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半导体行业工艺冷却热能回收换热机

申请号 CN202410162248.1 申请日 2024-02-05 公开(公告)号 CN117704876B 公开(公告)日 2024-04-09
申请人 山东汉华工业设备有限公司; 发明人 郭通;
摘要 本 发明 涉及 冷却 水 换 热机 组技术领域,具体为 半导体 行业工艺冷却水 热能 回收换热机组,包括 外壳 ,外壳的内侧固定连接有同轴设置的装载架;还包括换热筒,两个所述换热筒对称固定安装在装载架的两侧,所述换热筒上下两侧分别固定连通有上连接管和下连接管的管口,并且下连接管的进水端口固定连通在第二 泵 机上,而且第二泵机固定连接在所述外壳底部远离第一泵机的一侧,所述装载架两侧收纳槽内均滑动设置有主换热台,且主换热台位于两个换热筒之间,并且主换热台上活动安装有副换热台。本发明设置有双重展开结构的多流道换热 块 ,从而提高了装置的的换热面积,且换热块展开的过程中还能够对装置换热结构表面进行清理。
权利要求

1.半导体行业工艺冷却热能回收换热机组,包括:
外壳(1),其底部固定安装有第一机(2),连接管(3)固定贯穿于所述外壳(1)的底部设置,所述外壳(1)的内侧固定连接有同轴设置的装载架(4);
其特征在于,还包括:
换热筒(5),设置有两个,两个所述换热筒(5)对称固定安装在所述装载架(4)的两侧,所述换热筒(5)上下两侧分别固定连通有上连接管(7)和下连接管(6)的管口,且下连接管(6)和上连接管(7)固定贯穿于所述外壳(1)的侧壁设置,并且下连接管(6)的进水端口固定连通在第二泵机(10)上,而且第二泵机(10)固定连接在所述外壳(1)底部远离第一泵机(2)的一侧,所述装载架(4)两侧收纳槽内均滑动设置有主换热台(8),且主换热台(8)位于两个换热筒(5)之间,并且主换热台(8)上活动安装有副换热台(9),所述主换热台(8)包括支撑板(801),所述支撑板(801)底部的滑动嵌设在所述装载架(4)的内壁上,且支撑板(801)远离装载架(4)的一侧外壁上固定有等间距分布的第一换热块(802),并且第一换热块(802)上开设有通孔,第一换热块(802)内部中空设置,所述第一换热块(802)之间固定连接有等间距分布的第一刮板(804),所述第一刮板(804)位于第一换热块(802)远离支撑板(801)的一侧,所述下连接管(6)和上连接管(7)的管身上分别固定连通有对接管(803)的一端,且两个对接管(803)分别分布在所述支撑板(801)的上下两端,并且对接管(803)的另一端固定连通在正对的第一换热块(802)上,所述支撑板(801)的上端侧壁上固定安装有受架(805),受力架(805)与拉力板(14)滑动连接,所述拉力板(14)上开设有对称的两个第二导槽(15),第二导槽(15)用来与所对应的受力架(805)横杆滑动连接,所述副换热台(9)包括第二换热块(901),所述第二换热块(901)等间距分布在支撑板(801)上,且第二换热块(901)两侧与第一换热块(802)贴合,所述第二换热块(901)两侧底部均固定安装有等间距分布的第二刮板(902),且两个第二换热块(901)之间通过所述第二刮板(902)固定连接,所述第二刮板(902)贴合设置在所述第一换热块(802)的通孔内形成第一重清理结构,所述第二换热块(901)的通孔内贴合设置有第一刮板(804)形成第二重清理结构,所述第二换热块(901)底部固定连通有输送管(904),且输送管(904)远离第二换热块(901)的一端固定连通在对应的第一换热块(802)上形成换热水输送结构,其中一个所述第二换热块(901)的侧壁上固定连接有推板(903),且推板(903)滑动贯穿安装在装载架(4)的侧壁上,并且推板(903)远离第二换热块(901)的一侧与传动板(11)贴合设置,所述传动板(11)上开设有倾斜设置的第一导槽(12),且第一导槽(12)内部贴合设置有所述推板(903)的凸块,并且传动板(11)和推板(903)关于装载架(4)的轴线中心对称分布有两组,所述传动板(11)的侧壁固定连接有连接板(13)的一端,且连接板(13)的另一端固定安装在拉力板(14)的外壁上,并且传动板(11)、连接板(13)和拉力板(14)滑动贴合安装在所述装载架(4)的内壁上,所述第一导槽(12)的长度大于第二导槽(15)上斜槽部分的长度;
