VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR SINTERUNG EINES OBJEKTES UNTER BESTIMMUNG DES GEOMETRISCHEN OBERFLÄCHENPROFILS DES OBJEKTES |
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| 申请号 | EP14154848.7 | 申请日 | 2009-05-19 | 公开(公告)号 | EP2733458B1 | 公开(公告)日 | 2018-10-24 |
| 申请人 | BAM Bundesanstalt für Materialforschung und -prüfung; | 发明人 | Marzok, Ulrich; Müller, Ralf; Schadrack, Reinhard; Krauhausen, Michael; | ||||
| 摘要 | |||||||
| 权利要求 | |||||||
| 说明书全文 | Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Sinterung eines Objektes, insbesondere von keramischen oder pulvermetallurgischen Bauteilen. Insbesondere erfolgt die Sinterung unter zeitlich aufgelöster Erfassung von Oberflächendaten sowie optional mittels Temperaturmessung in einem Hochtemperaturofen auf Grundlage optischer Messmethoden. Speziell können die Lasertriangulation zur Bestimmung der Geometrie des Objektes und die Pyrometrie zur Bestimmung der Verteilung der Oberflächentemperatur verwendet werden. Pulvermetallurgische und keramische Bauteile werden aus Ausgangspulvern zum großen Teil unter Zugabe von Wasser und organischen Hilfsstoffen geformt. Dabei kommen unterschiedlichste Formgebungsverfahren zum Einsatz. Nach dem Trocknen und Ausbrennen der Hilfsstoffe werden die porösen Formkörper, sogenannte Grünkörper, in einem anschließenden Brennprozess, dem Sintern, verdichtet und verfestigt. Je nach gewähltem Formgebungsverfahren, zum Beispiel Spritzguss oder 3D-Printing, können Formen komplexer Geometrie sowie auch heterogen aufgebaute Bauteile, zum Beispiel keramische Multilayer Substrate mittels Tape Casting, Siebdruck- und Laminierverfahren, hergestellt werden. Die Sinterung von Bauteilen wird insbesondere für sehr harte, verschleißfeste und temperaturbeständige Materialien angewendet, da hier andere Formgebungsverfahren sehr teuer und aufwendig sind. Die vielfältige Anwendung gesinterter Bauteile basiert neben ihren guten mechanischen und thermischen Eigenschaften auch auf der großen Vielfalt weiterer vorteilhafter Eigenschaften wie zum Beispiel der guten chemischen und Korrosionsbeständigkeit keramischer Werkstoffe, die auch eine gute Verträglichkeit mit lebendem Gewebe oder eine genau anpassbare Resorbierbarkeit von Knochenersatzmaterialien ermöglicht. Andere Anwendungen keramischer Werkstoffe resultieren aus ihren elektrischen Eigenschaften wie ihrer guten Isolation und speziellen ferro- oder dielektrischen Eigenschaften. Die große Breite einstellbarer Gefüge bzw. Eigenschaftskombinationen, die erreichbaren komplexen Bauteilgeometrien und die guten Kombinationsmöglichkeiten mit anderen Werkstoffen haben dazu geführt, dass keramische Werkstoffe oft eine Schlüsselrolle bei der Entwicklung neuer Produkte haben. Neben den klassischen Anwendungen keramischer Bauteile zum Beispiel als Heizelement, Isolator, Kugellager und als Dichtung kommen zunehmend auch medizinische Anwendungen, zum Beispiel als Ersatz für Knochen, Zähne und Gelenke, sowie Anwendungen in der Mikrosystemtechnik zum Tragen, wo keramische Werkstoffe den Aufbau komplexer Mehrlagenverdrahtungsträger mit vielfältigen integrierten Funktionalitäten ermöglichen. Solche Bauteile werden zum Beispiel zunehmend in der Automobilindustrie, der Informations- und der Medizintechnik eingesetzt. Insbesondere die modernen innovativen Anwendungen keramischer Werkstoffe stellen jedoch höchste Ansprüche an ihre Zuverlässigkeit - also die Streubreite der gewünschten Eigenschaften - sowie an die Präzision der Bauteilgeometrie. Bei gesinterten Bauteilen sind Form und Größe sowie die erreichbaren Werkstoffeigenschaften und ihre Streubreite, untrennbar mit den Verfahren zu ihrer Herstellung verbunden. Es ist daher für die Güte des Endproduktes entscheidend, diese Prozesse so präzise wie möglich zu steuern. Diese Steuerung ist damit eine wesentliche Voraussetzung für die Markteinführung keramischer Bauteile und beeinflusst den heutigen technologischen Fortschritt auf entscheidende Weise. Insbesondere bei Grünkörpern inhomogener Porosität, komplexer Geometrie oder mit heterogenem stofflichien Aufbau kann es zu lokalen Unterschieden bei des Verdichtung kommen. Das gesinterte Bauteil weicht dann nicht nur bzgl. der Größe sondern auch hinsichtlich seiner Form vom Grünkörper ab. Um solche Effekte zu korrigieren, werden heute zunehmend 3D-Sintersimulationstools, z.B. auf Basis von Finite Elemente Methoden, eingesetzt, um das 3D-Sinterverhalten vorherzusagen. Die gewonnenen Erkenntnisse können dann zum Beispiel dazu genutzt werden, die Form des Grünkörpers so einzustellen, das das gesinterte Bauteil die gewünschte Form annimmt. Daneben kann es bei Grünkörpern inhomogener Porosität, komplexer Geometrie oder mit heterogenem stofflichen Aufbau auch zu temporären lokalen Unterschieden bei der Verdichtung kommen, die nicht an der Form des gebrannten Bauteils erkennbar sein müssen. So kann es zum Beispiel beim Sintern eines mehrlagigen Folienverbundes durch den unterschiedlichen Schrumpf zu vorübergehenden Verbiegungen kommen. Solche temporären Verwerfungen während des Sinterns oder auch nur die Ausbildung von Spannungen im Sinterkörper können später Gefüge-Inhomogenitäten wie zum Beispiel die Bildung von Fehlstellen im gebrannten Bauteil verursachen und so zum Bruch oder zu anderweitigem Versagen des Bauteils führen. Die steigenden Anforderungen an die Präzision und Zuverlässigkeit gesinterter Bauteile machen daher neuartige Methoden zur prozessintegrierten bzw. In-situ-Steuerung des Sinterprozesses dringend notwendig, die auch geringste und komplexe Formänderungen sowie lokale Temperaturunterschiede auf der Oberfläche während der Sinterung präzise, d.h. bis in den µm-Bereich, erfassen können. Diese Informationen können dann zur Optimierung der Formkörperherstellung, zur Bewertung und Entwicklung von 3D-Sintersimulationstools oder zur Steuerung des Sinterprozesses selbst verwendet werden. Im Regelfall laufen industrielle Sinterprozesse jedoch bislang ohne eine In-situ-Kontrolle der Schwindung ab, sie erfolgt nachträglich. Lediglich einzelne Messgrößen wie die Temperatur