| 序号 | 专利名 | 申请号 | 申请日 | 公开（公告）号 | 公开（公告）日 | 发明人 |
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| 1 | 一维大行程精密定位平台 | CN201510530696.3 | 2015-08-26 | CN105240656B | 2017-09-26 | 钟博文 |
| 本发明涉及一种一维大行程精密定位平台，包括壳体、设置在壳体一侧的交叉滚珠导轨及设置在壳体内的压电陶瓷和弹性件，交叉滚珠导轨包括动子导轨和相对设置在动子导轨两侧的定子导轨，定子导轨与动子导轨平行设置，定子导轨固定在壳体上，壳体内设置有收纳压电陶瓷和弹性件的收纳腔，收纳腔内还设置有第一固定件和第二固定件，第一固定件和第二固定件可沿动子导轨的纵长方向在收纳腔内移动，于动子导轨的纵长方向，压电陶瓷的一端抵持第一固定件，另一端抵持第二固定件，动子导轨固定在第二固定件上，弹性件固定在第一固定件上，于动子导轨的宽度方向，弹性件的两侧抵压收纳腔的内侧面，第一固定件和第二固定件之间通过柔性件连接。 | ||||||
| 2 | 一种基于压电叠堆的微位移定位机构 | CN201611080692.0 | 2016-11-30 | CN106710637A | 2017-05-24 | 王道智; 黄卫清; 孙梦馨; 卢倩 |
| 本发明实施例公开了一种基于压电叠堆的微位移定位机构，涉及压电精密致动应用技术领域，能够提供一种基于压电叠堆的微位移定位机构，采用压电叠堆作为主要驱动元件，通过合理布置位移放大机构的位置，利用三角放大机构实现叠层压电陶瓷的位移放大输出，使得该微位移定位机构可输出较大的位移，精度高，稳定性好。本发明包括：微位移定位机构基体、底板；其特征在于，所述微位移定位机构基体包括位移放大机构、工作台和环形框架，通过螺钉固定环形框架与位移放大机构的连接处，所述位移放大机构与所述工作台和所述环形框架通过柔性铰链连接，所述环形框架的厚度略大于所述位移放大机构和所述工作台的厚度。本发明适用于能够在光波导器件连接并封装过程中，提高精度和效率。 | ||||||
| 3 | 用于显控台的具有翻转装置的操控台面 | CN201610935192.4 | 2016-11-01 | CN106448746A | 2017-02-22 | 陈学永; 匡永江; 杨成博; 杜红光; 吕阿涛 |
| 本发明涉及用于显控台的具有翻转功能的操控台面，所述操控台面包括前安装板(4)、后安装部(5)和翻转装置，翻转装置包括旋转轴承后安装部(5)采用旋转轴承(6)连接；锁紧部件(7)包括锁紧部件A和锁紧部件B，锁紧部件A和锁紧部件B分别安装于前安装板(4)和后安装部(5)上；气弹簧(8)一端固定于前安装板(4)上，另一端固定于后安装部(5)上。操控台面可以在上翻转位置和水平位置方便地切换。操控台台面翻转让操作员出入通畅；有利于台下结构功能设备的检测与维护；可以有效控制显控台装箱尺寸，运输方便。(6)、锁紧部件(7)和气弹簧(8)；前安装板(4)和 | ||||||
| 4 | 一种角度可调的设备支撑台结构 | CN201610588329.3 | 2016-07-25 | CN106205741A | 2016-12-07 | 孙旭东 |
| 一种角度可调的设备支撑台结构，包括固定基座（2）、设置在所述固定基座（2）上的周向均匀分布的四个升降调节组件（7）以及由所述四个升降调节组件（7）支承的支撑台（30），其中，所述四个升降调节组件（7）中的每个均包括与所述固定基座（2）固连的滑动支架（73）、与所述滑动支架73）的上端面中的螺纹孔螺纹配合的升降螺杆72）、与所述升降螺杆（72）的上端通过轴承连接的铰接头（721）以及与所述升降螺杆（72）固连且位于所述滑动支架（73）的上端面与所述铰接头721）之间的螺杆齿套（71），所述铰接头（721）通过球铰链而与所述支撑台（30）连接。 | ||||||
| 5 | 大口径光栅超短行程纳米级精度解耦拼接的机械装置 | CN201610352556.6 | 2016-05-25 | CN106067327A | 2016-11-02 | 白清顺; 沈荣琦; 何欣; 赵航; 张英杰; 张庆春 |