动力杆(16),其滑动贯穿安装在所述装载架(4)的顶部轴线处,所述动力杆(16)经过所述上连接管(7)的环管部分,所述动力杆(16)上端贯穿于塞筒(20)的底部,两者同轴设置,且塞筒(20)的外壁贴合设置在外筒(19)的内壁上形成滑动升降结构,并且外筒(19)底部固定连接在所述外壳(1)的顶部,所述外壳(1)顶部的水平缓冲筒内滑动设置有缓冲塞(35),且缓冲塞(35)的塞面通过弹簧弹性连接在所述外壳(1)水平缓冲筒的内壁上,所述外壳(1)顶部远离缓冲塞(35)的一侧固定贯通安装有水平的排水管(25),且排水管(25)的内壁上贴合设置有控制盘(26),所述动力杆(16)的下端固定连接在拉力板(14)的外壁上,所述动力杆(16)杆身固定贯穿于套架(17)设置,且套架(17)两端固定安装在清理架(18)顶部的限位环上,并且清理架(18)贴合设置在所述装载架(4)和换热筒(5)上,所述清理架(18)上等间距分布的清理板贴合设置在换热筒(5)外壁上。
2.根据权利要求1所述的半导体行业工艺冷却水热能回收换热机组,其特征在于:所述动力杆(16)上端固定连接有同轴设置的顶盘(21),且顶盘(21)滑动设置在塞筒(20)的内部,并且顶盘(21)的底面与所述塞筒(20)的内壁底面之间固定连接有拉力弹簧(22),所述塞筒(20)的上方同轴设置有导柱(23),且导柱(23)上端滑动贯穿于所述外筒(19)的顶部设置。
3.根据权利要求2所述的半导体行业工艺冷却水热能回收换热机组,其特征在于:所述导柱(23)的顶部固定安装有同轴设置的配重筒(24),且配重筒(24)套设在所述外筒(19)的顶部,并且外筒(19)两侧的导轨滑动嵌设在所述配重筒(24)的底部内壁上,所述配重筒(24)的外壁底部固定连接有升降架(29),且升降架(29)底部的拉杆插设在限位筒(28)内,并且限位筒(28)贴合设置在所述排水管(25)外壁上的导向筒内。
4.根据权利要求3所述的半导体行业工艺冷却水热能回收换热机组,其特征在于:所述控制盘(26)上开设有贯通的泄流道(27),限位筒(28)的下端能够延伸至泄流道(27)内对其进行限位,并且控制盘(26)通过两侧的凸轴与排水管(25)转动连接,所述控制盘(26)一侧的凸轴上固定连接有同轴的单向齿轮(32),且控制盘(26)另一侧的凸轴转动贯穿于外罩(34)设置,所述外罩(34)固定安装在所述排水管(25)的外壁上,且外罩(34)的内壁与所述控制盘(26)的凸轴之间固定连接有卷簧(33),所述单向齿轮(32)的边侧设置有竖板(30),且竖板(30)中部滑动贯穿于所述排水管(25)的限位架,并且竖板(30)的顶部固定连接在升降架(29)的底面上,而且竖板(30)底部侧壁的收纳槽内滑动安装有伸缩齿(31),所述伸缩齿(31)位于竖板(30)靠近单向齿轮(32)的一侧,且伸缩齿(31)的端面与竖板(30)的内壁之间通过压力弹簧弹性连接。

说明书全文

半导体行业工艺冷却热能回收换热机

技术领域

[0001] 本发明涉及冷却水换热机组技术领域,具体为半导体行业工艺冷却水热能回收换热机组。

背景技术

[0002] 半导体产品制造过程中,需要利用冷却水对生产工艺过程中的产品和设备进行冷却,从而排出具有一定温度的冷却水,工厂需要通过换热设备回收该冷却水中的热量,然而现有的换热机组还存在一些问题:
