1.一种测量微电子机械系统(MEMS)中的可移动质量的位移的方法，所述方法包括：
将所述可移动质量移动至第一位置中，在所述第一位置中，所述可移动质量与第一位移停止表面基本静态接触；
使用控制器，在所述移动质量处于所述第一位置的同时自动测量两个间隔开的感测电容器的各自电容之间的第一差，其中，所述两个感测电容器中的每个包括附接至所述可移动质量并且可与所述可移动质量一起移动的各自的第一板和基本固定在适当的位置的各自的第二板；
将所述可移动质量移动至第二位置中，在所述第二位置中，所述可移动质量与第二位移停止表面基本静态接触，所述第二位移停止表面与所述第一位移停止表面间隔开；
使用所述控制器，在所述可移动质量处于所述第二位置的同时自动测量所述各自电容之间的第二差；
将所述可移动质量移动至参照位置，在所述参照位置中，所述可移动质量与所述第一位移停止表面和所述第二位移停止表面基本间隔开，其中，所述第一位置和所述参照位置之间的第一距离不同于所述第二位置和所述参照位置之间的第二距离；
使用所述控制器，在所述可移动质量处于所述参照位置的同时自动测量所述各自电容之间的第三差；
使用所述控制器，使用所测量到的第一差、所测量到第二差、所测量到的第三差以及分别与所述第一位置和第二位置对应的第一所选布局距离和第二所选布局距离来自动计算驱动常量；
使用所述控制器，自动将驱动信号施加于执行器以将所述可移动质量移动至测试位置中；
使用所述控制器，在所述可移动质量处于所述测试位置的同时自动测量所述各自电容之间的第四差；以及
使用所述控制器，使用所计算出的驱动常量和所测量到的第四差来自动确定所述测试位置中的所述可移动质量的位移。
2.根据权利要求1所述的方法，进一步包括：
使用所述控制器，使用所计算出的驱动常量和所施加的驱动信号来计算力；
使用所述控制器，使用所计算出的驱动常量、所施加的驱动信号和所测量到的第四差来计算刚度；
测量所述可移动质量的谐振频率；以及
使用所述控制器，使用所计算出的刚度和所测量到的谐振频率来确定用于所述可移动质量的质量的值。
3.根据权利要求1所述的方法，其中，所述计算驱动常量步骤包括使用所述控制器自动计算以下：
a)使用所测量到的第一差和所测量到的第三差计算的第一差动电容改变；
b)使用所测量到的第二差和所测量到的第三差计算的第二差动电容改变；
c)使用所述第一差动电容改变和所述第二差动电容改变以及所述第一布局距离和所述第二布局距离计算的几何构型差值；以及
d)使用所述第一差动电容改变、所述几何构型差值和所述第一布局距离计算的所述驱动常量。
4.一种测量具有悬臂和偏转传感器的原子力显微镜(AFM)的属性的方法，所述方法包括：
使用控制器，自动测量两个电容器的在可移动质量的参照位置处以及在所述可移动质量的第一特征位置和第二特征位置处的各自差动电容，所述第一特征位置和所述第二特征位置沿着位移轴与所述参照位置间隔开各自的不同第一距离和第二距离，所述两个电容器具有附接至所述可移动质量并且可与所述可移动质量一起移动的各自的第一板；
使用所述控制器，使用所测量到的差动电容以及分别与所述第一特征位置和所述第二特征位置对应的第一所选布局距离和第二所选布局距离来自动计算驱动常量；
使用AFM悬臂，沿着所述位移轴在第一方向上在所述可移动质量上施加力，从而所述可移动质量向第一测试位置移动；
在所述可移动质量处于所述第一测试位置的同时，使用所述偏转传感器来测量所述AFM悬臂的第一测试偏转并测量所述两个电容器的第一测试差动电容；
将驱动信号施加至执行器以沿着所述位移轴与所述第一方向相反地将所述可移动质量移动至第二测试位置；
在所述可移动质量处于所述第二位置的同时，使用所述偏转传感器来测量所述AFM悬臂的第二测试偏转并测量所述两个电容器的第二测试差动电容；以及
使用所述驱动常量、所述第一测试偏转和所述第二测试偏转以及所述第一测试差动电容和所述第二测试差动电容来自动计算光学级敏感度。