werden im Ofeninnenraum gemessen, ausgewertet oder als Steuergröße verwendet. Auch die Bewertung und Optimierung von 3D-Simulationstools, die ja den gesamten Sinterprozess vorhersagen können, basiert derzeit noch auf den messbaren Eigenschaften des fertig oder partiell gesinterten Bauteils. Zur In-situ-Kontrolle der Schwindung ist in der Forschung die Anwendung von optischen Schattenrissverfahren mittels Erhitzungsmikroskop und Bildauswertung bekannt, siehe zum Beispiel Im Zusammenhang mit anderen technischen, außerhalb der Sintertechnologie gelegenen Aufgabenstellungen sind berührungslose optische Verfahren zur In-situ-Erfassung der dreidimensionalen Geometrie von Körpern auch bei hohen Temperaturen bekannt. Diese beruhen auf dem Verfahren der Triangulation. Dabei wird meist ein Laser als Lichtquelle verwendet. Ein elektronischer Bildwandler, zumeist eine CCD-Kamera, registriert dann das gestreute Licht. Bei Raumtemperatur sind Anordnungen bekannt, bei denen gleichzeitig das Messobjekt gedreht und der optische Sensor linear über dem Messobjekt verschoben wird. So beschreibt Jedoch gibt es bisher keine Möglichkeit zur direkten und hinreichend genauen quantitativen Erfassung von zwei- oder dreidimensionalen Oberflächenprofilen des Objektes und diesbezüglicher Änderungen während des Sinterprozesses bei hohen Temperaturen. Für die Kontrolle und Steuerung der Sinterung keramischer und pulvermetallurgischer Bauteile in einem Hochtemperaturofen gibt es noch kein Verfahren, das eine direkt zwei- oder dreidimensionale Formerkennung und Formanalyse während des Heizprozesses beinhaltet. Daher ist es Aufgabe der Erfindung, eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Sinterung keramischer und pulvermetallurgischer Bauteile anzugeben, mit der genaue Messungen von Oberflächenprofilen von sinternden Objekten durchgeführt werden können, bei denen die thermischen Verhältnisse im Ofen nur minimal beeinflusst werden. Die Erfindung betrifft ein Verfahren gemäß Anspruch 1 und eine Vorrichtung gemäß Anspruch 12 zur kontrollierten Sinterung von Bauteilen, das auf der zeitlich aufgelösten Messung von Oberflächenprofilen bzw. daraus abgeleiteter Formmerkmalen beruht, welche aus dem direkt von der Probe gestreuten Licht gewonnen werden . Demzufolge kann während der Sinterung jeder Oberflächenpunkt in seiner Lage und seiner Temperatur vermessen werden und durch aufeinander folgende Messungen eine Veränderung festgestellt werden. Optional kann ferner die Temperatur der Oberfläche bestimmt werden. Die gemessene Veränderung erlaubt zudem eine Steuerung des Sinterregimes und/oder des zeitlichen Verlaufs der Temperaturverteilung über die gezielte Ansteuerung verschiedener Heizzonen. Es wird demzufolge ein Verfahren zur Sinterung eines Objektes vorgeschlagen, umfassend die Schritte: Einbringen des Objektes in einen Hochtemperaturofen; Erhitzen des Ofens; Erstellen eines Oberflächenprofils mindestens eines Teilbereiches des Objektes mittels: Bestrahlen des Objektes mit Licht einer Lichtquelle; Detektieren des vom Objekt gestreuten Lichtes mit einem Detektor; Bestimmen des geometrischen Oberflächenprofils aus dem detektierten Licht. Während des Erstellens des geometrischen Oberflächenprofils kann optional gleichzeitig das thermische Oberflächenprofil mindestens eines Teilbereiches des Objektes bestimmt. Ferner können Sinterparameter auf Basis der erhaltenen geometrischen und/oder thermischen Oberflächenprofile des Objektes gesteuert werden. Unter geometrischen Oberflächenprofil werden im Folgenden zwei- oder dreidimensionalen Daten der Geometrie oder der Form der Oberfläche verstanden. Bevorzugt wird die optische Lasertriangulation zur Bestimmung der Geometrie und die Pyrometrie zur Bestimmung der Verteilung der Oberflächentemperatur eingesetzt, d.h. das Strahlungsthermometer ist bevorzugt ein optisches Pyrometer. Das zu sinternde Objekt ist ein keramisches oder pulvermetallurgisches Objekt. Die Menge der Sinterparameter umfasst: die lokale und globale Temperatur im Ofen, die globale Heizrate im gesamten Ofen, die lokale Heizrate einzelner Heizzonen im Ofen und die Zeitdauer einzelner Sinterungsschritte. Eine Steuer- und Auswerteeinheit berechnet bevorzugt aus den gemessenen geometrischen und/oder thermischen Daten das geometrische und/oder thermische Oberflächenprofil des Objektes. Zwischen aufeinander folgenden Bestimmungen des geometrischen und/oder thermischen Oberflächenprofils mindestens eines Teilbereiches des Objektes werden bevorzugt Veränderungen zwischen der Oberflächenprofilen bestimmt, auf deren Basis Sinterparameter gesteuert werden. Dies ermöglicht die Feststellung von Unregelmäßigkeiten während der Sinterung und ein darauf durchgeführtes Anpassen der Sinterparameter oder einen Abbruch des Verfahrens. Die geometrischen Veränderungen umfassen vorteilhafterweise Schwindungen bzw. Schrumpfungen, die bei der Sinterung oft auftreten. Die Schwindungen des Objektes können aus der Verfolgung und Abstandsbestimmung zwischen vorbestimmten Punkten des Objektes aus zeitlich nacheinander erfolgenden Erfassungen des geometrischen Oberflächenprofils bestimmt werden. Ferner kann das Verfahren umfassen: Bestimmung von Kenngrößen zur Formerkennung und Temperaturverteilung aus den gemessenen geometrischen und thermischen Oberflächenprofilen des Objektes, Durchführung eines Soll/Ist-Vergleiches der gemessenen Werte der Kenngrößen mit vorbestimmten Werten; Korrektur der Sinterparameter, wenn eine Abweichung der gemessenen Werte der Kenngrößen von vorbestimmten Werten größer ist als ein erster vordefinierten Schwellenwert; Fortführung der Bestimmung der geometrischen und thermischen Oberflächenprofile des Objektes und der Kenngrößen solange der Sinterungsprozess noch nicht abgeschlossen ist. Es kann auch ein Abbruch des Sintervorganges bei einer Abweichung der gemessenen Werte der Kenngrößen von vorbestimmten Werten, die größer ist als ein zweiter vordefinierten Schwellenwert, vorgesehen sein. Die Kenngrößen umfassen verschiedene Schwindungsmaße, wie z.B. die laterale und axiale Schwindung, geometrische Abweichungen und