[0003] 例如公开号为CN112781403B的一种冷却水循环收集的喷洒式换热装置,涉及换热装置技术领域,包括壳体,壳体内部下端的左右两侧面均固定连接有连接盒,左右两侧面的连接盒之间均匀焊接若干根换热细管,右侧面连接盒的右侧面焊接有第一进水管,第一进水管的右端贯穿出壳体,左侧面连接盒的左侧面焊接有第一连接管,壳体内部中部的左端固定连接有扁平出水管,扁平出水管的左端贯穿出壳体;
[0004] 上述装置中,其仅通过管体和高温冷却水接触,装置的换热面积较小,且装置难以对换热结构表面进行清理,装置长期使用后,换热结构表面容易堆积杂质,从而降低了换热效率,并且装置换热结构和高温冷却水的接触时间较短,导致换热效率较差。
[0005] 针对上述问题,需要在现有换热机组的基础上进行创新设计。

发明内容

[0006] 本发明的目的在于提供半导体行业工艺冷却水热能回收换热机组,以解决上述背景技术提出的问题。
[0007] 为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:半导体行业工艺冷却水热能回收换热机组,包括:
[0008] 外壳,其底部固定安装有第一机,连接管固定贯穿于所述外壳的底部设置,所述外壳的内侧固定连接有同轴设置的装载架;
[0009] 还包括:
[0010] 换热筒,设置有两个,两个所述换热筒对称固定安装在所述装载架的两侧,所述换热筒上下两侧分别固定连通有上连接管和下连接管的管口,且下连接管和上连接管固定贯穿于所述外壳的侧壁设置,并且下连接管的进水端口固定连通在第二泵机上,而且第二泵机固定连接在所述外壳底部远离第一泵机的一侧,所述装载架两侧收纳槽内均滑动设置有主换热台,且主换热台位于两个换热筒之间,并且主换热台上活动安装有副换热台;
[0011] 动杆,其滑动贯穿安装在所述装载架的顶部轴线处,所述动力杆经过所述上连接管的环管部分,所述动力杆上端贯穿于塞筒的底部,两者同轴设置,且塞筒的外壁贴合设置在外筒的内壁上形成滑动升降结构,并且外筒底部固定连接在所述外壳的顶部,所述外壳顶部的水平缓冲筒内滑动设置有缓冲塞,且缓冲塞的塞面通过弹簧弹性连接在所述外壳水平缓冲筒的内壁上,所述外壳顶部远离缓冲塞的一侧固定贯通安装有水平的排水管,且排水管的内壁上贴合设置有控制盘。
[0012] 优选的,所述主换热台包括支撑板,所述支撑板底部的滑动嵌设在所述装载架的内壁上,且支撑板远离装载架的一侧外壁上固定有等间距分布的第一换热块,并且第一换热块上开设有增大换热面积的通孔,而且第一换热块内部中空设置,用于储存换热水,所述第一换热块之间固定连接有等间距分布的第一刮板,所述第一刮板位于第一换热块远离支撑板的一侧,所述下连接管和上连接管的管身上分别固定连通有对接管的一端,且两个对接管分别分布在所述支撑板的上下两端,并且对接管的另一端固定连通在正对的第一换热块上,使得支撑板能够带动第一换热块移动。
[0013] 优选的,所述支撑板的上端侧壁上固定安装有受力架,受力架与拉力板滑动连接,所述拉力板上开设有对称的两个第二导槽,第二导槽用来与所对应的受力架横杆滑动连接,使得拉力板能够带动受力架移动。
[0014] 优选的,所述副换热台包括第二换热块,所述第二换热块等间距分布在支撑板上,且第二换热块两侧与第一换热块贴合,所述第二换热块两侧底部均固定安装有等间距分布的第二刮板,且两个第二换热块之间通过所述第二刮板固定连接形成支撑结构,所述第二刮板贴合设置在所述第一换热块的通孔内形成第一重清理结构,所述第二换热块的通孔内贴合设置有第一刮板形成第二重清理结构,所述第二换热块底部固定连通有输送管,且输送管远离第二换热块的一端固定连通在对应的第一换热块上形成换热水输送结构,使得第二换热块能够带动第二刮板移动。
[0015] 优选的,其中一个所述第二换热块的侧壁上固定连接有推板,且推板滑动贯穿安装在装载架的侧壁上,并且推板远离第二换热块的一侧与传动板贴合设置,所述传动板上开设有倾斜设置的第一导槽,且第一导槽内部贴合设置有所述推板的凸块形成传动结构,并且传动板和推板关于装载架的轴线中心对称分布有两组,使得传动板能够通过推板带动第二换热块移动。
