改进的射频振荡器专利检索-利用辐射源和检波器专利检索查询-专利查询网

改进的射频振荡器
申请号	CN201880073886.9	申请日	2018-10-17	公开(公告)号	CN111684714B	公开(公告)日	2023-06-13
申请人	泰雷兹公司; 国家科学研究中心; 巴黎大学;			发明人	丹尼尔·杜菲; 西尔文·贡布里; 洛伊克·摩凡; 雷米·布瑞夫; 伊莎贝尔·罗伯特; 让-查尔斯·博诺; 莎拉·本扎巴纳; 文森特·劳迪;
摘要	振荡器 (110)包括：源(111)，该源生成处于脉动频率 ω的入射光波；光机械谐振器 (182)，该光机械谐振器具有处于脉动频率ω的光谐振和处于频率f1的机械谐振，并且从入射光波生成处于脉动频率ω和ω‑2πf1的出射光波和处于频率f1的声波；以及光电二极管 (118)，该光电二极管从出射波释放处于频率f1的有用信号 (Sout)。该振荡器还包括：声传播装置(184)，该声传播装置用于将声波传播距离(d)，以便产生经延迟声波；装置(185)，该装置用于将经延迟声波转换成处于频率f1的延迟信号(Sr)；以及控制回路(117)，该控制回路处理延迟信号(Sr)，以便获得应用到源的控制信号 (Sc)。
权利要求	1.一种射频振荡器(110，210，310)，包括： ‑受控源(111，211，311)，其能够生成包括处于参考脉动频率ω的至少一个光波的入射光束； ‑光机械谐振器(182，282，382)，其具有处于所述参考脉动频率ω的光谐振和处于参考频率f1的机械谐振，所述光机械谐振器能够从所述入射光束生成出射光束，所述出射光束一方面包括处于脉动频率ω和ω‑2πf1的光波并且另一方面包括处于所述参考频率f1的声波； ‑光电二极管(118，218，318)，其能够从所述光机械谐振器(182，282，382)的所述出射光束释放处于所述参考频率f1的工作电信号(Sout)，其特征在于，所述射频振荡器包括： ‑声传播装置(184，284，384)，其能够提取由所述光机械谐振器(182，282，382)生成的声波并将其传播预定传播距离(d)，以便在其中引入延迟(τ)，以产生经延迟声波； ‑转换装置(185，285，385)，其能够将在所述传播装置的输出处的所述经延迟声波转换成具有等于所述参考频率f1的振荡频率的电延迟信号(Sr)；以及 ‑控制回路(117，217，317)，其能够处理所述延迟信号(Sr)，以便获得应用到所述源(111，211，311)的电控制信号(Sc)，所述电控制信号具有等于所述参考频率f1的振荡频率。 2.根据权利要求1所述的振荡器(110)，其中，所述源(111)包括： ‑单频激光器(112)，其能够生成包括处于所述参考脉动频率ω的光波的光束；以及‑调制器(114)，其能够根据所述电控制信号(Sc)调制由所述单频激光器(112)生成的光束的光波，以便获得入射光束，作为输出，所述入射光束被调制为包括处于所述脉动频率ω和所述脉动频率ω+2πf1和/或ω‑2πf1的光波。 3.根据权利要求1所述的振荡器(210)，其中，所述源(211)是双频激光器(212)，所述双频激光器能够根据所述控制信号(Sc)生成入射光束，所述入射光束包括处于所述脉动频率ω和所述脉动频率ω+2πf1和/或ω‑2πf1的光波。 4.根据权利要求1所述的振荡器(310)，其中，所述传播装置(384)是能够产生被延迟了第一延迟(τ1)的第一声波的第一传播装置，并且所述转换装置(385)是能够从所述被延迟了第一延迟(τ1)的第一声波释放第一电延迟信号(SR1)的第一转换装置，所述振荡器还包括：第二传播装置(386)，所述第二传播装置能够提取由所述光机械谐振器(382)生成的声波并将其传播预定传播距离(d2)，以在其中引入第二延迟(τ2)，以便产生第二经延迟声波；和第二转换装置(387)，所述第二转换装置能够从所述第二经延迟声波释放第二电延迟信号(SR2)，所述控制回路(317)包括用于确定电误差信号(Se)的装置，所述电误差信号从第一电延迟信号和第二电延迟信号确定，所述控制信号(Sc)从所述误差信号(Se)形成。 5.根据权利要求1‑4中任意一项所述的振荡器(110，210，310)，其中，所述光机械谐振器、所述声传播装置以及所述转换装置被集成在同一芯片上。 6.根据权利要求1‑4中任意一项所述的振荡器(110，210，310)，其中，所述声传播装置是被调谐到所述参考频率f1的波导。 7.根据权利要求1‑4中任意一项所述的振荡器(110，210，310)，其中，所述转换装置包括压电材料和叉指型电极。
