Gasballasteinrichtung für eine mehrstufige Verdrängerpumpe |
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| 申请号 | EP99112217.7 | 申请日 | 1999-06-25 | 公开(公告)号 | EP0972938A3 | 公开(公告)日 | 2000-06-28 |
| 申请人 | Pfeiffer Vacuum GmbH; | 发明人 | Bernhardt, Karl-Heinz; | ||||
| 摘要 | Die Erfindung beschreibt eine Gasballasteinrichtung für mehrstufige Verdrängerpumpen wie z.B. Membranpumpen, Hubkolbenpumpen und dergleichen. Der Gasballast wird dabei zunächst über eine erste Anordnung (6) mit einer Drosselstelle (9) in den Zwischenvakuumraum eingelassen und dann über eine zweite Anordnung (7) mit einer Drosselstelle (10) in den Schöpfraum (8) der ersten Pumpstufe (1) weitergeleitet. | ||||||
| 权利要求 | |||||||
| 说明书全文 | |||||||
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