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用于分配液滴的设备及测量其基板的悬浮量的方法

申请号 CN202310525940.1 申请日 2023-05-11 公开(公告)号 CN117998935A 公开(公告)日 2024-05-07
申请人 细美事有限公司; 发明人 姜知勳;
摘要 本 发明 提供了一种用于分配液滴的设备,该设备包括:台,其上设置有喷射孔,且 基板 设置在台上;基板移动单元,用于在第一方向上移动设置在台上的基板;液滴分配单元,沿竖直方向设置在基板的上方;以及液滴分配单元,在 水 平面上沿垂直于所述第一方向的第二方向移动所述液滴分配单元,设备还包括:距离测量单元,在竖直方向上测量距基板的距离;以及控制单元,在通过基板移动单元移动基板的同时,通过距离测量单元测量距离测量单元与基板之间的距离。
权利要求

1.一种用于分配液滴的设备,包括:
台,所述台上设置有喷射孔,基板设置在所述台上,并且气体通过所述喷射孔从所述基板的下方喷射到所述基板;
基板移动单元,用于沿着所述台在第一方向上移动设置在所述台上的所述基板;
液滴分配单元,沿竖直方向设置在所述基板的上方;以及
液滴分配单元移动单元,连接到所述液滴分配单元,并且在平面上沿垂直于所述第一方向的第二方向移动所述液滴分配单元;
所述用于分配液滴的设备还包括:
距离测量单元,连接到所述液滴分配单元,并且测量在所述竖直方向上距所述基板的距离;以及
控制单元,连接到所述基板移动单元、所述液滴分配单元移动单元、所述液滴分配单元和所述距离测量单元,
其中,所述控制单元在通过所述基板移动单元移动所述基板的同时,通过所述距离测量单元测量所述距离测量单元与所述基板之间的距离。
2.根据权利要求1所述的用于分配液滴的设备,
其中,所述控制单元在交替地执行所述基板的移动和所述液滴分配单元的移动的同时,通过所述距离测量单元测量所述距离测量单元与所述基板之间的距离,在所述基板的移动中,通过所述基板移动单元在所述第一方向上移动所述基板,而在所述液滴分配单元的移动中,通过所述液滴分配单元移动单元在所述第二方向上移动所述液滴分配单元。
3.根据权利要求2所述的用于分配液滴的设备,其中,所述控制单元在检查所述距离测量单元的状态之后,测量所述距离测量单元与所述基板之间的距离。
4.根据权利要求3所述的用于分配液滴的设备,其中,当检查所述距离测量单元的状态时,所述控制单元重新连接与所述距离测量单元的通信。
5.根据权利要求4所述的用于分配液滴的设备,其中,当检查所述距离测量单元的状态时,所述控制单元在水平面上将所述距离测量单元移动到第一位置,然后测量距所述基板的距离,并且将所述距离测量单元的设置初始化为所述第一位置处的测量值。
6.根据权利要求3所述的用于分配液滴的设备,其中,所述液滴分配单元包括排放头,以及
所述距离测量单元连接到所述排放头。
7.一种测量用于分配液滴的设备的基板的悬浮量的方法,所述用于分配液滴的设备包括其上设置有喷射孔的台,所述基板设置在所述台上,并且气体通过所述喷射孔从所述基板的下方喷射到所述基板;基板移动单元,用于移动设置在所述台上的所述基板;液滴分配单元,沿竖直方向设置在所述基板的上方;以及液滴分配单元移动单元,连接到所述液滴分配单元,并且移动所述液滴分配单元,
所述方法包括:
悬浮量测量操作,用于在改变连接到所述液滴分配单元的距离测量单元相对于所述基板的位置的同时,通过所述距离测量单元测量在所述竖直方向上距所述基板的距离,测量所述基板的悬浮量。
8.根据权利要求7所述的方法,其中,所述悬浮量测量操作包括:
第一方向上的移动和测量操作,用于在第一方向上移动所述距离测量单元相对于所述基板的位置,其中所述台形成为在所述第一方向上延伸穿过所述基板移动单元或所述液滴分配单元移动单元;以及
第二方向上的移动操作,用于通过所述基板移动单元或所述液滴分配单元移动单元在垂直于所述第一方向的第二方向上移动所述距离测量单元相对于所述基板的位置,其中,所述第一方向上的移动和测量操作和所述第二方向上的移动操作交替地执行。
9.根据权利要求7所述的方法,其中,所述悬浮量测量操作包括:
第一方向上的移动和测量操作,用于在第一方向上移动所述基板,其中所述台形成为在所述第一方向上延伸穿过所述基板移动单元;以及
第二方向上的移动操作,用于通过所述液滴分配单元移动单元在垂直于所述第一方向的第二方向上移动所述距离测量单元,
其中,所述第一方向上的移动和测量操作和所述第二方向上的移动操作交替地执行。
10.根据权利要求9所述的方法,其中,在所述第一方向上的移动和测量操作中,在所述第一方向上将所述基板移动第一距离,然后进行测量,以及
在所述第二方向上的移动操作中,将所述距离测量单元移动第二距离。
