一种透视窗及其使用方法和装置 |
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| 申请号 | CN201810256479.3 | 申请日 | 2018-03-27 | 公开(公告)号 | CN108320776A | 公开(公告)日 | 2018-07-24 |
| 申请人 | 南京中电熊猫平板显示科技有限公司; 南京中电熊猫液晶显示科技有限公司; 南京华东电子信息科技股份有限公司; | 发明人 | 马建伟; 顾葆华; 翟云华; 赵辉; 何方; 吴茂诘; | ||||
| 摘要 | 本 发明 公开了一种透视窗，包括透明的圆形腔室盖板，设置在腔室盖板第一侧的第一刮条、设置在腔室盖板第二侧的第二刮条以及设置在第二刮条和腔室盖板之间的至少一个第二万向轮，第一刮条带动第二刮条同 时移 动；腔室盖板为圆形，在腔室盖板的边缘设有至少一个回流口；本发明中第一刮条带动第二刮条在圆形的腔室盖板的范围内转动，且腔室盖板四周的限位结构有效避免了第二刮条脱落；本发明还公开了该透视窗的使用方法和包括该透视窗的装置。 | ||||||
| 权利要求 | 1.一种透视窗，包括透明的腔室盖板、设置在腔室盖板第一侧的第一刮条、设置在腔室盖板第二侧的第二刮条以及设置在第二刮条和腔室盖板之间的至少一个第二万向轮，所述第一刮条带动所述第二刮条同时移动，其特征在于： |
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| 说明书全文 | 一种透视窗及其使用方法和装置技术领域[0001] 本发明涉及设备技术领域，尤其涉及一种湿式设备的透视窗及其使用方法和包括该透视窗的装置。 背景技术[0002] 透视窗在半导体行业以及TFT-LCD、AMOLED等新型半导体显示行业中有广泛应用，如设置在药液腔室和水洗腔室的壁上用于观察腔室内部状况，透视窗一般位于设备腔室的顶部；随着设备大型化，腔室宽度随之增加，目前设备一般每个腔室设有4个以上的透视窗。 [0003] 在有温度要求的药液单元，一般会在腔室内壁PVC盖板上形成液滴或者雾气，透视窗的矩形盖板100上也会形成液滴或者雾气影响观察。如图1和图2所示，现有技术的中透视窗一般呈矩形，透明的矩形盖板100在腔室内外两侧对应地设置有长条状的第一刮条11和第二刮条12，第一刮条11位于腔室外，第二刮条12位于腔室内，第一刮条11与第二刮条12形状和长度基本一致并且相互间有吸力，第一刮条11移动时可带动第二刮条12移动，第二刮条12在靠近矩形盖板100的一侧设置有多个第二万向轮121。垂直于矩形盖板100的竖线连接板101和平行于矩形盖板100的平行连接板102构成截面呈“L”型的防脱落折弯，设置在矩形盖板100的左右两侧且位于靠近腔室内的一侧，第二刮条12设置在矩形盖板100和两个防脱落折弯围成的容置空间内。当需要观察腔室内部状况时，可以沿图1中双向箭头的方向移动腔室外的第一刮条11，由于防脱落折弯的限位作用和第一刮条11的吸力，第二刮条12也只能随之沿双向箭头方向移动，从而清除透视窗内侧聚集的液滴或者雾气。 [0004] 然而，如图3和图4所示，当第一刮条11的移动方向偏离双向箭头方向时，第二刮条12随之发生倾斜，脱离开矩形盖板100和两个防脱落折弯构成的限位结构，掉入腔室内，可能造成基板破裂或者机构损伤。此外，在防脱落折弯和第二刮条12的位置会残留一部分药液，随着水分的蒸发，药液浓度急剧升高，如滴落到基板上方，极易形成点伤或者过刻蚀。 发明内容[0005] 为解决上述技术问题，本发明公开了一种透视窗，可解决第二刮条在运动时脱落和透视窗位置药液残留的问题；本发明还公开了该透视窗的使用方法和包括该透视窗的装置。 [0006] 本发明公开了一种透视窗，该透视窗包括透明的腔室盖板、设置在腔室盖板第一侧的第一刮条、设置在腔室盖板第二侧的第二刮条以及设置在第二刮条和腔室盖板之间的至少一个第二万向轮，第一刮条带动第二刮条同时移动；腔室盖板为圆形；在腔室盖板的边缘设有至少一个回流口。 [0007] 优选地，该透视窗还包括与所述腔室盖板连接且位于腔室盖板第二侧的第二竖向连接板以及固定在第二竖向连接板上的横向连接板； [0008] 优选地，第二竖向连接板在腔室盖板的四周围成环形，横向连接板在第二竖向连接板上方围成环形；第二刮条位于腔室盖板、第二竖向连接板和横向连接板围成的容置空间内。 [0009] 优选地，与所述回流口对应的第二竖向连接板和横向连接板设有缺口。 [0010] 优选地，腔室盖板的直径L、横向连接板沿腔室盖板径向的长度L1、第二刮条的长度L2满足以下关系式：2*L1+L2>L。 [0011] 优选地，该透视窗还包括与所述腔室盖板连接且位于腔室盖板第一侧的第一竖向连接板，所述第一竖向连接板在腔室盖板的四周围成环形。 [0012] 优选地，该透视窗还包括设置在所述第一刮条和腔室盖板之间的至少一个第一万向轮。 [0013] 优选地，该透视窗还包括固定在第一刮条上的操作把手。 [0015] 本发明还公开了一种透视窗的使用方法，应用于上述任一项所述的透视窗，该使用方法包括以下步骤： [0016] 第一步：确认第一刮条和第二刮条是否在腔室盖板的两侧相互对应；如没有相互对应，调整两者的位置； [0017] 第二步：控制第一刮条转动，带动第二刮条转动； [0018] 第三步：转动完成后，确认是否已有效清除透视窗内侧的液滴或者雾气；如去除效果不理想，重复第二步直至达到预想效果； [0019] 第四步：清理完成后，透过透明的腔室盖板观察腔室状况。 [0020] 本发明还公开了一种装置，在该装置的壁面上设有至少一个上述任一项所述的透视窗，第一刮板位于装置外，第二刮板位于装置内。 [0021] 与现有技术相比，本发明能够带来以下至少一项有益效果： [0022] 1、第一刮条带动第二刮条在圆形的腔室盖板的范围内转动，圆形的腔室盖板避免由此产生的刮条易掉落现象和增加透视窗口面积，方便设备巡检和内部机构动作确认，且腔室盖板周围的限位结构有效避免了第二刮条脱离； [0024] 下面将以明确易懂的方式，结合附图说明优选实施方式，对本发明予以进一步说明。 [0025] 图1为现有技术中透视窗的俯视图； [0026] 图2为图1所示透视窗的主视图； [0027] 图3为图1所示透视窗在第一刮条倾斜时的俯视图； [0028] 图4为图1所示透视窗在第一刮条倾斜时的主视图； [0029] 图5为本发明透视窗的俯视图； [0030] 图6为图5所示透视窗沿A-A’方向的剖面图； [0031] 图7为图5所示透视窗沿B-B’方向的剖面图； [0032] 图8为图5所示透视窗的主视图； [0033] 图9为图5所示透视窗的侧视图； [0034] 图10为图5所示透视窗的仰视图。 [0035] 附图标号说明： [0036] 100、矩形盖板，101、竖向连接板，102、平行连接板，11、第一刮条，111、第一万向轮，112、操作把手，12、第二刮条，121、第二万向轮，122、磁铁，123、固定螺丝，200、腔室盖板，201、第一竖向连接板，202、第二竖向连接板，203、横向连接板，14、回流口。 具体实施方式[0037] 为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对照附图说明本发明的具体实施方式。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图，并获得其他的实施方式。 [0038] 为使图面简洁，各图中只示意性地表示出了与本发明相关的部分，它们并不代表其作为产品的实际结构。