[0016] 优选的,所述传动板的侧壁固定连接有连接板的一端,且连接板的另一端固定安装在拉力板的外壁上,并且传动板、连接板和拉力板滑动贴合安装在所述装载架的内壁上,所述第一导槽的长度大于第二导槽上斜槽部分的长度,使得拉力板能够带动传动板移动。
[0017] 优选的,所述动力杆的下端固定连接在拉力板的外壁上,所述动力杆杆身固定贯穿于套架设置,且套架两端固定安装在清理架顶部的限位环上,并且清理架贴合设置在所述装载架和换热筒上,所述清理架上等间距分布的清理板贴合设置在换热筒外壁上,使得套架能够带动清理架移动。
[0018] 优选的,所述动力杆上端固定连接有同轴设置的顶盘,且顶盘滑动设置在所述塞筒的内部,并且顶盘的底面与所述塞筒的内壁底面之间固定连接有拉力弹簧,所述塞筒的上方同轴设置有导柱,且导柱上端滑动贯穿于所述外筒的顶部设置,顶盘能够带动动力杆移动。
[0019] 优选的,所述导柱的顶部固定安装有同轴设置的配重筒,且配重筒套设在所述外筒的顶部,并且外筒两侧的导轨滑动嵌设在所述配重筒的底部内壁上形成滑动限位结构,所述配重筒的外壁底部固定连接有升降架,且升降架底部的拉杆插设在限位筒内形成滑动限位结构,并且限位筒贴合设置在所述排水管外壁上的导向筒内,使得配重筒能够带动升降架移动。
[0020] 优选的,所述控制盘上开设有贯通的泄流道,限位筒的下端能够延伸至泄流道内对其进行限位,并且控制盘通过两侧的凸轴与排水管转动连接,所述控制盘一侧的凸轴上固定连接有同轴的单向齿轮,且控制盘另一侧的凸轴转动贯穿于外罩设置,所述外罩固定安装在所述排水管的外壁上,且外罩的内壁与所述控制盘的凸轴之间固定连接有用于提供旋转力的卷簧,所述单向齿轮的边侧设置有竖板,且竖板中部滑动贯穿于所述排水管的限位架,并且竖板的顶部固定连接在升降架的底面上,而且竖板底部侧壁的收纳槽内滑动安装有伸缩齿,所述伸缩齿位于竖板靠近单向齿轮的一侧,且伸缩齿的端面与竖板的内壁之间通过压力弹簧弹性连接,使得竖板能够带动伸缩齿移动。
[0021] 与现有技术相比,本发明的有益效果是:
[0022] 该半导体行业工艺冷却水热能回收换热机组,其设置有双重展开结构的多流道换热块,从而提高了装置的的换热面积,且换热块展开的过程中还能够对装置换热结构表面进行清理,有效减少换热结构表面堆积的杂质,从而提高了换热效率,并且装置能够延长换热结构和高温冷却水的接触时间以提高换热效果,其具体内容如下:
[0023] 1、支撑板远离装载架的一侧外壁上固定有等间距分布的第一换热块,第一换热块上开设有增大换热面积的通孔,第一换热块之间固定连接有等间距分布的第一刮板,支撑板的上端侧壁上固定安装有受力架,且受力架对称分布的拉力板的两侧,拉力板上开设有对称的第二导槽,第二导槽的内壁上贴合设置有对应受力架的横杆,第二换热块等间距分布在支撑板上,且第二换热块两侧贴合设置有对应的第一换热块,第二换热块两侧底部均固定安装有等间距分布的第二刮板,且相邻的第二换热块通过第二刮板固定连接形成支撑结构,第二刮板贴合设置在所述第一换热块的通孔底部形成第一重清理结构,第二换热块的通孔顶部贴合设置有第一刮板形成第二重清理结构,使得支撑板能够带动第一换热块和第二换热块同步从装载架内移出,而第二换热块能够从两个第一换热块之间再次移出,从而形成装置的双重展开结构;
[0024] 2、塞筒的上方同轴设置有导柱,导柱的顶部固定安装有同轴设置的配重筒,配重筒套设在外筒的顶部,配重筒的外壁底部固定连接有升降架,升降架底部的拉杆插设在限位筒内形成滑动限位结构,限位筒贴合设置在排水管外壁上的导向筒内,控制盘上开设有泄流道,泄流道的上端口处贴合设置有限位筒的下端形成限位结构,控制盘两侧的凸轴转动贯穿于排水管设置,外罩的内壁与控制盘的凸轴之间固定连接有用于提供旋转力的卷簧,使得外壳内的水压能够推动塞筒移动,塞筒通过导柱推动配重筒移动,而配重筒将通过升降架带动限位筒移动,使得限位筒从泄流道内脱离,此时控制盘能够转动,使得外壳内的水体能够通过泄流道排出。附图说明