11.根据权利要求10所述的方法,其中,在所述第一方向上的移动和测量操作中,所述第一方向上的移动包括向前移动和向后移动,以及
在执行所述第二方向上的移动操作之后的、所述第一方向上的移动和测量操作中,所述第一方向上的所述向前移动和所述向后移动被转换。
12.根据权利要求10所述的方法,还包括:
距离测量单元的状态检查操作,用于检查所述距离测量单元的状态,
其中,所述状态检查操作包括通信初始化操作,用于初始化所述距离测量单元与所述用于分配液滴的设备的控制单元之间的通信。
13.根据权利要求12所述的方法,其中,所述状态检查操作还包括:
定位置移动操作,用于通过所述基板移动单元或所述液滴分配单元移动单元将所述距离测量单元移动到所述基板上方的第一位置。
14.根据权利要求13所述的方法,其中,所述状态检查操作还包括:
置零设置操作,用于通过所述距离测量单元测量在所述第一位置处距所述基板的距离,然后基于测量值改变设置;以及
偏移反映操作,用于将基本设置反映到在所述置零设置操作被置零的所述距离测量单元。
15.根据权利要求13所述的方法,其中,所述设定位置移动操作、所述悬浮量测量操作和所述状态检查操作与所述液滴分配单元的液滴分配分开进行,以及
在液滴被分配到预定数量的基板之后,执行所述设定位置移动操作、所述悬浮量测量操作和所述状态检查操作。
16.根据权利要求15所述的方法,还包括:
卸载操作,用于卸载已经执行了所述悬浮量测量操作的基板。
17.根据权利要求16所述的方法,还包括:
数据提供操作,用于基于在所述悬浮量测量操作中测量的悬浮量和所述距离测量单元距所述基板的位置信息来提供关于所述喷射孔的堵塞的位置信息。
18.一种测量用于分配液滴的设备的基板的悬浮量的方法,所述用于分配液滴的设备包括其上设置有喷射孔的台,所述基板设置在所述台上,并且气体通过所述喷射孔从所述基板的下方喷射到所述基板;基板移动单元,用于移动设置在所述台上的所述基板;液滴分配单元,沿竖直方向设置在所述基板的上方;以及液滴分配单元移动单元,连接到所述液滴分配单元,并且移动所述液滴分配单元,
所述方法包括:
距离测量单元的状态检查操作,用于以预定数量的基板的间隔来检查连接到所述液滴分配单元的距离测量单元的状态;
悬浮量测量操作,在改变所述距离测量单元相对于所述基板的位置的同时,通过所述距离测量单元测量在所述竖直方向上距所述基板的距离,测量所述基板的悬浮量,其中,所述悬浮量测量操作包括:
第一方向上的移动和测量操作,用于在第一方向上移动所述距离测量单元相对于所述基板的位置,其中所述台形成为在所述第一方向上延伸穿过所述基板移动单元或所述液滴分配单元移动单元;以及
第二方向上的移动操作,用于通过所述基板移动单元或所述液滴分配单元移动单元在垂直于所述第一方向的第二方向上移动所述距离测量单元相对于所述基板的位置,其中,所述第一方向上的移动和测量操作和所述第二方向上的测量操作交替地执行。
19.根据权利要求18所述的方法,其中,所述距离测量单元的所述状态检查操作包括:
通信初始化操作,用于初始化所述距离测量单元与所述用于分配液滴的设备的控制单元之间的通信;
设定位置移动操作,用于通过所述基板移动单元或所述液滴分配单元移动单元将所述距离测量单元移动到所述基板上方的第一位置;
置零设置操作,用于通过所述距离测量单元测量在所述第一位置处距所述基板的距离,然后基于测量值改变设置;以及
偏移反映操作,用于将基本设置反映到在所述置零设置操作中被置零的所述距离测量单元。
20.根据权利要求18所述的方法,还包括:
数据提供操作,基于在所述悬浮量测量操作中测量的悬浮量以及所述距离测量单元相对于所述基板的位置信息来提供关于所述喷射孔的堵塞的位置信息。

说明书全文

用于分配液滴的设备及测量其基板的悬浮量的方法

[0001] 相关申请的交叉引用
[0002] 本申请要求于2022年11月1日在韩国知识产权局提交的韩国专利申请第10‑2022‑0143371号的优先权,出于所有目的将其全部公开内容通过引用并入本文。

技术领域

[0003] 本公开涉及一种用于在基板悬浮时分配液滴的设备以及一种用于测量其基板的悬浮量的方法。

背景技术

[0004] 对于诸如有机EL显示器件的显示器件,在针对每一代具有较大面积的基板的情况下,执行诸如用于分配液滴的工艺等的制造工艺。
[0005] 在以大面积基板为对象的用于分配液滴的工艺中,存在使用通过喷射的空气使基板悬浮的悬浮台来移动基板的情况。
[0006] 在悬浮台的情况下,通过喷射的空气确定悬浮量,并且当悬浮量不恒定时,液滴可能无法精确地被分配。因此,操作者通过距离测量装置测量悬浮量,并基于此分配液滴。
