氦检漏器

本发明涉及进行密封检查或密闭检查时所用的氦检漏器。

检查管道有无泄漏时，氦检漏器是一种有效的手段。

如图3所示，该装置备有仅检测氦(He)的质量分析部ANAL、 配设在对该质量分析部ANAL与被检测体EXP均能抽真空的位置 上作为主泵的涡轮分子泵(TMP)1、起该TMP1的初级抽气泵作用 的油旋转真空泵(RP)2，同时，在被检测体EXP与TMP1间配置检 测阀TV，在TMP1与RP2之间配置阻断阀FV，进而，在被检测体 EXP与RP2的直通管道上配置中间阀BV。图中，TP是用于相对装 置装卸被检测体EXP的检测口。

该装置的检漏试验按下述顺序进行。首先保持中间阀BV及检 测阀TV关闭，阻断阀FV开启，而启动TMP1及RP2，由此把质量 分析部ANAL抽气至预定的真空度。图4中的粗线表示进行抽气的 部位。其次，把被检测体连接至检测口TP，改为保持检测阀TV及阻 断阀FV关闭，中间阀BV开启，如图5中粗线所示，被检测体EXP 由RP2抽气至预定的真空度。然后，通过保持中间阀BV关闭，检测 阀TV及阻断阀开启，构成如图6粗线所示的抽气线路，把He气喷 至被检测体EXP。这时，若被检测体EXP有泄漏，He的一部分溢入 质量分析部ANAL，检测与该泄漏大致成比例的He，其结果是间接 测定被测验体EXP的气密度。

可是，当被检测体EXP有大量He泄漏(称为严重泄漏)的情况 下，其后检漏时，不能使质量分析部ANAL内的He的本底值(零 点)足够低，由此往往导致没有任何问题的良好的被检测体EXP也 被判为不良产品之类的不能进行有效试验的状态。

究其原因，已探明是由于严重泄漏时，He浓度极高的空气大量 吸入至作为TMP1的初级抽气泵运转的RP2中，此时He溶入RP2 的油中，而且已溶入He的气泡随时自吸气口逸出，并倒流至质量分 析部ANAL，使本底值上升。

为了消除这种缺陷，可以考虑用停止整个装置的运转，把RP2 的油更换为新的油这种办法处理。但这样做，整个装置再次起动前的 停机时间拉长，对装置的工作效率影响大，维护方面也必须化费很大 费用和劳力。

本发明是着眼于上述课题而构成的，其目的在于提供一种氦检 漏器，该检漏器在油旋转真空泵的油中混入大量He时，也能迅速疏 散该油，由此使质量分析部的本底值迅速降低，能有效地再启动泄漏 检测。

为了达到上述目的，本发明采用如下构成。

即，本发明的氦检漏器包括：只检测氦的质量分析部、对该质量 分析部与被检测体均能抽真空的主泵、作为该主泵的初级抽气泵起 作用的油旋转真空泵；其特征在于，在所述油旋转真空泵上备有镇气 口，在所述镇气口上设置可有选择地开关的电磁阀，同时，设置当用 质量分析部测定的氦测定值超过预定的门限值时，控制所述电磁阀 保持一定时间开启的控制手段。

在上述构成中，若把相应于严重泄漏的值设定为门限值，则实际 产生严重泄漏而油旋转真空泵内吸入大量He后，即使He溶入油 中，因为质量分析部的氦测定值超过门限值，控制手段动作，控制油 旋转真空泵镇气口上附带设置的电磁阀保持一定时间开启，在油旋 转真空泵内导入大气，通过大气搅拌油旋转真空泵内的油，所以油中 以气泡状态溶入的He通过大气的搅拌作用也会加速排出。由此，油 中的He浓度急速下降，其后即使再启动泄漏检测，也因来自油旋转 真空泵的He释放量显著降低，He溢入质量分析部而使本底值上升 的缺陷能得到极大改善。且，根据本发明，其间，油旋转真空泵自不言 而喻，就连质量分析部和高真空泵等其它装置部分的运转也不必停 止，因而不会对系统的连续运转性能有大的不良影响，在严重泄漏后 经短时间即可继续有效地再启动泄漏检测。

图1是本发明一实施例的回路图。

图2是上述实施例中采用的油旋转真空泵的概略剖面图。

图3是与所示图1对应的以往例子的回路图。

图4是说明图3中泄漏检测一般顺序的图。

图5是图3中泄漏检测一般顺序的图。

图6是图3中泄漏检测一般顺序的图。

图中，ANAL为质量分析部，EXP为被检测体，GBV为电磁阀， 1为主泵(涡轮分子泵；TMP)，2为油旋转真空泵(RP)，4为控制手 段(微机单元)，21为镇气口。

下面，参照附图说明本发明一个实施例。

示于图1的氦检漏器与示于图3的构成基本相同。即，它也备 有：只检测氦(He)的质量分析部ANAL，配设在对该质量分析部 ANAL与被检测体EXP均能抽真空的位置上作为主泵的涡轮分子 泵(TMP)1，作为该TMP1的初级抽气泵起作用的油旋转真空泵 (RP)2，同时，在被检测体EXP与TMP1之间配置检测阀TV，在 TMP1与RP2之间配置阻断阀FV，进而，在被检测体EXP与RP2 直通的管道中间配置中间阀BV。