5.根据权利要求4所述的方法，进一步包括：
将所选驱动电压施加至所述执行器；
在施加所述驱动电压的同时，使用所述AFM悬臂，沿着所述位移轴在所述可移动质量上施加力并且使用所述偏转传感器、以及所述连续的第三测试差动电容和第四测试差动电容来同时测量所述AFM悬臂的连续的第三偏转和第四偏转；
使用所选驱动电压以及第三测试差动电容和第四测试差动电容以及所述驱动常量来自动计算所述可移动质量的刚度；以及
使用所述可移动质量的所计算出的刚度、以及所述AFM悬臂的所述第三偏转和所述第四偏转、以及所述第三测试差动电容和所述第四测试差动电容、以及所述驱动常量来自动计算所述AFM悬臂的刚度。
6.一种微电子机械系统(MEMS)装置，包括：
a)可移动质量；
b)执行系统，适用于参照参照位置沿着位移轴选择性地平移所述可移动质量；
c)两个间隔开的感测电容器，每个包括附接至所述可移动质量并且可与所述可移动质量一起移动的各自的第一板以及基本固定在适当位置的各自的第二板，其中，所述感测电容器的各自的电容随着所述可移动质量沿着所述位移轴移动而变化；以及d)一个或多个位移停止器，被布置为形成第一位移停止表面和第二位移停止表面，其中，所述第一位移停止表面和所述第二位移停止表面限制所述可移动质量在各自的相反方向上沿着所述位移轴向远离所述参照位置的各自的第一距离和第二距离行进，其中，所述第一距离不同于所述第二距离。
7.根据权利要求6所述的装置，进一步包括适合于自动进行以下操作的差动电容传感器和控制器：
操作所述执行系统以将所述可移动质量基本定位在所述参照位置处；
使用所述差动电容传感器来测量所述间隔开的感测电容器的第一差动电容；
操作所述执行系统以将所述可移动质量定位在第一位置处，所述第一位置与所述第一位移停止表面基本静态接触；
使用所述差动电容传感器来测量所述间隔开的感测电容器的第二差动电容；
操作所述执行系统以将所述可移动质量定位在第二位置处，所述第二位置与所述第二位移停止表面基本静态接触；
使用所述差动电容传感器来测量所述间隔开的感测电容器的第三差动电容；
接收分别与所述第一位置和所述第二位置对应的第一布局距离和第二布局距离；以及使用所述第一布局距离和所述第二布局距离以及所述第一测量到的差动电容、第二测量到的差动电容和第三测量到的差动电容来计算所述第一距离和所述第二距离的值。
8.根据权利要求6所述的系统，其中，所述可移动质量包括施加器，所述施加器形成所述可移动质量的沿着所述位移轴的末端。
9.根据权利要求6所述的装置，进一步包括多个弯曲部，所述弯曲部支持所述可移动质量并且适合于允许所述可移动质量沿着所述位移轴或者与所述位移轴正交的第二轴平移。
10.根据权利要求6所述的装置，其中，所述执行系统包括多个梳齿驱动器和对应的电压源。
11.一种运动测量装置，包括：
a)位于平面内的第一加速计和第二加速计，每个加速计包括各自的执行器和各自的传感器；
b)位于所述平面内的第一回转仪和第二回转仪，每个回转仪包括各自的执行器和各自的传感器；
c)执行源，适合于彼此90度异相地驱动所述第一加速仪和所述第二加速仪，并且适合于彼此90度异相地驱动所述第一回转仪和所述第二回转仪；以及
d)控制器，适合于从所述加速仪和所述回转仪的各自的传感器接收数据，并且确定作用在所述运动测量装置上的平移、离心、科里奥利或横向力。
12.根据权利要求11所述的装置，其中：
a)每个加速仪和每个回转仪包括各自的可移动质量；
b)所述执行源进一步适合于参照各自的参照位置沿着各自的位移轴选择性地平移所述各自的可移动质量；以及
c)每个加速仪和每个回转仪进一步包括：
i)两个间隔开的感测电容器的各自组，每个包括附接至所述各自的可移动质量并且利用所述各自的可移动质量可移动的各自的第一板以及基本固定在适当位置的各自的第二板，其中，所述感测电容器的各自的电容随着所述各自的可移动质量沿着各自的位移轴移动而变化；以及
