本发明涉及三轴加速度计，尤其涉及用于校正三轴加速度计检测
的X轴、Y轴和Z轴方向加速度值的电路。 背景技术
图1A是校正三轴加速度计1的输出的传统传感器单元100的示 意性电路图。三轴加速度计1是应用MEMS (微电子机械系统）技术 的电容型加速度计。三轴加速度计l检测正交轴，即，X轴、Y轴和 Z轴的多个加速度值作为电容值。
传感器单元100包括电容-电压（C-V )转换电路110、偏置温度 系数（TCO)电路121-123、和运算放大器131-133。 C-V转换电 路110与三轴加速度计1连接。运算放大器131 - 133分别与TCO电 路121 - 123连接。C-V转换电路110从加速度计1接收加速度检测 信号（电容值），并且将电容值转换成电压值，生成如图1B所示的 输入信号Vin。
TCO电路121 - 123生成校正三轴加速度计1的温度相关性，即， 加速度计1检测的X轴、Y轴和Z轴方向加速度值Ax、 Ay、和Az 的温度相关性的温度系数值TCx、 TCy、和TCz。三个TCO电路121 -123具有相同结构。因此，下面只描述TCO电路121的结构。
TCO电路121接收设置温度系数值TCx的微调信号Tx。 TCO 电路121包括接收微调信号Tx的解码器、和存储温度系数值TCx的 寄存器。TCO电路121利用解码器解码微调信号Tx，并且根据解码 结果从寄存器中读取温度系数值TCx。将从TCO电路121中读取的 温度系数值TCx提供给运算放大器131作为参考电压。同样，TCO 电路122解码微调信号Ty，读取温度系数值TCy，并且将温度系数
值TCy提供给运算放大器132。类似地，TCO电路123解码微调信 号Tz，读取温度系数值TCz，并且将温度系数值TCz提供给运算放 大器133。
运算放大器131 — 133中每一个都含有第一输入端、第二输入端、 和输出端。保持输入信号Vin的输入电容器141连接在运算放大器131 - 133中每一个的第一输入端与C-V转换电路110之间。将TCO电 路121生成的温度系数值TCx提供给运算放大器131的第二输入端。 将TCO电路122生成的温度系数值TCy提供给运算放大器132的第 二输入端。将TCO电路123生成的温度系数值TCz提供给运算放大 器133的第二输入端。反馈电容器151连接在运算放大器131的第一 输入端与输出端之间。反馈电容器152连接在运算放大器132的第一 输入端与输出端之间。反馈电容器153连接在运算放大器133的第一 输入端与输出端之间。
运算放大器131计算输入信号Vin (加速度值Ax)与温度系数 值TCx(参考电压）之间的差值。然后，运算放大器131放大该差值， 生成加速度信号Xout。更具体地说，运算放大器131利用温度系数值 TCx校正加速度值Ax,生成X轴方向的加速度信号Xout。同样，运 算放大器132利用温度系数值TCy校正加速度值Ay，生成Y轴方向 的加速度信号Yout。运算放大器133利用温度系数值TCz校正加速 度值Az，生成Z轴方向的加速度信号Zout。
如上所述，传统传感器单元100利用由三个TCO电路121 - 123 分别提供的相应温度系数值TCx、 TCy、和TCz校正X轴、Y轴、 和Z轴方向的加速度值，补偿加速度1的偏移温度特性。
传统传感器单元100需要三个TCO电路121 - 123分别获取温 度系数值TCx、 TCy、和TCz。如上所述，TCO电路121 - 123中每 一个都包括解码器和寄存器。因此，每个TCO电路占据相对较大的 电路区。其结果是，三个TCO电路121-123占据在传感器单元100 的芯片上提供的极大电路区。这增大了安装传感器单元100的ASIC (专用集成电路）的芯片尺寸，最终增加了芯片成本。