Temperaturunterschiede. Die Kenngrößen können die kleinsten und die größten gemessenen Temperaturwerte umfassen. Der Winkel zwischen Lichtquelle und Detektor ist bevorzugt konstant, wodurch eine sehr genaue Messung erreicht wird. Bevorzugt werden in einem Ausführungsbeispiel Lichtquelle und Detektor und/oder das Strahlungsthermometer über das Objekt bewegt. Noch bevorzugter werden Strahlungsthermometer sowie Lichtquelle und Detektor zusammen über das Objekt bewegt. Das Verfahren läuft bevorzugt derart ab, dass zunächst das Erstellen des geometrischen und/oder des thermischen Oberflächenprofils durch einen Spalt in der Wandung des Ofens erfolgt. Strahlungsthermometer, Lichtquelle und Detektor werden in lateraler Richtung entlang des Spaltes über das Objekt geführt. Gleichzeitig wird das Objekt im Ofen gedreht, wobei lineare und rotierende Bewegung synchronisiert erfolgen. Die lineare Bewegung kann durch ein Mittel zur linearen Positionierung erfolgen, welches entlang des Spaltes verschiebbar ausgebildet ist und an dem Lichtquelle, Detektor und Strahlungsthermometer in Bewegungsrichtung hintereinander angeordnet sind. Die rotierende Bewegung erfolgt mittels eines Drehtellers, auf dem das Objekt angeordnet ist. Ein Translationsschritt entlang des Spaltes erfolgt bevorzugt nach einer vollständigen Rotation des Objektes. Lichtquelle, Detektor und Strahlungsthermometer können bevorzugt von einem äußeren Punkt des Drehtellers bis zum Rotationsmittelpunkt des Drehtellers bewegt werden. Dies ermöglicht die Neujustierung des Nullpunktes der Messung in z-Richtung, da auch die Oberfläche des Drehtellers mit vermessen wird. Lichtquelle und Detektor sind durch einen Lasertriangulationssensor realisiert, der eine Laserlichtlinie auf die Oberfläche des Objektes abbildet und das von der Linie gestreute Licht in einem positionsempfindlichen Detektor detektiert. Erfindungsgemäß umfasst der Schritt des Bestrahlens mit Licht ein Aufweiten des Lichtstrahls der Lichtquelle zu einer Linie. Dadurch kann die lineare Bewegung entlang des Spaltes entfallen. Ferner kann in einem anderen Ausführungsbeispiel die Lichtquelle ein Projektor sein, der ein zweidimensionales Muster auf die Oberfläche des Objektes projiziert. Der Detektor kann durch mindestens eine Kamera realisiert sein, die das projizierte Muster aufnimmt. Das Verfahren umfasst dann ferner den Schritt des Bestimmens der Differenz zwischen projizierten und aufgenommenen Mustern. Erfindungsgemäß ist ferner eine Vorrichtung zur Steuerung der Sinterung eines Objektes angegeben, umfassend: einen Hochtemperaturofen, in dem das Objekt aufgenommen und erhitzt wird, wobei in der Wandung des Ofens mindestens eine Öffnung ausgebildet ist; eine Lichtquelle und einen Detektor zur Detektion des von der Oberfläche gestreuten Lichtes, wobei Lichtquelle und Detektor derart im Außenbereich des Ofens angeordnet sind, dass durch die Öffnung das Oberflächenprofil des Objektes bestimmbar ist. Ferner kann optional ein Mittel zur Bestimmung des thermischen Oberflächenprofils mindestens eines Teilbereiches des Objektes im Ofen vorgesehen sein. Bevorzugt ist das Mittel zur Bestimmung des thermischen Oberflächenprofils ein Strahlungsthermometer. Ferner kann in einem weiteren Ausführungsbeispiel eine Auswerte- und Steuereinheit zur Auswertung der gemessenen geometrischen vorgesehen sein. Bevorzugt dient die Auswerte- und Steuereinheit auch zur Steuerung von Sinterparametern auf Basis dieser geometrischen und thermischen Daten. Das Objekt ist bevorzugt ein keramisches oder pulvermetallurgisches Objekt. Die Menge der steuerbaren Sinterparameter kann die lokale und globale Temperatur im Ofen, die globale Heizrate im gesamten Ofen, die lokale Heizrate einzelner Heizzonen im Ofen, und die Zeitdauer einzelner Sinterungsschritte umfassen. Die Steuer- und Auswerteeinheit kann Schwindungsmaße, geometrische Abweichungen und/oder Temperaturunterschiede bestimmen, in deren Abhängigkeit die Sinterung gesteuert wird. Der Winkel zwischen Lichtstrahl der Lichtquelle und optischer Achse des Lichtdetektors kann konstant sein, wodurch eine hohe Genauigkeit erreicht werden kann. Das Strahlungsthermometer kann ein optisches Pyrometer sein. Die Öffnung kann ein Spalt sein, Strahlungsthermometer, Lichtquelle und Detektor können an einem Mittel zur linearen Positionierung entlang des Spaltes verschiebbar angeordnet sein und im Ofen kann ein Mittel zur Rotation des Objektes derart ausgebildet sein, dass die Bewegung von Mittel zur linearen Positionierung und Mittel zur Rotation des Objektes synchronisiert erfolgt. Strahlungsthermometer, Lichtquelle und Detektor können in Bewegungsrichtung hintereinander am Mittel zur linearen Positionierung angeordnet sein. Das Mittel zur Rotation des Objektes ist ein mit Motor angetriebener Drehteller. Der Spalt kann mit einer temperaturbeständigen Scheibe abgedeckt sein, die das Licht der Lichtquelle ungehindert passieren lässt und für das Strahlungsthermometer transparent ist. In einem ersten Ausführungsbeispiel können Lichtquelle und Detektor durch einen Lasertriangulationssensor realisiert sein, wobei die Strahlungsintensität des Lasers die des Objektes während der Sinterung übertrifft. In einem anderen Ausführungsbeispiel kann die Lichtquelle ein Projektor sein, der ein zweidimensionales Muster auf die Oberfläche des Objektes projiziert und der Detektor kann mindestens eine Kamera sein, die das projizierte Muster aufnimmt. Erfindungsgemäß wird ein Lichtstrahl der Lichtquelle zu einer Linie aufgeweitet und sind Lichtquelle und Detektor als Lichtschnittsensor ausgebildet. Die hohe Genauigkeit der Bestimmung des Oberflächenprofils wird durch einen kleinen Messfleck der Lichtquelle, bevorzugt des Lasers, und einen kleinen Abstandsmessbereich - beides verbunden mit einer gewissen Nähe des Sensors zur Probe - sowie die Synchronisation der Relativbewegung zur Probe erreicht. Der Triangulationssensor wird direkt über dem Spalt in der Wandung des Ofens angeordnet. Hauptanwendung sind zunächst Multilayer-Substrate aus Folien, an denen die Vorteile eines kontrollierten Sinterns