1.一种基板制程系统，该基板制程系统包含：
群集工具，该群集工具包含：第一制程腔室、及第二制程腔室，该第一与该第二制程腔室系耦接至中央真空传送腔室；
第一流量控制器，该第一流量控制器提供制程气体至该第一制程腔室；
第二流量控制器，该第二流量控制器提供该制程气体至该第二制程腔室；
质量流量验证器，该质量流量验证器验证各别来自该第一及第二流量控制器的流率；
第一导管，该第一导管选择性地使该第一流量控制器耦接至该质量流量验证器；以及第二导管，该第二导管选择性地使该第二流量控制器耦接至该质量流量验证器；
第三流量控制器，该第三流量控制器提供该制程气体至该第一制程腔室；以及第三导管，该第三导管选择性地使该第三流量控制器耦接至该质量流量验证器，以验证来自该第三流量控制器的流率；
其中该第一、第二或第三流量控制器的任意两者能够在该第一、第二或第三流量控制器的剩余任一者正由该质量流量验证器验证的同时，使该制程气体流至相应流量控制器所耦接的制程腔室。
2.如权利要求1所述的基板制程系统，其中该第一及第二导管具有相同的流导率。
3.如权利要求1所述的基板制程系统，还包括：
共享气体分配盘，该共享气体分配盘用以提供该制程气体至该第一及第二流量控制器。
4.如权利要求1至3中任一项所述的基板制程系统，其中该质量流量验证器还包括：
临界流体喷嘴，其中该第一流量控制器所提供的制程气体流经该临界流体喷嘴的流率系与该第一导管中的流导率无关，以及其中该第二流量控制器所提供的制程气体流经该临界流体喷嘴的流率系与该第二导管中的流导率无关。
5.一种基板制程系统，该基板制程系统包含：
第一流量控制器，该第一流量控制器提供制程气体至一第一制程腔室的一第一区域；
第二流量控制器，该第二流量控制器提供该制程气体至该第一制程腔室的一第二区域；
质量流量验证器，该质量流量验证器验证各别来自该第一及第二流量控制器的流率；
第一导管，该第一导管选择性地使该第一流量控制器耦接至该质量流量验证器；以及第二导管，该第二导管选择性地使该第二流量控制器耦接至该质量流量验证器，其中所述第一流量控制器和所述第二流量控制器各自能够在所述第一流量控制器或所述第二流量控制器中的另一者正由所述质量流量验证器验证的同时，使该制程气体流至所述第一制程腔室的所述第一区域或所述第二区域中的相应区域。
6.一种用于在基板制程系统中校准多个流量控制器的方法，该基板制程系统包含：与中央真空传送腔室耦接的第一制程腔室及第二制程腔室，该方法包含以下步骤：
从与第一制程腔室耦接的第一流量控制器以第一流率提供第一气体；
引导该第一气体经由第一导管而流至质量流量验证器；
使用该质量流量验证器测量该第一流率；
从与第二制程腔室耦接的第二流量控制器以第二流率提供第二气体；
引导该第二气体经由第二导管而流至该质量流量验证器；以及
使用该质量流量验证器测量该第二流率；
从与该第一制程腔室耦接的第三流量控制器以第三流率提供第三气体；以及引导该第三气体经由第三导管而流至该质量流量验证器；
其中该第一、第二或第三流量控制器的任意两者能够在该第一、第二或第三流量控制器的剩余任一者正由该质量流量验证器验证的同时，使该制程气体流至相应流量控制器所耦接的制程腔室。
7.如权利要求6所述的方法，还包括以下步骤：
依据利用该质量流量验证器所测得的第一流率，校准该第一流量控制器；以及依据利用该质量流量验证器所测得的第二流率，校准该第二流量控制器。
8.如权利要求6所述的方法，其中使该第一流量控制器与该质量流量验证器耦接的第一导管、以及使该第二流量控制器与该质量流量验证器耦接的第二导管具有实质相同的流导率。
9.如权利要求6所述的方法，其中或者：
使该第一流量控制器与该质量流量验证器耦接的第一导管、以及使该第二流量控制器与该质量流量验证器耦接的第二导管具有：不同的流导率，并且其中该质量流量验证器更建构成：使得该第一气体从该第一导管进入该质量流量验证器的流率与该第一导管中的流导率无关，以及使得：该第二气体通过该第二导管进入该质量流量验证器的流率与该第二导管中的流导率无关；或者
使该第一流量控制器与该质量流量验证器耦接的第一导管、以及使该第二流量控制器与该质量流量验证器耦接的第二导管具有：不同的容积，并且其中该质量流量验证器更建构成：使得该第一气体从该第一导管进入该质量流量验证器的流率与该第一导管中的容积无关，以及使得：该第二气体通过该第二导管进入该质量流量验证器的流率与该第二导管中的容积无关。
10.如权利要求6所述的方法，还包括以下步骤：
使该第一气体从第一气体分配盘流至该第一流量控制器；以及
使该第二气体从第二气体分配盘流至该第二流量控制器。
11.如权利要求6所述的方法，其中该第一气体及该第二气体为相同气体，以及其中该第一气体及该第二气体系从位于该第一与第二制程腔室之间所共享的共享气体分配盘供应至该第一和第二流量控制器。
12.如权利要求6所述的方法，还包括以下步骤：
在完成该第一流量控制器的该第一流率的测量之后，通过该第一质量流量控制器重新使该第一气体流至该第一制程腔室；以及
利用该第一流量控制器维持该第一气体流至该第一制程腔室，同时测量该第二流量控制器的该第二流率。
13.如权利要求6所述的方法，还包括以下步骤：
从与该第一制程腔室耦接的第三流量控制器以第三流率提供该第一气体；
引导该第一气体经由第三导管而流至该质量流量验证器；以及
使用该质量流量验证器测量该第三流率，其中该第一流量控制器提供该第一气体至该第一制程腔室的第一气体入口，以及该第三流量控制器提供该第一气体至该第一制程腔室的第二气体入口。
14.如权利要求13所述的方法，还包括以下步骤：
比较所测得的第一及第三流率，以测定流率比；以及
依据所测得的流率比来校准该第一及第三流量控制器。