电泳显示装置、电泳显示装置的制造方法以及电子设备 |
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| 申请号 | CN201610084907.X | 申请日 | 2016-02-14 | 公开(公告)号 | CN105892191A | 公开(公告)日 | 2016-08-24 |
| 申请人 | 精工爱普生株式会社; | 发明人 | 中岛嘉树; | ||||
| 摘要 | 本 发明 提供不易在分隔壁部反射光的、具有高 对比度 的 电泳 显示装置、电泳显示装置的制造方法以及 电子 设备。电泳显示装置(1)具备设有 半导体 元件(9c)的第一基材(8)；与第一基材(8)相对的第二基材(16)；以及位于第一基材(8)与第二基材(16)之间的、用于划分 像素 区域(6)的分隔壁(5)，当从第二基材(16)侧观察时，在与分隔壁(5)相对的 位置 上具有减少光的反射的降反射膜(7)。 | ||||||
| 权利要求 | 1.一种电泳显示装置，其特征在于，具备： |
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| 说明书全文 | 电泳显示装置、电泳显示装置的制造方法以及电子设备技术领域[0001] 本发明涉及电泳显示装置、电泳显示装置的制造方法以及电子设备。 背景技术[0002] 具有电荷的粒子在分散介质中移动的电泳显示装置已被人们熟知。电泳显示装置的画面闪烁少，因此，在用于阅览电子图书的显示装置等中使用。专利文献1公开了该电泳显示装置。根据专利文献1，电泳显示装置具备设有电极的一对基板。并且，在电极间设有包含白色带电粒子及黑色带电粒子的分散介质。 [0003] 在该电泳显示装置中，白色带电粒子带(﹣)电，黑色带电粒子带(﹢)电。于是，通过向设在相对的基板上的电极施加电压，从而黑色带电粒子被吸引至一个电极，白色带电粒子被吸引至另一个电极。接着，通过切换电极的电压，从而调换黑色带电粒子的位置和白色带电粒子的位置。 [0005] 先行技术文献 [0006] 专利文献 [0007] 专利文献1：日本特开2008-51932号公报 [0008] 照射电泳显示装置的光照射分隔壁部以及像素区域。在专利文献1的电泳显示装置中，照射分隔壁部的光被反射。由此，在像素区域为黑色显示时，由于分隔壁部反射光，因此，其亮度不会下降。因而，电泳显示装置的对比度不会变高。为此，希望有一种不易在分隔壁部反射光的、具有高对比度的电泳显示装置。 发明内容[0009] 本发明是为了解决上述问题而完成的，可作为下面的方式或应用例而实现。 [0010] [应用例1] [0011] 根据本应用例的电泳显示装置的特征在于，具备：第一基板，设有半导体元件；第二基板，与所述第一基板相对；以及分隔壁部，位于所述第一基板与所述第二基板之间，用于划分像素区域，其中，当从所述第二基板的法线方向观察时，在由所述分隔壁部划分出的各个区域内保持有包含带电粒子的电泳分散液，并且，在与所述分隔壁部重叠的区域具有降低光的反射的降反射部。 [0012] 根据本应用例，电泳显示装置通过第一基板和第二基板夹着分隔壁部。并且，分隔壁部划分像素区域。像素区域是通过带电粒子移动而从观察者可看到的显示发生变化的部位。照射电泳显示装置的光将照射降反射部以及像素区域。降反射部降低光的反射。从而，能够减少从像素区域之外朝着观察者前进的光。其结果，由于降反射部降低照射分隔壁部的光的反射，从而能够提高对比度。 [0013] [应用例2] [0014] 优选地，在根据上述应用例的电泳显示装置中，所述降反射部位于所述第二基板与所述分隔壁部之间。 [0015] 根据本应用例，降反射部位于第二基板与分隔壁部之间。照射第二基板的光将照射降反射部以及像素区域。降反射部降低所照射的光的反射。照射像素区域的光的一部分相对于第二基板的厚度方向倾斜前进。该一部分光通过像素区域而前进至分隔壁部内。于是，由于不通过像素区域而从分隔壁部朝向观察者的光通过降反射部，从而降低光的强度。因此，能够减少从像素区域之外朝着观察者前进的光。 [0016] [应用例3] [0017] 优选地，在根据上述应用例的电泳显示装置中，在所述第一基板与所述分隔壁部之间具有所述降反射部。 [0018] 根据本应用例，在第一基板与分隔壁部之间设有降反射部。通过第二基板以及分隔壁部而朝着第一基板前进的光照射降反射部。由于降反射部降低光的反射，因此，通过分隔壁部后被降反射部反射的光强度被降低。因此，能够降低照射分隔壁部的光的反射强度。 [0019] [应用例4] [0020] 优选地，在根据上述应用例的电泳显示装置中，所述分隔壁部兼作所述降反射部。 [0021] 根据本应用例，分隔壁部兼作降反射部，从而降低照射分隔壁部的光的光反射。照射像素区域的光的一部分相对于第二基板的厚度方向倾斜前进。该一部分光通过像素区域而前进至分隔壁部。于是，照射分隔壁部的光的光强度被降低。因此，能够减少从像素区域之外朝着观察者前进的光。 [0022] [应用例5] [0023] 优选地，在根据上述应用例的电泳显示装置中，还具备：元件层，位于所述第一基板上，并设有所述半导体元件；以及绝缘层，位于所述元件层之上，其中，所述绝缘层兼作所述降反射部。 [0024] 根据本应用例，在元件层之上设置绝缘层，绝缘层作为降反射部。分隔壁部位于降反射部之上，第二基板位于分隔壁部之上。通过第二基板以及分隔壁部的光照射绝缘层。由于绝缘层降低光的反射，因此，从分隔壁部反射的光强度被降低。因此，能够降低照射分隔壁部的光的反射强度。 [0025] [应用例6] [0026] 优选地，在根据上述应用例的电泳显示装置中，在所述第一基板上设有第一电极，在所述第二基板上设有第二电极，所述分隔壁部使所述第一电极和所述第二电极绝缘。 [0027] 根据本应用例，在第一基板上设有第一电极，在第二基板上设有第二电极。并且，分隔壁部被夹在第一基板与第二基板之间。分隔壁部使得第一电极和第二电极绝缘，因此，能够防止第一电极和第二电极导通。 [0028] [应用例7] [0030] 根据本应用例，隔开相邻的两个像素区域的分隔壁部的电阻在1×108Ω以上。由此，能够抑制通过分隔壁部而在第一基板与第二基板之间流动的电流。 [0031] [应用例8] [0032] 根据本应用例的电子设备的特征在于，具备：显示部；以及驱动所述显示部的驱动部，其中，所述显示部是上面所述的电泳显示装置。 [0033] 根据本应用例，电子设备具备显示部、以及驱动显示部的驱动部。于是，由驱动部驱动显示部。作为显示部，使用上述的电泳显示装置。因此，能够使电子设备成为将高对比度的电泳显示装置用于显示部的装置。 [0034] [应用例9] [0035] 根据本应用例的电泳显示装置的制造方法的特征在于，包括：使含碳的树脂材料在第一基板上成形而设置分隔壁部；在由所述分隔壁部划分出的像素区域填充包含分散介质以及带电粒子的电泳分散液；以及以与所述分隔壁部重叠的方式设置第二基板。 [0036] 根据本应用例，在第一基板上设置含有碳的分隔壁部。接着，在通过分隔壁部划分出的像素区域填充包含分散介质以及带电粒子的电泳分散液。接着，与分隔壁部重叠地设置第二基板。于是，能够控制第一基板侧与第二基板侧之间的带电粒子的移动。由于分隔壁部中含有碳，因此，进入分隔壁部中的光被碳吸收。因此，能够降低照射分隔壁部的光的反射强度。 [0037] [应用例10] [0038] 优选地，在根据上述应用例的电泳显示装置的制造方法中，隔开相邻的两个所述像素区域的所述分隔壁部的电阻值在1×108Ω以上。 [0040] 图1涉及第一实施方式，图1的(a)是示出电泳显示装置的结构的简要立体图，图1的(b)是示出电泳显示装置的结构的示意性俯视图。 [0041] 图2是示出电泳显示装置的结构的局部概略分解立体图。 [0042] 图3是电泳显示装置的电气控制框图。 [0043] 图4的(a)和(b)是示出电泳显示装置的结构的示意性侧截面图。 [0044] 图5是用于说明射入电泳显示装置的光的轨迹的示意图。 [0045] 图6是电泳显示装置的制造方法的流程图。 [0046] 图7的(a)～(e)是用于说明电泳显示装置的制造方法的示意图。 [0047] 图8的(a)～(c)是用于说明电泳显示装置的制造方法的示意图。 [0048] 图9是示出根据第二实施方式的电泳显示装置的结构的示意性侧截面图。 [0049] 图10是示出根据第三实施方式的电泳显示装置的结构的示意性侧截面图。 [0050] 图11的(a)～(c)是用于说明分隔壁的制造方法的示意图。 [0051] 图12是示出根据第四实施方式的电泳显示装置的结构的示意性侧截面图。 [0052] 图13涉及第五实施方式，图13的(a)是示出电子书的结构的简要立体图，图13的(b)是示出手表的结构的简要立体图。 [0053] 符号说明 [0054] 1、33、41、47…电泳显示装置；5…作为分隔壁部的分隔壁；7、37…作为降反射部的降反射膜；8…作为第一基板的第一基材；9c…半导体元件；11…作为第一电极的像素电极；13…作为带电粒子的白色带电粒子；14…作为带电粒子的黑色带电粒子；15…分散介质； 16…作为第二基板的第二基材；17…作为第二电极的公共电极；42…作为分隔壁部以及降反射部的分隔壁；49…作为降反射部的绝缘层；52…作为电子设备的电子书；57、66…显示部；62…作为电子设备的手表 具体实施方式[0055] 在本实施方式中，根据图来说明电泳显示装置和制造该电泳显示装置的方法的特征例。需要注意的是，为了使各图中的各部件在各图中具有能够识别程度的大小，图中示出的各部件的缩小比例尺不同。 [0056] (第一实施方式) [0057] 根据图1～图8说明根据第一实施方式的电泳显示装置。图1的(a)是示出电泳显示装置的结构的简要立体图，图1的(b)是示出电泳显示装置的结构的示意性俯视图。 [0058] 如图1的(a)所示，电泳显示装置1呈下部基板2和上部基板3重叠的结构。将下部基板2及上部基板3的法线方向作为Z方向，上部基板3位于﹢Z方向侧。假设观察者观察电泳显示装置1时从﹢Z方向侧进行观察。上部基板3的﹢Z方向侧的面是图像显示面3a。下部基板2以及上部基板3在X方向以及Y方向上延伸。下部基板2形成为在﹣Y方向上比上部基板3更长的形状。在下部基板2的﹣Y方向一侧，其﹢Z方向侧的面上设有软电缆4。软电缆4连接于未图示的驱动电路，通过软电缆4供给电源和驱动信号。 [0059] 如图1的(b)所示，电泳显示装置1在下部基板2与上部基板3之间设有作为分隔壁部的分隔壁5。分隔壁5具有格子状形状，用于划分像素区域6。在图中，为便于观察图，在X方向上并列配置有14个像素区域6，在Y方向上并列配置有10个像素区域6。对于像素区域6的个数并不加以特别限定，在本实施方式中，例如，在X方向上并列配置300个像素区域6，在Y方向上并列配置200个像素区域6。对于像素区域6的大小并不加以特别限定，在本实施方式中，例如X方向的长度是80μm，Y方向的长度是80μm。对于电泳显示装置1的大小也不加以特别限定，在本实施方式中，例如下部基板2的X方向的长度是30mm，Y方向的长度是25mm。 [0060] 在分隔壁5的﹢Z方向侧的、与分隔壁5相对的位置上设有作为降反射部的降反射膜7。降反射膜7吸收从﹢Z方向侧朝着分隔壁5前进的光，以降低反射。