另外，以使图面简洁便于理解，在有些图中具有相同结构或功能的部件，仅示意性地绘示了其中的一个，或仅标出了其中的一个。在本文中，“一个”不仅表示“仅此一个”，也可以表示“多于一个”的情形。 [0039] 透视窗设置在药液腔室和水洗腔室的壁上用于观察腔室内部状况，透视窗一般位于设备腔室的顶部。为方便表述，以下将透视窗位于腔室外的一侧称为外侧和第一侧，将透视窗位于腔室内的一侧称为内侧和第二侧。 [0040] 本发明中透视窗用于半导体行业以及TFT-LCD、AMOLED等新型半导体显示行业，透视窗的俯视图如图5所示，透视窗包括透明的圆形腔室盖板200、设置在腔室盖板200第一侧的第一刮条11、设置在腔室盖板200第二侧的第二刮条12、固定在第一刮条11上的操作把手112、位于第一刮条11和腔室盖板200之间的第一万向轮111、位于第而刮条12和腔室盖板 200之间的第二万向轮121、与腔室盖板200连接的第一竖向连接板201和第二竖向连接板 202以及与第二竖向连接板202连接的横向连接板203。 [0041] 腔室盖板200采用圆形设计，第一刮条11和第二刮条12的长度约为腔室盖板200的直径，第一刮条11和第二刮条12的中心线均与腔室盖板200的中心线在同一直线上。由于圆形内部直径最长，无论第一刮条11如何移动，第二刮条12都不会脱离开腔室盖板200四周的限位机构。 [0042] 具体地，透视窗沿图5中A-A’方向的剖面图如图6所示，透明的腔室盖板200在内外两侧对应地设置有长条状的第一刮条11和第二刮条12。其中第一刮条11位于腔室外即腔室盖板200的第一侧，操作把手112固定在第一刮条11上便于控制第一刮条11在腔室盖板200的第一侧上旋转，第一刮条11在靠近腔室盖板200的一侧设置有多个第一万向轮111，通过多个第一万向轮111实现第一刮条11在腔室盖板200的第一侧上旋转；第二刮条12位于腔室内即腔室盖板200的第二侧，第二刮条12在靠近矩形盖板100的一侧设置有多个第二万向轮121，通过多个第二万向轮121实现第二刮条12在腔室盖板200的第二侧上旋转。第一刮条11与第二刮条12形状和长度基本一致并且相互间有吸力，第一刮条11移动时可以带动第二刮条12移动。第一万象轮111和第二万向轮121可以自由滚动，避免刮条与腔室盖板200过度摩擦，防止损伤腔室盖板200或者产生微小异物掉落到产品表面。 [0043] 第一竖向连接板201与腔室盖板200连接且位于腔室盖板200的第一侧，第一竖向连接板201在腔室盖板200的四周围成环形，环形的第一竖向连接板201限制第一刮条11的移动区域。在腔室盖板200的第二侧，第二竖向连接板202与腔室盖板200连接并在腔室盖板200的四周围成环形；横向连接板203固定在第二竖向连接板202上，在第二竖向连接板202上方围成环形。横向连接板203沿腔室盖板200径向的长度大于第二竖向连接板202沿腔室盖板200径向的长度，第二竖向连接板202和横向连接板203构成径向截面呈两个“L”型的防脱落折弯，环形的防脱落折弯设置在腔室盖板200的四周且位于靠近腔室内的第二侧，第二刮条12设置在腔室盖板200和圆形防脱落折弯围成的容置空间内，并且腔室盖板200的直径L、平行连接板102沿腔室盖板200径向的长度L1以及第二刮条12的长度L2满足以下关系式： 2*L1+L2>L，使第二刮条12不会从限位结构内脱落。 [0044] 为了避免在防脱落折弯和第二刮条12处发生药液残留，优选地，在围成圆形的防脱落折弯上开设一个或多个回流口14。透视窗在回流口14所在的直径方向如图5中的B-B’，透视窗沿B-B’方向的剖面图如图7所示，在回流口14的位置第二竖向连接板202和横向连接板203均设有缺口。当第二刮条12随着第一刮条11转动到回流口14位置时，残留药液被导流至回流口14处排出。