近来的加速度计要求以较低成本制造。降低成本的一种方式是减 小传感器单元的芯片尺寸。因此，较小的传感器单元是有利的。
附图说明
通过结合附图对本发明的当前优选实施例进行如下描述，本发明
以及它的目的和优点将得到最好理解，在附图中：
图1A是与三轴加速度连接的传统传感器单元的示意性电路图； 图1B是如图1A所示的C-V转换电路生成的输入信号（X轴、
Y轴、和Z轴方向的加速度值）的波形图；
图2是按照本发明实施例的与三轴加速度连接的传感器单元的
示意性电路图；
图3A是包含在图2的传感器单元中的TCO电路的解码器的框
图；
图3B是图2的传感器单元的TCO电路中的寄存器的示意性框
图；
图4是图2的传感器单元的信号的波形图；
图5是切换到传感器单元读取沿着Z轴方向的加速度的状态的 图2的传感器单元的示意性电路图；
图6是切换到传感器单元读取用于校正沿着X轴方向的加速度 的温度系数值的状态的图2的传感器单元的示意性电路图；
图7是切换到传感器单元读取沿着X轴方向的加速度的状态的 图2的传感器单元的示意性电路图；
图8是切换到传感器单元读取用于校正沿着Y轴方向的加速度 的温度系数值的状态的图2的传感器单元的示意性电路图；
图9是切换到传感器单元读取沿着Y轴方向的加速度的状态的 图2的传感器单元的示意性电路图；
图IO是切换到传感器单元读取用于校正沿着Z轴方向的加速度 的温度系数值的状态的图2的传感器单元的示意性电路图；
图ll是示出在如图6所示的开关状态下寄存器生成的校正信号的温度特性的曲线图；
图12是示出在如图8所示的开关状态下寄存器生成的校正信号 的温度特性的曲线图；
图13是示出在如图IO所示的开关状态下寄存器生成的校正信号 的温度特性的曲线图；和
图14是图4的波形图的另一个视图。

本发明提供了具有缩小芯片尺寸的三轴加速度计的传感器单元。 本发明的一个方面是与加速度计连接的传感器单元，其中加速度计检 测多个轴向的多个加速度值。传感器单元包括校正值生成电路，用于 依次生成分别校正多个加速度值的多个校正值。校正电路与校正值生 成电路连接。校正电路从校正值生成电路接收多个校正值，并且利用 多个校正值依次校正多个加速度值，以生成多个校正加速度值。
通过结合通过例子例示本发明原理的附图进行如下详细描述，本 发明的其它方面和优点将变得显而易见。
现在参照附图描述按照本发明实施例的传感器单元10。
图2是传感器单元10的示意性电路图。将相似或相同的标号赋
予与如图1所示的那些相同或类似的部件。该优选实施例的传感器单
元10与三轴加速度计1连接。三轴加速度计1检测X轴、Y轴、和 Z轴的加速度值Ax、 Ay、和Az作为电容值。
传感器单元10包括电容-电压（C-V)转换电路110、偏移温度 系数（TCO)电路12、和输出电路（校正电路）14。输出电路14与 C-V转换电路110和TCO电路12连接。C-V转换电路110从三轴加 速度计1接收加速度的检测指示（电容值），并且将电容值转换成电 压值，生成输入信号Vin (参见图1B)。
TCO电路12接收微调信号Tx、 Ty、和Tz以及时钟信号CKx、 CKy、和CKz,生成校正三轴加速度计1的温度特性的校正信号Vtco。 在优选实施例中，TCO电路12通过改变校正信号Vtco的电压电平， 生成温度系数值（校正值）TCx、 TCy、和TCz (参照图4)。温度 系数值TCx、 TCy、和TCz用于分别校正加速度值Ax、 Ay、和Az。 输出电路14包括第一到第三开关电容器（SC )电路21 - 23和 第一到第三运算放大器（放大器电路）31-33。第一到第三运算放大 器31 - 33与第一到第三SC电路21 - 23协作进行输出处理。第一到 第三运算放大器31-33具有相同结构。并且，第一到第三SC电路 21-23也具有相同结构。因此，只描述第一 SC电路21的结构、第 一运算放大器31的结构、和第一 SC电路21与第一运算放大器31的 连接。