[0007] 然而,在悬浮台中,悬浮可能根据测量悬浮量的位置而变化,并且由于测量悬浮量的位置对于每个操作员是不同的,所以在测量的数据中出现可靠性问题。
[0008] (专利文献1)KR10‑2022‑0021726A发明内容
[0009] 本公开的一个方面是提供一种能够测量悬浮量的用于分配液滴的设备,或者提供一种测量用于分配液滴的设备的基板的悬浮量的方法。
[0010] 在一实施例中,本公开的一个方面是提供一种用于分配液滴的设备,其能够提供关于用于悬浮基板的喷射孔的堵塞的信息,以及一种用于测量其悬浮量的方法。
[0011] 为了实现上述目的,本发明的一个方面是提供如下的一种用于分配液滴的设备以及用于测量用于分配液滴的设备的基板的悬浮量的方法。
[0012] 根据本公开的一个方面,提供了一种用于分配液滴的设备,其包括:台,所述台上设置有喷射孔,基板设置在所述台上,并且气体通过所述喷射孔从所述基板的下方喷射到所述基板;基板移动单元,用于沿着所述台在第一方向上移动设置在所述台上的所述基板;液滴分配单元,沿竖直方向设置在所述基板的上方;以及液滴分配单元移动单元,连接到所述液滴分配单元,并且在平面上沿垂直于所述第一方向的第二方向移动所述液滴分配单元;所述设备还包括:距离测量单元,连接到所述液滴分配单元,并且测量在所述竖直方向上距所述基板的距离;以及控制单元,连接到所述基板移动单元、所述液滴分配单元移动单元、所述液滴分配单元和所述距离测量单元,其中,所述控制单元在通过所述基板移动单元移动所述基板的同时,通过所述距离测量单元测量所述距离测量单元与所述基板之间的距离。
[0013] 根据本发明的一个方面,提供了一种测量用于分配液滴的设备的基板的悬浮量的方法,所述用于分配液滴的设备包括其上设置有喷射孔的台,所述基板设置在所述台上,并且气体通过所述喷射孔从所述基板的下方喷射到所述基板;基板移动单元,用于移动设置在所述台上的所述基板;液滴分配单元,沿竖直方向设置在所述基板的上方;以及液滴分配单元移动单元,连接到所述液滴分配单元,并且移动所述液滴分配单元,所述方法包括:悬浮量测量操作,用于在改变连接到所述液滴分配单元的距离测量单元相对于所述基板的位置的同时,通过所述距离测量单元测量在所述竖直方向上距所述基板的距离,测量所述基板的悬浮量。
[0014] 根据本发明的一个方面,提供了一种测量用于分配液滴的设备的基板的悬浮量的方法,所述用于分配液滴的设备包括其上设置有喷射孔的台,所述基板设置在所述台上,并且气体通过所述喷射孔从所述基板的下方喷射到所述基板;基板移动单元,用于移动设置在所述台上的所述基板;液滴分配单元,沿竖直方向设置在所述基板的上方;以及液滴分配单元移动单元,连接到所述液滴分配单元,并且移动所述液滴分配单元,所述方法包括:距离测量单元的状态检查操作,用于以预定数量的基板的间隔来检查连接到所述液滴分配单元的距离测量单元的状态;悬浮量测量操作,在改变所述距离测量单元相对于所述基板的位置的同时,通过所述距离测量单元测量在所述竖直方向上距所述基板的距离,测量所述基板的悬浮量,其中,所述悬浮量测量操作包括:第一方向上的移动和测量操作,用于在第一方向上移动所述距离测量单元相对于所述基板的位置,其中所述台形成为在所述第一方向上延伸穿过所述基板移动单元或所述液滴分配单元移动单元;以及第二方向上的移动操作,用于通过所述基板移动单元或所述液滴分配单元移动单元在垂直于所述第一方向的第二方向上移动所述距离测量单元相对于所述基板的位置,其中,所述第一方向上的移动和测量操作和所述第二方向上的测量操作交替地执行。附图说明
[0015] 本公开的上述和其它方面、特征和优点将从以下结合附图的详细描述中更清楚地理解,其中:
[0016] 图1是示出常规测量方法的示意图。
[0017] 图2A和图2B是示出根据图1的测量位置的测量的示意图。
[0018] 图3是根据本公开的实施例的用于分配液滴的设备的侧视示意图。
[0019] 图4是根据本公开的实施例的用于分配液滴的设备的平面示意图。
[0020] 图5A和图5B是示出在基板的悬浮量和喷射孔的堵塞之间的关系的示意图。
[0021] 图6是根据本公开的实施例的用于分配液滴的设备的测量悬浮量的方法的流程图
[0022] 图7是图6的测量悬浮量的方法中的测量悬浮量的操作的详细流程图。
[0023] 图8是在图7的测量悬浮量的操作中用于分配液滴的设备的示意性平面图。
[0024] 图9是图6中的检查距离测量单元的状态的操作的详细流程图。
[0025] 图10是在图9的检查距离测量单元的状态的操作中用于分配液滴的设备的平面示意图。
[0026] 图11是示出在本公开的实施例的测量悬浮量的操作中测出的测量值的曲线图。
[0027] 图12是根据本公开的另一实施例的测量用于分配液滴的设备的悬浮量的方法的流程图。