nachgewiesen werden sollen. Mit dem Verfahren und der Messanordnung kann erstmals ein Sinterprozess keramischer Bauteile unmittelbar verfolgt, kontrolliert und gesteuert werden. Dazu werden über die gesamte Prozessdauer die 3D-Daten und die Temperaturverteilung der Objektoberfläche aufgezeichnet. Eine spezielle Lösung dieser Aufgabe besteht darin, dass mit einem außerhalb des Ofens über einem sehr schmalen Spalt in der Ofendecke angeordneten Laser-Wegsensor oder Lasertriangulationssensor das Profil eines im Ofeninnenraum auf einem Drehteller befindlichen keramischen Messobjektes gemessen wird. Dieser Ansatz erfüllt vorteilhafterweise weitgehend die thermischen Anforderungen der Messaufgabe und ermöglicht eine große Messfläche bei einer sehr kleinen Sichtfläche. Es werden sofort Fehlerereignisse, wie zum Beispiel die Verformung des Bauteils oder zu große Temperaturdifferenzen, erkannt. Der Sinterprozess kann in diesem Fall abgebrochen oder verlangsamt werden. Durch die permanente Aufzeichnung der Geometrie- und Temperaturdaten kann man zudem Rückschlüsse auf Fehlerursachen ziehen und somit den Ablauf des Sinterprozesses aber auch die vorangehende Herstellungstechnologie verbessern. Aus den Geometriedaten werden dem Ofenbetreiber und Bauteilhersteller interessierende Schwindungsparameter - bei dünnen keramischen Folien die laterale und axiale Schwindungen - Damit lässt sich insbesondere die Heizungssteuerung in kritischen Temperaturbereichen optimieren. Im Folgenden wird die Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen unter Verwendung von Zeichnungen näher illustriert. Es zeigen:
Der im folgende verwandte Begriff "geometrisches Oberflächenprofil" wird in Folgenden verwandt für zwei- oder dreidimensionale Daten der Oberfläche des Objektes. Es wird demnach die Form der Oberfläche oder mit anderen Worten, die räumliche Gestalt der Oberfläche durch diese Daten repräsentiert. Zum Beispiel können Oberflächendaten des Objektes entlang einer Linie oder aber die komplette dreidimensionale Oberflächenform des Objektes darunter fallen. Im zweidimensionalen Fall gibt das geometrische Oberflächenprofil beispielsweise die Abhängigkeit einer Höhen- oder Abstandskoordinate z von einer räumlichen Koordinate x an, also z(x) und im dreidimensionalen Falle die Form der Oberfläche z als eine Funktion zweier räumlicher Koordinaten, also z.B. z(x,y). Im Folgenden sollen in diesem Zusammenhang verkürzt der Begriff "geometrisches Oberflächenprofil" oder "Geometrie der Oberfläche" verwandt werden. Im Gegensatz dazu gibt das thermische Oberflächeprofil zusätzlich eine Temperaturinformation über das jeweilige geometrische Oberflächenprofil. Sintern ist ein Prozess des Brennens und Konsolidierens von Körpern, die aus Pulverpartikeln geformt wurden. Die Sinterung wird sehr häufig von einer Schrumpfung begleitet. Die Pulver können sein: (a) oxidische Pulver, wie z.B. Al2O3 für Natriumdampflampen, ZrO2 für bruchzähe Strukturkeramik, Gassensoren, BaTiO3 für Kondensator- und Thermistorkeramik, 3Al2O3·SiO2 + SiO2 + K2O·3Al2O3·SiO2 + Silikatglas für Porzellan; (b) nichtoxidische Pulver, wie z.B. SiC für hochfeste Strukturkeramik, Si3N4 für hochfeste und bruchzähe Strukturkeramik; oder (c) metallische Pulver, wie z.B. WC + Co oder TiN, TiC + Ni, Co, Mo für Hartmetallbohrer oder Hartmetallwendeschneidplatten. Die vorliegende Anmeldung ist nicht auf die angegebenen Beispiele für keramische oder pulvermetallurgische Materialien beschränkt. Die Vorrichtung zum Sintern gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel umfasst einen Hochtemperaturofen 5, in dessen Wandung an einer Seite, bevorzugt der oberen Seite, eine Öffnung, bevorzugt ein Spalt oder Schlitz 1, eingebracht ist. Im Inneren des Ofens 5 befindet sich eine Aufnahme des zu sinternden Objektes 4. Diese Aufnahme ist als ein Drehteller ausgebildet, auf dem die zu sinternde Probe 4 angeordnet wird. Der Drehteller 3 ist dann mit einem externen Antrieb 7 versehen. Über der Öffnung 1, bevorzugt aber nicht beschränkend dem Spalt 1, befindet sich eine Lichtquelle 2a und ein Lichtdetektor 2b zur Messung des von dem Objekt 4 gestreuten Lichtes und zur Abstandsbestimmung zur Oberfläche des Objektes 4. Lichtquelle 2a und Lichtdetektor 2b sind auf derselben Seite der Probe derart angeordnet, dass das direkt von der Objektoberfläche der Probe 4 zurückgestreute Licht der Lichtquelle 2a in den Detektor 2b fällt und somit Streulicht zur Bestimmung des Oberflächenprofils gemessen wird. Für den Begriff "rückgestreutes" Licht wird im folgenden vereinfacht "gestreutes" Licht verwendet. Bevorzugt werden Lichtquelle 2a und Detektor 2b oberhalb derselben Öffnung in einer Wandung des Ofens 5 angeordnet. Weiter bevorzugt sind Lichtquelle 2a und Detektor 2b auf einer Linie oder einem Kreisbogen oberhalb der Probe angeordnet. Die Lichtquelle 2a und der Detektor 2b sind in dem Ausführungsbeispiel durch einen Lasertriangulationssensor 2 realisiert. Der Triangulationssensor 2 ist mit einem Mittel zur linearen Positionierung, der Mikropositioniereinheit 6 verbunden. Optional ist in einem bevorzugten Ausführungsbeispiel auch ein Mittel 8 zur Bestimmung der Temperatur mindestens eines Teilbereiches der Oberfläche angeordnet. Dieses ist bevorzugt ein optisches Strahlungsthermometer oder optisches Pyrometer. Das Strahlungsthermometer 8 kann dann auch bevorzugt an dem Mittel 6 zur linearen Positionierung befestigt sein. Die kombinierte Verwendung von Lasertriangulationssensor 2 und Mittel zur linearen Positionierung 6 ermöglicht die Messung eines geometrischen Oberflächenprofils des Objektes 4, der zwei- oder dreidimensionalen Koordinaten der Oberflächenpunkte des Objektes 4. Bevorzugt aber nicht beschränkend sind Triangulationssensor 2 und Strahlungsthermometer 8 in Reihe an der Mikropositioniereinheit 6 angeordnet, noch bevorzugter direkt an- und hintereinander, damit eine Messung der Temperatur des triangulierten Oberflächenpunktes des keramischen oder pulvermetallurgischen Objektes oder Probe 4 vorgenommen werden kann. Die Mikropositioniereinheit 6 ist dabei so am Spalt 1 des Ofens 5 