第一SC电路21包括开关41-47、输入电容器48、和反馈电容 器49。开关41含有与TCO电路的输出端连接的第一端、与输入电容 器35的第一电极连接的第二端。输入电容器35的第二电极与C-V转 换电路110的输出端连接。开关42含有与开关41的第二端连接的第 一端、与第一运算放大器31的第一输入端连接的第二端。开关43含 有与开关41的第一端连接的第一端、与第一运算放大器31的第二输 入端和第一电容器48的第一电极连接的第二端。输入电容器48的笫 二电极接地。开关44含有与开关42的第二端连接的第一端、与反馈 电容器49的第一电极连接的第二端。开关45含有与开关44的第二 端连接的第一端、与开关41的第一端（即，TCO电路12)连接的第 二端。开关46含有与反馈电容器49的第二电极连接的第一端、与开 关45的第二端（即，TCO电路12)连接的第二端。开关47含有与 开关46的第一端连接的第一端、与第一运算放大器31的输出端连接 的第二端。反馈电容器50连接在第一运算放大器31的第一输入端与 输出端之间。
根据由TCO电路12作为重置信号sl提供的第一脉沖<|)1接通开 关41、 43、 45、和46。根据由TCO电路12作为采样信号s2提供的 第二脉冲小2接通开关42、 44、和47。第一和第二脉冲<|>1和小2被生成 具有不同的相位。具体地说，第二脉沖(J)2在第一脉沖(|)1下降之后的 几纳秒之后上升（参照图14)。第二脉沖<|)2具有大于第一脉冲(|>1的
脉沖宽度。
在第 一重置相位RP1的时段期间，根据第 一脉冲小l接通开关41 、
43、 45、和46。在这个时段期间，开关42、 44、和47是断开的。将 具有与X轴方向的加速度值Ax相对应的电压电平的输入信号Vin(参 照图1B)施加于与C-V转换电路110连接的输入电容器35的第二电 极。并且，TCO电路12生成具有与温度系数值TCx相对应的电压电 平的校正信号Vtco，并且在整个第一重置相位RP1上都保持电压
(TCx)(参照图4)。其结果是，将与温度系数值TCx相对应的电 压施加于输入电容器35的第一电极、输入电容器48的第一电极、以 及反馈电容器49的第一和第二电极。于是，输入电容器35累积与加 速度值Ax相对应的电荷，输入电容器48累积与温度系数值TCx相 对应的电荷。通过校正信号Vtco重置反馈电容器49的第一与第二电 极之间的电位。
在第一采样相位SP1的时段期间，根据第二脉冲(|)2接通开关42、
44、 和47。在这个时段期间，开关41、 43、 45、和46是断开的。如 图4所示，第一采样相位SP1接在第一重置相位RP1之后。在第一 采样相位SP1的时段期间，根据累积在输入电容器35中的电荷将与 加速度值Ax相对应的电压施加于运算放大器31的第一输入端。根据 累积在输入电容器48中的电荷将与温度系数值TCx对应的电压施加 于第一运算放大器31的第二输入端。并且，反馈电容器49和50并 联在第一运算放大器31的第一输入端与第二输入端之间。第一运算 放大器31计算提供给它的第一输入端的加速度值Ax (输入电压）与 提供给它的第二输入端的温度系数值TCx (参考电压）之间的差值。 然后，第一运算放大器31放大该差值，生成X轴方向的加速度信号 Xout (校正后的加速度值）。换句话说，第一运算放大器31利用温 度系数值TCx校正X轴方向的加速度值Ax。
在第一保持相位HP1的时段期间，开关41-47都断开。第一保 持相位HP1接在第一采样相位SP1之后。第一运算放大器31在整个 笫一保持相位HPl保持加速度信号Xout。这样，第一运算放大器31