具体实施方式

[0028] 在下文中,将参照附图详细描述本公开的优选实施例,从而本领域技术人员可以容易地实践本公开。然而,在详细描述本公开的优选实施例时,如果确定相关已知功能或配置的详细描述可能不必要地模糊本公开的主题,则将省略详细描述。此外,对于具有类似功能和动作的部件,在整个附图中使用相同的附图标记。此外,在本说明书中,诸如“上部”、“上部”、“上表面”、“下部”、“下部”、“下表面”、“侧表面”等术语是基于附图的,并且在实践中,其可以根据部件的布置方向而不同。
[0029] 此外,在整个说明书中,当一个部件被称为“连接”到另一个部件时,这不仅指它被“直接连接”,而且还指在它们之间“间接连接”有其它部件。此外,除非另有说明,否则“包括”某一组分意味着可进一步包括其它组分而不排除其它组分。
[0030] 图1是示出传统测量方法的示意图,并且图2A和图2B是示出根据图1的测量位置的测量状态的示意图。
[0031] 在本公开中,用于分配液滴的设备1(参见图4)用于在制造诸如有机EL器件的显示器件时将液滴分配到基板10,并且用于将液滴分配到形成在基板10上的多个像素中的每一个。
[0032] 基板10可以在通过用于分配液滴的设备1的台50(参见图4)悬浮的状态下移动,台50可以具有形成在其中以使基板10悬浮的多个喷射孔,并且从喷射孔喷射气体,使得基板
10在台50上悬浮。
[0033] 由于液滴的流入或杂质的流入,喷射孔可能被堵塞,并且当喷射孔被堵塞并且未平滑地执行悬浮时,基板10的悬浮位置会改变并且液滴排放头和基板10之间的距离改变,从而可能无法精确地分配液滴。
[0034] 另外,在一定时间间隔或加工之后再次设置用于分配液滴的设备1,并且如图1所示,操作者在任意位置P1至P4处通过连接到液滴分配单元100(参见图4)的距离测量单元20测量距基板10的距离,并且基于所测量的距离设置距离测量单元20并检查设备的状态。然而,如图1和图2A、图2B所示,根据操作者,测量的位置不是恒定的,并且根据测量的位置,可以在相同的设备1中测量到不同的悬浮量,因此很难检查设备的精确状态,并且设置会改变且由此获得的数据会改变,从而无法确保通过距离测量单元20获得的数据的可靠性。
[0035] 此外,当距离测量单元20和控制单元之间的通信不稳定时,可能无法获得测量值,或者测量值可能由于通信而不准确。
[0036] 本发明解决了上述问题,且图3和图4示出了根据本发明的实施例的用于分配液滴的设备1的示意性侧视图和平面图。
[0037] 如图3和图4所示,用于分配液滴的设备1包括台50、用于在第一方向上移动台50上的基板的基板移动单元60和80、设置在台50上方的液滴分配单元100、以及连接到液滴分配单元100的液滴分配单元移动单元70,该液滴分配单元移动单元70包括在垂直于第一方向的第二方向上延伸的架。
[0038] 台50容纳并支撑基板10,使得当分配液滴时基板10被布置就位,并且台50可以被提供为具有能够容纳大面积基板的尺寸并且可以被提供为具有不干扰大面积基板的传送的尺寸,该大面积基板适合于近来的分配液滴的工艺且需要大面积。
[0039] 台50被配置成使得多个喷射孔(未示出)被设置成朝向基板10以使基板10悬浮。台50包括用于向基板10的底表面(即,与面对液滴分配单元100的表面相背的表面)喷射气体的喷射区域51和53,以及用于同时提供气体喷射和气体抽吸的喷射和真空区域52。台50上用于传送基板10的区域由喷射区域51和53构成,并且用于将液滴分配到基板10上的区域,即,液滴分配单元100下方的区域,由喷射和真空区域52构成。
[0040] 基板10的传送区段中的台50可被设置成仅向基板10的后表面喷射气体,因为基板10悬浮的高度可被适当地调节,并且液滴的排出区段中的台50可被配置成向基板10的后表面一起提供喷射和真空,因为基板10悬浮的高度应被精确地调节。
[0041] 基板移动单元60和80在其至少一侧上包括用于保持基板10的保持单元80、用于引导保持单元80沿着台50在第一方向上移动的引导构件60、以及用于向保持单元80提供驱动的驱动单元。保持单元80可以形成为具有通过真空抽吸基板10的后表面来保持基板10的一个端部和基板10的另一个端部中的每一个的结构,或者直接保持基板10的一个端部和基板10的另一个端部中的每一个。
[0042] 液滴分配单元100被设置成将液滴分配到设置在台50上的基板10,并且被配置成可在垂直于第一方向的第二方向上移动,其中基板10在水平面上沿第一方向从台50的上部被传送。