| 大口径光栅超短行程纳米级精度解耦拼接的机械装置，目的是为解决大口径光栅拼接无法实现纳米级精度多自由度解耦调整的问题。多自由度的调整由三个运动平台实现，柔性支柱与两个压电陶瓷驱动器一连接着第一、二平台，两个压电陶瓷驱动器一的伸缩各控制着第一平台的X、Y方向的转动；第二平台通过两个弹性片簧和两个压电陶瓷驱动器二与第三平台连接，第二平台内悬浮于第三平台内，两个压电陶瓷驱动器二可以调节X方向平动和Z方向转动；第三平台与大理石底座之间有一个压电陶瓷驱动器三负责Y方向平动。本发明能实现光栅在‑0.05～+0.05mm超短行程范围内的精密调整，并能实现光栅10纳米的平动拼接精度。本发明用于大口径光栅拼接的高精度多自由度解耦调整。 | ||||||
| 6 | 一种工业用防磨损的操作控制台装置 | CN201610117278.6 | 2016-03-02 | CN105759849A | 2016-07-13 | 李继勇 |
| 一种工业用防磨损的操作控制台装置，包括控制台本体（8）以及与所述控制台本体（8）连接的显示面板（9），其中，所述控制台本体（8）包括壳体部件（80），所述壳体部件（80）的内腔中固定设置有用于可转动地安装驱动小齿轮（811）的第一轴（81）以及水平高度高于所述第一轴（81）的用于可转动地安装与所述显示面板（9）的分开设置的两个底部固连腿部（91）同时固定连接的从动大齿轮套筒（821）的第二轴（82）。 | ||||||
| 7 | 一种工业用可调的操作控制台装置 | CN201610117284.1 | 2016-03-02 | CN105757212A | 2016-07-13 | 李继勇 |
| 一种工业用可调的操作控制台装置，包括控制台本体（8）以及与所述控制台本体（8）连接的显示面板（9），其中，所述控制台本体（8）包括壳体部件（80），所述壳体部件（80）的内腔中固定设置有用于可转动地安装驱动小齿轮（811）的第一轴（81）以及水平高度高于所述第一轴（81）的用于可转动地安装与所述显示面板（9）的分开设置的两个底部固连腿部（91）同时固定连接的从动大齿轮套筒（821）的第二轴（82）。 | ||||||
| 8 | 一维大行程精密定位平台 | CN201510530696.3 | 2015-08-26 | CN105240656A | 2016-01-13 | 钟博文 |
| 本发明涉及一种一维大行程精密定位平台，包括壳体、设置在壳体一侧的交叉滚珠导轨及设置在壳体内的压电陶瓷和弹性件，交叉滚珠导轨包括动子导轨和相对设置在动子导轨两侧的定子导轨，定子导轨与动子导轨平行设置，定子导轨固定在壳体上，壳体内设置有收纳压电陶瓷和弹性件的收纳腔，收纳腔内还设置有第一固定件和第二固定件，第一固定件和第二固定件可沿动子导轨的纵长方向在收纳腔内移动，于动子导轨的纵长方向，压电陶瓷的一端抵持第一固定件，另一端抵持第二固定件，动子导轨固定在第二固定件上，弹性件固定在第一固定件上，于动子导轨的宽度方向，弹性件的两侧抵压收纳腔的内侧面，第一固定件和第二固定件之间通过柔性件连接。 | ||||||
| 9 | 载物台机构 | CN201180001662.5 | 2011-03-29 | CN102396032B | 2015-08-19 | 中富芳春 |
| 本发明提供一种虽为小型且廉价的简易构造却能仅使活动载物台容易且稳定地滑动，并且固定活动载物台时的间隙、固定活动载物台后的移动少的载物台机构。包括固定载物台和沿该固定载物台的表面滑动的活动载物台，其中，在形成于固定载物台的锪孔部设置有进给丝杠以及一个或者两个以上的间隙吸收构件，并且设置有连结构件，该连结构件用于使活动载物台与进给丝杠的进给同步地滑动。 | ||||||
| 10 | 大型工件校平仪 | CN201310427752.1 | 2013-09-21 | CN104457701A | 2015-03-25 | 黄凌志; 李霖山 |
| 本发明公开了一种大型工件校平仪，其特征在于：包括若干个校平器（1）和软管（2），所述校平器（1）包括磁性座（11）和透明塑料筒（13），在所述透明塑料筒（13）的侧面设有螺钉（12），所述螺钉（12）上设有锥面（121）、外螺纹（122）和槽（123），所述透明塑料筒（13）的外表面上标有刻度（131），并在透明塑料筒（13）的下部设有出水口（132），所述透明塑料筒（13）内装有水（3），所述校平器（1）的出水口（132）连接有软管（2），且各个校平器（1）之间采用软管（2）相互连通；所述螺钉（12）采用工程塑料制成。该发明结构简单，操作迅速快捷，校平精度高，成本低，使用寿命长。 | ||||||