与第一SC电路21协作重复第一重置相位RP1、第一采样相位SP1、 和笫一保持相位HP1的输出循环，并且校正X轴方向的加速度值Ax。 第二SC电路22包括开关51-57、输入电容器58、和反馈电容 器59。第二运算放大器32与第二SC电路22之间的连接与第一运算 放大器31与第一SC电路21之间的连接一致，因此，不再作详细描 述。
根据由TCO电路12作为重置信号s3提供的第三脉冲(J)3接通开 关51、 53、 55、和56。根据由TCO电路12作为采样信号s4提供的 第四脉冲(j)4接通开关52、 54、和57。第三和第四脉冲小3和(|>4被生成 具有不同的相位。具体地说，第四脉冲<|)4在第三脉冲命3下降之后的 几纳秒之后上升。第四脉冲(H具有大于第三脉冲(J)3的脉冲宽度。
在笫二重置相位RP2的时段期间，根据第三脉冲(I)3接通开关51、
53、 55、和56。在这个时段期间，开关52、 54、和57是断开的。如 图4所示，第二重置相位RP2接在第一采样相位SP1之后并与第一 保持相位HP1重叠。在笫二重置相位RP2的时段期间，将具有与Y 轴方向的加速度值Ay相对应的电压电平的输入信号Vin(参照图1B ) 施加于与C-V转换电路110连接的输入电容器35的笫二电极。TCO 电路12生成具有与温度系数值TCy相对应的电压电平的校正信号 Vtco，并且在整个第二重置相位RP2上都保持电压（TCy)(参照图 4)。其结果是，将与温度系数值TCy相对应的电压施加于输入电容 器35的第一电极、输入电容器58的第一电极、以及反馈电容器59 的第一和第二电极。于是，输入电容器35累积与加速度值Ay相对应 的电荷，输入电容器58累积与温度系数值TCy相对应的电荷。并且， 通过校正信号Vtco重置反馈电容器59的笫一与第二电极之间的电 位。
在笫二采样相位SP2的时段期间，根据第四脉冲(H接通开关52、
54、 和57。在这个时段期间，开关51、 53、 55、和56是断开的。如 图4所示，第二采样相位SP2接在第二重置相位RP2之后。在第二 采样相位SP2的时段期间，根据累积在输入电容器35中的电荷将与
加速度值Ay相对应的电压施加于第二运算放大器32的第一输入端。 并且，根据累积在输入电容器58中的电荷将与温度系数值TCy对应 的电压施加于第二运算放大器32的第二输入端。反馈电容器59和60 并联在第二运算放大器32的第一输入端与第二输入端之间。第二运 算放大器32计算提供给它的第一输入端的加速度值Ay (输入电压） 与提供给它的第二输入端的温度系数值TCy(参考电压）之间的差值。 然后，第二运算放大器32放大该差值，生成Y轴方向的加速度信号 Yout (校正后的加速度值）。换句话说，第二运算放大器32利用温 度系数值TCy校正Y轴方向的加速度值Ay。
在第二保持相位HP2的时段期间，开关51-57都断开。第二保 持相位HP2接在第二采样相位SP2之后。第二运算放大器32在整个 第二保持相位HP2上保持加速度信号Yout。这样，第二运算放大器 32与第二 SC电路22协作重复第二重置相位RP2、第二釆样相位SP2、 和第二保持相位HP2的输出循环，并且校正Y轴方向的加速度值Ay。
第三SC电路23包括开关61-67、输入电容器68、和反馈电容 器69。第三运算放大器33与第三SC电路23之间的连接与第一运算 放大器31与第一SC电路21之间的连接相同，因此，不再作详细描 述。
根据由TCO电路12作为重置信号s5提供的第五脉沖(J)5接通开 关61、 63、 65、和66。根据由TCO电路12作为采样信号s6提供的 第六脉冲(j)6接通开关62、 64、和67。第五和第六脉冲小5和小6被生成 具有不同的相位。具体地说，第六脉冲小6在第五脉冲())5下降之后的 几纳秒之后上升。第六脉冲(|)6具有大于第五脉冲(|)5的脉冲宽度。