[0025] 图1为本发明整体外部结构示意图;
[0026] 图2为本发明部分结构示意图一;
[0027] 图3为本发明部分结构示意图二;
[0028] 图4为本发明部分结构示意图三;
[0029] 图5为本发明清理架安装结构示意图;
[0030] 图6为本发明部分结构示意图四;
[0031] 图7为本发明部分结构示意图五;
[0032] 图8为本发明部分结构示意图六;
[0033] 图9为本发明部分结构示意图七;
[0034] 图10为本发明部分结构示意图八;
[0035] 图11为本发明部分结构示意图九;
[0036] 图12为本发明配重筒安装结构示意图;
[0037] 图13为本发明部分结构示意图十;
[0038] 图14为本发明部分结构示意图十一;
[0039] 图15为本发明部分结构示意图十二。
[0040] 图中:1、外壳;2、第一泵机;3、连接阀管;4、装载架;5、换热筒;6、下连接管;7、上连接管;8、主换热台;801、支撑板;802、第一换热块;803、对接管;804、第一刮板;805、受力架;9、副换热台;901、第二换热块;902、第二刮板;903、推板;904、输送管;10、第二泵机;11、传动板;12、第一导槽;13、连接板;14、拉力板;15、第二导槽;16、动力杆;17、套架;18、清理架;
19、外筒;20、塞筒;21、顶盘;22、拉力弹簧;23、导柱;24、配重筒;25、排水管;26、控制盘;27、泄流道;28、限位筒;29、升降架;30、竖板;31、伸缩齿;32、单向齿轮;33、卷簧;34、外罩;35、缓冲塞。

具体实施方式

[0041] 下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
[0042] 请参阅图1‑图15,本发明提供一种技术方案:半导体行业工艺冷却水热能回收换热机组,包括:
[0043] 外壳1,其底部固定安装有第一泵机2,连接阀管3固定贯穿于外壳1的底部设置,并且连接阀管3的上端口位于外壳1的内壁底部,外壳1的内侧固定连接有同轴设置的装载架4;
[0044] 还包括:
[0045] 换热筒5,设置有两个,两个所述换热筒5对称固定安装在装载架4的两侧,换热筒5上下两侧分别固定连通有上连接管7和下连接管6的管口形成换热水输送结构,且下连接管6和上连接管7固定贯穿于外壳1的侧壁设置,并且下连接管6的进水端口固定连通在第二泵机10上,而且第二泵机10固定连接在外壳1底部远离第一泵机2的一侧,装载架4两侧收纳槽内均滑动设置有主换热台8,且主换热台8位于两个换热筒5之间,并且主换热台8上活动安装有副换热台9;
[0046] 动力杆16,其滑动贯穿安装在装载架4的顶部轴线处,如图7所示,动力杆16经过上连接管7的环管部分,动力杆16上端贯穿于塞筒20的底部,两者同轴设置,且塞筒20的外壁贴合设置在外筒19的内壁上形成滑动升降结构,并且外筒19底部固定连接在外壳1的顶部,外壳1顶部的水平缓冲筒内滑动设置有缓冲塞35,且缓冲塞35的塞面通过弹簧弹性连接在外壳1水平缓冲筒的内壁上,外壳1顶部远离缓冲塞35的一侧固定贯通安装有水平的排水管25,且排水管25的内壁上贴合设置有控制盘26。
