1.一种树状咪唑啉缓蚀剂的制备方法，其特征在于：该方法是先将丙烯酸甲酯和三(2-氨基乙基)胺进行反应制得G0.5聚酰胺-胺(PAMAM)，然后将制得的G0.5聚酰胺-胺(PAMAM)与二乙烯三胺进行反应制得G 1聚酰胺-胺(PAMAM)，最后将制得的G 1聚酰胺-胺(PAMAM)与油酸进行反应制得油酸咪唑啉，即为树状咪唑啉缓蚀剂。
2.根据权利要求1所述的一种树状咪唑啉缓蚀剂的制备方法，其特征在于：该方法具体包括下述步骤：
(1)将过量的丙烯酸甲酯溶于溶剂中，搅拌状态下向其中滴加的三(2-氨基乙基)胺，待三(2-氨基乙基)胺滴加完成后，然后通入氮气在氮气保护状态下避光反应36-38h，停止反应，旋蒸除去过量的丙烯酸甲酯及溶剂，得到淡黄色粘稠状粗产物，然后通过柱层析分离得到淡黄色粘稠状液体G0.5聚酰胺-胺(PAMAM)；
(2)将二乙烯三胺溶于溶剂中，搅拌状态下向其中滴加G0.5聚酰胺-胺(PAMAM)，待G0.5聚酰胺-胺(PAMAM)滴加完成，然后通入氮气在氮气保护状态下避光反应24-26h，然后经TLC检验G0.5聚酰胺-胺(PAMAM)反应完后停止反应，旋蒸除去溶剂，油泵减压抽去二乙烯三胺，得到黄色油状粘稠物G 1聚酰胺-胺(PAMAM)；
(3)取油酸和G 1聚酰胺-胺(PAMAM)，并同时加入带水剂，然后在140-160℃下反应
2-2.5h小时，然后升温至190℃-200℃，进行环化反应，反应2.5-3h后，蒸干带水剂得到深黄色黏稠状油酸咪唑啉，即为树状咪唑啉缓蚀剂。
3.根据权利要求2所述的一种树状咪唑啉缓蚀剂的制备方法，其特征在于：所述步骤(1)中加入的丙烯酸甲酯和三(2-氨基乙基)胺的摩尔比为12-24：1-5。
4.根据权利要求2所述的一种树状咪唑啉缓蚀剂的制备方法，其特征在于：所述步骤(1)中的溶剂为甲醇、乙醇、异丙醇、正丁醇或正辛醇。
5.根据权利要求2所述的一种树状咪唑啉缓蚀剂的制备方法，其特征在于：所述步骤(1)中三(2-氨基乙基)胺采用恒压滴液漏斗滴加，滴加速度控制在每4-8s/滴。
6.根据权利要求2所述的一种树状咪唑啉缓蚀剂的制备方法，其特征在于：所述步骤(1)中柱层析分离所使用的洗脱剂为甲醇和二氯甲烷的混合溶液，且甲醇和二氯甲烷的体积比为1:20。
7.根据权利要求2-6中任意一项所述的一种树状咪唑啉缓蚀剂的制备方法，其特征在于：所述步骤(2)中G0.5聚酰胺-胺(PAMAM)与二乙烯三胺的摩尔比为5-10:33-66。
8.根据权利要求7所述的一种树状咪唑啉缓蚀剂的制备方法，其特征在于：所述步骤(2)中的溶剂为甲醇、乙醇、异丙醇、正丁醇或正辛醇。
9.根据权利要求2-6中任意一项所述的一种树状咪唑啉缓蚀剂的制备方法，其特征在于：所述步骤(3)中G 1聚酰胺-胺(PAMAM)与油酸的摩尔比为460-690:276-414。
10.根据权利要9所述的一种树状咪唑啉缓蚀剂的制备方法，其特征在于：所述步骤(3)中的带水剂为二甲苯、甲苯或正丁醇。