真空泵 |
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申请号 | CN98801692.3 | 申请日 | 1998-01-20 | 公开(公告)号 | CN1243563A | 公开(公告)日 | 2000-02-02 |
申请人 | 莱博尔德真空技术有限责任公司; | 发明人 | 汉斯·约瑟夫·布格哈德; 沃尔夫冈·吉贝曼斯; 鲁道夫·巴赫奈; | ||||
摘要 | 本 发明 涉及一种 真空 泵 ,它有至少一个抽吸腔(7、8、23至26)和至少一个与抽吸腔相邻的腔(3、5、27);为了避免在相邻腔内受被输送气体引起的损坏,规定此 真空泵 配备有载气装置,以及均衡气的输入通过与抽吸腔相邻的腔进行。 | ||||||
权利要求 | 1.有至少一个抽吸腔(7、8、23至26)和至少一个与抽吸腔相 邻的腔(3、5、27)的真空泵,其特征为:它配备有载气装置;以及, 均衡气通过与抽吸腔相邻的腔输入。 |
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说明书全文 | 本发明涉及一种真空泵,它有至少一个抽吸腔和至少一个与抽吸 腔相邻的腔,如马达腔、驱动装置腔、传动装置腔、曲轴腔等。在许多工业部门,本文所涉及类型的真空泵须输送腐蚀性和/或 有毒的气体。这些气体可能进入与真空泵的抽吸腔相邻的腔内,这些 腔通常用密封装置(轴密封环、迷宫式密封装置等)与抽吸腔隔开。 腐蚀性气体在这些腔内造成腐蚀或冲蚀,从而导致轴承提前磨损或使 在那里的其他构件损坏。此外,腐蚀性和有毒气体会通过与抽吸腔相 邻的腔进入大气中。在半导体工业中,越来越多地需要干式真空泵, 亦即至少抽吸腔是无油的真空泵。其原因在于防止在与真空泵连接的 真空室内进行的过程受碳氢化合物的破坏。在半导体工业中使用或形 成的由真空泵输送的气体往往有这样的性质,即当它们压缩至大气压 时形成固体。这种类型的沉积在与抽吸腔相邻的腔内同样可能是有害 的。 本发明的目的是改进前言所述类型的真空泵,最大程度地排除在 与抽吸腔相邻的腔内产生损坏的危险以及腐蚀性或有毒气体排出真 空泵的危险。 按本发明为达到此目的采取的措施是,此真空泵配备有载气装置 (Gasballasteinrichtung)以及用于均衡的气体的输入通过与抽吸腔相 邻的腔进行。按照本发明的真空泵有外部的均衡气或冲洗气入口和直 接布设在抽吸腔壳体上的气体进口。在均衡气入口与气体进口之间存 在一个或多个与抽吸腔相邻的要冲洗的腔,在按所述方式设计的泵 中,经由均衡气入口进入的气体的作用是冲洗一个或多个与抽吸腔相 邻的腔。若腐蚀性或有毒的气体通过其密封功能不完全或不再完全满 足的密封装置侵入了与抽吸腔相邻的腔内。则在它们可能酿成祸害或 进入大气前便与均衡或冲洗气体一起被输回此泵内。本发明另一个优 点在于,鉴于所选择的均衡气或冲洗气入口的位置,故提供了多种结 构设计的可能性。最后,在抽吸腔壳体上布设的气体进口可以持续地 保持开启,所以在与抽吸腔相邻的腔内形成负压。由此进一步将腐蚀 性或有毒气体由于外部壳体中的不密封性而向外漏泄的危险减到最 低程度。 借助于在图1和2中示意表示的实施例可说明本发明的其他优点 和详情。其中: 图1两级旋转滑阀式真空泵;以及 图2多级活塞式真空泵。 在图1中表示的旋转滑阀式真空泵包括一个抽吸腔壳体1和一个 驱动马达2。抽吸腔壳体1处于泵腔3内,泵腔3由外部壳体4构成, 马达在由马达外壳6构成的马达腔5内,马达外壳通过法兰连接在外 部泵壳体4上。在抽吸腔壳体1内有抽吸腔7和8及其转子9和10。 转子9和10固定在马达轴11上,马达轴多处在抽吸腔壳体2内支承 和密封。泵较大的级7、9是进口级并与进口12连接。出口13连接在 出口级8、10上。进口级7、9和出口级8、10通过孔14互相连通。 孔15通入此孔14中,它与泵腔3连接并在下文称之为与抽吸腔相邻 的均衡气或冲洗气进口。用16表示位于泵外部的均衡气或冲洗气入 口。它包括阀17和节流器18。 在图1表示的实施例中,气体入口16设在马达外壳6上远离泵 壳体4的区域内。当阀17打开亦即载气或冲洗运作时,此气体通过马 达腔5和泵腔3流到孔15的进口,亦即流到直接设在抽吸腔壳体上的 气体进口。通过不密封的轴密封装置进入泵腔或马达腔内的气体被冲 洗回出口级8、10内。必要时可设折流板和/或多个入口接管16,以保 证彻底冲洗与抽吸腔7、8相邻的腔。若应当用惰性气体例如N2冲洗 或应造成载气(Gasballast)时,还可以在入口接管16上连接惰性气 体储罐。 与抽吸腔相邻的均衡气或冲洗气进口15对泵腔3是持续开启 的。若关闭阀17,在泵腔3及马达腔5内形成真空。因此,进入泵腔 3及马达腔5中的气体不会由于在外壳4、6内存在漏泄点而流到外面 去。当阀16打开时,节流器18用于保持在外壳4和6内处于负压状 态。 图2表示多级干式活塞式真空泵及其抽吸腔分壳体21和22,分 壳体内有圆柱形的抽吸腔23至26。在分壳体21、22之间有曲轴腔27, 它的外壳用28表示。活塞31至34分属于各级并构成八个泵室,泵室 中一部分并联,所以所画的泵有四个泵级。它的入口用35表示,它的 出口用36表示。在较早的德国专利申请19634519.7中,详细介绍了 此类型的一台真空泵。最后一个环形的泵室构成了所示真空泵的末 级。它的进口用37表示,它的出口用38表示。 末级泵的进口37通过管道39与曲轴腔27连接。管道39的出口 构成与抽吸腔相邻的气体进口41。气体进口41位于曲轴腔外壳28的 其中一个端面附近。在曲轴腔外壳28上处于相对位置的端面区内设有 带阀17和节流器18的均衡气或冲洗气入口16。可按已针对图1所说 明的方式,用经由气体入口16流入的气体冲洗曲轴腔27并在曲轴腔 27内保持负压。 |