在从Z方向观察的俯视观察中，降反射膜7形成为与分隔壁5大致相同的形状。 [0061] 图2是示出电泳显示装置的结构的部分概略分解立体图，是在Z方向上对电泳显示装置1的局部进行分解后的图。如图2所示，下部基板2具备作为第一基板的第一基材8。第一基材8由玻璃、塑料、陶瓷、硅等构成，是具有绝缘性的基板。第一基材8配置在从﹢Z方向能看到的图像显示面3a的相反一侧，因此也可以是不透明的材质。 [0062] 第一基材8上设置有元件层9。元件层9中设有电压供给线9a、控制信号线9b、半导体元件9c以及贯通电极9d等。半导体元件9c是TFT(Thin Film Transistor:薄膜晶体管)元件，是进行切换(开关)的元件。在元件层9之上设有绝缘层10，在绝缘层10之上设有作为第一电极的像素电极11。绝缘层10是将元件层9与像素电极11绝缘的层。元件层9中设有贯通电极9d，贯通电极9d与像素电极11连接。像素电极11对应每个像素区域6而分离。由第一基材8、元件层9、绝缘层10以及像素电极11等构成下部基板2。 [0063] 元件层9的材质是能够形成半导体的材质即可，并不特别限定，可以使用硅、锗、砷化镓、镓砷磷(ガリウム砒素リン)、氮化镓、碳化硅等。绝缘层10的材质是具有绝缘性且易成形的材质即可，并不特别限定，可以使用玻璃、树脂、氧化硅或氮化硅等。在本实施方式中，例如将丙烯酸树脂用作绝缘层10的材质。 [0064] 像素电极11的材质是具有导电性的材质即可，并不特别限定，除了可以使用铜、铝、镍、金、银、ITO(铟锡氧化物)之外，还可以使用在铜箔上层叠有镍膜、金膜的物质、在铝箔上层叠有镍膜、金膜的物质。在本实施方式中，例如，像素电极11形成为在铝箔上设置有金膜的结构。 [0065] 像素电极11上的分隔壁5设置为格子状，通过分隔壁5划分出的像素区域6中填充有电泳分散液12。分隔壁5的材质是具有绝缘性和强度且易形成的材质即可，并不特别限定，可以使用丙烯酸树脂、环氧树脂等树脂。在本实施方式中，例如使用感光性树脂。由此，8 隔开像素区域6的分隔壁5的电阻值在1×10Ω以上。于是，分隔壁5使像素电极11与公共电极17绝缘。电泳分散液12具有作为带电粒子的白色带电粒子13以及作为带电粒子的黑色带电粒子14，白色带电粒子13以及黑色带电粒子14分散在分散介质15中。 [0066] 白色带电粒子13的材料是白色且能带电并能形成为微细粒子即可，并不特别限定。白色带电粒子13的材料例如可以使用由二氧化钛、氧化锌、三氧化锑等白色颜料构成的粒子、高分子、胶体。在本实施方式中，例如使二氧化钛的粒子正极带电而用作白色带电粒子13。 [0067] 黑色带电粒子14是黑色且能带电并能形成为微细粒子即可，并不特别限定。黑色带电粒子14的材料例如可以使用由苯胺黑、碳黑、氮氧化钛等黑色颜料构成的粒子、高分子、胶体。在本实施方式中，例如，使氮氧化钛负极带电而用作黑色带电粒子14。白色带电粒子13以及黑色带电粒子14根据需要而可以在这些粒子中使用电解质、表面活性剂、金属皂、树脂、橡胶、油、清漆、抛光剂(コンパウンド)等带电控制剂。除此之外，白色带电粒子13以及黑色带电粒子14中还可以添加钛系偶联剂、铝系偶联剂、硅烷系偶联剂等分散剂、润滑剂、稳定剂等。 [0068] 分散介质15是具有流动性且不易变质的材质即可，并不特别限定。作为分散介质15的材质，可以使用水、甲醇、乙醇、异丙醇、丁醇、辛醇、甲基溶纤剂等醇类溶剂；乙酸乙酯、乙酸丁酯等酯类；丙酮、甲乙酮、甲基异丁基酮等酮类；戊烷、己烷、辛烷等脂肪族烃；环己烷、甲基环己烷等脂环式烃。除此之外，作为分散介质15的材质，还可以使用苯、甲苯、二甲苯、具有长链烷基的苯类等芳香族烃。作为具有长链烷基的苯类，可以使用己基苯、庚基苯、辛基苯、壬基苯、癸基苯、十一烷基苯、十二烷基苯、十三烷基苯、十四烷基苯等。除此之外，作为分散介质15，还可以使用二氯甲烷、氯仿、四氯化碳、1,2-二氯乙烷等卤代烃。除此之外，作为分散介质15的材质，还可以使用油类、硅油。可以单独或者作为混合物使用这些物质，进而，也可以与羧酸盐这样的表面活性剂等配合使用。 [0069] 在分隔壁5以及电泳分散液12上设有上部基板3。上部基板3具备作为第二基板的第二基材16。第二基材16上设有降反射膜7。降反射膜7与分隔壁5同样地形成为格子状，位于与分隔壁5相对的位置。降反射膜7呈薄膜形式。以覆盖第二基材16以及降反射膜7的方式设有作为第二电极的公共电极17，公共电极17上设有粘接层18。公共电极17是跨多个像素区域6设置的公共电极。因此，公共电极17与多个像素电极11相对。粘接层18具有粘接分隔壁5与上部基板3的功能。 [0070] 第二基材16的材质具有透光性、强度以及绝缘性即可，并不特别限定。作为第二基材16的材质，可以使用玻璃、树脂材料。在本实施方式中，例如将玻璃板用作第二基材16的材质。降反射膜7是吸收光并容易设为薄膜形式的材料即可，并不特别限定，可以使用铬、钼等金属。在本实施方式中，例如将钼用作降反射膜7的材质。 [0071] 公共电极17是透明导电膜即可，并不特别限定。例如，作为公共电极17，可以使用MgAg、IGO(Indium-gallium oxide:氧化铟镓)、ITO(Indium Tin Oxide:氧化铟锡)、ICO(Indium-cerium oxide:氧化铟铈)、IZO(氧化铟锌)等。在本实施方式中，例如将ITO用作公共电极17。 [0072] 粘接层18的材质是能够粘接分隔壁5和上部基板3且不会使电泳分散液12变质的材质即可，并不特别限定。