应当注意的是，回流口14一般设置在环境要求不高的机构仪器等上方，以保证滴落的残留药液对其不会产生较大的影响；如设置在产品的生产区域上方，可能导致药液滴落在产品上发生点伤或者过蚀刻等问题影响良率。 [0045] 图8所示为本发明透视窗的主视图，图9所示为本发明透视窗的侧视图。其中第一刮条11被限位在环形的第一竖向连接板201内，第二刮条12被限位在环形的第二竖向连接板202内，回流口14可以设置为一个或多个并在透视窗的边缘按需分布。优选地，回流口14处的缺口小于第二刮条12的端部，避免第二刮条12从回流口14处脱离限位。 [0046] 本发明中圆形的腔室盖板200可以由透明的玻璃、塑料等材质制成，并且若腔室内的药液具有腐蚀性，腔室盖板200的材质需要对此有抗腐蚀能力。第一刮条11和第二刮条12需要相互间有足够强的吸力，第一刮条11和第二刮条12可以均为磁性材料如磁铁或者其他材料结合磁性材料制成，也可以其中一者为磁性材料或者其他材料结合磁性材料制成，另一者由非磁性的铁钴镍或其他材料结合铁钴镍制成。此外，与药液直接接触的第二刮条12、第二万向轮121、第二竖向连接板202以及横向连接板203需要由抗腐蚀的材料制成或者外侧涂有抗腐蚀的涂层。优选地，第一刮条11、操作把手112、第二刮条12、第一竖向连接板201、第二竖向连接板202以及横向连接板203为聚氯乙烯(PVC)材质。 [0047] 当本发明的透视窗设置在装置的顶部时，透视窗的仰视图如图10所示。作为一个实施例，长条状的第二刮条12主体由聚氯乙烯(PVC)材料制成。多块磁铁122被严密包裹在由聚氯乙烯材料形成的第二刮条12中，防止磁铁122与水汽接触。第二万向轮121至少部分嵌合在第二刮条12内并可以自由转动，优选地，第二刮条12在靠近腔室盖板200的一侧设有圆孔，圆孔的直径小于近球形的万向轮121的直径。固定螺丝123将第二刮条12、磁铁122、第二万向轮121固定，并保证磁铁122周围的密封性，第二万向轮121和固定螺丝123需要具有耐腐蚀特性。多块磁铁122产生磁力，使得上刮条11可以带动下刮条12一起移动。 [0048] 使用本发明的透明窗观察腔室内部状况，包括以下步骤： [0049] 第一步：使用前确认第一刮条11和第二刮条12是否在腔室盖板200的两侧相互对应；如没有相互对应，调整两者的位置； [0050] 第二步：握住操作把手112控制第一刮条11转动，带动第二刮条12转动； [0051] 第三步：转动完成后，确认是否已有效清除透视窗内侧的液滴或者雾气；如去除效果不理想，重复第二步直至达到预想效果； [0052] 第四步：清理完成后，透过透明的腔室盖板200观察腔室内部机构、机构动作及产品状况等。 [0053] 本发明还公开了一种装置，该装置可以为不同的形状或材质，需要观察装置的内部结构并且装置的内壁在一定温度下形成水滴或雾气，在该装置的壁面上设有一个或多个上述透视窗，其中第一刮板11位于装置外，第二刮板12位于装置内。 [0054] 本发明公开了一种透视窗，该透视窗中第一刮条11带动第二刮条12在圆形的腔室盖板200的范围内转动，且腔室盖板200周围的限位结构有效避免了第二刮条11脱落；在腔室盖板200周围设有一个或多个回流口14，使透视窗位置的药液被导流到安全的位置，避免产品损伤。 [0055] 应当说明的是，上述实施例均可根据需要自由组合。以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出多个改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。 |
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