angeordnet, dass Triangulationssensor 2 und optional Strahlungsthermometer 8 über den Spalt zur vollständigen Vermessung der keramischen Probe 4 auf dem Drehteller 3 geführt werden können, also entlang seiner lateralen Ausdehnung Mit anderen Worten, das Abtasten der Probe 4 erfolgt in Richtung des Spaltes 1, die Mikropositioniereinheit 6 erstreckt sich entlang des Spaltes 1 und bewegt Triangulationssensor 2 und optional das Strahlungsthermometer 8 über den Spalt 1 und somit die Probe 4. Der Spalt 1 in der Wandung des Ofens 5, bevorzugt in der Decke des Ofens 5, sollte, um thermische Probleme klein zu halten, möglichst schmal sein. Die Spaltdicke ist dabei bevorzugt kleiner gleich 5 mm. In seiner Länge entspricht der Spalt 1 mindestens der gesamten Länge der lateralen Ausdehnung des Objektes 4, bevorzugter mindestens der halben Länge der lateralen Ausdehnung. Der Spalt 1 ist so auszubilden, dass Strahlengänge von Triangulationssensor 2 und Pyrometer 8 den Spalt ohne Störung passieren können. Bevorzugt kann die Öffnung 1 zur weiteren thermischen Abschirmung mit einer Quarzglasscheibe abgedeckt, die den vorkommenden Temperaturen standhält und gleichzeitig das Laserlicht für die Triangulation und die Wellenlänge für die pyrometrische Messung hindurchlässt. Der Öffnung 1 kann aber auch oval oder in anderer Form ausgebildet sein. Es muss nur sichergestellt sein, dass das Objekt 4 vermessen werden kann und dass die Querschnittsfläche der Öffnung 1 klein gegenüber der Oberfläche des Ofens 5 ist, damit die Temperatur im Ofen 5 regelbar bleibt und eine homogene Temperaturverteilung erreicht wird. An der erfindungsgemäßen Vorrichtung ist ein Mittel zur Synchronisation von Rotationsbewegung des Drehtellers 3 und Translationsbewegung des Triangulationssensors 2 und des Strahlungsthermometers 8 vorgesehen. Dies kann ein mechanisches Mittel sein, ist aber bevorzugt durch eine Steuer- und Auswerteeinrichtung 9 realisiert. Die Steuer- und Auswerteeinheit 9 ist dabei mit dem Mittel zur Positionierung 6, dem Drehteller 3 bzw. seinem Antrieb 7, dem Lasertriangulationssensor 2 und dem Strahlungsthermometer 8 verbunden. In einer bevorzugten Ausgestaltung ist die Steuer- und Auswerteeinheit 9 ferner auch mit der Ofensteuerung des Ofens 5 verbunden. Damit kann der zeitliche Temperaturverlauf und die Höhe der Temperatur gesteuert werden, wie weiter unten näher erläutert wird. Ferner wertet die Steuer- und Auswerteeinheit 9 die gemessenen Daten des Triangulationssensors 2 und des Strahlungsthermometers 8 aus und erstellt ein dreidimensionales Oberflächenprofil des keramischen oder pulvermetallurgischen Objektes 4 sowie ein Temperaturoberflächenprofil des keramischen oder pulvermetallurgischen Objektes 4. Der Drehtisch mit Drehteller 3 ist bevorzugt aus temperaturfestem Material gefertigt, das sich nicht verformt, wobei der Drehteller 3 eben ausgebildet ist. Ein bevorzugter Lasertriangulationssensor 2 zeichnet sich neben seiner Präzision durch eine Laserintensität aus, die die Strahlungsintensität glühender Keramik übertrifft, damit er im Detektor 2b detektiert werden kann. Er ist somit für die Messung auch an heißen Keramikoberflächen geeignet. Der Laserstrahl und die optische Achse der Kamera bilden dabei bevorzugt einen konstanten Winkel. Durch die feste Winkeleinstellung erhält man vorteilhafterweise annähernd gleiche Messbedingungen für Abstände innerhalb des Messbereiches und einen Genauigkeitsvorteil gegenüber den zum Stand der Technik genannten Triangulationslösungen. Die Bildebene des Triangulationssensors 2, der Kamerachip, ist dabei bevorzugt entsprechend der Scheimpflugbedingung angeordnet, so dass innerhalb des Messbereiches der Laserfleck scharf abgebildet wird. Die Scheimpflugsche Regel besagt, dass sich bei der Abbildung die Bild-, Objektiv- und Schärfeebene in einer gemeinsamen Schnittgeraden schneiden. Die optischen Achsen von Strahlungsthermometer 8 und Triangulationssensor 2 sind dabei bevorzugt parallel zueinander ausgerichtet und haben in der dazu senkrecht erfolgenden radialen Translation r einen konstanten Versatz A, so dass leicht zueinander versetzte Punkte auf der Oberfläche des Objektes 4 vom Triangulationssensor bzw. Strahlungsthermometer 8 vermessen werden. Da der Versatz A konstant ist, kann dieser bei der Auswertung der gemessenen Daten herausgerechnet werden und somit einem Oberflächenpunkt des Objektes 4 eine Temperatur zugeordnet werden. Der Temperaturbereich, in dem das Verfahren angewendet wird, erstreckt sich von Raumtemperatur bis 1000° C und darüber hinaus. Dabei tritt bereits eine beträchtliche Eigenstrahlung des keramischen oder pulvermetallurgischen Messobjektes 4 auf, deren Intensität aber durch die Laserintensität übertroffen wird. Zur Erfassung eines Punktes auf der Oberfläche des keramischen oder pulvermetallurgischen Objektes 4 projiziert der Lasertriangulationssensor 2 einen Lichtpunkt auf die Oberfläche des keramischen Messobjektes 4 und bildet das (rück-)gestreute Licht über eine Optik in einem positionsempfindlichen Messelement oder Detektor 2b ab. Lichtquelle 2a und Detektor 2b sind in dem Triangulationssensor 2 integriert angeordnet. Zur Erfassung der Oberflächengeometrie des keramischen oder pulvermetallurgischen Objektes 4 erfolgt die radiale Translation des außerhalb des Ofens befindlichen Lasertriangulationssensors 2 mit einer Mikropositioniereinheit 6, angeordnet über dem sehr schmalen geradlinigen Spalt 1 in der Ofendecke, in Richtung der Ausdehnung des Spaltes 1. Durch die lineare Translation des Lasertriangulationssensors 2, durch das Mittel zur linearen Positionierung 6, wird ein Höhenprofil des Messobjektes 4 in der Ebene, in der der Lichtstrahl der Lichtquelle 2a während der Translation verschoben wird, bestimmt. Zur Erfassung eines gesamten dreidimensionalen Oberflächenprofils des keramischen oder pulvermetallurgischen Objektes 4 wird zudem gleichzeitig das Objekt winkelgenau rotiert. Dies geschieht mittels des unter dem Spalt oder Schlitz 1 angeordneten Drehtellers 3. Durch die Drehung des keramischen oder pulvermetallurgischen Messobjektes 4 entsteht