Rotation-sensing device for fan device applied to chamber of handler

【発明の詳細な説明】 【０００１】 【発明の属する技術の分野】本発明はハンドラのチェンバーに適用されたファン装置の回転感知装置に係るもので、特にハンドラのチェンバーの温度を調節するファン装置の回転有無をファン装置の周辺温度に関係なく回転状態を感知することができる回転感知装置に関する。 【０００２】 【従来の技術】半導体部品の電気的特徴をテストするためハンドラが用いられる。 ハンドラはベースフレーム（base frame）上にエレベーター／トレイトランスファ（elevator／tray transfer）、Ｘ−Ｙロボット、交換機であるエクスチェンジャ（exchanger）、チェンバがそれぞれ設置されて構成される。 半導体部品が積載されるトレイはエレベーター／トランスファに移動された後トレイに積載された半導体部品はＸ−Ｙロボットによって配列装置としてのアライナ（aligner）に移動される。 アライナに移動された半導体部品はエクスチェンジャによってテストトレイ（test tray）に移された後チェンバーに移動されてテストされる。 【０００３】チェンバーはプレヒーター（pre heate
r）、テストサイト（test site）及びデフロスター（de
froster）からなる。 プレヒーターはテストトレイに積載された半導体部品を予熱させて、テストサイトは高温及び低温状態でプレヒーターを通過したテストトレイに積載された半導体部品の電気的特性を検査する。 テストサイトで半導体部品のテストが完了されると完了されたテストトレイはデフロスターに移動された後デフロスターで半導体部品の温度を常温にした後排出させる。 【０００４】チェンバーで半導体部品の電気的特性をテストするため前述したようにチェンバーの内部温度を調節するためチェンバーの内側にファン装置が具備される。 ファン装置の構成について図７を用いて説明する。
図７は従来のハンドラのチェンバーに適用されたファン装置の斜視図である。 図示したように、ファン装置は回転電動機１、カップリング装置２、シャフト３、ケース４及びベアリングハウジング５からなる。 【０００５】回転電動機１はチェンバー（図示せず）の外側に設置されてチェンバーの内側に設置された回転電動機１の回転中心軸１ａにはカップリング２を用いてシャフト３が連結設置される。 シャフト３はケース４の内側に設置されて、ケース４の両端にはそれぞれベアリングハウジング５が設置された状態でケース４の内側にはグリースが充填される。 【０００６】シャフト（３）を回転させてチェンバーの内部温度を調節するため用いられるファン装置の回転有無を感知するために従来には図７に示すようにファン装置の主面にサーモカップル（thermo couple）８が用いられる。 サーモカップル８はチェンバー内部の温度を感知してハンドラの主制御機１００に伝達して主制御機１
００によってファン装置の回転状態を点検することができるように温度ソースを主制御機１００に提供する。 この主制御機はサーモカップル８から提供される温度ソースを用いてチェンバーの内部温度を調節してファン装置のカップリング（２）などの破損によってファン装置が回転されない場合に温度ソースを用いてファン装置の回転有無を感知することができる。 【０００７】 【発明が解決しようとする課題】然るに、従来のようにサーモカップルを用いてファン装置の回転有無を感知する場合にサーモカップルが誤動作されるか、または動作されない場合にファン装置が正常的に回転されているかを判別することができなくてチェンバーの内部温度を調節することができないという問題点が発生する。 【０００８】そこで本発明の目的は、ハンドラのチェンバーの温度を調節するファン装置の回転有無をファン装置のシャフトに設置されるセンサードッグの回転状態を感知してファン装置の回転有無を感知することができる回転感知装置を提供するにある。 【０００９】本発明の他の目的は、ファン装置のシャフトに設置されたセンサードッグの回転状態を感知してファン装置の回転有無を感知することによってファン装置の周辺温度に関係なく直接的にファン装置の回転有無を感知することができる回転感知装置を提供するにある。 