[0043] 液滴分配单元100包括设置成以喷射方式将液滴喷射到基板10的排放头130。液滴分配单元100可以连接到包括门架的液滴分配单元移动单元70并且可以在第二方向上移动,并且液滴分配单元100的排放头130可以具有一个或多个距离测量单元20和20',并且当液滴分配单元100通过液滴分配单元移动单元70在第二方向上移动时,距离测量单元20和20'也可以一起移动。
[0044] 距离测量单元20和20'是用于以非接触方式测量距离测量单元20和20'与基板10之间的距离的装置,并且可以是激光测量装置,但不限于此。在该实施例中,存在两个距离测量单元20和20',并且通过距离测量单元20中的一个测量基板10和距离测量单元20之间的距离。
[0045] 用于分配液滴的设备1包括设备控制单元110和距离测量单元控制单元120。设备控制单元110连接到台50、基板移动单元60和80、液滴分配单元移动单元70和液滴分配单元100以执行用于分配液滴的设备1的整体控制,并且距离测量单元控制单元120连接到距离测量单元20和20'以执行与距离测量单元20和20'的操纵有关的控制以及测量数据的处理。
设备控制单元110和距离测量单元控制单元120以有线或无线方式彼此连接。在该实施例中,设备控制单元110和距离测量单元控制单元120被描述为分开被提供,但是本公开不限于此,并且设备的整体控制以及距离测量单元20和20'的控制也可以通过一个控制单元同时执行。
[0046] 根据本公开的实施例的用于分配液滴的设备1通过设备控制单元110和距离测量单元控制单元120控制基板10的整个区域的悬浮量。也就是说,当基板10进入时,通过基板移动单元60和80以及液滴分配单元移动单元70以某种方式改变距离测量单元20和20'相对于基板10的位置,从而获得关于基板10的整个区域的悬浮量的信息。在距离测量单元20的情况下,测量基板10和距离测量单元20之间的距离,而距离测量单元20和台50之间的距离是固定值,并且通过从距离测量单元20和台50之间的距离中减去测量值和基板的厚度,可以获得悬浮量。
[0047] 如图5A和图5B所示,喷射孔被堵塞,没有对相应的部分进行充分的喷射,因此基板10被降低,并且基板10和距离测量单元20之间的距离增加。也就是说,当喷射孔被堵塞时,表现出较小的悬浮量。
[0048] 由于在台50上设置有多个喷射孔,即使一个或两个喷射孔被堵塞,也不会立即导致悬浮量的变化,但是基板10的悬浮量可能根据台50的喷射孔上的基板10的位置而改变。例如,当台50上的一些喷射孔被堵塞时,当通过台50的中央部分时,存在许多一起执行悬浮的喷射孔,因此悬浮量可能不改变,而在朝向基板10的边缘的情况下,随着喷射孔的数量减少,悬浮量可能改变,并且悬浮量的这种改变可能不仅仅发生在一个点处,而是可以根据基板10移动的位置在多个点处发生。
[0049] 由于基板移动单元60和80在第一方向上移动基板10,并且液滴分配单元移动单元70在第二方向上移动液滴分配单元100,通过交替地执行通过基板移动单元60和80的基板移动和通过液滴分配单元移动单元70的液滴分配单元的移动,通过测量基板10的整个区域的悬浮量,设备控制单元110可以提供关于喷射孔是否被堵塞的信息。
[0050] 例如,通过基板移动单元60和80在第一方向上向前(基板移动方向)移动基板10达基板10的长度以测量悬浮量,然后通过液滴分配单元移动单元70在第二方向上将液滴分配单元100移动预定距离,然后通过基板移动单元60和80在第一方向上向后移动基板10达基板10的长度,然后在第二方向上将液滴分配单元100移动预定距离,从而可以获得关于基板10的整个区域中的悬浮量的信息,即,距离测量单元20和基板10之间的距离。
[0051] 特别地,在移动距离测量单元20一定间隔之后测量其距离的情况下,可以获得关于基板10的位置的悬浮量的信息,并且可以指定喷射孔被堵塞的位置,从而不仅可以提高操作效率,而且还可以通过减少维护时间来提高设备的总生产率。
[0052] 此外,设备控制单元110在测量基板10上的悬浮量之前检查距离测量单元20的状态,以便收集用于测量(以规则间隔执行)悬浮量的可靠数据。为了检查设备控制单元110和距离测量单元控制单元120之间的通信,可以通过重新连接通信并将距离测量单元20移动到预定位置Pset(参见图10)来检查距离测量单元20的状态,从而每次保持距离测量单元20的设置,然后测量基板10和距离测量单元20之间的距离以获得悬浮量。然后,可以基于悬浮量初始化距离测量单元20的设置。
[0053] 通过在改变基板10或液滴分配单元100的位置的同时通过距离测量单元20和20'测量距离测量单元20和20'与基板10之间的距离来执行悬浮量的测量,从而在相应的位置获得悬浮量。可以通过根据每个位置的悬浮量的信息来检查台50上与基板10的相应位置相对应的喷射孔的堵塞信息,并且通过在执行对基板10的印刷的同时以规律的间隔测量悬浮量,可以准确地检查设备1的状态。