说明书全文	改进的射频振荡器【技术领域】 [0001] 本发明涉及射频或RF振荡器的领域。RF域通常在1GHz至100GHz之间延伸。【背景技术】 [0002] X.S.YAO和L.MALEKI的论文,“Optoelectronic oscillator for photonic systems,”IEEE J.Quantum Electron.,第32卷,第7期,第1141‑1149页,1996年，公开了一种光电类型的RF振荡器。如图1所示，构成具有外部调制的宽带光电链路的该振荡器10在其自身上形成环路，包括： [0003] ‑受控源11，该受控源由激光器12和快速调制器14组成，激光器能够生成单频光束，该单频光束的光波具有脉动ω，快速调制器能够根据具有频率f1的命令信号Sc调制激光器12的单频光束，以便生成经调制光束，该光束包括处于脉动频率ω和ω±2πf1的光波； [0004] ‑光纤15，该光纤形成用于由受控源生成的经调制光束的延迟线，该延迟线的长度L适于延迟通过它的光波； [0005] ‑快速光电二极管18，该快速光电二极管能够从光纤15的出射经延迟光束释放处于频率f1的电信号；以及 [0006] ‑控制回路17，该控制回路处理在光电二极管18的输出处释放的电信号，以便获得作为控制信号应用到调制器14的反馈信号。 [0007] 控制回路17包括滤波装置(诸如谐振腔72)和放大装置(诸如在腔的输入处的低噪声放大器71和在腔的输出处的高功率放大器73)、以及耦合器74，该耦合器的第一输出连接到调制器14的控制端子，并且第二输出承载由振荡器10生成的期望信号Sout。期望信号Sout以频率f1振荡。 [0008] 当达到振荡条件时(也就是说，当回路的总增益足够时)，这种振荡器的品质因数Q是光纤15的长度L与和振荡频率f1关联的真空中的波长Λ之间的比率的函数。 [0009] 由此，对于在RF域中的频率f1(例如10GHz(Λ＝3cm))和长度L＝3km的振荡，实现5 了10的品质因数Q。该品质因数是令人感兴趣的，因为它使得可以生成具有高频谱品质(典型地，在离载波10kHz处为‑145dBc/Hz)的期望信号。 [0010] 然而，由于光纤的缠绕限制，这种光电RF振荡器的最终体积大约为0.5升至1升。这对于一些嵌入式应用是不利条件，比如在雷达天线中。 [0011] 另外，光纤的大长度使得振荡器对温度变化和振动相对敏感，这对于嵌入式应用是一个缺点。 [0012] 这可以通过用光谐振器代替光纤来部分地解决。光谐振器在入射光波和出射光波8 之间引入延迟。此时，具有足够的过电压系数(通常大约为10)的唯一光谐振器是三维谐振器。 [0013] 然而，一方面调制器与光谐振器之间的耦合，另一方面激光器的波长到光谐振器的波长的必要锁定是关键的，并且对环境(温度、振动等)也相对敏感。 [0014] 此外，存在结合有光机械谐振器的稳定振荡器(也称为锁定振荡器)。这种谐振器实施了光谐振与机械谐振之间的耦合。谐振器的出射光束用于在低频域中形成反馈，并且将其应用到激光器(频率和/或功率)，以便相对于振荡频率的缓慢漂移(温度、振动等)稳定振荡器的操作点。然而，机械品质因数保持较低，因此它们的频谱纯度较低。 [0015] 此外，文献EP3112879A1公开了一种射频振荡器，该射频振荡器包括：受控源，该受控源能够生成包括处于参考脉动ω的至少一个光波的入射光束；光机械谐振器，该光机械谐振器具有处于参考脉动ω的光谐振和处于参考频率f1的机械谐振，光机械谐振器能够从入射光束生成出射光束，该出射光束一方面包括处于脉动频率ω和ω‑2πf1的光波且另一方面包括处于参考频率f1的声波；光电二极管，该光电二极管能够从光机械谐振器的出射光束释放处于参考频率f1的工作电信号。