在笫三重置相位RP3的时段期间，根据第五脉冲(I)5接通开关61、 63、 65、和66。在这个时段期间，开关62、 64、和67是断开的。如 图4所示，第三重置相位RP3接在第二采样相位SP2之后并与第一 和第二保持相位HP1和HP2重叠。在第三重置相位RP3的时段期间， 将具有与Z轴方向的加速度值Az相对应的电压电平的输入信号Vin (参照图1B)施加于与C-V转换电路110连接的输入电容器35的第二电极。TCO电路12生成具有与温度系数值TCz相对应的电压电平 的校正信号Vtco，并且在整个第三重置相位RP3都保持电压（TCz) (参照图4)。其结果是，将与温度系数值TCz相对应的电压施加于 输入电容器35的第一电极、输入电容器68的第一电极、和反馈电容 器69的第一和第二电极。于是，输入电容器35累积与加速度值Az 相对应的电荷，输入电容器68累积与温度系数值TCz相对应的电荷。 并且，通过校正信号Vtco重置反馈电容器69的第一与第二电极之间 的电位。
在第三采样相位SP3的时段期间，根据第六脉冲(|)6接通开关62、 64、和67。在这个时段期间，开关61、 63、 65、和66是断开的。如 图4所示，第三采样相位SP3接在第三重置相位RP3之后。在第三 采样相位SP3的时段期间，根据累积在输入电容器35中的电荷将与 加速度值Az相对应的电压施加于第三运算放大器33的第一输入端。 并且，根据累积在输入电容器68中的电荷将与温度系数值TCz对应 的电压施加于第三运算放大器33的第二输入端。反馈电容器69和70 并联在第三运算放大器33的第一输入端与第二输入端之间。第三运 算放大器33计算提供给它的第一输入端的加速度值Az (输入电压） 与提供给它的第二输入端的温度系数值TCz(参考电压）之间的差值。 然后，第三运算放大器33放大该差值，生成Z轴方向的加速度信号 Zout (校正后的加速度值）。换句话说，第三运算放大器33利用温 度系数值TCz校正Z轴方向的加速度值Az。
在第三保持相位HP3的时段期间，开关61-67都断开。第三保 持相位HP3接在第三采样相位SP3之后。第三运算放大器33在整个 第三保持相位HP3上保持加速度信号Zout。这样，第三运算放大器 33与第三SC电路23协作重复第三重置相位RP3、第三采样相位SP3 、 和第三保持相位HP3的输出循环，并且校正Z轴方向的加速度值Az。
现在参照图3A和3B描述TCO电路12的具体结构。图3A是 包含在TCO电路12中的解码器72 (控制电路）的示意性框图。图 3B是包含在TCO电路12中的寄存器74的示意性框图。 参照图3A，将用于设置温度系数值TCx、 TCy、和TCz的微调 信号Tx、 Ty、和Tz提供给解码器72。进一步将时钟信号CKx、 CKy、 和CKz提供给解码器72，以依次生成根据微调信号Tx、 Ty、和Tz 设置的温度系数值TCx、 TCy、和TCz。解码器72根据微调信号Tx、 Ty、和Tz、以及时钟信号CKx、 CKy、和CKz,生成重置信号sl、 s3、和s5 (脉沖cj)l、 （j)3、和々5)、采样信号s2、 s4、和s6 (脉冲小2、 (H、和(J)6)、和开关控制信号sll-s18。
详细地说，如图4所示，解码器72响应时钟信号CKx的上升和 时钟信号CKz的下降，在定时tl使重置信号s5 (令5 )下降并使采样 信号s6 ((|)6)上升。解码器72然后生成具有与第三采样相位SP3相 对应的脉沖宽度的第六脉冲(()6,并且在定时t2使重置信号sl (小l) 上升。
在定时t3，解码器72响应时钟信号CKx的下降和时钟信号CKy 的上升，使重置信号sl (小l)下降并使采样信号s2 (小2)上升。重置
信号sl ((j)l)的脉冲宽度对应于第一重置相位RP1。随后，解码器 72生成具有与第一釆样相位SP1相对应的脉冲宽度的第二脉冲(|)2， 并且在定时t4使重置信号s3 (小3 )上升。