例如，作为粘接层18的材质，可以使用聚氨酯、聚脲、聚脲-聚氨酯、脲醛树脂、三聚氰胺甲醛树脂、聚酰胺、聚酯、聚磺酰胺、聚碳酸酯、聚磺酸盐、环氧树脂、聚丙烯酸酯等丙烯酸树脂、聚甲基丙烯酸酯、聚醋酸乙烯酯、明胶、酚醛树脂、乙烯树脂等。在本实施方式中，例如使用了紫外线固化型的丙烯酸树脂、环氧树脂。 [0073] 图3是电泳显示装置的电气控制框图。如图3所示，电泳显示装置1连接于驱动装置21而使用。驱动装置21具备输入部22，输入部22与输出表示在电泳显示装置1中显示的图像的图像信号的装置连接，用于输入图像信号。输入部22与控制部23连接。并且，控制部23与存储部24、第一波形形成部25以及第二波形形成部26连接。 [0074] 存储部24除了存储图像信号之外，还存储根据图像信号形成用于驱动电泳显示装置1的信号时所使用的信息。控制部23是控制第一波形形成部25以及第二波形形成部26的部位。控制部23将从输入部22输入的图像信号发送给第一波形形成部25以及第二波形形成部26。进而，发送第一波形形成部25以及第二波形形成部26形成波形时使用的信息。 [0075] 第一波形形成部25形成用于驱动半导体元件9c的驱动信号。另外，第二波形形成部26形成用于驱动公共电极17的电压波形。第一波形形成部25通过软电缆4以及控制信号线9b与半导体元件9c连接，向半导体元件9c输出每个像素的驱动信号。半导体元件9c与像素电极11连接，向像素电极11输出与驱动信号相应的电压。第二波形形成部26通过软电缆4与公共电极17连接，向公共电极17输出电压波形。 [0076] 图4是示出电泳显示装置的结构的示意性侧截面图，是沿图2的A-A线的截面图。如图4的(a)所示，电泳显示装置1是通过向像素电极11与公共电极17之间施加电压而被使用的。并且，通过切换像素电极11与公共电极17之间的相对电压，从而能够变更显示。 [0077] 将公共电极17的电压设为低于像素电极11的电压。这时，由于黑色带电粒子14带负极电压，因此，黑色带电粒子14被像素电极11吸引。由于白色带电粒子13带正极电压，因此，白色带电粒子13被公共电极17吸引。其结果，黑色带电粒子14集中在下部基板2，白色带电粒子13集中在上部基板3。当从上部基板3侧观察电泳显示装置1时，观察者能够通过上部基板3看到白色带电粒子13。因此，像素区域6为白色显示。 [0078] 与半导体元件9c连接地设置有漏极电极9p，与漏极电极9p连接地设置有贯通电极9d。由此，半导体元件9c与像素电极11电连接。 [0079] 如图4的(b)所示，将公共电极17的电压设为高于像素电极11的电压。这时，由于黑色带电粒子14带负极电压，因此，黑色带电粒子14被公共电极17吸引。由于白色带电粒子13带正极电压，因此，白色带电粒子13被像素电极11吸引。其结果，白色带电粒子13集中在下部基板2，黑色带电粒子14集中在上部基板3。当从上部基板3侧观察电泳显示装置1时，观察者能够通过上部基板3看到黑色带电粒子14。因此，像素区域6为黑色显示。 [0080] 图5是用于说明射入电泳显示装置中的光的轨迹的示意图。如图5所示，白色带电粒子13被公共电极17吸引，黑色带电粒子14被像素电极11吸引。因此，图中的像素区域6为白色显示。从﹢Z方向观察电泳显示装置1时，像素区域6是白色，包围像素区域6的区域成为非像素区域27。 [0081] 照射电泳显示装置1的光28照射非像素区域27及像素区域6。照射像素区域6的光28的大部分照射白色带电粒子13，被白色带电粒子13散射(漫反射)后向﹢Z方向前进。由此，观察者感觉在像素区域6反射的光28为白色。照射像素区域6的光28的一部分通过分散介质 15后照射黑色带电粒子14及下部基板2。由于黑色带电粒子14吸收光28，因此，观察者难以感觉出被黑色带电粒子14反射的光28。被黑色带电粒子14以及下部基板2反射的光28中的、照射降反射膜7的光28被降反射膜7吸收。因此，能够减少从像素区域6之外向观察者前进的光28。 [0082] 照射非像素区域27的光28进入降反射膜7。由于降反射膜7吸收光28，因此，在非像素区域27中，光28的反射减少。因此，能够减少从像素区域6之外向观察者前进的光28。 [0083] 在像素区域6的显示为黑色显示时也是同样，照射非像素区域27的光28进入降反射膜7。降反射膜7吸收光28，因此，在非像素区域27中，光28的反射减少。电泳显示装置1的对比度是黑色显示中的亮度与白色显示中的亮度间的比率。通过降低黑色显示中的非像素区域27的反射光的亮度，从而可以提高电泳显示装置1的对比度。在本实施方式中，由于降反射膜7吸收光28，因此，能够减少黑色显示中朝着观察者前进的光28。其结果，能够提高电泳显示装置1的对比度。 [0084] 黑色显示中的像素区域6的反射率是5％左右。相对于波长为380nm～750nm的光28，设在非像素区域27的降反射膜7的反射率优选在10％以下，更优选在5％以下。未设置降反射膜7时的非像素区域27的反射率为15％。与未设置降反射膜7时相比，由于减少非像素区域27的反射，从而能够提高电泳显示装置1的对比度，使画面易于观看。 [0085] 接着，参照图6～图8说明上述的电泳显示装置1的制造方法。图6是电泳显示装置的制造方法的流程图，图7以及图8是用于说明电泳显示装置的制造方法的示意图。在图6的流程图中，步骤S1相当于上部电极设置工序。该工序是在上部基板3上设置降反射膜7、公共电极17以及粘接层18的工序。接着，进入步骤S2。步骤S2是元件设置工序。该工序是在第一基材8上设置元件层9的工序。接着，进入步骤S3。步骤S3是下部电极设置工序。该工序是在元件层9上设置绝缘层10、贯通电极9d以及像素电极11的工序。接着，进入步骤S4。 [0086] 步骤S4是分隔壁设置工序。