[0054] 此外,在正常印刷预定数量的基板10之后,可以测量下一个进入基板10的整个区域或部分区域的悬浮量,并且可以将测量结果与之前/之后进行比较,从而不仅可以准确地识别设备的状态,而且可以通过识别悬浮量减小的部分来预先预测液滴的错误排放。
[0055] 将参考图6至图10再次描述如上所述的设备控制单元110和距离测量单元控制单元120的用于测量悬浮量的方法。
[0056] 图6示出了根据本公开的实施例的用于测量用于分配液滴的设备的悬浮量的方法的流程图,图7示出了图6的测量悬浮量的方法中的测量悬浮量的操作的详细流程图,图8示出了在图7的测量悬浮量的操作中用于分配液滴的设备的示意性平面图,图9示出了图6中的检查距离测量单元的状态的操作的详细流程图,以及图10示出了在图9的检查距离测量单元的状态的操作中用于分配液滴的设备的示意性平面图。
[0057] 基于图3和图4中所示的用于分配液滴的设备1来描述图6的悬浮量测量方法,并且该悬浮量测量方法包括设备控制单元110和距离测量单元控制单元120,从而在控制单元110和120中的每一个中执行其序列。
[0058] 当基板10进入时,设备控制单元110确定基板10是否是用于测量悬浮量的目标基板(S10)。悬浮量的测量不总是执行,而是以其张数的规律间隔测量悬浮量,以连续地观察和预测设备的状态。当基板10不对应于测量基板(S10中的“否”)时,执行正常印刷(S20),并且当基板10对应于测量基板(S10中的“是”)时,向距离测量单元控制单元120发送检查距离测量单元的命令(S30)。
[0059] 距离测量单元控制单元120处于命令接收等待操作(S100),接收检查命令(S110),并检查距离测量单元20的状态(S120)。检查距离测量单元的状态的操作(S120)可以包括通信初始化操作(S121)、设定位置移动操作(S122)、置零设置操作(S123)和偏移反映操作(S124),这些将在后面结合图9和图10一起描述。
[0060] 在执行检查距离测量单元的状态(S120)之后,距离测量单元控制单元120将检查距离测量单元的状态的结果传送到设备控制单元110(S130),并且设备控制单元110接收检查结果(S40),然后执行测量基板10的悬浮量的悬浮量测量操作(S50)。如图7所示,悬浮量测量操作(S50)可以包括:第一方向上的移动和测量操作(S51),用于在沿第一方向移动的同时以规律的距离间隔测量悬浮量;以及第二方向上的移动操作(S52),用于在第二方向上以一定的距离移动液滴分配单元。
[0061] 在完成对基板的整个区域或待测量的特定区域的悬浮量的测量之后,悬浮量测量操作(S50)结束,设备控制单元110向距离测量单元控制单元120发送用于通知距离测量单元的测量结束的测量距离的结束命令,距离测量单元控制单元120接收相应的命令(S140)。处理所测量的悬浮量数据(S150),并将该数据发送到设备控制单元110(S160)。此后,距离测量单元控制单元120返回到命令接收等待操作(S100),而设备控制单元110接收悬浮量测量数据(S80),并且重新加工和卸载基板10(S90)。还可以执行数据提供操作,该操作在接收到悬浮量测量数据(S80)之后,根据针对每个位置测量的悬浮量提供关于喷射孔的堵塞的位置信息。
[0062] 悬浮量测量数据可以存储在设备控制单元110内或者存储在连接到设备控制单元110的外部存储空间中,并且通过将悬浮量测量数据与已有的悬浮量测量数据进行比较,可以检查设备的当前状态,并且可以用作跟踪台50的喷射孔的堵塞部分的数据。
[0063] 所测量的基板10可以执行正常印刷(S20)而不被卸载,但是由于悬浮量的测量,对于一张基板10的印刷时间可能变长,因此可能无法提供关于印刷的精确信息,因此卸载基板而不进行正常印刷。
[0064] 参照图7和图8,将详细描述悬浮量测量操作。在接收到距离测量单元20的状态(S40)之后,执行悬浮量测量操作(S50),并且悬浮量测量操作(S50)包括:第一方向上的移动和测量操作(S51),用于通过基板移动单元60和80或液滴分配单元移动单元70在台50所延伸的第一方向上移动距离测量单元20相对于基板10的位置;以及第二方向上的移动操作(S52),用于通过基板移动单元60和80或液滴分配单元移动单元70在垂直于第一方向的第二方向上移动距离测量单元20相对于基板的位置。在第二方向上的移动操作(S52)中,不必通过距离测量单元测量悬浮量,但也可以类似于第一方向上的移动和测量操作(S51)来测量悬浮量。在悬浮量测量操作(S50)中,可以交替地执行第一方向上的移动和测量操作(S51)以及第二方向上的移动操作(S52)。
