀及漏杀数目实现经分类检验结果的图像与缺陷的专家分类的图像之间的比较。
21.根据权利要求20所述的设备，其中如果检测及/或分类不符合预定义条件，那么输入装置实现检验配方参数的修改及重复所述自动检验。
22.根据权利要求21所述的设备，其中所述参考数据集为上传到所述计算机的所存储参考图或调谐图；在所述上传到所述计算机之前执行所述参考图或所述调谐图的改进、调谐及修改。
23.根据权利要求20所述的设备，其中现有检验配方经存储并上传到所述计算机，其中在所述上传到所述计算机之前执行现有初始检验配方的改进、调谐及修改。
24.一种用于半导体装置的自动化检验的检验配方产生的方法，其包括以下步骤：
将半导体装置加载到检验系统中且执行设置及调谐对准；
运行所述所加载半导体装置的自动检验；
在裸片层级上审核结果；
将裸片分类且将裸片图像及所有缺陷信息添加到调谐图；
加载调谐图作为参考图；
借助初始配方对所述参考图的裸片的图像运行自动检验；
将来自所述自动检验的所检测检验结果分类且将经分类检验结果与裸片中的缺陷的专家分类进行比较；
基于所述经分类检验结果与裸片中的缺陷的专家分类的比较，自动产生过杀及漏杀数目；以及
如果所述检测及/或所述分类不符合预定义条件，那么修改检验配方参数且重复所述自动检验，且借助经修改参数再次运行自动检验；以及
如果知识数据库不够大，那么将新半导体装置加载到所述检验系统中，且再次运行所述新加载的半导体装置的自动检验以便增加所述知识数据库。
25.根据权利要求24所述的方法，其中所述调谐图含有所关注裸片的图像且裸片分类可由用户来选择，其中将来自不同半导体装置的裸片的图像添加到所述调谐图。
26.根据权利要求24所述的方法，其中分类表展示所述参考图与测试图之间的比较结果。