aus den einzelnen Profilmessungen eine dreidimensionale Abbildung der Oberfläche der Messfläche. Dabei laufen die Bewegungen von radialer Positioniereinheit 6 und Rotation des Drehtellers synchronisiert ab. Ohne Translation von Lichtquelle 2a, Detektor 2b und Strahlungsthermometer 8 sowie Rotation des Objektes 4 wird nur ein Punkt der Oberfläche "gescannt". Für manche Anwendungen kann schon die Aufnahme eines Teilprofils oder eines Teilbereiches der Oberfläche oder des Oberflächenprofils des Objektes 4 ausreichend sein, z.B. in einem für die Funktion des zu formenden Werkstückes kritischen Bereich oder am Ort einer Sollbruchstelle. Die erfindungsgemäße Erfassung eines Teilprofils der Oberfläche unterscheidet sich von bisher üblichen Schattenrissverfahren dadurch, dass direkt von der Probe gestreutes Licht verwendet wird. Dies erlaubt die Messung von Oberflächenprofilen auch in Bereichen, die nicht hinreichend durch den Schattenriss erfassbar sind, wie z.B. die Oberfläche nicht vollständig konvex geformter oder quaderförmiger Objekte oder die Erfassung komplexer Verwerfungen sinternder keramischer Folien. Für andere Anwendungen muss das gesamte Werkstück 4 während des Sinterns untersucht werden. Ein vorteilhafter Effekt der Rotation des Drehtellers 3 ist die Kompensation von Temperaturunterschieden im keramischen oder pulvermetallurgischen Messobjekt 4, die durch Temperaturgradienten im Innenraum des Ofens 5 hervorgerufen werden. Bevorzugt wird das keramische oder pulvermetallurgische Objekt 4 auf dem Drehteller 3 mit konstanter Winkelgeschwindigkeit gedreht, wobei der Triangulationssensor 2 kontinuierlich oder in kleinen diskreten Schritten Punkte auf der Oberfläche des keramischen Objektes 4 trianguliert. Gleichzeitig wird die Temperatur der Oberfläche des keramischen Objektes 4 durch das Strahlungsthermometer 8 gemessen. Nach einem Umlauf wird die radiale Positioniereinheit 6 um ein Inkrement radial verschoben, wodurch eine neue Bahn auf der Oberfläche des keramischen Objektes 4 von Strahlungsthermometer 8 und Triangulationssensor 2 vermessen wird. Radial wird der Triangulationssensor 2 vom Rand des keramischen Objektes 4 zum Rotationsmittelpunkt des Drehtellers 3 verschoben, wodurch die Oberfläche einmal vollständig vermessen wird. Bevorzugt startet die radiale Translation und Vermessung am Rand des Drehtellers 3 oder zumindest vom Rand der Probe 4 auf dem Drehteller 3, damit die Nulllage des Drehtellers 3 immer wieder neu bestimmt werden kann. Die gemessenen geometrischen Daten des keramischen oder pulvermetallurgischen Messobjektes und der nicht durch das Messobjekt verdeckten Fläche des Drehtisches werden bevorzugt zunächst in Zylinderkoordinaten r, phi, z angegeben, wobei der Radius r und der Azimutwinkel phi die Koordinaten eines Punktes in einer Ebene (Polarkoordinaten) beschreiben und z die dazugehörige Höhe des Punktes senkrecht über oder unter der Ebene des Polarkoordinatensystems. Nach einer Koordinatentransformation bezieht sich die z-Koordinate des Messobjektes stets auf die Drehtischoberfläche (z = 0). Die thermische Ausdehnung des Drehtisches ist somit in z-Richtung messtechnisch kompensiert. Mit dem außerhalb des Ofens 5 über dem sehr schmalen geradlinigen Spalt 1 in der Ofendecke angeordneten optischen Pyrometer 8 wird das Temperaturprofil des auf dem Drehtisch 3 befindlichen keramischen oder pulvermetallurgischen Messobjektes 4 gemessen. Das optische Pyrometer 8 wird bevorzugt über dem Spalt 1 fest in Reihe zum Lasertriangulationssensor 2 an der gleichen Mikropositioniereinheit 6 angeordnet. Nach Herausrechnung des Abstands zwischen Triangulationssensor 2 und Pyrometer 8 ergibt sich für jeden Oberflächenpunkt P[r, phi, z] ein korrespondierender Temperaturwert T(r, phi, z). Damit ist die Objektoberfläche geometrisch und thermisch komplett beschrieben. Das keramische oder pulvermetallurgische Messobjekt 4 wird während der kontinuierlichen Translationsbewegung des Sensors 2 und der Rotation des Drehtisches 3 gescannt. Vorteilhaft sind eine zusammengesetzte spiralförmige Bewegung oder eine Kreisbewegung mit einem Translationsschritt nach jeder Umdrehung. Aus einer vollständigen Abtastung der Objektoberfläche, zum Beispiel nach dem Durchlauf einer kompletten Spirale vom einem äußeren Punkt auf dem Drehtisch 3 bis zu seinem Rotationsmittelpunkt, wird die Oberfläche des Objekts im Rahmen der Schrittweiten von Translation und Rotation in einer Steuer- und Auswerteinheit berechnet. Aus zeitlich nacheinander bestimmten Oberflächen oder auch Einzelmaßen, wie zum Beispiel eine Kantenlänge eines Bauteils, werden geometrische Änderungen des keramischen oder pulvermetallurgischen Messobjekts 4 bestimmt. Darunter sind Deformationen und Verwerfungen des Objekts sowie normale, für die Sinterung typische Schwindungen oder Schrumpfungen zu verstehen. Natürlich kann auch zunächst eine Translationsbewegung über die Länge des Spalts vollständig durchgeführt werden, wodurch ein Schnitt des keramischen oder pulvermetallurgischen Objektes 4 gescannt wird, dem sich eine inkrementelle Winkeländerung und eine erneute Translation anschließen, solange bis die Oberfläche vollständig abgetastet wurde. Die Oberfläche des keramischen oder pulvermetallurgischen Objektes 4 wird kontinuierlich während des Sinterns durch den Triangulationssensor 2 und das Strahlungsthermometer 8 gescannt, womit eine Veränderung der Oberfläche während des Sinterns 4 festgestellt werden kann. Im folgenden wird beschrieben, wie die Schwindung während des Sinterns am Beispiel einer keramischen Folie berechnet werden kann. Dabei kommen dünne Keramikfolien im Format 8"x8" bevorzugt zum Einsatz. Jedoch ist die Vorrichtung nicht auf die Verwendung von Folien beschränkt, sondern es können vielmehr alle möglichen Formen und Größen, die der Ofen 5 aufnehmen kann, verwendet werden. Wie in Die Ränder der keramischen Folie 4 stellen sich beim Messprozess mit dem Lasertriangulationssensor 2 als Sprung im Messsignal dar. Wenn man bei einer kreisförmigen Abtastung einer Folie 4 mit geradlinigen Rändern pro Folienseite zwei Sprünge detektiert, kann