[0065] 在该实施例中,由于在第一方向上的移动和测量操作(S51)中,基板移动单元60和80在第一方向上移动基板10,在通过基板移动单元60和80在第一方向上移动基板10预定的第一距离的同时,通过距离测量单元20测量悬浮量。此外,由于在第二方向上的移动操作(S52)中,液滴分配单元移动单元70在第二方向上移动液滴分配单元100,液滴分配单元100通过液滴分配单元移动单元70移动预定的第二距离。
[0066] 悬浮量测量操作(S50)是在于改变距离测量单元20在基板10上的位置的同时通过距离测量单元20测量距基板10的距离,以找出悬浮量。由于通过检查距离测量单元的状态(S120)来执行距离测量单元20的设置,所以可以提供可靠的数据。
[0067] 悬浮量测量操作(S50)在基板10的一个点执行,并且在基板10和距离测量单元20的相对位置改变之后再次执行,并且该悬浮量测量可以在整个区域上执行,或者对于基板10的部分区域执行。
[0068] 如图8所示,在沿第一方向的向前方向移动基板10达基板10在第一方向上的长度或比基板10在第一方向上的长度更大的长度的同时,以规律间隔测量基板10的悬浮量,即,第一方向是基板10穿过液滴分配单元100的方向,并且在与先前的第一方向移动相反的方向(即,第一方向的向后方向)上移动基板10达基板10在第一方向上的长度或比基板10在第一方向上的长度更大的长度的同时,以规律间隔测量基板10的悬浮量。此后,通过重复沿第二方向移动液滴分配单元100的过程,距离测量单元20测量基板10的整个区域或整个目标区域上的悬浮量。
[0069] 替代地,可以在沿第一方向往复运动的同时测量基板10的悬浮量,并且在沿第二方向移动液滴分配单元100之后,可以在沿第一方向往复运动的同时测量基板的悬浮量,然后也可以在沿第二方向往复运动的同时测量基板的悬浮量。
[0070] 特别地,通过使第一方向上的移动间隔和第二方向上的移动间隔分别恒定,可以检查从中获得悬浮量测量数据和相应的数据的基板10的位置,从而当悬浮量较小时,可以精确地检查在台50上发生的喷射孔堵塞的位置。
[0071] 参照图9和图10,将描述检查距离测量单元的状态的操作(S120)。
[0072] 检查距离测量单元的状态的操作(S120)用于确保由距离测量单元20获得的悬浮量的数据的可靠性,并且可以包括:初始化与距离测量单元20的通信状态的通信初始化操作(S121);设定位置移动操作(S122),用于通过基板移动单元60和80以及液滴分配单元移动单元70将距离测量单元20移动到基板10的第一设定位置Pset;置零设置操作(S123),用于基于在第一设定位置Pset处测得的悬浮量来调整距离测量单元20的设置;以及偏移反映操作(S124),其反映在设置零位之后的各个距离测量单元20的位置设定值。
[0073] 通信初始化操作(S121)是初始化通信以检查距离测量单元20和距离测量单元控制单元120之间的通信是否被准确地连接的操作,而不管它们先前是否被连接。通过通信初始化操作(S121),由于确认了距离测量单元20和距离测量单元控制单元120之间的通信连接,因此可以防止用于测量随后获得的悬浮量的数据的可靠性由于通信问题而被损坏。
[0074] 在设定位置移动操作(S122)中,通过基板移动单元60和80在第一方向上移动基板10,使得距离测量单元20在基板10的预定第一设定位置Pset处测量悬浮量,以防止操作者将距离测量单元20设定在单独操纵的位置,并且使得在相同位置上一致地执行设置,并且通过液滴分配单元移动单元70在第二方向上移动距离测量单元20。如上所述,随着基板10和距离测量单元20在第一方向和第二方向上移动,距离测量单元20位于基板10的第一设定位置Pset上。第一设定位置Pset可以是基板10的中心部分。
[0075] 置零设置操作(S123)意味着通过距离测量单元20在第一设定位置(Pset)处测量基板10的悬浮量,然后将悬浮量设定为0(零)的操作。即使没有置零设置,也可以知道相对变化,但是为了检查悬浮量的精确变化,执行置零设置。
[0076] 在完成置零设置之后,通过反映距离测量单元20的各个特性的偏移来修改测量值以提供精确的悬浮量数据。即,执行置零设置操作(S123)和偏移设定操作(S124)以反映用于将测量的悬浮量与实际悬浮量相匹配的偏移值,从而使得在距离测量单元20中测量的数据与实际悬浮量相一致。偏移值可以根据距离测量单元20安装在液滴分配单元100上的位置而改变。
[0077] 通过检查距离测量单元的状态的操作(S120),可以确保由距离测量单元20测量的数据的可靠性,并且确认从基板10(不仅是用于这次测量悬浮量的基板10,而且对于接下来测量悬浮量的基板10)获得的连续测量的数据是精确测量的数据,从而可以根据不同基板10的悬浮量检查用于分配液滴的设备1的台50的状态,从而有利于管理用于分配液滴的设备1。
