1.一种用于供给化学溶液的系统，其包括：
化学品存储槽；
管线，其连接到所述化学品存储槽；
泵，其连接到所述管线且经配置以将化学溶液从所述化学品存储槽泵送到所述管线中；
第一静电探针，其耦合到所述泵且经配置以测量所述泵的静电电压；及
控制单元，其耦合到所述第一静电探针且经配置以从所述第一静电探针获得所述静电电压的所述测量，其中
所述第一静电探针包含绝缘密封部分及由所述绝缘密封部分所围封的导电部分，所述导电部分的宽度小于所述绝缘密封部分的宽度，
所述控制单元经配置以根据所述泵的所述静电电压的所述测量调整所述泵的至少一参数，所述参数包括流体马力、泵操作速度及频率。
2.根据权利要求1所述的系统，其中所述泵包括至少一移动元件，且所述第一静电探针接近所述移动元件采用。
3.根据权利要求2所述的系统，其中所述移动元件包括止回球。
4.根据权利要求1所述的系统，其进一步包括耦合到所述控制单元及所述管线的内部且经配置以将所述管线的所述内部的静电电压的测量提供到所述控制单元的第二静电探针。
5.根据权利要求1所述的系统，其进一步包括耦合到所述控制单元及所述管线的外部且经配置以将所述管线的所述外部的静电电压的测量提供到所述控制单元的第三静电探针。
6.根据权利要求1所述的系统，其中所述管线包括绝缘材料。
7.根据权利要求6所述的系统，其中所述绝缘材料是选自由全氟烷氧基PFA、聚四氟乙烯PTFE、非爆炸性可溶性聚四氟乙烯NE‑PFA及抗静电可溶性聚四氟乙烯AS‑PFA组成的群组。
8.一种用于供给化学溶液的方法，其包括：
将第一静电探针提供到化学品供给系统，其中所述化学品供给系统包括化学品存储槽、管线、连接到所述化学品存储槽及所述管线的泵、耦合到所述泵的第一静电探针及耦合到所述第一静电探针的控制单元；
通过所述泵将化学溶液从所述化学品存储槽泵送到所述管线中；
在所述化学溶液的所述泵送期间通过所述第一静电探针将所述泵的静电电压的测量提供到所述控制单元；及
通过所述控制单元根据所述泵的所述静电电压的所述测量调整所述泵的参数，所述参数包括流体马力、泵操作速度及频率，其中所述第一静电探针包含绝缘密封部分及由所述绝缘密封部分所围封的导电部分，所述导电部分具有通过绝缘密封部分暴露以接触所述泵中的所述化学溶液的第一端以及电连接到预放大器的第二端。
9.根据权利要求8所述的方法，其中所述泵的所述参数的所述调整是在所述泵的所述静电电压大于5 KV时执行。
10.根据权利要求8所述的方法，其进一步包括：
将第二静电探针提供到所述管线的内部；
在所述化学溶液的所述泵送期间通过所述第二静电探针将所述管线的所述内部的静电电压的测量提供到所述控制单元；及
通过所述控制单元根据所述泵的所述静电电压及所述管线的所述内部的所述静电电压的所述测量调整所述泵的所述参数。
11.根据权利要求10所述的方法，其进一步包括：
将第三静电探针提供到所述管线的外部；
在所述化学溶液的所述泵送期间通过所述第三静电探针将所述管线的所述外部的静电电压的测量提供到所述控制单元；及
通过所述控制单元根据所述泵的所述静电电压、所述管线的所述内部的所述静电电压及所述管线的所述外部的所述静电电压的所述测量调整所述泵的所述参数。
12.一种供给化学溶液的方法，其包括：
提供耦合到处理工具的化学品供给系统，其中所述化学品供给系统包括管线、连接到所述管线的泵及控制单元；
将第一静电探针提供到所述泵；
通过所述泵经由所述管线将化学溶液提供到所述处理工具；
在所述化学溶液到所述处理工具的所述提供期间通过所述第一静电探针将所述泵的静电电压的测量提供到所述控制单元；及
通过所述控制单元根据所述泵的所述静电电压的所述测量调整所述泵的参数，所述参数包括流体马力、泵操作速度及频率，其中所述第一静电探针包含绝缘密封部分及导电部分，所述导电部分的一部分被所述绝缘密封部分围绕，所述导电部分的另一部分被所述绝缘密封部分暴露以接触所述泵中的所述化学溶液。
13.根据权利要求12所述的方法，其中所述泵的所述参数的所述调整是在所述泵的所述静电电压大于5 KV时执行。
14.根据权利要求12所述的方法，其中所述处理工具包括蚀刻器、湿式清洁器及光刻系统。
15.根据权利要求12所述的方法，其进一步包括：
将第二静电探针提供到所述管线的内部；
在所述化学溶液到所述处理工具的所述提供期间通过所述第二静电探针将所述管线的所述内部的静电电压的测量提供到所述控制单元；及
通过所述控制单元根据所述泵的所述静电电压及所述管线的所述内部的所述静电电压的所述测量调整所述泵的所述参数。
16.根据权利要求15所述的方法，其进一步包括：
将第三静电探针提供到所述管线的外部；
在所述化学溶液到所述处理工具的所述提供期间通过所述第三静电探针将所述管线的所述外部的静电电压的测量提供到所述控制单元；及
通过所述控制单元根据所述泵的所述静电电压、所述管线的所述内部的所述静电电压及所述管线的所述外部的所述静电电压的所述测量调整所述泵的所述参数。