该工序是在下部基板2上设置分隔壁5的工序。接着，进入步骤S5。步骤S5是分散液填充工序。该工序是向像素区域6填充电泳分散液12的工序。接着，进入步骤S6。步骤S6是基板组装工序。该工序是粘接分隔壁5和上部基板3的工序。通过以上工序，结束制造电泳显示装置1的工序。 [0087] 接着，利用图7以及图8，与图6所示的步骤对应地详细说明制造方法。 [0088] 首先，制造上部基板3。图7的(a)以及图7的(b)是对应于步骤S1的上部电极设置工序的图。如图7的(a)所示，准备第二基材16。作为第二基材16，使用将玻璃板磨削(grind)及研磨(polish)至规定厚度而降低了表面粗糙度的板。接着，在第二基材16上设置降反射膜7。利用溅射法等成膜法，在第二基材16上形成钼膜。接着，通过光刻法对钼膜进行图案化，从而形成降反射膜7。降反射膜7的平面形状是格子状。接着，如图7的(b)所示，在第二基材 16以及降反射膜7上设置公共电极17。利用溅射法等成膜法，在第二基材16以及降反射膜7上形成膜厚为100nm左右的ITO膜。接着，利用光刻法以及蚀刻法对ITO膜进行图案化，从而形成公共电极17。 [0089] 接着，在公共电极17上设置粘接层18。可以利用喷墨法、胶版印刷、丝网印刷、柔性版印刷等凸版印刷、照相凹版印刷等凹版印刷等各种印刷方法来设置粘接层18。除此之外，也可以利用旋转涂布法、辊涂布法、模压涂布法、狭缝涂层法、幕式涂布法、喷涂法、浸渍涂布法等。 [0090] 接着，制造下部基板2。图7的(c)是对应于步骤S2的元件设置工序的图。如图7的(c)所示，在步骤S2中，准备第一基材8。作为第一基材8，也使用将玻璃板磨削(grind)及研磨(polish)至规定厚度而降低了表面粗糙度的板。在第一基材8上形成元件层9。形成元件层9的方法是公知的，因此省略详细说明，简要说明其制造方法。元件层9的形成方法存在多种，并不特别限定。 [0091] 首先，通过CVD法(chemical vapor deposition：化学气相沉积)在第一基材8上形成未图示的SiO2的基底绝缘膜。接着，在基底绝缘膜上通过CVD法等形成膜厚50nm左右的非晶硅膜。通过激光晶化法等，将该非晶硅膜晶化，形成多晶硅膜。之后，利用光刻法以及蚀刻法等，形成岛状的多晶硅膜、即半导体膜9e。 [0092] 接着，以覆盖半导体膜9e以及基底绝缘膜的方式设置栅极绝缘膜9f。栅极绝缘膜9f是膜厚100nm左右的SiO2膜。利用CVD法等形成栅极绝缘膜9f。接着，利用溅射法等在栅极绝缘膜9f上形成膜厚500nm左右的Mo膜。接着，通过光刻法以及蚀刻法，对Mo膜进行图案化，从而形成岛状的栅极电极9g。接着，通过离子注入法向半导体膜9e注入杂质离子，形成源极区域9h、漏极区域9j、沟道形成区域9k。接着，以覆盖栅极绝缘膜9f和栅极电极9g的方式设置第一层间绝缘膜9m。第一层间绝缘膜9m是膜厚800nm左右的SiO2膜。利用溅射法等形成该第一层间绝缘膜9m。 [0093] 接着，在第一层间绝缘膜9m中形成到达源极区域9h的接触孔和到达漏极区域9j的接触孔。之后，通过溅射法等在第一层间绝缘膜9m上和接触孔内形成膜厚500nm左右的Mo膜，并利用光刻法以及蚀刻法进行图案化，形成源极电极9n、漏极电极9p以及配线。 [0094] 以覆盖第一层间绝缘膜9m、源极电极9n、漏极电极9p和配线的方式形成膜厚800nm左右的Si3N4膜，作为第二层间绝缘膜9r。利用光刻法以及蚀刻法进行图案化，在第二层间绝缘膜9r中形成接触孔。 [0095] 图7的(d)～图7的(e)是对应于步骤S3的下部电极设置工序的图。如图7的(d)所示，在步骤S3中，在元件层9上设置绝缘层10。首先，在元件层9之上涂布溶解有丙烯酸树脂的溶液，使其干燥固化。接着，通过光刻法对绝缘层10进行图案化。形成绝缘层10的外形形状以及贯通孔29的形状的图案。接着，利用蚀刻液对绝缘层10进行蚀刻，从而形成贯通孔29。 [0096] 如图7的(e)所示，利用溅射法或者蒸镀等成膜法在绝缘层10上和贯通孔29内形成膜厚500nm左右的Al膜。进而，通过溅射法或者蒸镀等，在Al膜上层叠Au膜。接着，通过光刻法对Al膜以及Au膜进行图案化，并进行蚀刻，形成像素电极11以及导电膜30。作为蚀刻，可以采用干蚀刻法。导电膜30使得漏极电极9p和像素电极11导通。 [0097] 图8的(a)是对应于步骤S4的分隔壁设置工序的图。如图8的(a)所示，在步骤S4中，在像素电极11上设置分隔壁5。首先，对像素电极11涂布作为分隔壁5的材料的感光性树脂材料。作为涂布方法，可以采用胶版印刷、丝网印刷、凸版印刷等各种印刷方法来进行设置。除此之外，还可以采用旋转涂布法、辊涂布法等涂布方法。接着，加热感光性树脂材料进行干燥固化。接着，通过光刻法对感光性树脂材料进行图案化，并进行蚀刻，从而形成分隔壁 5。 [0098] 图8的(b)是对应于步骤S5的分散液填充工序的图。如图8的(b)所示，在步骤S5中，将设有分隔壁5的第一基材8设置在未图示的容器内。并且，在分散介质15中添加白色带电粒子13以及黑色带电粒子14后进行搅拌，准备电泳分散液12。接着，利用注射器等供给器具，向像素区域6供给电泳分散液12。作为电泳分散液12的供给方法，可以采用各种印刷法或喷墨法。将电泳分散液12供给到从像素区域6溢出的程度。 [0099] 图8的(c)是对应于步骤S6的基板组装工序的图。如图8的(c)所示，在步骤S6中，在分隔壁5上设置上部基板3。首先，将供给有电泳分散液12的下部基板2设置在减压室内。接着，在分隔壁5上安装(搭載)上部基板3。接着，对减压室内进行减压，并向粘接层18照射紫外线。