氦检漏器

氦检漏器

本发明涉及进行密封检查或密闭检查时所用的氦检漏器。

检查管道有无泄漏时，氦检漏器是一种有效的手段。

如图3所示，该装置备有仅检测氦(He)的质量分析部ANAL、配设在对该质量分析部ANAL与被检测体EXP均能抽真空的位置上作为主泵的涡轮分子泵(TMP)1、起该TMP1的初级抽气泵作用的油旋转真空泵(RP)2，同时，在被检测体EXP与TMP1间配置检测阀TV，在TMP1与RP2之间配置阻断阀FV，进而，在被检测体EXP与RP2的直通管道上配置中间阀BV。图中，TP是用于相对装置装卸被检测体EXP的检测口。

该装置的检漏试验按下述顺序进行。首先保持中间阀BV及检测阀TV关闭，阻断阀FV开启，而启动TMP1及RP2，由此把质量分析部ANAL抽气至预定的真空度。图4中的粗线表示进行抽气的部位。其次，把被检测体连接至检测口TP，改为保持检测阀TV及阻断阀FV关闭，中间阀BV开启，如图5中粗线所示，被检测体EXP由RP2抽气至预定的真空度。然后，通过保持中间阀BV关闭，检测阀TV及阻断阀开启，构成如图6粗线所示的抽气线路，把He气喷至被检测体EXP。这时，若被检测体EXP有泄漏，He的一部分溢入质量分析部ANAL，检测与该泄漏大致成比例的He，其结果是间接测定被测验体EXP的气密度。

可是，当被检测体EXP有大量He泄漏(称为严重泄漏)的情况下，其后检漏时，不能使质量分析部ANAL内的He的本底值(零点)足够低，由此往往导致没有任何问题的良好的被检测体EXP也被判为不良产品之类的不能进行有效试验的状态。

究其原因，已探明是由于严重泄漏时，He浓度极高的空气大量吸入至作为TMP1的初级抽气泵运转的RP2中，此时He溶入RP2的油中，而且已溶入He的气泡随时自吸气口逸出，并倒流至质量分析部ANAL，使本底值上升。

为了消除这种缺陷，可以考虑用停止整个装置的运转，把RP2的油更换为新的油这种办法处理。但这样做，整个装置再次起动前的停机时间拉长，对装置的工作效率影响大，维护方面也必须化费很大费用和劳力。

本发明是着眼于上述课题而构成的，其目的在于提供一种氦检漏器，该检漏器在油旋转真空泵的油中混入大量He时，也能迅速疏散该油，由此使质量分析部的本底值迅速降低，能有效地再启动泄漏检测。

为了达到上述目的，本发明采用如下构成。

即，本发明的氦检漏器包括：只检测氦的质量分析部、对该质量分析部与被检测体均能抽真空的主泵、作为该主泵的初级抽气泵起作用的油旋转真空泵；其特征在于，在所述油旋转真空泵上备有镇气口，在所述镇气口上设置可有选择地开关的电磁阀，同时，设置当用质量分析部测定的氦测定值超过预定的门限值时，控制所述电磁阀保持一定时间开启的控制手段。

在上述构成中，若把相应于严重泄漏的值设定为门限值，则实际产生严重泄漏而油旋转真空泵内吸入大量He后，即使He溶入油中，因为质量分析部的氦测定值超过门限值，控制手段动作，控制油旋转真空泵镇气口上附带设置的电磁阀保持一定时间开启，在油旋转真空泵内导入大气，通过大气搅拌油旋转真空泵内的油，所以油中以气泡状态溶入的He通过大气的搅拌作用也会加速排出。由此，油中的He浓度急速下降，其后即使再启动泄漏检测，也因来自油旋转真空泵的He释放量显著降低，He溢入质量分析部而使本底值上升的缺陷能得到极大改善。且，根据本发明，其间，油旋转真空泵自不言而喻，就连质量分析部和高真空泵等其它装置部分的运转也不必停止，因而不会对系统的连续运转性能有大的不良影响，在严重泄漏后经短时间即可继续有效地再启动泄漏检测。

图1是本发明一实施例的回路图。

图2是上述实施例中采用的油旋转真空泵的概略剖面图。

图3是与所示图1对应的以往例子的回路图。

图4是说明图3中泄漏检测一般顺序的图。

图5是图3中泄漏检测一般顺序的图。

图6是图3中泄漏检测一般顺序的图。

图中，ANAL为质量分析部，EXP为被检测体，GBV为电磁阀，1为主泵(涡轮分子泵；TMP)，2为油旋转真空泵(RP)，4为控制手段(微机单元)，21为镇气口。

下面，参照附图说明本发明一个实施例。

示于图1的氦检漏器与示于图3的构成基本相同。即，它也备有：只检测氦(He)的质量分析部ANAL，配设在对该质量分析部ANAL与被检测体EXP均能抽真空的位置上作为主泵的涡轮分子泵(TMP)1，作为该TMP1的初级抽气泵起作用的油旋转真空泵(RP)2，同时，在被检测体EXP与TMP1之间配置检测阀TV，在TMP1与RP2之间配置阻断阀FV，进而，在被检测体EXP与RP2直通的管道中间配置中间阀BV。