【发明内容】 [0016] 本发明的目的是解决上述问题。 [0017] 为此，本发明涉及一种射频振荡器，该射频振荡器包括： [0018] ‑受控源，该受控源能够生成包括处于参考脉动频率ω的至少一个光波的入射光束； [0019] ‑光机械谐振器，该光机械谐振器具有处于参考脉动ω的光谐振和处于参考频率f1的机械谐振，光机械谐振器能够从入射光束生成出射光束，该出射光束一方面包括处于脉动频率ω和ω‑2πf1的光波并且另一方面包括处于参考频率f1的声波； [0020] ‑光电二极管，该光电二极管能够从光机械谐振器的出射光束释放处于参考频率f1的工作电信号， [0021] 该射频振荡器的特征在于，它包括： [0022] ‑声传播装置，该声传播装置能够提取由光机械谐振器生成的声波并将其传播预定传播距离，以便在其中引入延迟，以产生经延迟声波； [0023] ‑转换装置，该转换装置能够将在传播装置的输出处的经延迟声波转换成具有等于参考频率f1的振荡频率的电延迟信号；以及 [0024] ‑控制回路，该控制回路能够处理延迟信号，以便获得应用到源的电控制信号，电控制信号具有等于参考频率f1的振荡频率。 [0025] 本发明还实施了光机械谐振器，即，组合了光谐振、机械谐振以及它们之间的耦合的装置。 [0026] 然而，本发明提出了一种原始方案，该原始方案允许通过高频信号的延迟的重新注入来实现光机械振荡器的频谱细化(也就是说，频谱纯度的增加)，该延迟不再通过光波(在光纤或光谐振器中)的传播来完成，而是通过在光机械谐振器中光学地生成的声波(例如，在声波导中)的传播来完成。 [0027] 接着，在电域中，通过执行声波到电信号(电压或电流)的转换的适当装置来收集延迟的声波。该装置是例如实施压电效应或电容效应的装置。该转换可以借助光机械谐振器的部件材料的物理特性或借助附接在光机械谐振器上的适当结构来完成。然后，再注入由此生成的电信号，以便调制进入光机械谐振器的光波。 [0028] 由此，振荡器表现为光‑声‑电RF振荡器。 [0029] 根据特定实施方式，前述谐振器中的一个或另一个包括以下特征中的一个或多个，这些特征单独考虑或根据任意技术上可以的组合来考虑： [0030] ‑源包括：单频激光器，该单频激光器能够生成包括处于参考脉动频率ω的光波的光束；以及调制器，该调制器能够根据所述电控制信号调制由单频激光器生成的光束的光波，以便获得入射光束，作为输出，该入射光束被调制为包括处于脉动频率ω和脉动频率ω+2πf1和/或ω‑2πf1的光波； [0031] ‑源是双频激光器，该双频激光器能够根据所述控制信号生成入射光束，该入射光束包括处于脉动频率ω和脉动频率ω+2πf1和/或ω‑2πf1的光波； [0032] ‑传播装置是能够产生被延迟了第一延迟的第一声波的第一传播装置，并且转换装置是能够从第一经延迟声波释放第一电延迟信号的第一转换装置，振荡器还包括：第二传播装置，该第二传播装置能够提取由光机械谐振器生成的声波并将其传播预定传播距离，以在其中引入第二延迟，以便产生第二经延迟声波；和第二转换装置，该第二转换装置能够从第二经延迟声波释放第二电延迟信号，控制回路包括用于确定电误差信号的装置，该电误差信号从第一电延迟信号和第二电延迟信号确定，控制信号从误差信号形成； [0033] ‑光机械谐振器、声传播装置以及转换装置被集成在同一芯片上； [0034] ‑声传播装置是被调谐到参考频率f1的波导； [0035] ‑转换装置包括压电材料和叉指型电极。 [0036] 鉴于材料中的声传播的通常速度，可以产生相当于几百米的光纤在几毫米的距离上的延迟。上述RF振荡器的功能具有能够利用集体和平面生产技术集成在具有小尺寸(几十平方毫米)的单个芯片(也称为集成电路)上的优点。【附图说明】 [0037] 本发明及其优点将在阅读本发明的若干具体实施方式的以下详细描述时更佳地理解，这些实施方式仅作为例示性和非限制性示例提供。本描述参考附图来进行，附图中： [0038] 图1示意性地示出了根据现有技术的振荡器； [0039] 图2示意性地示出了根据本发明的振荡器的第一实施方式； [0040] 图3示意性地示出了根据本发明的振荡器的第二实施方式； [0041] 图4示意性地示出了根据本发明的振荡器的第三实施方式；以及 [0042] 图5示意性地示出了不根据本发明的振荡器的第四实施方式。