粘接层18是紫外线固化型粘接剂，分隔壁5和上部基板3被暂时固定。接着，加热设有上部基板3的下部基板2，使粘接层18固化，从而上部基板3被固定于分隔壁5。通过上述工序，完成电泳显示装置1。 [0100] 如上所述，根据本实施方式，具有以下效果。 [0101] (1)根据本实施方式，照射电泳显示装置1的光28将照射降反射膜7以及像素区域6。降反射膜7减少光28的反射。因此，能够减少从降反射膜7朝观察者前进的光28。其结果，能够减少非像素区域27的反射，从而能够提高对比度。 [0102] (2)根据本实施方式，降反射膜7位于第二基材16与分隔壁5之间。照射第二基材16的光28将照射降反射膜7及像素区域6。降反射膜7减少被照射的光28的反射。照射像素区域6的光28的一部分相对于第二基材16的厚度方向倾斜前进。该一部分光28前进至分隔壁5内，而不通过降反射膜7。于是，不通过像素区域6而从分隔壁5朝着观察者的光28通过降反射膜7，因此，降低光28的强度。因此，能够减少从像素区域6之外朝着观察者前进的光28。 [0103] (3)根据本实施方式，降反射膜7位于靠近第二基材16的位置。因此，能够可靠地减少在第二基材16的-Z方向侧的面反射的反射光。 [0104] (第二实施方式) [0105] 接着，利用图9说明电泳显示装置的一实施方式。图9是示出电泳显示装置的结构的示意性侧截面图。本实施方式与第一实施方式的区别在于，降反射膜7设于下部基板2这一点。需要注意的是，省略对于与第一实施方式相同的点的说明。 [0106] 即、在本实施方式中，如图9所示，电泳显示装置33具备下部基板34以及上部基板35，形成为由下部基板34和上部基板35夹着电泳分散液12以及分隔壁5的结构。下部基板34形成为在第一基材8上依次层叠有元件层9、第一绝缘层36、作为降反射部的降反射膜37、第二绝缘层38以及像素电极11的结构。 [0107] 第一绝缘层36以及第二绝缘层38的材质可以采用与第一实施方式中的绝缘层10相同的材质。降反射膜37的材质可以采用与第一实施方式中的降反射膜7相同的材质。降反射膜37吸收光28而减少光28的反射。 [0108] 上部基板35在第二基材16上依次层叠有公共电极17以及粘接层18。上部基板35上未设置降反射膜7。因此，照射非像素区域27的光28通过上部基板35而照射分隔壁5。进而，照射分隔壁5的光28到达降反射膜37而被降反射膜37吸收。因此，由于照射非像素区域27的光28被降反射膜37吸收，因此，能够在非像素区域27减少反射光。 [0109] 简要说明下部基板34的制造工序。关于步骤S1的上部电极设置工序，从第一实施方式的工序中省却形成降反射膜7的工序。步骤S2的元件设置工序是与第一实施方式的工序时相同的工序。在步骤S3的下部电极设置工序中，在元件层9上设置第一绝缘层36。首先，在元件层9之上涂布溶解有丙烯酸树脂的溶液，并使其干燥固化。接着，对于丙烯酸树脂的膜，通过光刻法形成第一绝缘层36的外形形状以及贯通孔36a的形状的图案。接着，利用蚀刻液对丙烯酸树脂的膜进行蚀刻，形成第一绝缘层36的外形形状以及贯通孔36a。 [0110] 接着，进行在第一绝缘层36上设置降反射膜37的工序。利用溅射法或蒸镀法等成膜法，在第一绝缘层36上形成钼膜。接着，利用光刻法以及蚀刻法，对钼膜进行图案化，从而形成降反射膜37。降反射膜37的平面形状是格子状。 [0111] 接着，在第一绝缘层36上设置第二绝缘层38。在第一绝缘层36以及降反射膜37之上涂布溶解有丙烯酸树脂的溶液，并使其干燥固化。接着，对于丙烯酸树脂的膜，通过光刻法形成第二绝缘层38的外形形状以及贯通孔38a的形状的图案。接着，利用蚀刻法对丙烯酸树脂的膜进行蚀刻，形成第二绝缘层38的外形形状以及贯通孔38a。 [0112] 接着，利用溅射法等成膜法在第二绝缘层38上和贯通孔38a内形成Al膜。进而，通过溅射法或者蒸镀等在Al膜上层叠Au膜。接着，对于Al膜以及Au膜，利用光刻法以及蚀刻法形成像素电极11以及导电膜30。可以将干蚀刻法用于蚀刻。导电膜30是使得漏极电极9p和像素电极11导通的膜。通过上述工序形成下部基板34。 [0113] 如上所述，根据本实施方式，具有以下效果。 [0114] (1)根据本实施方式，照射非像素区域27的光28被降反射膜37吸收。因此，由于能够在非像素区域27减少反射光，从而能够以良好的对比度显示画面。 [0115] (2)根据本实施方式，降反射膜37位于比分隔壁5更靠近第一基材8侧的位置。因此，即便使降反射膜37大于分隔壁5，像素区域6的面积也不会变小。其结果，即使设置降反射膜37，也能够避免降低开口率。需要注意的是，开口率是像素区域6的合计面积除以像素区域6和非像素区域27的合计面积所得的值。开口率越大，可以使白色显示越明亮。 [0116] (第三实施方式) [0117] 接着，利用图10以及图11说明电泳显示装置的一实施方式。图10是示出电泳显示装置的结构的示意性侧截面图。本实施方式与第一实施方式的区别在于，由分隔壁5代替降反射膜7来吸收光28这一点。需要注意的是，省略对于与第一实施方式相同的点的说明。 [0118] 即、在本实施方式中，如图10所示，电泳显示装置41具备下部基板2以及上部基板35，形成为由下部基板2和上部基板35夹着电泳分散液12以及作为分隔壁部和降反射部的分隔壁42的结构。与第二实施方式同样，上部基板35在第二基材16上依次层叠有公共电极 17及粘接层18。上部基板35上未设置降反射膜7。因此，照射非像素区域27的光28通过上部基板35而照射分隔壁42。 [0119] 分隔壁42的材质是对光28的反射率低并具有绝缘性及好的加工性的材质即可，并不特别限定，例如，作为分隔壁42的材质，可以使用含有碳填料(カーボンフィラー)的丙烯酸树脂、环氧树脂等树脂。碳填料是以碳为主要原料的填充剂。树脂中的填料浓度越高，越能够降低光28的反射率。另一方面，树脂中的填料浓度越高，越是降低树脂的体积电阻率，降低绝缘性。在本实施方式中，例如采用了含有碳填料的丙烯酸树脂。 [0120] 从非像素区域27的上部基板35进入的光28照射分隔壁42。照射分隔壁42的光28被分隔壁42吸收，因此，降低被分隔壁42反射的光的强度。因此，能够减少从非像素区域27进入后从非像素区域27朝向观察者前进的光28。 [0121] 在本实施方式中，分隔壁42的宽度设为5μm，分隔壁42的高度设为30μm。另外，四边形的像素区域6中的一边的分隔壁42的长度设为80μm。另外，分隔壁42的体积电阻率设为2.81×105Ωcm。这时，下部基板2与上部基板35之间的分隔壁42的电阻为1.5×109Ω。并且，-8 向像素电极11与公共电极17之间施加15V的电压时，通过分隔壁42的电流变为1×10 A。经确认，在该电流值时，能够稳定地驱动电泳显示装置41。因此，通过使像素区域6中的一边的分隔壁42的电阻为1.5×109Ω以上，从而可以稳定地驱动电泳显示装置41。 [0122] 在本实施方式中，通过调整树脂中的填料浓度，使得黑色显示中非像素区域27的9 反射率在5％以下。另外，可以使分隔壁42的电阻在1.5×10Ω以上。因此，电泳显示装置41能够稳定地进行良好的对比度的显示。 [0123] 图11是用于说明分隔壁42的制造方法的示意图。利用图11简要说明下部基板2的制造工序。如图11的(a)所示，在步骤S4的分隔壁设置工序中，在下部基板2上设置含有碳填料的丙烯酸树脂的树脂膜43。通过调整树脂中的填料浓度，使丙烯酸树脂的树脂膜43的体积电阻率为2.81×105Ωcm。在下部基板2之上涂布溶解有包含碳填料的丙烯酸树脂的溶液，并使其干燥固化。其结果，在下部基板2上设置树脂膜43。树脂膜43具有可变形的硬度。 [0124] 如图11的(b)所示，接着，将成形模具44压向树脂膜43。在成形模具44中形成有分隔壁42形状的凹部44a。树脂膜43被成形模具44按压而流动至凹部44a。成形模具44中设有加热成形模具44的未图示的加热器。接着，加热加热器而经由成形模具44加热树脂膜43。由此，树脂膜43固化成为分隔壁42。并且，调整树脂中的填料浓度，使得分隔壁42的电阻在1.5×109Ω以上。 [0125] 下部基板2的表面被薄的树脂膜43覆盖。接着，将下部基板2设置在未图示的灰化装置内。如图11的(c)所示，利用非电离辐射线使氧气等离子化(プラズマ化)，等离子化的氧气向下部基板2的表面流动。分隔壁42之外的树脂膜43与等离子体中的氧自由基结合，变成二氧化碳和水并蒸发剥离。通过上述工序形成分隔壁42。接着，进行步骤S5的分散液填充工序以及步骤S6的基板组装工序，完成电泳显示装置41。 [0126] 如上所述，根据本实施方式，具有以下效果。 [0127] (1)根据本实施方式，从非像素区域27的上部基板35进入的光28照射分隔壁42。照射分隔壁42的光28的光强度被降低。因此，能够减少从非像素区域27进入后从非像素区域27朝着观察者前进的光28。 [0128] (2)根据本实施方式，照射像素区域6的光28的一部分相对于上部基板35的厚度方向倾斜前进。该一部分光28通过像素区域6的上部基板35后照射分隔壁42。照射分隔壁42的光28的光强度被降低。因此，能够减少从像素区域6进入后从非像素区域27朝着观察者前进的光28。 [0129] (3)根据本实施方式，分隔壁42使得像素电极11与公共电极17绝缘，因此，能够防止像素电极11和公共电极17导通。 [0130] (4)根据本实施方式，分隔壁42吸收光28。因此，像素区域6的面积不会变小，能够避免降低开口率。 [0131] (5)根据本实施方式，不用增加设置降反射膜7、降反射膜37的工序。因此，能够以良好的生产率制造电泳显示装置41。 [0132] (第四实施方式) [0133] 接着，利用图12说明电泳显示装置的一实施方式。图12是示出电泳显示装置的结构的示意性侧截面图。本实施方式与第一实施方式的区别在于，由下部基板2的绝缘层10代替降反射膜7来吸收光28这一点。需要注意的是，省略对于与第一实施方式相同的点的说明。 [0134] 即、在本实施方式中，如图12所示，电泳显示装置47具备第一基板48以及上部基板35，形成为由第一基板48和上部基板35夹着电泳分散液12和分隔壁5的结构。与第二实施方式同样，上部基板35在第二基材16上依次层叠有公共电极17及粘接层18。上部基板35上未设置降反射膜7。因此，照射非像素区域27的光28通过上部基板35而照射分隔壁5。 [0135] 第一基板48在第一基材8上依次层叠有元件层9、作为降反射部的绝缘层49以及像素电极11。另外，绝缘层49具有吸收光28的功能。绝缘层49的材质是对光28的反射率低且具有绝缘性和良好的加工性的材质即可，并不特别限定，作为绝缘层49的材质，可以采用与第三实施方式中的分隔壁42相同的材质。在本实施方式中，例如采用含有碳填料的丙烯酸树脂作为绝缘层49的材质。 [0136] 在本实施方式中，绝缘层49的体积电阻率设为2.81×105Ωcm。经确认，这时候能够稳定地驱动电泳显示装置47。因此，通过使绝缘层49的体积电阻率在2.81×105Ωcm以上，从而能够稳定地驱动电泳显示装置47。 [0137] 在本实施方式中，通过调整树脂中的填料浓度而使黑色显示中非像素区域27的反射率在5％以下。并且，可以使绝缘层49的体积电阻率在2.81×105Ωcm以上。