在定时t5，解码器72响应时钟信号CKy的下降和时钟信号CKz 的上升，使重置信号s3 (小3)下降并使采样信号s4((j)4)上升。重置 信号s3 (小3)的脉沖宽度对应于第二重置相位RP2。随后，解码器 72生成具有与第二采样相位SP2相对应的脉冲宽度的第四脉冲令4, 并且在定时t6使重置信号s5 (小5 )上升。
在定时t7，解码器72响应时钟信号CKz的下降和时钟信号CKx 的上升，使重置信号s5 (小5)下降并使采样信号s6 (小6)上升。重置 信号s5 (小5)的脉沖宽度对应于第三重置相位RP3。随后，解码器 72生成具有与第三采样相位SP3相对应的脉沖宽度的第六脉沖(|)6， 并且在定时t8使重置信号sl (命l)上升。如上所述，解码器72根据 时钟信号CKx、 CKy、和CKz中的每一个的逻辑状态，控制重置信 号sl、 s3、和s5、和采样信号s2、 s4、和s6。 并且，解码器72在时钟信号CKx具有高（H)电平时（在定时 tl到t3的时段期间），解码微调信号Tx，并且将指示解码结果的开 关控制信号sl1-sl8提供给寄存器74。同样，解码器72在时钟信号 CKy具有H电平时（在定时t3到t5的时段期间），将指示解码微调 信号Ty的结果的开关控制信号sll - s18提供给寄存器74，并且在时 钟信号CKz具有H电平时（在定时t5到t7的时段期间），将指示解 码微调信号Tz的结果的开关控制信号sll - s18提供给寄存器74。
如图3B所示，寄存器74包括电阻电路81a-81/和开关91-98。 电阻电路81a-81/串联在电源Vdd与地GND之间。最好地，电阻电 路81c、 81d、 81f、 81h、 81k、和81/中的每一个具有正电阻特性（在 图中指示成"+R，，），并且电阻电路81a、 81b、 81e、 81g、 81i、和81j 中的每一个具有负电阻特性（在图中指示成"-R，，）。在具有正电阻特 性的电阻电路中，阻值随温度升高而增大。在具有负电阻特性的电阻 电路中，阻值随温度升高而减小。
开关91-98分别与电阻电路81a、 81b、 81c、 81d、 81i、 81j、 81k、和81/并联。电阻电路81f和81g之间的连接点被定义成输出校 正信号Vtco的输出节点Nl。开关91 - 98响应解码器72 (图3A )提 供的开关控制信号sll-s18 (解码结果）接通和断开。于是，寄存器 74根据开关91-98的接通和断开状态，改变连接在电源Vdd与地 GND之间的电阻电路（正电阻电路和负电阻电路）的数量。这样就 改变了从TCO电路12 (即，节点N1)输出的校正信号Vtco的电压 电平。因此，可以依次生成温度系数值TCx、 TCy、和TCz。
现在参照图4-13描述传感器单元IO的操作。
图5是示出在笫三采样相位SP3 (例如，图4中的定时tl到t2 的间隔）传感器单元10的开关状态的电路图。图6是示出在第一重 置相位RP1 (例如，图4中的定时t2到t3的间隔）传感器单元10的 开关状态的电路图。
如图5和6所示，寄存器74在第三采样相位SP3和第一重置相 位RP1两者期间，响应开关控制信号sll — s18 (微调信号Tx的解码
结果）接通开关92、 93、 95、和96并断开开关91、 94、 97、和98。 寄存器74然后根据电阻电路81a、 81d-81h、 81k、和81/中的每一 个的阻值，生成用于提供校正系数值TCx的校正信号Vtco。如图11 所示，校正信号Vtco具有梯度为V1/T1 (其中VI和Tl两者都大于 O)的直线所指的第一温度特性。因此，寄存器74(即，TCO电路12) 可以生成与任何温度相对应的校正系数值TCx。