man daraus das umschreibende Viereck und seine Eckpunkte bestimmen. Aus dem Abstand benachbarter Eckpunkte des berechneten umschreibenden Vierecks folgen die Seitenlängen der keramischen Folie 4. Auch kann man bei der kreisförmigen Abtastung gleich einen Eckpunkt erfassen, was aber auf Grund diskreter Kreisradien bei der Messung schwierig ist. Der Punkt RM in Wenn der Zeitpunkt 1 der Startpunkt und der Zeitpunkt 2 das Ende des Sinterprozesses sind, ist Slateral folglich die laterale Gesamtschwindung der Folie 4. Vorteilhafterweise ist die Bestimmung der lateralen Schwindung von Folien 4 bei nur einem Umlauf des Drehtellers 3 besonders schnell. Die axiale Schwindung in Dickenrichtung der Folie wird aus der Messung der z-Koordinaten von fest mit der Folienoberfläche verbundenen Kontrollpunkten bestimmt, wie in Bei der lateralen Schwindung, also in x- oder y-Richtung, der keramischen Folie 4 "wandert" ein auf der Folie fest verankerter Punkt unter bestimmten Annahmen im Koordinatensystem des Drehtisches 3 von Position 1 nach Position 2 (bei isotroper Schwindung entlang eines Strahls vom Folienmittelpunkt). Da der Punkt nicht "gesehen" wird, muss seine Position aus der lateralen Schwindung berechnet werden. Diese Position muss mit Sensortranslation und Winkelstellung des Drehtischs realisiert werden. Für die axiale Schwindung wird bei jeder neuen Punktposition mit dem Lasertriangulationssensor der Abstand, also die z-Koordinate, gemessen. Die Markierung I und II in Wenn der Zeitpunkt 1 der Startpunkt und der Zeitpunkt 2 das Ende des Sinterprozesses sind, ist Saxial folglich die axiale Gesamtschwindung der keramischen Folie 4. Bei strukturierten keramischen Objekten 4, beispielsweise mit gedruckten Leiterbahnen und Löchern, lassen sich lokale, räumlich inhomogene Schwindungsprozesse anhand der Größe und Lage dieser Merkmale zueinander quantitativ erfassen. Erfindungsgemäß wird ein Lichtstrahl zu einer Linie aufgeweitet und auf das Objekt 4 gerichtet. Der aufgeweitete Lichtstrahl wird durch einen Laserlichtschnittsensor realisiert. Dabei ist vorteilhaft, dass der Laserstrahl beim Laserlichtschnittsensor zu einer Linie aufgeweitet wird und damit unmittelbar entlang dieser Linie das Profil bestimmt wird und somit eine nötige Translation von Lichtquelle 2a und Detektor 2b entfällt. Da aber das Laserlicht nur in der Ebene, die aus der optischen Achse der Laserprojektionseinheit und der optischen Achse der Kamera auf dem Kamerachip scharf abgebildet wird und auf Grund der Schärfentiefe und Linienbreite der Laserlinie zu den seitlichen Rändern in der Abbildung etwas an Schärfe verlieren kann, ergibt sich jedoch physikalisch eine geringere Auflösung gegenüber dem bevorzugten Lasertriangulationssensor. Der Laserlichtschnittsensor kann aber dennoch angewendet werden bei Sinterobjekten mit einer ausgeprägten Höhe mit z.B. Länge, Breite und Höhe etwa in einer Größenordnung. Bei sehr dünnen Folien mit Foliendicken, die beispielsweise viel kleiner als Länge und Breite sind, ist hingegen die Lasertriangulation bevorzugt. In einem weiteren nicht gezeigten Ausführungsbeispiel kann das geometrische Oberflächenprofil mittels eines Streifenprojektionsverfahrens durchgeführt werden. Dabei wird in einem topometrischen Verfahren die Lichtquelle 2a durch einen Projektor als inverse Kamera realisiert und der Detektor 2b durch eine Kamera. Dabei arbeitet der Projektor mit einer Leistung, die die vorhandene Strahlung der glühenden Oberfläche im Ofen 5 übertrifft. Für jede Kamera und Projektor wären jeweils eine Öffnung 1 im Ofen 5 erforderlich. Mit mehreren Kameras kann eine Stereoaufnahme der Oberfläche erfolgen. In einem weiteren bevorzugten Ausführungsbeispiel wird mittles der während des Sinterns kontinuierlich gemessenen geometrischen und/oder thermischen Daten der Oberfläche des Messobjektes durch den Triangulationssensor 2 bzw. das Strahlungsthermometer 8 der Sinterprozess gesteuert. Die Steuerung der Sinterung kann dabei wie in Die Sinterung wird mit einer Steuerung der Sinterparameter durchgeführt. Die Sinterparameter umfassen dabei die lokale und globale Ofentemperatur, die Zeitdauer einzelner Sinterungsschritte sowie die lokale oder globale Heizrate ΔT/Δt im Ofen bzw. in Ofensegmenten oder Heizzonen, wobei ΔT die Änderung der Temperatur in einem Zeitintervall Δt ist. Bei der Realisation der erfindungsgemäßen Vorrichtung mit Positioniereinheit 6 und Drehteller 3 können auch die Drehgeschwindigkeit des Drehtellers 3 und die Translationsgeschwindigkeit der Positioniereinheit 6 gesteuert werden. Ferner kann die Zeitdauer für einzelne Schritte der Sinterung oder die gesamte Sinterung gesteuert werden. Erfindungsgemäß werden das geometrische und thermische Oberflächenprofil wenigstens eines Teilbereiches der Oberfläche des Objektes 4 zur Steuerung der Sinterung verwendet. Nach dem Einbringen des Objektes 4 in einen Hochtemperaturofen 5 wird der Ofen erhitzt. Es wird dann das dreidimensionale geometrische Oberflächenprofil mindestens eines Teilbereiches des Objektes 4 erstellt, wobei Licht einer Lichtquelle 2a einen Punkt auf der Oberfläche des Objektes bestrahlt, das gestreute Licht in einem Detektor 2b detektiert wird und daraus dann das geometrischen Oberflächenprofil bestimmt wird. Gleichzeitig wird das thermische Oberflächenprofil mindestens eines Teilbereiches des Objektes 4 mittels eines Strahlenthermometers 8 erstellt und diese Profile werden dann für die Steuerung der Sinterparameter eingesetzt. Es wird dabei bevorzugt die komplette Oberfläche des keramischen Objektes 4 wie oben beschrieben kontinuierlich gescannt. Ist die vorgegebene Zeitdauer der Sinterung überschritten, wird der Prozess abgebrochen, sonst wird er weiter durchgeführt. Zur Kontrolle der Sinterung werden bevorzugt Kenngrößen zur Formerkennung und Temperaturverteilung des keramischen oder pulvermetallurgischen Objektes 4 während des Sinterprozesses festgelegt, die z. B. Schwindungsmaße, geometrische Abweichungen und Temperaturdifferenzen umfassen. Diese Kenngrößen zur Formerkennung und Temperaturverteilung werden aus den gemessenen