| 11 | 平面驱动装置以及对其进行校准的方法 | CN201380008692.8 | 2013-01-22 | CN104105949A | 2014-10-15 | 约尔格·克格勒尔 |
| 本发明涉及一种用于对平面驱动装置进行校准的方法，该平面驱动装置包括定子和能相对于定子在x方向上和在y方向上移动的动子。此外，平面驱动装置还包括布置在动子上的且用于在x方向上驱动动子的第一和第二x驱动装置。第二x驱动装置相对于第一x驱动装置在y方向上错开。第一和第二x驱控单元用于驱控两个x驱动装置。此外，平面驱动装置还包括至少一个用于在y方向上驱动动子的y驱动装置和至少一个用于确定动子在y方向上相对于定子的位置的y传感器。该方法包括至少一个如下步骤，在该步骤中经由用于在x方向上移动动子的两个x驱控单元对第一和第二x驱动装置进行驱控，该驱控同步地、但在x方向上却具有第一错位地实现。在此，y传感器的第一信号依赖于动子在x方向上的位置地记录。在第一校准步骤中通过利用y传感器的第一信号对在第一x驱控单元中要处理的量和在第二x驱控单元中要处理的量进行评估，实现了对两个x驱控单元的校准。此外本发明还涉及一种平面驱动装置。 | ||||||
| 12 | 两方向移动台 | CN200980153294.9 | 2009-07-13 | CN102272910B | 2013-06-12 | 角谷修; 近藤豊; 和田庄司 |
| 两方向移动台在用于焊接装置的XY台的Y方向电机，设有Y方向可动件(43)，其包括可动臂(43a)和环状驱动线圈(44)，所述可动臂(43a)一端固定在台，为沿着Y方向延伸的纤维强化塑料的长方形截面管，在各短边侧面设有沿Y方向延伸的开口(43b)，与台一起，沿X、Y方向移动，所述驱动线圈(44)插入可动臂(43a)的开口(43b)，安装在可动臂(43a)，其局部从可动臂(43a)的开口(43b)朝着可动臂的宽度方向突出。由此，使得焊接装置高速化。 | ||||||
| 13 | 二维移动机构 | CN201080026583.5 | 2010-06-15 | CN102483958A | 2012-05-30 | 宿谷玲; 山中隆 |
| 本发明提供一种使台(15)在X轴方向和Y轴方向自由移动的、结构简单、廉价且容易小型化的二维移动机构。在二维移动机构中，配置有与分别设置于X轴滑块(7)和Y轴滑块(10)上的各个齿条(27、47)的两端附近的齿同时啮合的各一对的小齿轮(33、34、53、54)。所述各一对的小齿轮由各个电机驱动而同步旋转。 | ||||||
| 14 | 用于短冲程载物台的挠曲件导引轴承 | CN201080009481.2 | 2010-02-26 | CN102333615A | 2012-01-25 | 马克·T·科斯莫夫斯基 |
| 本发明涉及一种激光处理系统，在所述激光处理系统中激光束沿着束轴传播且传播穿过透镜以入射在安装于支撑件上的目标试样的工作表面上。所述透镜形成所述激光束的聚焦区。所述支撑件操作地连接到多轴定位系统，所述多轴定位系统使所述激光束与所述目标试样相对于彼此移动以将所述激光束定位于所述工作表面上的选定位置处。组合件包含至少一个挠曲件，所述至少一个挠曲件支撑所述透镜且响应于原动力而导引所述透镜沿着所述束轴移动以相对于所述工作表面调整所述激光束的所述聚焦区。 | ||||||
| 15 | 精密定位装置 | CN200580049099.3 | 2005-03-16 | CN101142633B | 2010-09-01 | 大田黑彻典 |
| 本发明提供一种构造简单、能够将定位对象物在多维空间内在多轴方向上精密地定位的精密定位装置。在多轴方向上具有自由度的精密定位装置(1)具备1个一体构造物(2)、和多个伸缩驱动器(4a、4b、4c)；定位对象物的各轴方向的移动是通过使定位对象物仅向该方向移动而变形的一体构造物(2)的弹性变形来进行的；产生弹性变形的力是基于组装在一体构造物(2)中的伸缩驱动器(4a、4b、4c)的伸缩的力。伸缩驱动器(4a、4b、4c)可以由压电元件构成。 | ||||||