又，泄漏检测的顺序也与图4至图6说明的已有技术的顺序相同。首先，保持中间阀BV及检测阀TV关闭，阻断阀FV开启，通过启动TMP1及RP2把质量分析部ANAL抽至预定真空度(参见图4)。其次，把被检测体EXP连接至检测口TP，改为保持检测阀TV及阻断阀FV关闭，中间阀BV开启，通过RP2把被检测体EXP抽至预定真空度(参见图5)。然后，保持中间阀BV关闭，检测阀TV及阻断阀FV开启，把He气喷至被检测体EXP(参照图6)。这时，若被检测体中有泄漏，He的一部分溢入至质量分析部ANAL中，检测与泄漏大致成比例的He，即可间接测定被检测体EXP的气密程度。

在上文中，当被检测体EXP的密封性和封密状态极差、被检测体EXP和粗车削管道的连接处(检测口TP部分)的真空密封不严密乃至损坏，而发生大量He泄漏(严重泄漏)时，采取通过另外顺序控制而快速终止检测的措施，这时作为TMP1的初级抽气泵运转的RP2中吸入大量He浓度极高的空气，因而RP2的油中溶入He。由此，严重泄漏后再启动泄漏检测时，已溶入的He气泡同时再次自吸气口释放，并倒流入质量分析部ANAL，使本底值上升，而成为泄漏检测实际上不能继续进行的状态。

因此，本实施例在RP2上备有镇气口21，有选择地把大气导入该镇气口21，以解决上述缺陷。

详述如下，该RP2起熟知的抽气泵的作用，即：如图2所示，在气缸22内的偏心位置以内接状态配置转子23，在半径方向可伸出缩进地收容于转子23的叶片24的顶端与气缸22内周滑动接触，由气缸22、转子23、叶片24隔开的泵室P中充填泵油，通过旋转驱动转子23，一边压缩自吸气口25吸入的气体，一边送往排气口26。又，假设要抽出的是水蒸汽之类具有冷凝性的气体时，由于压缩气体液化，为了防止由此引起的泵的整体性能恶化，图示的RP2，在排气口26附近开有镇气口21，在气体压缩前，由该镇气口21导入大气，具备不提高分压而抽气的功能。

在本实施例中，在该镇气口21上可开关地附带设置电磁阀GBV，同时，由作为本发明控制手段的微机单元4控制开关该电磁阀GBV。

电磁阀GBV是常规的阀，通过输入的电信号可把镇气口21至少有选择地切换并保持在开状态或关状态。

微机单元4是具备CPU、存贮器及接口等的公知计算机，在存贮器内贮存预定的程序，CPU按照该程序自质量分析部ANAL输入测定值S、进行规定的比较、运算后，输出开关信号a至上述电磁阀GBV。

下面，按照该程序说明控制的顺序。平时，电磁阀GBV保持关闭状态。CPU定时地把自质量分析部ANAL输入的测定值S与预定的门限值S0比较。该门限值S0设定为超过RP2内允许量的He可能导入的某个值，即设定为与严重泄漏程度相应的测定值。又，当判断为输入的测定值S超过该门限值S0时，则判定为严重泄漏，使上述电磁阀GBV保持一定时间开启状态。由此，经镇气口21，自外部把大量大气导入RP2的泵室P内。严重泄漏时，大量He吸入至RP2的泵室P，它以气泡形式溶入油中。该He由经镇气口21导入的大气在内部搅拌，因而He通过该大气的搅拌作用而加速由排气口26排出。由此，油中的He浓度急速降低，此后即使再启动泄漏检测，也因来自RP2的He释放量显著降低，He溢入质量分析部ANAL而使本底值上升的缺陷能极大改善。且，根据本实施例，在该期间，RP2自不言而喻的，就连质量分析部ANAL和TMP1等其它装置部分也不必停止运转，因而装置的连续运转性不会受到大的不良影响，可在严重泄漏后经极短时间，就继续有效地再启动泄漏检测。此外，上述控制全部自动进行，因而，即使知识缺乏的使用者，也能适当地操纵装置，能有效地提高装置的利用率和使用方便程度。

又，各部分的具体构成，不限于上述实施例，不脱离本发明的实质范围，可作出种种变换形式。

本发明的氦检漏器，由于有上述构成，在发生严重泄漏时，检测该情况，在一定时间内把大气导入油旋转真空泵内，通过搅拌，从而能快速排出溶入油中的He。由此，即使在严重泄漏后再启动泄漏检测，也能把质量分析部的本底值保持在低值，可有效地进行检漏。且，其间不损害连续操作性，即使不习惯操作者操作该装置，也能从严重泄漏自动恢复，因而具有能有效地提高装置的工作效率及使用方便性能的优良效果。