【００１０】 【課題を解決するための手段】このような目的を達成するため本発明のファン装置の回転感知装置はファン装置のケース内側に設置されるシャフトの外周面に設置されてシャフトの回転による遠心力発生の際停止際の半径より所定長さだけ広がることができるように構成されたセンサードッグ（sensor dog）と、センサードッグに光を照射してセンサードッグが所定長さだけ広がる場合にセンサードッグの表面から反射される光を受信して光の感知信号を発生して出力する光センサーと、光センサーから光の感知信号が出力されるとこれを受信してファン装置が回転されることを判断する主制御機と、からなる。 【００１１】 【発明の実施の形態】 以下、本発明の実施形態について図面を用いて詳しく説明する。 図１は本発明のチェンバーに適用されたファン装置の斜視図で、図２は図１に示した回転感知装置の分離組み立て斜視図で、図３は図１に示した回転感知装置の組み立て斜視図で、図４は図３に示した回転感知装置の側面図である。 図示したように、ファン装置のケース４内側に設置されるシャフト３
の外周面に設置されてシャフト３の回転による遠心力の発生の際停止際の半径より所定長さだけ広がるように構成されたセンサードッグ１０と、センサードッグ１０に光を照射してセンサードッグ１０が所定長さだけ広がる場合にセンサードッグの表面から反射される光を受信して光の感知信号を発生して出力する光センサー２０と、
光センサー２０から光の感知信号が出力されるとこれを受信してファン装置が回転されることを判断する主制御機１００と、からなる。 【００１２】本発明の構成及び作用をより詳しく説明する。 本発明の回転感知装置が適用されたファン装置は、
概して回転電動機１、カップリング２、シャフト３、ケース４、ベアリングハウジング５、センサードッグ１０
及び光センサー２０からなり、回転感知装置はセンサードッグ１０、光センサー２０）及び制御機１００からなる。 【００１３】本発明の回転感知装置が適用されたファン装置の回転電動機１は、発生した回転力を回転中心軸１
ａに伝達して、回転力を伝達受けた回転中心軸１ａはカップリング２を用いてシャフト３が連結設置される。 シャフト３はケース４の内側に設置されて、ケース４の両端にはそれぞれベアリングハウジング５が設置された状態でケース４の内側にはグリースが充填される。 グリースが充填されるケース４に設置されたハウジング５の一端にはセンサーブレーク６が設置されて、シャフト３にセンサードッグ１０が設置されてシャフト３の停止の際、センサーブレーク６がセンサードッグ１０を停止させてシャフト３の回転を停止させる。 【００１４】シャフト３の回転を停止させるセンサードッグ１０に光を照射した後反射される光を受光することができるようにケース４に光センサー２０を設置する。
センサードッグ１０は複数個の固定不在１１、複数個のガイドシャフト１２、複数個の弾性部材１３、複数個の移動ブロック１４及び複数個のドッグ部材１５からなる。 【００１５】センサードッグ１０の固定部材１１は円筒形に形成されてシャフト３の一端に固定設置される。 シャフト３の一端に固定設置される固定部材１１の外周面に複数個の結合溝（図示せず）が少くとも４方向に形成されて、この結合溝に多数個の移動ブロック１４が配置されて、多数個の移動ブロック１４のそれぞれにはドッグ部材１５が固定設置される。 ドッグ部材１５がそれぞれ設置された移動ブロック１４は、固定部材１１にガイドシャフト１２で固定させて設置される。 【００１６】ガイドシャフト１２は移動ブロック１４を固定部材１１に固定設置する前に外周面に弾性部材１３
が挿設される。 外周面に挿設された弾性部材１３の他端はガイドシャフト１２の外周面に固定設置されて、弾性部材１３の一端は移動ブロック１４に固定設置される。
弾性部材１３の一端が移動ブロック１４に固定設置されるとともにガイドシャフト１２の外周面に他端が固定設置される。 【００１７】シャフト３の一端に固定設置された固定部材１１にガイドシャフト１２によって移動ブロック１４
とドック部材１５が設置されて構成されたセンサードッグ１０はシャフト３の回転による遠心力発生の際シャフト３の停止際の半径より所定長さだけ大きく広がる。 シャフト３の回転によって所定長さだけ大きく広がるセンサードッグ１０に光センサ−から光を照射する。 【００１８】光センサー２０はセンサードッグ１０が遠心力によって所定長さだけ大きく広がる場合に光センサー２０から照射された光がセンサードッグ１０から反射される。 センサードッグ１０から反射される光を光センサー２０に受光して光を受けた光センサー２０は受光された光を電気信号で変換させて主制御機１００に伝達する。 この主制御機は、光センサー２０から伝達された電気信号を受信受けてファン装置の回転有無を判断する。 【００１９】センサードッグ１０と光センサー２０が具備された回転感知装置においてシャフト３の回転有無を感知する作用を図面を用いてより詳しく説明する。 図５
