1.一种控制密闭腔体变压过程中变压速率的系统，包括真空泵、受控腔体，真空泵与受控腔体之间的慢抽管路，其特征在于，在慢抽管路上设置至少两个串联的第一电磁阀和第二电磁阀，通过第一电磁阀和第二电磁阀的交替开关控制所述受控腔体变压过程中的变压速率；
控制受控腔体变压过程中的变压速率的方法，包括以下步骤：
S1、所述第一电磁阀和第二电磁阀内部的死体积与二者之间的慢抽管路形成缓冲空间，打开第一电磁阀，保持一段时间后关闭，保持时间在0.1ms至1分钟之间，从而在缓冲空间中形成真空区域；
S2、打开第二电磁阀，保持一段时间后关闭，保持时间在0.1ms至1分钟之间；从而使受控腔体压力产生很小的下降，所述下降的数值在0.1Pa‑10000 Pa之间；
S3、步骤S1开始至S2结束构成一个循环操作，即S1‑S2，以一定的时间间隔重复执行S1‑S2，持续降低受腔体内的压力。
2.根据权利要求1所述的控制密闭腔体变压过程中变压速率的系统，其特征在于：在所述真空泵与所述受控腔体之间设有快抽管路，所述快抽管路与所述慢抽管路并联设置，所述快抽管路上设有第四电磁阀，所述快抽管路的内径不小于所述慢抽管路的内径。
3.根据权利要求1所述的一种控制密闭腔体变压过程中变压速率的系统，其特征在于：
所述缓冲空间的体积在10微升到10毫升之间。
4.根据权利要求1所述的一种控制密闭腔体变压过程中变压速率的系统，其特征在于：
所述缓冲空间的体积在50微升到1毫升之间，所述第一电磁阀的保持时间在1ms至10s之间，所述第二电磁阀的保持时间在1ms至10s之间，所述受控腔体压力下降的数值在1Pa‑8000 Pa之间。
5.根据权利要求4所述的一种控制密闭腔体变压过程中变压速率的系统，其特征在于：
所述缓冲空间的体积在100微升到500微升之间，所述第一电磁阀的保持时间在5ms至5s之间，所述第二电磁阀的保持时间在5ms至5s之间，所述受控腔体压力下降的数值在10Pa‑
6000 Pa之间。
6.根据权利要求1所述的一种控制密闭腔体变压过程中变压速率的系统，其特征在于：
随着抽真空的进行，逐渐缩小每两个S1‑S2循环之间的时间间隔，两个S1‑S2操作之间的时间间隔取决于每秒更新一次的受控腔体实际压力下降速率，速率快于系统要求时则增加时间间隔，实际速率小于要求速率时减小时间间隔，所述时间间隔为0.1ms至5分钟。
7.根据权利要求1所述的一种控制密闭腔体变压过程中变压速率的系统，其特征在于：
所述真空泵与所述受控腔体之间设有快抽管路，所述快抽管路与所述慢抽管路并联设置，所述快抽管路上设有第四电磁阀，当受控腔体内压力降至安全压力，打开此电磁阀，连接受控腔体与真空泵，使受控腔体快速达到所需真空度。
8.根据权利要求2所述的一种控制密闭腔体变压过程中变压速率的系统，其特征在于：
所述快抽管路的内径不小于所述慢抽管路的内径，当受控腔体内的压力小于安全压力时，所述第四电磁阀打开，连通受控腔体和真空泵进行抽真空。
9.根据权利要求1所述的一种控制密闭腔体变压过程中变压速率的系统，其特征在于：
所述慢抽管路上还设有第三电磁阀，所述第三电磁阀设在靠近受控腔体的一端，初始操作过程，保持第三电磁阀常开，通过第一电磁阀和第二电磁阀之间的缓冲区，为后部腔体提供抽空操作，当抽空速率低于设定值时，关闭第三电磁阀，同时将第二电磁阀设置为常开状态，此时将在第一电磁阀与第三电磁阀之间形成体积更大的缓冲空间，通过第一电磁阀与第三电磁阀的交替开、关，控制抽真空的速率和效率。
10.根据权利要求1所述的一种控制密闭腔体变压过程中变压速率的系统，其特征在于：所述受控腔体的数量为多个，且并列设置，每个受控腔体均与所述慢抽管路连通设置，每个受控腔体与慢抽管路之间均设有支路电磁阀。