ii)一个或多个位移停止器的各自组，被布置为形成各自的第一位移停止表面和各自的第二位移停止表面，其中，所述各自的第一位移停止表面和所述各自的第二位移停止表面限制所述各自的可移动质量在各自的相反方向上沿着所述各自的位移轴向远离所述各自的参照位置的各自的第一距离和各自的第二距离的行进，其中，每个各自的第一距离不同于所述各自的第二距离。
13.一种温度传感器，包括：
a)可移动质量；
b)执行系统，适合于参照参照位置沿着位移轴选择性地平移所述可移动质量；
c)两个间隔开的感测电容器，每个包括附接于所述可移动质量并且可与所述可移动质量一起移动的各自的第一板以及基本固定在适当位置的各自的第二板，其中，所述感测电容器的各自的电容随着所述可移动质量沿着所述位移轴移动而变化；
d)一个或多个位移停止器，被布置为形成第一位移停止表面和第二位移停止表面，其中，所述第一位移停止表面和所述第二位移停止表面限制所述可移动质量在各自的相反方向上沿着所述位移轴向远离所述参照位置的各自的第一距离和各自的第二距离的行进，其中，所述第一距离不同于所述第二距离，并且其中，所述执行系统进一步适合于选择性地允许所述可移动质量沿着所述位移轴在由所述第一位移停止表面和所述第二位移停止表面限定的界限内振动；
e)差动电容传感器，被电连接至所述各自的第二板；以及
f)位移感测单元，被电连接至所述可移动质量以及所述感测电容器中的至少一个的第二板，并且适合于提供与所述可移动质量沿着所述位移轴的位移相关的位移信号；
g)控制器，适合于自动地：
操作所述执行系统以将所述可移动质量定位在基本位于所述参照位置的第一位置处、在与所述第一位移停止表面基本静态接触的第二位置处、以及在与所述第二位移停止表面基本静态接触的第三位置处；
使用所述差动电容传感器，测量分别与所述第一位置、所述第二位置和所述第三位置对应的所述感测电容器的第一差动电容、第二差动电容和第三差动电容；
接收分别与所述第一位置和所述第二位置对应的第一布局距离和第二布局距离；
使用所测量到的第一差动电容、第二差动电容和第三差动电容以及所述第一布局距离和所述第二布局距离来计算驱动常量；
将驱动信号施加至所述执行系统以将所述可移动质量移动至测试位置中；
使用所述差动电容传感器来测量与所述测试位置对应的测试差动电容；
使用所计算出的驱动常量、所施加的驱动信号和所述测试差动电容来计算刚度；
使所述执行系统允许所述可移动质量振动；
在所述可移动质量被允许振动的同时，使用所述位移感测单元来测量多个连续位移信号并且使用所计算出的驱动常量来计算所述可移动质量的各自的位移；以及使用所测量到的位移和所计算出的刚度来确定温度。
14.根据权利要求13所述的传感器，其中，每个第一板和第二板包括各自的梳齿，并且所述执行系统包括电压源，所述电压源适合于将电压选择性地施加至所述第二板以使所述各自的第一板受到拉力。
15.根据权利要求13所述的传感器，其中，所述感测电容器中的所选一个的第一板被电连接至所述可移动质量，并且所述位移感测单元包括：
a)电压源，被电连接至所述可移动质量并且适合于提供激励信号，从而第一电流经过所述感测电容器中的所述所选一个；以及
b)互阻抗放大器，被电连接至所述感测电容器中的所述所选一个的所述第二板并且适合于提供与所述第一电流对应的位移信号。
16.根据权利要求15所述的传感器，其中，所述激励信号包括DC分量和AC分量。
17.根据权利要求15所述的传感器，其中，第二电流经过所述感测电容器中的非所选一个并且所述差动电容传感器包括：
a)第二互阻抗放大器，被电连接至所述感测电容器中的所述非所选一个的所述第二板并且适合于提供与所述第二电流对应的第二位移信号；以及
b)装置，用于从所述互阻抗放大器接收所述位移信号并且使用所述位移信号和所述第二位移信号来计算所述差动电容。