Geometrien und Temperaturen des keramischen oder pulvermetallurgischen Objektes 4 bestimmt. Dies geschieht bevorzugt in der Steuer- und Auswerteeinheit 9. Beispielsweise kann die laterale Schwindung wie oben dargelegt bestimmt werden. Es wird nach jeder Kenngrößenbestimmung ein Soll/Ist-Vergleich der gemessenen Werte mit vorbestimmten Werten durchgeführt. Die Parameter der Sintersteuerung werden dann korrigiert, wenn der Betrag der Abweichung der gemessenen Werte der Kenngrößen Ki von den vorbestimmten Werten größer ist, als ein erster vordefinierten Schwellenwert εi für diese Kenngröße. Die Bestimmung der Geometrien und Temperaturen des keramischen oder pulvermetallurgischen Objektes 4 zur neuen Bestimmung von Kenngrößen zur Formerkennung und Temperaturverteilung wird dann fortgeführt, wenn eine Abweichung der gemessenen Werte der Kenngrößen Ki von den vorbestimmten Werten kleiner ist als der erste vordefinierten Schwellenwert oder eine Korrektur erfolgt ist und gleichzeitig der Sinterungsprozess noch nicht abgeschlossen ist. Wird zum Beispiel eine lokale Verwerfung erkannt, wird die Heizleistung eines oder mehrerer Heizzonen reduziert, das heißt die Heizrate ΔT/Δt verringert. Das gleiche trifft auch für Schwindungsmaße zwischen zwei aufeinander folgenden Messungen zu, die einen Schwellenwert übersteigen, oder der maximale Temperaturunterschied auf der Oberfläche ein zulässiges Maß überschreitet. Werden nachhaltig keine auffälligen Formänderungen oder Temperaturunterschiede festgestellt, können die Heizraten der einzelnen Heizzonen auch koordiniert erhöht werden. Es kann auch ein zweiter Schwellenwert für die betreffende Kenngröße Ki festgelegt werden, der größer ist als der erste Schwellenwert, bei dem bei Überschreiten des Schwellenwertes die Sinterung komplett abgebrochen wird. Das Sinterprogramm wird bei normalem Verlauf nach Ablauf der vorbestimmten Zeit beendet. Mit der Oberflächentemperatur des keramischen oder pulvermetallurgischen Objektes 4, zum Beispiel repräsentiert durch die kleinsten und die größten Temperaturwerte auf dessen Oberfläche, den Schwindungsparametern und/oder Temperaturwerten von zusätzlich im Ofeninnenraum angeordneten Thermoelementen wird die Heizung des Ofens 5 bei laufendem Betrieb mit der Auswerte- und Steuereinheit 9 geregelt und optimiert. Der Prozess ist besonders wichtig für den Ofentemperaturbereich, in dem die Schwindungsprozesse im wesentlichen stattfinden. Beispielsweise schwinden Glasmatrixkomposite, bestehend aus Bariumalumoborosilicatglas- und α-Al2O3-Pulvern hauptsächlich im Temperaturbereich von 700 bis 900° C. Da ein Temperaturprofil der Oberfläche des keramischen oder pulvermetallurgischen Objektes 4 nach der Erfindung gemessen werden kann, kann dieses Temperaturprofil zur lokalen Steuerung der Heizkreise verwendet werden, damit das keramische Objekt 4 möglichst gleichförmig gebrannt wird. So kann z.B. ein Temperaturunterschied im Ofen 5 durch die Steuer- und Auswerteeinheit 9 mit der Änderung der Heizraten ausgeglichen werden. Außerdem kann bei beginnenden Verwerfungen das Temperaturprofil im Ofen 5 angepasst werden. Ferner können die gemessenen Daten auch zur Steuerung der Translationsgeschwindigkeit von Sensor 2 und Strahlungsthermometer 8 sowie zur Einstellung der Rotationsgeschwindigkeit des Drehtellers 3 verwendet werden. Zu Beginn der Messung mag eine langsamere Bewegung ausreichend sein und gar nötig sein, da das keramische Objekt 4 noch nicht hinreichend fest ist. Im weiteren Verlauf, im Temperaturbereich der Schwindung, kann dann eine schnellere Geschwindigkeit zur schnelleren Messung der Veränderungen notwendig sein. Während des laufenden Sinterprozesses - also prozessintegriert bzw. in-situ unter Hochtemperaturbedingungen - werden erstmals mit optischen Sensoren aus dem direkt vom Objekt gestreuten Licht mit der erforderlichen Genauigkeit kontinuierlich und zeitaufgelöst Oberflächenprofile des Bauteils sowie seine Temperaturverteilung gemessen. Mit Kenngrößen, die aus diesen Messungen bestimmt werden, werden der Sinterprozess oder vorangegangene technologische Schritte gesteuert. Fehler, wie die Deformation des zu sinternden Teils, werden sofort erkannt. Neben der Überwachung und Regelung von Routineprozessen können mit dieser Lösung Hersteiiungs- und Sinterverfahren für neue Werkstoffe entwickelt und optimiert werden. Mit der Aufzeichnung aller geometrischen und thermischen Oberflächenparameter können Sinterprozesse von keramischen oder pulvermetallurgischen Hochleistungsbauelementen verfolgt, analysiert und der Ablauf der Sinterung korrigiert sowie gegebenenfalls gezielte Änderungen am Layout dieser Baugruppen vorgenommen werden. Das angegebene Verfahren und die Vorrichtung ermöglichen zum ersten Mal eine zeitlich aufgelöste Vermessung eines keramischen oder pulvermetallurgischen Objektes 4 in allen 3D-Koordinaten inklusive der Kombination mit der örtlich und zeitlich aufgelösten Temperaturverteilung. Das trifft auch für die aus der kompletten Messung abgeleiteten Schwindungsparameter zu. Durch diese Messung kann der Sintervorgang präzise gesteuert werden oder aber vor zu großer Verformung der Ausgangsmaterialien abgebrochen werden. Auch die Anwendung einzelner Elemente des oben beschriebenen Ausführungsbeispiels kann wesentliche Vorteile bei der Steuerung von Sinterprozessen ermöglichen. So liefert bereits die Erfassung eines fest angeordneten Linienprofils währen des Sintervorgangs wesentliche Informationen zum Sinterprozess, wie zum Beispiel die Folienbreite oder Anzeichen einer beginnenden Verwerfung. In diesem Fall kann auf die Verwendung einer rotierenden Probenaufnahme verzichtet werden. Ähnliches gilt für die Verwendung des Pyrometers. Das Linienprofil kann auch auf bestimmte kritische oder repräsentative Bereich des Objektes beschränkt werden. Derartig eingeschränkte Varianten des beschriebenen Verfahrens liefern zwar nur eingeschränkte Informationen, bieten aber dafür den Vorteil einer einfacheren Realisierbarkeit unter großtechnischen Bedingungen und geringere Kosten.
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