1.非离子表面活性剂在抛光组合物中用于增强金属表面的移除速率的用途，所述抛光组合物包含：
(a)0.2至1重量％的热解法氧化铝，
(b)0.1至1重量％的α-氧化铝，
(c)0.1至4重量％的二氧化硅，其中所述二氧化硅为胶体二氧化硅，
(d)10至1000ppm的非离子表面活性剂，其中该非离子表面活性剂选自包含硅氧烷单元、氧化乙烯单元和氧化丙烯单元的共聚物表面活性剂，
(e)金属螯合有机酸，
(f)氧化剂，其选自过氧化氢、脲过氧化氢、过硫酸、过氧乙酸、过硼酸、它们的盐、以及它们的组合，和
(g)液体载体。
2.权利要求1的用途，其中该金属螯合有机酸选自丙二酸，琥珀酸，己二酸，乳酸，顺-丁烯二酸，苹果酸，柠檬酸，甘氨酸，天冬氨酸，酒石酸，葡萄糖酸，亚氨基二乙酸，及反-丁烯二酸。
3.权利要求1的用途，其中该液体载体包括水。
4.权利要求3的用途，其中该抛光组合物的pH为1至7。
5.权利要求4的用途，其中该抛光组合物的pH为2至5。
6.权利要求1的用途，其中该氧化剂为过氧化氢。
7.权利要求1的用途，所述抛光组合物包含：
(a)0.2至1重量％的热解法氧化铝，
(b)0.1至1重量％的α-氧化铝，
(c)0.1至4重量％的胶体二氧化硅，
(d)10至1000ppm的非离子表面活性剂，其中该非离子表面活性剂选自包括硅氧烷单元、氧化乙烯单元和氧化丙烯单元的共聚物表面活性剂，
(e)金属螯合有机酸，
(f)氧化剂，其选自过氧化氢、脲过氧化氢、过硫酸、过氧乙酸、过硼酸、它们的盐、以及它们的组合，和
(g)液体载体，其中该液体载体为水，
其中该抛光组合物的pH为2至5。
8.权利要求1的用途，所述抛光组合物包含：
(a)0.2至1重量％的热解法氧化铝，
(b)0.1至1重量％的α-氧化铝，
(c)0.1至4重量％的胶体二氧化硅，
(d)10至1000ppm的非离子表面活性剂，其中该非离子表面活性剂选自具有氧化乙烯单元和氧化丙烯单元的乙二胺共聚物，
(e)金属螯合有机酸，其中该金属螯合有机酸为酒石酸，
(f)过氧化氢，和
(g)液体载体，其中该液体载体为水，
其中该抛光组合物的pH为2至5。
9.一种化学机械抛光基板的方法，包括：
(i)将基板与抛光垫和包含下面组分的化学机械抛光组合物接触：
(a)0.2至1重量％的热解法氧化铝，
(b)0.1至1重量％的α-氧化铝，
(c)0.1至4重量％的二氧化硅，其中所述二氧化硅为胶体二氧化硅，
(d)10至1000ppm的非离子表面活性剂，其中该非离子表面活性剂选自包括硅氧烷单元、氧化乙烯单元和氧化丙烯单元的共聚物表面活性剂，
(e)金属螯合有机酸，
(f)氧化剂，其选自过氧化氢、脲过氧化氢、过硫酸、过氧乙酸、过硼酸、它们的盐、以及它们的组合，和
(g)液体载体，
(ii)将抛光垫相对于基板移动，二者间具有所述化学机械抛光组合物，以及(iii)磨掉至少部分基板以抛光该基板。
10.权利要求9的方法，其中该金属螯合有机酸选自丙二酸，琥珀酸，己二酸，乳酸，苹果酸，柠檬酸，甘氨酸，天冬氨酸，酒石酸，葡萄糖酸，亚氨基二乙酸，及反-丁烯二酸。
11.权利要求9的方法，其中该液体载体包括水。
12.权利要求11的方法，其中该抛光组合物的pH为1至7。
13.权利要求12的方法，其中该抛光组合物的pH为2至5。
14.权利要求9的方法，其中该氧化剂为过氧化氢。
15.权利要求9的方法，其中该化学机械抛光组合物包含：
(a)0.2至1重量％的热解法氧化铝，
(b)0.1至1重量％的α-氧化铝，
(c)0.1至4重量％的胶体二氧化硅，
(d)10至1000ppm的非离子表面活性剂，其中该非离子表面活性剂选，自包括硅氧烷单元、氧化乙烯单元及氧化丙烯单元的共聚物表面活性剂，
(e)金属螯合有机酸，其中该金属螯合有机酸为酒石酸，
(f)氧化剂，其选自过氧化氢、脲过氧化氢、过硫酸、过氧乙酸、过硼酸、它们的盐、以及它们的组合，和
(g)水，
其中该抛光组合物的pH为2至5。
16.权利要求9的方法，其中该化学机械抛光组合物包含：
(a)0.2至1重量％的热解法氧化铝，
(b)0.1至1重量％的α-氧化铝，
(c)0.1至4重量％的胶体二氧化硅，
(d)10至1000ppm的非离子表面活性剂，其中该非离子表面活性剂选自具有氧化乙烯单元及氧化丙烯单元的乙二胺共聚物，
(e)金属螯合有机酸，其中该金属螯合有机酸为酒石酸，
(f)过氧化氢，及
(g)液体载体，其中该液体载体为水，
其中该抛光组合物的pH为2至5。
17.权利要求9的方法，其中该基板包含镍-磷。
18.权利要求9的方法，其中该基板为内存或硬盘。