【具体实施方式】 [0043] 参照图2，将描述根据本发明的射频振荡器的一个当前优选实施方式的结构。 [0044] 射频振荡器110包括受控源111、光声电装置116、反馈回路117以及光电二极管118。 [0045] 更具体地，受控源111由激光器112和调制器114组成。 [0046] 激光器112是单频激光器，该单频激光器能够生成包括处于脉动频率ω的光波的入射光束。激光器112例如是DFB(分布反馈激光器)激光二极管型或二极管泵浦固态激光器型。该激光器能够生成光例如具有1.5μm的波长的激光束。在激光器112的输出处的激光束被应用在调制器114的输入处。 [0047] 调制器114是快速的，并且能够根据具有频率f1的控制信号Sc来调制由激光器112发射的激光束的光波，以便生成具有处于脉动频率ω和的光波的经调制激光束，作为输出。 [0048] 例如，调制器114是快速电光调制器，其带宽与期望的RF振荡频率(通常，f1＝10GHz)兼容。调制器114优选地是强度调制器，例如，马赫‑曾德尔型。在变型中，调制器还可以是相位调制器或单边带调制器。调制器114能够根据应用在调制器114的控制端子上的控制信号Sc的电压电平来调制入射激光束的强度或相位。在调制器114的输出处获得经调制光束。 [0049] 在调制器114的输出处的经调制光束被应用在装置116的输入处。 [0050] 光声电装置116包括光机械谐振器182、声导184和机械/电换能器185。 [0051] 光机械谐振器182具有处于脉动频率ω的光谐振和处于频率f1的机械谐振，这些谐振彼此耦合。从脉动频率接近脉动频率ω的入射光束，谐振器182能够生成处于其固有机械谐振频率f1的机械振荡、以及包括处于脉动频率ω和ω‑2πf1的光波的出射光束。 [0052] 这种光机械谐振器是已知的，例如在Markus Aspelmeyer等人的论文，标题为“Cavity optomechanics”，Reviews of Modern Physics，第86卷，2014年10月‑12月中详细描述。 [0053] 光机械共振器182是膜，因为其厚度尺寸(例如250nm)相对于其长度和宽度尺寸减小。 [0054] 该膜由纳米级结构化的材料制成，以便具有周期性光学图案(使得可以限定光子带隙)，该周期性光学图案的周期性被改变，以便具有缺陷，以形成具有高光谱准确性的光腔。 [0055] 膜的光子结构化使得可以从具有低光功率水平(通常为几10mW)的光束激发(经由辐射压力的光机械耦合、受激布里渊散射等类型)机械振动。由此，由于该光机械效应，入射光束的光波在谐振器182中激发机械振动模式，也就是说，声波。 [0056] 反过来，这些声波局部地修改膜的有效光学指数。可随着时间变化的指数的该修改从入射光束的光波产生次级光波。这些次级光波具有与入射光束的光波不同的光频。 [0057] 由此，当发现平衡时，如果入射光束的光波的脉动频率为ω并且如果膜的机械振动模式的频率为f1,f2,...,fi,...，则出射光束由具有以下脉动频率的光波组成：ω；ω‑2πf1；ω‑2πf2；…；ω‑2πfi；…等。通常，仅产生下边带，但不排除一些材料使得可以获得上边带。 [0058] 此外，谐振器182的组成膜的材料优选地根据声学图案来结构化。该声学图案例如通过产生膜的纳米穿孔来获得。然后，各个穿孔可以被认为是声阻抗破裂，使得膜的材料组成声子晶体。然后将光学功能和声学功能关联的材料被称为“声光子的(phoxonic)”。 [0059] 膜的声学结构能够提供有利的机械振动模式的过滤和有利的光波的限制。由此，膜的声学结构被选择为有利于以频率f1为特征的机械振动模式。 [0060] 由此，在已确立的方案中，处于频率f1的声波被增强并且选自不同的可能声波。同时，处于脉动频率ω‑2πf1的光波是有利的。由此，在谐振器182的输出处并因此在装置116的输出处，存在包含具有脉动频率ω和ω‑2πf1的光波的出射光束。 [0061] 此外，具有频率f1的声波用于生成延迟信号Sr。 [0062] 为此，装置116的声导184能够提取在光机械谐振器182的组成膜中生成的具有频率f1的声波，并且将其朝向机械/电换能器185引导距离d。 [0063] 具有频率f1的声波穿过声导184的传播时间引入延迟τ。鉴于声波在波导的组成材‑1料中的速度(大约为3000m.s )，对于3mm的距离d获得大约1μs的延迟。 [0064] 声导184的材料有利地具有纳米声子结构，该结构减慢和过滤该声波。例如，该材‑1料以声子带隙材料的形式结构化，以便将处于频率f1的声波减慢到通常为400m.s 的值。这种材料例如在Fang，Kejie等人的论文“Phonon routing in integrated optomechanical cavity‑waveguide systems.”arXiv preprint arXiv:1508.05138(2015年)中描述。在这种情况下，对于0.4mm的传播距离d获得1μs的延迟。应当注意，在根据现有技术的光电振荡器架构中，利用200m的光纤获得相同的延迟。 [0065] 最后，在声导184的另一端，机械/电换能器185用于将具有频率f1的经延迟声波转换为电信号Sr，该电信号具有等于有利频率f1的振荡频率。这可以例如通过选择换能器185的基板的组成材料使得其是压电的来获得。然后，基板在表面上承载一组叉指型电极。该组电极被调谐到频率f1。 [0066] 优选地，装置116还包括输入光导181和输出光导183，它们定位在谐振器182附近。输入光导用于将由受控源111生成并应用在装置116的输入处的入射光束引导到谐振器 182。光导181与谐振器182之间的耦合通过倏逝波来完成。对称地，输出光导183用于将谐振器182的出射光束朝向二极管118引导到装置116的输出。光导182与谐振器183之间的耦合通过倏逝波来完成。有利地，光导可以直接在谐振器182的组成膜中制成。 [0067] 在一个特别有利的变型中，装置116的不同功能被集成在同一芯片上。谐振器182的膜、声导184以及换能器185的基板的组成材料于是相同，以便允许使用适当的技术同时制造。所考虑的材料例如是半导体III‑V材料，优选砷化镓GaAs。 [0068] 光电二极管118使得可以从装置116的出射光束生成工作信号Sout。 [0069] 光电二极管118优选地是快速光电二极管，也就是说，其带宽大于频率f1。光电二极管用于检测出射光束的两个光波，分别为ω和ω‑2πf1之间的频率偏差，并释放处于频率f1的电差拍信号，作为输出。该差拍信号是作为振荡器110的输出而释放的工作信号Sout。 [0070] 光电二极管118可以有利地用于经由激光器的功率和光频来稳定光机械谐振器182的操作条件。例如，它使得可以补偿光谐振器的热漂移，该热漂移引起谐振与激励之间的差异。 [0071] 反馈回路117从作为换能器185的输出释放的电信号Sr形成调制器114的电控制信号Sc。回路117包括滤波装置172，其后是放大装置173。 [0072] 由此，被延迟的且具有频率f1的电信号Sr经由反馈回路117用于馈送至调制器114。因此，在频率f1下调制的具有脉动频率ω的光束被重新注入到光机械谐振器182中，也就是说，包括处于脉动频率ω和的光束。 [0073] 还将可以使用与耦合器74相同的耦合器在放大器173的输出处恢复射频差拍信号。 [0074] 在被注入到谐振器182中的经调制光束中包含的两个光波ω和ω‑2πf1有助于保持生成处于频率f1的声波。 [0075] 这样，由于由声学延迟τ提供的有效品质因数，光机械振荡器182获得准确性。 [0076] 连续地光学地、机械地和电气地提供的处于f1的振荡同时受益于光谐振、机械谐振和声延迟。因此，组件构成比简单的光机械谐振器更能够生成大频谱纯度的信号的RF振荡器。 [0077] 通过几毫米的结构获得延迟，振荡器具有极度减小的体积，尤其是相对于现有技3 术。光机械谐振器的体积通常为几μm 。结合有延迟线和换能器的振荡器的体积通常为1mm x 10μm x 250nm。 [0078] 谐振器182还具有较高的光过电压系数Q，该系数典型地为大约105‑106。 [0079] 一旦电增益和光功率(典型地为10MW)足够，就可以实现电光机械振荡器110的维持的振荡条件和频谱细化。 [0080] 频率f1较高，通常在GHz的量级。 [0081] 在变型中，光纤可以插入装置116与光电二极管118之间，以便中断远离振荡器110核心的出射光束的光载波上的RF信号。在该变型中，光纤在振荡器的稳定化中不起任何作用，这与现有技术不同。 [0082] 图3至图5示出了本发明的另选实施方式。在这些附图中，与第一实施方式的元件相同的第二、第三或第四实施方式的元件由用于在图2中引用该相同元件的附图来引用，对于第二实施方式增大一百，对于第三实施方式增大两百，对于第四实施方式增大三百。 [0083] 在图3的第二实施方式中，在所有其它因素相同的情况下，振荡器210的源211是双频激光器212，以代替由图2的振荡器110的激光器112和调制器114组成的组件。在双频激光器是在G.Kervella等人的论文“Laser sources for microwave to millimeter‑wave applications,”Photon.Res.2，B70‑B79(2014年)中描述的类型的激光二极管的情况下，声源的电控制信号Sc可以直接应用来控制双频激光器，并将由激光器生成的两个频率之间的间隙锁定在频率f1。由此，双频激光器仅生成分别处于ω和ω‑2πf1的两个光波。 [0084] 在该第二实施方式的变型中，源211是直接调制激光器。 [0085] 在图4的第三实施方式中，对应于图2的第一实施方式的实施方式变型，振荡器310的源311由单频激光器312和调制器314组成。 [0086] 在该实施方式中，光机械谐振器316包括：第一声导384(使声波传播距离d1)和第一机械/光转换器385，该声导和该转换器使得可以生成具有延迟τ1的第一延迟信号Sr1；以及第二声导386((使声波传播距离d2)和第二机械/光转换器387，该声导和该转换器使得可以生成具有延迟τ2的第二延迟信号Sr2。 [0087] 两个延迟信号在RF加法器388中组合。该加法器然后释放具有降低频率的误差信号Se，该信号考虑了由时间间隙τ2‑τ1分开的两个时刻之间的拍频的漂移。误差信号Se接着被放大，以便获得源311的控制信号Sc。 [0088] 在该第三实施方式的变型中，延迟τ1不是声学地获得的，而是从处于光电二极管318的输出处的工作信号Sout获得的。工作信号与声学延迟信号Sr2混合，以便在双频激光器上生成误差反馈信号Se。 [0089] 在不是本发明的一部分并且在图5中示出的第四实施方式中，去除了电光调制器。源411的光波直接从激光器412注入到谐振器482中。该入射光波由机械振动调制，并且在谐振器482的输出处由快速光电二极管418检测出射的经调制波。然后，放大在二极管418的输出处释放的工作信号Sout，以便获得处于频率f1的激励信号SX。接着，激励信号SX被应用到现在作为电声转换器操作的转换器485的一组叉指型电极。该激励信号通过压电效应以频率f1激励声波。该声波被提取并由声导484引向谐振器482。正是该声波将以由声波穿过声导 484的传播引入的延迟τ作用于谐振器482的光腔，以调制光波。 [0090] 在第四实施方式中，光学地“读取”由电信号生成的声波。通过光电二极管对该经调制光波的检测产生电信号，该电信号又馈送声波的生成。由此，振荡器410闭合。 [0091] 该第四实施方式是前述附图的“相反”实施方式，前述附图例示了根据本发明的三个实施方式。该第四实施方式可以推广到前面描述的本发明的所有三个实施方式和变型。 [0092] 根据本发明的振荡器使得可以直接以使用频率生成具有很高频谱纯度的RF信号，尤其是不需要乘法链。 [0093] 根据本发明的振荡器可以在大约1cm2到10cm2的半导体芯片上制造，与嵌入式应用兼容。 [0094] 本发明属于生成具有很高频谱纯度的RF信号的一般领域，这些RF信号能够用作雷达系统、电子战争、通信或更一般地计量学中的本地振荡器。

意见反馈