TCO电路12生成的校正系数值TCx在第一重置相位RPl(图6 ) 由第一SC电路21的输入电容器48保存。在第一重置相位RP1，输 入电容器35进一步保存C-V转换电路110提供的X轴方向的加速度 值Ax (图1B )。
图7是示出在第一采样相位SP1 (例如，图4中的定时t3到t4 的间隔）传感器单元10的开关状态的电路图。图8是示出在第二重 置相位RP2 (例如，图4中的定时t4到t5的间隔）传感器单元10的 开关状态的电路图。
如图7和8所示，寄存器74在第一采样相位SP1和第二重置相 位RP2两者内，响应开关控制信号s11-s18 (微调信号Ty的解码结 果）接通开关93 - 96并断开开关91、 92、 97、和98。寄存器74然 后根据电阻电路81a、 81b、 81e-81h、 81k、和81/中的每一个的阻 值，生成用于提供校正系数值TCy的校正信号Vtco。如图12所示， 校正信号Vtco具有梯度为V2/T1 (其中V2大于VI)的直线所指的 第二温度特性。因此，寄存器74(即，TCO电路12)可以生成与任 何温度相对应的校正系数值TCy。
如上所述，输入电容器35和48保存的加速度值Ax和校正系数 值TCx在第一采样相位SPl (图7)由第一运算放大器31读取。第 一运算放大器31然后进行校正和放大处理，生成X轴方向的加速度 信号Xout。第 一运算放大器31在整个第 一保持相位HP1上（参照图 4 )保持加速度信号Xout。
TCO电路12生成的校正系数值TCy在与第一保持相位HPl同 时开始的第二重置相位RP2 (图8 )由第二 SC电路22的输入电容器
58保存。如上所述，C-V转换电路110提供的Y轴方向的加速度值 Ay (图1B )在第二重置相位RP2期间由输入电容器35保存。
图9是示出在第二釆样相位SP2 (例如，图4中的定时t5到t6 的间隔）传感器单元10的开关状态的电路图。图IO是示出在第三重 置相位RP3(例如，图4中的定时t6到t7的间隔）传感器单元10的 开关状态的电路图。
如图9和10所示，寄存器74在第二采样相位SP2和第三重置 相位RP3两者期间，响应开关控制信号sll-s18 (微调信号Tz的解 码结果）接通开关91、 92、 97、和98并断开开关93 - 96。寄存器74 然后根据电阻电路81c-81j中的每一个的阻值，生成用于提供校正系 数值TCz的校正信号Vtco。如图13所示，校正信号Vtco具有梯度 为-V3/Tl (其中V3大于0)的直线所指的第三温度特性。因此，寄 存器74 (即，TCO电路12)可以生成与任何温度相对应的校正系数 值TCz。
如上所述，输入电容器35和58保存的加速度值Ay和校正系数 值TCy在第二采样相位SP2 (图9)由第二运算放大器32读取。第 二运算放大器32然后进行校正和放大处理，生成Y轴方向的加速度 信号Yout。第二运算放大器32在整个第二保持相位HP2(参照图4) 上保持加速度信号Yout。
TCO电路12生成的校正系数值TCz在与第二保持相位HP2同 时开始的第三重置相位RP3 (图10 )由第三SC电路23的输入电容 器68保存。如上所述，C-V转换电路110提供的Z轴方向的加速度 值Az (图1B)在第三重置相位RP3期间由输入电容器35保存。
输入电容器35和68保存的加速度值Az和校正系数值TCz在第 三采样相位SP3 (图5 )由第三运算放大器33读取。第三运算放大器 33然后进行校正和放大处理，生成Z轴方向的加速度信号Zout。第 三运算放大器33在整个第三保持相位HP3上（参照图4)保持加速 度信号Zout。
这样，传感器单元10的输出电路14在相应重置相位内，利用第