| 16 | 定位器装置 | CN200580009076.X | 2005-01-31 | CN100533799C | 2009-08-26 | M·J·狄克逊; T·J·赫伯特 |
| 描述了一种定位器(2)，用于将样品平台(6)相对于底座(4)移动。定位器由布置成沿驱动轴线膨胀和收缩的压电元件驱动，压电元件具有与底座相连的输入端和与第一输出杠杆(14)和第二输出杠杆(16)相连的输出端，该第一输出杠杆(14)和第二输出杠杆(16)从压电元件的驱动轴线沿相反的方向延伸；每个输出杠杆具有内臂和外臂，内臂布置成当压电元件膨胀时受到压电元件作用，样品平台通过样品平台支撑件(26，28)安装在外臂上；输出杠杆如此安装，即，压电元件作用在输出杠杆的内臂上，以使外臂在包含样品平台的平面内移动。输出杠杆的这种运动通过平台支撑件与样品平台相通，从而使样品平台沿着平行于驱动轴线的方向相对于底座移动。 | ||||||
| 17 | 移动体系统、曝光装置及组件制造方法 | CN200580025934.X | 2005-11-24 | CN100490066C | 2009-05-20 | 依田安史; 柴崎祐一; 荒井大 |
| 本发明提供一种移动体系统、曝光装置及组件制造方法。由于通过制动器机构(48A，48B)来阻止晶片载台(WTB)与测量载台(MTB)较预定距离更接近，且能通过驱动机构(34A)解除该制动器机构之阻止作用，因此例如当独立驱动X轴固定件(81，80)时，即使假设有两个载台之至少一方失控的情形，制动器机构亦能阻止各载台彼此之接触，而例如当载台彼此较预定距离更接近时，通过解除机构来解除制动器机构之阻止作用，能在没有制动机构之妨碍的状态下使两载台接近。 | ||||||
| 18 | 机电定位装置 | CN95196255.8 | 1995-10-21 | CN1068813C | 2001-07-25 | 斯太凡·克莱因迪克 |
| 本发明涉及一种设计作为惯性传动装置的机电定位装置，用于物体的定位，其定位精度小至原子级，定位距离大至厘米范围。此定位装置至少包括一个最好是管状的压电式致动器，用于将可电控的惯性运动传递给滑动件。本发明的对象是一种滑动件，它由至少一个质量较大的单元(质量单元)和至少一个可弹性弯曲的单元(弯曲单元)组成，通过滑动件的弯曲单元可以调整摩擦附着力的强度，而滑动件的质量单元保证定位装置有高的负荷能力。采用将这两种单元组合起来的定位装置，也可以定位较重的物体。并在用作工具时能施加必要的力。 | ||||||
| 19 | 航天器通用精测微调机构和方法 | CN201510936659.2 | 2015-12-16 | CN106887258A | 2017-06-23 | 韩彬; 贾东永; 郭军辉; 杜瑞兆; 郝平; 任春珍 |
| 本发明提供了一种航天器通用精测微调机构和方法，用于航天器精度测量过程的精度调整，以满足需要精测微调的被调整设备的安装精度指标要求，该机构包括：金属微调支脚，作为标准件，由底盘和牙杆组成；以及基座，其上具有通孔，用于固定整个机构，其中，牙杆被旋转以实现被调整设备的精度微调。因此，本发明微调装置结构简单紧凑，使用方便快捷，对精测微调机构与被调整设备的位置精度关系要求不高，并且可对精测微调机构的具体参数进行更改，以便适应不同情况的设备精度调整。 | ||||||
| 20 | XYθ三自由度大行程高频响精密定位平台 | CN201710207293.4 | 2017-03-31 | CN106847346A | 2017-06-13 | 曹军义; 蒋州; 凌明祥; 林京; 曾明华 |
| XYθ三自由度大行程高频响精密定位平台，包括刚性基底，刚性基底内侧分别和四个双层菱形位移放大机构的外侧固定端连接，四个双层菱形位移放大机构的内侧第一刚性输出端与柔性支链机构连接，柔性支链机构的第二刚性输出端与动平台连接，动平台中心通过螺纹孔刚性连接被驱动对象，动平台、柔性支链机构、双层菱形位移放大机构关于螺纹孔旋转对称；菱形位移放大机构的内侧第一刚性输出端通过矩形梁与刚性基底连接，菱形位移放大机构两侧第一刚性输入端与压电陶瓷连接；整个机构由一块钢板经电火花加工工艺一体化加工而成，机构内部空腔加工通透，空腔内部构件处于悬空状态，本发明可以实现大行程和高带宽的高精度位移输出，结构简单和紧凑。 | ||||||
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