（ａ）および（ｂ）はシャフト３が停止された状態の際、センサードック１０の弾性部材１３の圧縮状態を示す。 即ち、図５（ａ）に示すようにセ、センサードッグ１０はシャフト３が停止状態の際はセンサードック１０
の移動ブロック１４とドッグ部材１５は矢印Ｂ方向に圧縮される。 この際、光センサー２０から矢印ａ方向に光を照射すると照射された光は、そのままセンサードッグ１０のドッグ部材１５上を通過して光センサー２０で光を受光することができない。 【００２０】図５（ａ）、（ｂ）に示したセンサードッグ１０の状態と反対にシャフト３が回転された状態を図６（ａ）及び（ｂ）に示している。 図６（ａ）に示したセンサードッグ１０はシャフト３が回転されることによってセンサードッグ１０に遠心力が発生して、この遠心力が弾性部材１３の圧縮力より大きくなる場合に移動ブロック１４とドッグ部材１５は矢印 B方向に広がる。 移動ブロック１４とドッグ部材１５が矢印Ｂ方向に広がる場合にドッグ部材１５は所定長さだけシャフト３の中心軸から外に延長されて広がる。 【００２１】ドッグ部材１５が所定長さだけ延びると図６（ｂ）のように光センサー２０から矢印ａ方向に照射された光はドッグ部材１５の表面から矢印ｂ方向に反射されて、反射された光を光センサー２０で受光する。 受光した光センサー２０は受光された光を電気信号で変換させて感知信号を発生して主制御機１００に伝達する。
主制御機１００へ感知信号を発生して伝達する光センサー２０は図２のようにモジュールケース２１の内側に発光素子２２と受光素子２３が内装されて設置される。 【００２２】モジュールケース２１に内装されて設置される発光素子２２は所定の波長を持つ光を発生してセンサードッグ１０のドッグ部材１５の表面へ照射するために発光ダイオード（light emitting diode）または半導体レーザーダイオード（semiconductor laser diode）
が使用される。 発光ダイオードまたは半導体レーザーダイオードが適用される発光素子２２から発光された光を受光する受光素子２３はセンサードック１０のドッグ部材１５の表面から反射される光を受光するためフォトダイオード（photo diode）またはフォトトランジスタ（p
hoto transistor）が使用される。 【００２３】発光素子２２と受光素子２３から構成される光センサー２０から光を発生してドッグ部材１５の表面に照射して、シャフト３の回転の際ドッグ部材１５の表面から反射される光を受光して電気信号で変換された感知信号を受信した主制御機１００は、感知信号の受信の有無によってファン装置の回転状態を判別する。 即ち、光センサー２０から感知信号が受信されるとファン装置が回転されていると判断し、反対に感知信号が受信されないと、ファン装置が回転されていないと判断する。 【００２４】以上のように本発明はハンドラのチェンバーの温度を調節するファン装置の回転有無をセンサードッグと光センサーを用いて感知することによってファン装置の周辺温度に関係なく直接的にファン装置の回転の有無を感知することができる。 【００２５】 【発明の効果】以上説明したように本発明のファン装置の回転感知装置は、ハンドラのチェンバーの温度を調節するファン装置の回転の有無を、センサードッグと光センサーを用いて感知することによって、ファン装置の周辺温度に関係なく直接的にファン装置の回転の有無を感知することができる効果がある。

【図面の簡単な説明】 【図１】本発明のチェンバーに適用されたファン装置の斜視図である。 【図２】図１に示した回転感知装置の分離組み立て斜視図である。 【図３】図２に示した回転感知装置の組み立て斜視図である。 【図４】図３に示した回転感知装置の側面図である。 【図５】図１に示したセンサードッグの停止状態を示した図である。 【図６】図１に示したセンサードッグの回転状態を示した図である。 【図７】従来のハンドラのチェンバーに適用されたファン装置の斜視図である。 【符号の説明】 １０ センサードッグ１１ 固定部材１２ ガイドシャフト１３ 弾性部材１４ 移動ブロック１５ ドッグ部材２０ 光センサー２１ モジュールケース２２ 発光素子２３ 受光素子１００ 主制御機

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2G003 AD01 AD04 AG11 AH05 AH06 AH07