[0047] 支撑板801的上端侧壁上固定安装有受力架805,受力架805与拉力板14滑动连接,拉力板14上开设有对称的两个第二导槽15,第二导槽15用来与所对应的受力架805横杆滑动连接,使得拉力板14能够通过第二导槽15带动对应的受力架805移动,而受力架805会带动对应的支撑板801移动,由于主换热台8包括支撑板801,支撑板801底部的凸块滑动嵌设在装载架4的内壁上,且支撑板801远离装载架4的一侧外壁上固定有等间距分布的第一换热块802,并且第一换热块802上开设有增大换热面积的通孔,而且第一换热块802内部中空设置用于储存换热水,第一换热块802之间固定连接有等间距分布的第一刮板804,第一刮板804位于第一换热块802远离支撑板801的一侧,下连接管6和上连接管7的管身上分别固定连通有对接管803的一端,且两个对接管803分别分布在支撑板801的上下两端,并且对接管803的另一端固定连通在正对的第一换热块802上,此时支撑板801能够带动第一换热块802和第二换热块901从装载架4内移出,其中一个所述第二换热块901的侧壁上固定连接有推板903,且推板903滑动贯穿安装在装载架4的侧壁上,并且推板903远离第二换热块901的一侧与传动板11贴合设置,传动板11上开设有倾斜设置的第一导槽12,且第一导槽12内部贴合设置有推板903的凸块形成传动结构,并且传动板11和推板903关于装载架4的轴线中心对称分布有两组,传动板11的侧壁固定连接有连接板13的一端,且连接板13的另一端固定安装在拉力板14的外壁上,并且传动板11、连接板13和拉力板14滑动贴合安装在装载架4的内壁上,第一导槽12的长度大于第二导槽15上斜槽部分的长度,当传动板11继续移动时,传动板11将通过第一导槽12带动对应的推板903移动,由于副换热台9包括第二换热块901,第二换热块901等间距分布在支撑板801上,且第二换热块901两侧与第一换热块802贴合,第二换热块901两侧底部均固定安装有等间距分布的第二刮板902,且两个第二换热块901之间通过第二刮板902固定连接形成支撑结构,第二刮板902贴合设置在第一换热块802的通孔内形成第一重清理结构,第二换热块901的通孔内贴合设置有第一刮板804形成第二重清理结构,第二换热块901底部固定连通有输送管904,且输送管904远离第二换热块901的一端固定连通在对应的第一换热块802上形成换热水输送结构,此时推板903将带动第二换热块901从第一换热块802之间伸出,同时第二刮板902能够对第一换热块802的内壁进行清理。
[0048] 动力杆16的下端固定连接在拉力板14的外壁上,动力杆16杆身固定贯穿于套架17设置,且套架17两端固定安装在清理架18顶部的限位环上,并且清理架18贴合设置在装载架4和换热筒5上,清理架18上等间距分布的清理板贴合设置在换热筒5外壁上,使得动力杆16能够通过套架17带动清理架18移动从而对换热筒5进行清理,动力杆16上端固定连接有同轴设置的顶盘21,且顶盘21滑动设置在塞筒20的内部,并且顶盘21的底面与塞筒20的内壁底面之间固定连接有拉力弹簧22,塞筒20的上方同轴设置有导柱23,且导柱23上端滑动贯穿于外筒19的顶部设置,使得塞筒20能够沿着外筒19的内壁向上移动,而导柱23的顶部固定安装有同轴设置的配重筒24,且配重筒24套设在外筒19的顶部,并且外筒19两侧的导轨滑动嵌设在配重筒24的底部内壁上形成滑动限位结构,配重筒24的外壁底部固定连接有升降架29,且升降架29底部的拉杆插设在限位筒28内形成滑动限位结构,并且限位筒28贴合设置在排水管25外壁上的导向筒内,使得塞筒20能够通过导柱23推动配重筒24移动,使得配重筒24上的升降架29能够带动限位筒28向上移动,控制盘26上开设有贯通的泄流道
27,限位筒28能够延伸至泄流道27内对其进行限位,并且控制盘26通过两侧的凸轴与排水管25转动连接,控制盘26一侧的凸轴上固定连接有同轴的单向齿轮32,且控制盘26另一侧的凸轴转动贯穿于外罩34设置,外罩34固定安装在排水管25的外壁上,且外罩34的内壁与控制盘26的凸轴之间固定连接有用于提供旋转力的卷簧33,单向齿轮32的边侧设置有竖板