[0078] 图11示出了根据本公开的实施例的通过测量用于分配液滴的设备1中的基板10的悬浮量而获得的数据。
[0079] 图11的数据是如图8所示移动而得的,但是其在第二方向上的移动在基板10之外的位置处执行,并且具有这样的形式,其中从基板10测量的第一值和在基板10之外的位置处测量的第二值重复一段时间。如图11的圆形显示部分所示,当喷射孔被堵塞时,一个值不会降低,而是在朝向堵塞部分的某个时间段内获得第一值和第二值之间的第三值。通过距离测量单元控制单元120和设备控制单元110获得该数据,并且当连续地找到第三值时,确定在相应位置已经发生堵塞,并且可以向用户通知已经发生堵塞的位置。然而,还可以将数据存储在设备控制单元110中提供的存储单元或外部提供的外部存储单元中而不是立即通知,并且当用户检查时将相应的信息提供给用户。
[0080] 由于多个喷射孔设置在台50上,即使一个或两个喷射孔被堵塞,它也不会立即导致悬浮量的变化,但是基板10的悬浮量可能根据基板10在台50的喷射孔上的位置而变化。特别地,当移动到基板10的边缘时,基板10的悬浮中所涉及的喷射孔的位置改变,并且随着所涉及的喷射孔的数量减少,悬浮量可能发生变化。
[0081] 图12示出了本公开的用于测量悬浮量的方法的另一实施例。
[0082] 在图12的测量悬浮量的方法中,设备控制单元110和距离测量单元控制单元120不是分开提供的,而是由单个控制单元110一起控制。
[0083] 如在图6的实施例中那样,当基板10被引入时,设备控制单元110检查相应的基板10是否是用于测量悬浮量的目标基板(S10)。悬浮量的测量不总是被执行,并且以其张数的规律间隔测量悬浮量,以连续地观察和预测设备的状态。当相应的基板不对应于用于测量悬浮量的目标基板时(S10中的“否”),执行正常印刷(S20),并且当相应的基板不对应于用于测量悬浮量的目标基板时(S10中的“是”),检查距离测量单元20的状态(S120)。如图9所示,用于检查距离测量单元的状态的操作(S120)可以包括通信初始化操作(S121)、设定位置移动操作(S122)、置零设置操作(S123)和偏移反映操作(S124)。
[0084] 在检查距离测量单元的状态(S120)之后,设备控制单元110可以执行悬浮量测量操作(S50),以用于测量基板10的悬浮量。如图7所示,在悬浮量测量操作(S50)中,交替地执行第一方向上的移动和测量操作(S51)以及第二方向上的移动操作(S52)。
[0085] 在完成对整个基板10的悬浮量的测量之后,悬浮量测量操作(S50)结束,设备控制单元110处理所测量的悬浮量数据(S150),然后重新加工基板10并将其卸载(S90)。
[0086] 悬浮量测量数据可以存储在设备控制单元110内或连接到设备控制单元110的外部存储空间内,并且通过将悬浮量测量数据与已有的悬浮量测量数据进行比较,可以检查设备的当前状态,并且可以将其用作跟踪台50的喷射孔的堵塞的数据。
[0087] 此外,尽管未示出,但是可以包括数据提供操作,其向用户或其它控制单元提供基于在悬浮量测量操作(S50)中测量的悬浮量以及基板上的距离测量单元的位置信息来跟踪关于台50上的喷射孔的堵塞的位置信息的数据,并且可以包括基于该数据通知用户的通知步骤。
[0088] 另外,在一实施例中,尽管已经描述了用于分配液滴的设备1通过基板移动单元60和80在第一方向上移动基板10,并且通过液滴分配单元移动单元70在第二方向上移动液滴分配单元100,但是只要液滴分配单元100能够移动到基板10的预定位置,本公开可以具有不同的配置。例如,液滴分配单元100可以在固定状态下沿第一方向和第二方向移动基板10,并且相反地,液滴分配单元100可以在基板10固定的状态下沿第一方向和第二方向移动。
[0089] 如上所述,根据本发明的一个方面,通过上述结构可以提供一种能够测量悬浮量的用于分配液滴的设备,或者一种用于测量用于分配液滴的设备的悬浮量的方法。
[0090] 在本公开的实施例中,可以提供一种用于分配液滴的设备,该设备能够提供关于用于悬浮基板的喷射孔的堵塞的信息,以及一种用于测量悬浮量的方法。
[0091] 在上文中,主要描述了本发明的实施例,但是本公开不限于此,并且可以进行各种修改和实现。
[0092] 虽然上面已经示出和描述了示例性实施例,但是对于本领域的技术人员来说显而易见的是,可以在不脱离由所附权利要求限定的本发明的范围的情况下进行修改和变化。
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