又，泄漏检测的顺序也与图4至图6说明的已有技术的顺序相 同。首先，保持中间阀BV及检测阀TV关闭，阻断阀FV开启，通过 启动TMP1及RP2把质量分析部ANAL抽至预定真空度(参见图 4)。其次，把被检测体EXP连接至检测口TP，改为保持检测阀TV 及阻断阀FV关闭，中间阀BV开启，通过RP2把被检测体EXP抽 至预定真空度(参见图5)。然后，保持中间阀BV关闭，检测阀TV及 阻断阀FV开启，把He气喷至被检测体EXP(参照图6)。这时，若被 检测体中有泄漏，He的一部分溢入至质量分析部ANAL中，检测与 泄漏大致成比例的He，即可间接测定被检测体EXP的气密程度。

在上文中，当被检测体EXP的密封性和封密状态极差、被检测 体EXP和粗车削管道的连接处(检测口TP部分)的真空密封不严 密乃至损坏，而发生大量He泄漏(严重泄漏)时，采取通过另外顺序 控制而快速终止检测的措施，这时作为TMP1的初级抽气泵运转的 RP2中吸入大量He浓度极高的空气，因而RP2的油中溶入He。由 此，严重泄漏后再启动泄漏检测时，已溶入的He气泡同时再次自吸 气口释放，并倒流入质量分析部ANAL，使本底值上升，而成为泄漏 检测实际上不能继续进行的状态。

因此，本实施例在RP2上备有镇气口21，有选择地把大气导入 该镇气口21，以解决上述缺陷。

详述如下，该RP2起熟知的抽气泵的作用，即：如图2所示，在 气缸22内的偏心位置以内接状态配置转子23，在半径方向可伸出 缩进地收容于转子23的叶片24的顶端与气缸22内周滑动接触，由 气缸22、转子23、叶片24隔开的泵室P中充填泵油，通过旋转驱动 转子23，一边压缩自吸气口25吸入的气体，一边送往排气口26。又， 假设要抽出的是水蒸汽之类具有冷凝性的气体时，由于压缩气体液 化，为了防止由此引起的泵的整体性能恶化，图示的RP2，在排气口 26附近开有镇气口21，在气体压缩前，由该镇气口21导入大气，具 备不提高分压而抽气的功能。

在本实施例中，在该镇气口21上可开关地附带设置电磁阀 GBV，同时，由作为本发明控制手段的微机单元4控制开关该电磁 阀GBV。

电磁阀GBV是常规的阀，通过输入的电信号可把镇气口21至 少有选择地切换并保持在开状态或关状态。

微机单元14是具备CPU、存贮器及接口等的公知计算机，在存 贮器内贮存预定的程序，CPU按照该程序自质量分析部ANAL输 入测定值S、进行规定的比较、运算后，输出开关信号a至上述电磁 阀GBV。

下面，按照该程序说明控制的顺序。平时，电磁阀GBV保持关 闭状态。CPU定时地把自质量分析部ANAL输入的测定值S与预 定的门限值S0比较。该门限值S0设定为超过RP2内允许量的He可能导入的某个值，即设定为与严重泄漏程度相应的测定值。又，当 判断为输入的测定值S超过该门限值S0时，则判定为严重泄漏，使 上述电磁阀GBV保持一定时间开启状态。由此，经镇气口21，自外 部把大量大气导入RP2的泵室P内。严重泄漏时，大量He吸入至 RP2的泵室P，它以气泡形式溶入油中。该He由经镇气口21导入 的大气在内部搅拌，因而He通过该大气的搅拌作用而加速由排气 口26排出。由此，油中的He浓度急速降低，此后即使再启动泄漏检 测，也因来自RP2的He释放量显著降低，He溢入质量分析部 ANAL而使本底值上升的缺陷能极大改善。且，根据本实施例，在该 期间，RP2自不言而喻的，就连质量分析部ANAL和TMP1等其它 装置部分也不必停止运转，因而装置的连续运转性不会受到大的不 良影响，可在严重泄漏后经极短时间，就继续有效地再启动泄漏检 测。此外，上述控制全部自动进行，因而，即使知识缺乏的使用者，也 能适当地操纵装置，能有效地提高装置的利用率和使用方便程度。

又，各部分的具体构成，不限于上述实施例，不脱离本发明的实 质范围，可作出种种变换形式。

本发明的氦检漏器，由于有上述构成，在发生严重泄漏时，检测 该情况，在一定时间内把大气导入油旋转真空泵内，通过搅拌，从而 能快速排出溶入油中的He。由此，即使在严重泄漏后再启动泄漏检 测，也能把质量分析部的本底值保持在低值，可有效地进行检漏。且， 其间不损害连续操作性，即使不习惯操作者操作该装置，也能从严重 泄漏自动恢复，因而具有能有效地提高装置的工作效率及使用方便 性能的优良效果。