一到第三SC电路21 - 23读取由TCO电路12依次生成的校正系数值 TCx、 TCy、和TCz。输出电路14然后在相应采样相位期间，利用第 一到第三运算放大器31-33校正X轴、Y轴、和Z轴方向的加速度 值Ax、 Ay、和Az，并且在相应保持相位内保持校正后的信号（加速 度信号Xout、 Yout、和Zout)。于是，在本发明中，传感器单元IO 只需要一个TCO电路。
现在参照图14详细描述利用TCO电路12的时钟定时的特征。 将信号信号CKx用作一个例子。
对于如图14的左部所示的时钟定时，TCO电路12使重置信号 sl (脉沖())l)与时钟信号CKx的上升（定时tll)同步地上升。随后， TCO电路12使釆样信号s2 (脉冲(J)2 )在重置信号sl下降（定时t12 ) 之后的几纳秒之后上升，和使采样信号s2与时钟信号CKx的下降同 步地下降。如上所述，TCO电路12在时钟信号CKx具有H电平的 时候生成校正信号Vtco (在这种情况下，校正系数值TCx)。但是， 如图14所示，寄生电容可能延緩校正信号Vtco的上升。在这种情况 下，当在重置相位RP1读取时，校正信号Vtco的电平是不稳定的。 其结果是，输入电容器48可能得不到充分充电。
于是，在优选实施例中将时钟定时设置成如图14的右部（图4 的放大图）所示那样。更具体地说，TCO电路12使重置信号sl (脉 冲(j)l)在时钟信号CKx的电平达到稳定（H电平状态，定时tll)时 上升。TCO电路12然后使重置信号sl与时钟信号CKx的下降（定 时tl2)同步地下降。这样就能够在重置相位RP1读取具有稳定电平 的校正信号Vtco。其结果是，使输入电容器48得到充分充电。
优选实施例的传感器单元10具有如下所述的优点。
TCO电路12依次生成校正X轴、Y轴、和Z轴方向加速度值 Ax、 Ay、和Az的校正系数值TCx、 TCy、和TCz。输出电路14包 括第一到第三SC电路21-23以及第一到第三运算放大器31-33。 当输入电容器35保存加速度值Ax时，第一 SC电路21响应TCO电 路12的第一脉沖(()l (第一重置信号sl)保存校正系数值TCx。第一
SC电路21响应TCO电路12的第二脉冲小2 (第一采样信号s2 )，将 加速度值Ax和校正系数值TCx提供给第一运算放大器31。当输入电 容器35保存加速度值Ay时，第二 SC电路22响应TCO电路12的 第三脉冲(|)3 (第二重置信号s3 )保存校正系数值TCy。第二 SC电路 22响应TCO电路12的第四脉冲(H (第二采样信号s4)，将加速度 值Ay和校正系数值TCy提供给第二运算放大器32。当输入电容器 35保存加速度值Az时，第三SC电路23响应TCO电路12的第五脉 沖小5 (第三重置信号s5 )保存校正系数值TCz。第三SC电路23响 应TCO电路12的第六脉冲小6 (第三采样信号s6)，将加速度值Az 和校正系数值TCz提供给第三运算放大器33。于是，传感器单元IO 利用单个TCO电路12校正三轴加速度计1的输出（加速度值Ax、 Ay、 和Az)。
当这些值具有稳定电平（参照图14)时，第一到第三SC电路 21-23读取校正系数值TCx、 TCy、和TCz。这样就高精度地校正了 加速度值Ax、 Ay、 和Az。
对于本领域的普通技术人员来说，显而易见，本发明可以在不偏
离本发明的精神或范围的情况下以许多其它特定形式具体化。尤其， 应该明白，本发明可以以如下形式具体化。
本发明的传感器单元不局限于三轴加速度计，可以是，例如，二 轴加速度计。在这种情况下，传感器单元包括两个开关电容器电路和 两个运算放大器。
如有需要，可以改变包括在寄存器74中的电阻电路（正电阻电 路和负电阻电路）的数量和开关的数量。
当前的例子和实施例被认为是例示性的，而不是限制性的，本发 明不局限于本文给出的细节，而可以在所附权利要求书的范围和等效 物内加以《务改。