因此，电泳显示装置47能够稳定地进行具有良好对比度的显示。 [0138] 如上所述，根据本实施方式，具有以下效果。 [0139] (1)根据本实施方式，由绝缘层49减少光28的反射。从非像素区域27的上部基板35进入的光28通过分隔壁5而照射绝缘层49。照射绝缘层49的光28的光强度被降低。因此，可以减少从非像素区域27进入后从非像素区域27朝向观察者前进的光28。 [0140] (2)根据本实施方式，从像素区域6的上部基板35进入的光28的一部分通过电泳分散液12而照射绝缘层49。照射绝缘层49的光28的光强度被降低。因此，能够减少从像素区域6进入后被绝缘层49反射而通过非像素区域27朝向观察者前进的光28。 [0141] (3)根据本实施方式，绝缘层49使像素电极11与电压供给线9a绝缘，因此，能够防止像素电极11与电压供给线9a导通。 [0142] (4)根据本实施方式，绝缘层49吸收光28。因此，像素区域6的面积不会变小，能够避免降低开口率。 [0143] (5)根据本实施方式，不用增加设置降反射膜7、降反射膜37的工序。因此，能够以良好的生产率制造电泳显示装置47。 [0144] (第五实施方式) [0145] 接着，利用图13说明安装有电泳显示装置的电子设备的一实施方式。图13的(a)是示出电子书的结构的简要立体图，图13的(b)是示出手表的结构的简要立体图。如图13的(a)所示，作为电子设备的电子书52具备板状的外壳53。在外壳53上通过铰链54设置有盖部55。进而，在外壳53上设有操作按钮56和显示部57。操作者通过操作操作按钮56，从而可以对显示部57上显示的内容进行操作。 [0146] 在外壳53的内部设有控制电子书52的控制部58以及驱动显示部57的驱动部59。控制部58向驱动部59输出显示数据。驱动部59输入显示数据并驱动显示部57。并且，驱动部59使显示部57显示与显示数据对应的内容。作为显示部57，可以采用电泳显示装置1、电泳显示装置33、电泳显示装置41以及电泳显示装置47中任一个。因此，可以使电子书52成为将能够以良好的对比度进行显示的电泳显示装置配备在了显示部57的装置。 [0147] 如图13的(b)所示，作为电子设备的手表62具备板状的外壳63。外壳63上设有带64，操作者可以将带64缠在手腕上而将手表62固定在手腕上。进而，外壳63上设有操作按钮 65和显示部66。操作者通过操作操作按钮65而可以对显示部66上显示的内容进行操作。 [0148] 在外壳63的内部设有控制手表62的控制部67和驱动显示部66的驱动部68。控制部67向驱动部68输出显示数据。驱动部68输入显示数据并驱动显示部66。并且，驱动部68使显示部66显示与显示数据对应的内容。另外，作为显示部66，可以采用电泳显示装置1、电泳显示装置33、电泳显示装置41以及电泳显示装置47中任一个。因此，可以使手表62成为将能够以良好的对比度进行显示的电泳显示装置配备在了显示部66的装置。 [0149] 需要注意的是，本实施方式并不限定于上述实施方式，在本发明的技术思想的范围内，本领域技术人员可以进行各种变更或改良。以下描述变形例。 [0150] (变形例1) [0151] 在上述第一实施方式中，在电泳分散液12中设置了白色带电粒子13及黑色带电粒子14。也可以采用红色、绿色、蓝色等带电粒子来代替白色带电粒子13和黑色带电粒子14。根据该构成，通过显示红色、绿色、蓝色等而能进行彩色显示。 [0152] (变形例2) [0153] 在上述第一实施方式中，一个像素区域6设有一个像素电极11。也可以对一个像素区域6设置多个像素电极11。由此能够细分显示。 [0154] (变形例3) [0155] 在上述第一实施方式中，白色带电粒子13正极带电，黑色带电粒子14负极带电。也可以使白色带电粒子13负极带电，使黑色带电粒子14正极带电。还可以设为易控制的带电状态。 [0156] (变形例4) [0157] 在上述第一实施方式中，降反射膜7设置于上部基板3。另外，在上述第二实施方式中，降反射膜37设置于下部基板34。也可以形成为由具备降反射膜7的上部基板3和具备降反射膜37的下部基板34夹着电泳分散液12的结构。通过降反射膜7和降反射膜37，能够显示具有更好的对比度的画面。 [0158] 在上述第三实施方式中，分隔壁42吸收光28。也可以形成为由具备降反射膜7的上部基板3和具备降反射膜37的下部基板34夹着电泳分散液12和分隔壁42的结构。通过降反射膜7、降反射膜37以及分隔壁42，能够显示具有更好对比度的画面。 [0159] 除此之外，还可以形成为由具备降反射膜7的上部基板3和不具备降反射膜37的下部基板2夹着电泳分散液12和分隔壁42的结构。除此之外，还可以形成为由不具备降反射膜7的上部基板35和具备降反射膜37的下部基板34夹着电泳分散液12和分隔壁42的结构。 [0160] 在上述第四实施方式中，绝缘层49吸收光28。也可以形成为由具备降反射膜7的上部基板3和具备绝缘层49的第一基板48夹着电泳分散液12的结构。通过降反射膜7、绝缘层49，能够显示具有更好对比度的画面。而且，还可以形成为由具备降反射膜7的上部基板3和具备绝缘层49的第一基板48夹着电泳分散液12和分隔壁42的结构。通过降反射膜7、绝缘层 49以及分隔壁42，能够显示具有更好对比度的画面。 [0161] 除此之外，还可以形成为由不具备降反射膜7的上部基板35和具备绝缘层49的第一基板48夹着电泳分散液12和分隔壁42的结构。 |
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