30,且竖板30中部滑动贯穿于排水管25的限位架,并且竖板30的顶部固定连接在升降架29的底面上,而且竖板30底部侧壁的收纳槽内滑动安装有伸缩齿31,伸缩齿31位于竖板30靠近单向齿轮32的一侧,且伸缩齿31的端面与竖板30的内壁之间通过压力弹簧弹性连接,当限位筒28从泄流道27内移出时,控制盘26不再被定能够进行转动。
[0049] 工作原理:在使用该半导体行业工艺冷却水热能回收换热机组时,首先参阅图1‑图15,外壳1内充满待换热的高温半导体冷却水,连接阀管3用于排污,第一泵机2用于将外界高温冷却水送入装置内部,而第二泵机10能够将用于换热的水体送入下连接管6中,而下连接管6中的换热水体将流入换热筒5和最底部的对接管803中,而对接管803内的换热水体将依次流入多组第一换热块802、输送管904和第二换热块901构成的可展开换热结构内,之后最顶部的第一换热块802将通过另一个对接管803将换热水体送入上连接管7中,同时换热筒5内的换热水体也将流入上连接管7中,而上连接管7中的换热水体会流入外界对接的设备内,上述过程中,第一泵机2会不断将外界高温冷却水送入外壳1内,使得换热筒5、第一换热块802和第二换热块901内的换热水体能够吸收高温冷却水的热量,当外壳1内的水压升高时,缓冲塞35能够适应性移动,同时高压水体会推动塞筒20沿着外筒19的内壁向上移动,塞筒20将通过拉力弹簧22带动顶盘21和动力杆16同步移动,此时动力杆16会带动底部连接的套架17和拉力板14同步移动,套架17会带动清理架18同步在装载架4上移动,此时清理架18能够去除换热筒5外壁上的杂物,同时拉力板14能够通过连接板13带动传动板11同步移动,拉力板14上第二导槽15的斜槽部分能够对受力架805上的横杆施加推力,使得受力架805能够带动对应的支撑板801移动,此时支撑板801上的第一换热块802和第二换热块901将从装载架4内伸出实现第一重展开,接着受力架805上的横杆将移入第二导槽15的水平槽中,传动板11继续移动,此时传动板11上的第一导槽12会继续对推板903上的凸块施加推力,使得推板903能够带动第二换热块901继续移动,使得第二换热块901从第一换热块
802之间推出,实现第二重展开,此时第二换热块901上的第二刮板902能够对第一换热块
802上的水流贯通孔进行清理,而第一换热块802之间的第一刮板804能够对第二换热块901上的水流贯通孔进行清理,第一换热块802和第二换热块901上的水流贯通孔能够提高换热结构的受热面积;
[0050] 参阅图1‑图15,紧接上述步骤,外壳1内的高温冷却水压力继续升高,此时塞筒20将继续向上移动,使得塞筒20能够推动导柱23,塞筒20将拉力弹簧22进一步压缩,同时导柱23会带动配重筒24向上移动,配重筒24底部的升降架29同步移动,升降架29带动竖板30向上移动,使得竖板30底部的伸缩齿31能够与单向齿轮32配合,此过程中,单向齿轮32会推动伸缩齿31向竖板30内移动将压力弹簧进一步压缩,之后复位,而升降架29底部的拉杆会带动限位筒28同步移动,使得限位筒28下端能够从泄流道27内移出解除锁定关系,此时卷簧
33将通过复位作用带动控制盘26快速转动90°,此时控制盘26上的泄流道27将和排水管
25的内部连通,此时外壳1内的高压冷却水体将通过排水管25排出,使得外壳1内的水压快速降低,此时塞筒20将失去水压推力,塞筒20将沿着外筒19的内壁向下移动,配重筒24同步快速落下,使得配重筒24通过升降架29带动竖板30同步移动,此时竖板30底部的伸缩齿31将带动单向齿轮32转动,单向齿轮32会带动控制盘26在排水管25内转动,同时升降架29会带动限位筒28先和控制盘26的外壁接触,之后升降架29底部的拉杆会滑入限位筒28内,当控制盘26上的泄流道27经过限位筒28后,限位筒28会从升降架29底部的拉杆上落下,从而再次将控制盘26锁定,使得装置能够进入下一个循环,从而延长外壳1内高温冷却水的换热时间。
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