搬运装置及基板处理装置 |
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| 申请号 | CN202280057334.5 | 申请日 | 2022-12-07 | 公开(公告)号 | CN117897803A | 公开(公告)日 | 2024-04-16 |
| 申请人 | 株式会社荏原制作所; | 发明人 | 关正也; 山田展也; 富田正辉; | ||||
| 摘要 | 本 发明 提高 基板 的搬运速度，并且抑制颗粒附着于基板的被处理面。一种搬运装置，其构成为在升降方向及与升降方向 正交 的行驶方向搬运基板，包括安装部件(710‑1)，该安装部件(710‑1)固定于第一模 块 框架 (402A)的侧面，该第一模块框架(402A)用于设置具有基板搬入搬出口(404‑1～404‑8)的 镀 覆模块。安装部件(710‑1)包括多个行驶 导轨 (714‑1～714‑3)，该多个行驶导轨(714‑1～714‑3)配置于基板搬入搬出口(404‑1～404‑8)的升降方向的两侧，并沿行驶方向延伸。搬运装置包括：升降导轨(716)，其横跨多个行驶导轨(714‑1～714‑3)并沿升降方向延伸，能够沿着多个行驶导轨(714‑1～714‑3)移动；和搬运 机器人 (718)，其能够沿着升降导轨(716)升降，并具有用于保持基板的手部。 | ||||||
| 权利要求 | 1.一种搬运装置，其构成为在升降方向及与升降方向正交的行驶方向搬运基板，所述搬运装置的特征在于，包括： |
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| 说明书全文 | 搬运装置及基板处理装置技术领域[0001] 本申请涉及搬运装置及基板处理装置。 背景技术[0002] 公知有用于对基板(例如半导体晶圆)的被处理面进行各种处理的基板处理装置。基板处理装置例如是用于在基板的被镀覆面形成导电膜的电解镀覆装置、或者用于研磨基板的被研磨面来进行平坦化的化学机械研磨(CMP)装置等。 [0003] 基板处理装置具备用于在装置内部搬运基板的搬运装置。专利文献1中公开的搬运装置具备：水平动作组件，其在基板处理装置的地板面沿水平方向延伸；垂直动作组件，其垂直安装于水平动作组件上；以及机器人组件，其安装于垂直动作组件。搬运装置构成为使机器人组件沿着垂直动作组件在升降方向移动，使垂直动作组件沿着水平动作组件在水平方向移动，由此搬运保持于机器人组件的基板。 [0004] 另外，专利文献1中公开了在垂直动作组件的顶部也设置水平动作组件，由此提高搬运装置的刚性，并提高基板的水平方向的移动速度。 [0005] 专利文献1：美国专利8,066,466B2号公报 [0006] 然而，专利文献1中公开的搬运装置并未考虑使基板的搬运速度提高，且也未考虑抑制颗粒附着于基板的被处理面。 [0007] 即，在基板处理装置中，公知在基板搬运路的上部设置风扇过滤模块，对基板的被处理面供给清洁空气，由此抑制颗粒附着于被处理面。这点如专利文献1中公开的搬运装置那样，若在保持于搬运装置的基板的正上方设置水平动作组件，则对被处理面供给清洁空气变得困难，其结果是，存在颗粒附着于被处理面的担忧。发明内容 [0008] 因此，本申请的目的之一在于使基板的搬运速度提高，并且抑制颗粒附着于基板的被处理面。 [0009] 根据一个实施方式，公开一种搬运装置，其构成为在升降方向及与升降方向正交的行驶方向搬运基板，其中，包括：安装部件，其固定于模块框架的侧面，该模块框架用于设置具有基板搬入搬出口的处理模块，上述安装部件包括多个行驶导轨，上述多个行驶导轨配置于上述基板搬入搬出口的升降方向的两侧，并沿行驶方向延伸；升降导轨，其横跨上述多个行驶导轨并沿升降方向延伸，能够沿着上述多个行驶导轨移动；以及搬运机器人，其能够沿着上述升降导轨升降，并具有用于保持基板的手部。附图说明 [0010] 图1是表示一个实施方式的镀覆装置的整体结构的立体图。 [0011] 图2A是表示一个实施方式的镀覆装置的整体结构的俯视图。 [0012] 图2B是图2A的B‑B线的剖视图。 [0013] 图2C是图2B的C‑C线的剖视图。 [0014] 图3是概略地表示一个实施方式的模块框架的一部分的结构的立体图。 [0015] 图4A是表示一个实施方式的镀覆装置的整体结构的俯视图。 [0016] 图4B是图4A的B‑B线的剖视图。 [0017] 图4C是图4B的C‑C线的剖视图。 [0018] 图5是概略地表示一个实施方式的搬运装置的结构的立体图。 [0019] 图6A是表示一个实施方式的镀覆装置的整体结构的俯视图。 [0020] 图6B是图6A的B‑B线的剖视图。 [0021] 图6C是图6B的C‑C线的剖视图。 [0022] 图7A是表示一个实施方式的镀覆装置的整体结构的俯视图。 [0023] 图7B是图7A的B‑B线的剖视图。 [0024] 图7C是图7B的C‑C线的剖视图。 [0025] 图8A是表示一个实施方式的镀覆装置的整体结构的俯视图。 [0026] 图8B是图8A的B‑B线的剖视图。 [0027] 图8C是图8B的C‑C线的剖视图。 具体实施方式[0028] 以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。在以下说明的附图中，对相同或相当的构成要素标注同一附图标记并省略重复的说明。此外，在以下的实施方式中，作为基板处理装置的一个例子，列举镀覆装置来进行说明，但并不局限于此，也能够对用于研磨基板的被研磨面来进行平坦化的化学机械研磨(CMP)装置应用本实施方式的搬运装置。 [0029] ＜镀覆装置的整体结构＞ [0030] 图1是表示本实施方式的镀覆装置的整体结构的立体图。图2A是表示本实施方式的镀覆装置的整体结构的俯视图。如图1、图2A所示，镀覆装置1000具备装载口100、搬运机器人110、对准器120、预湿模块200、镀覆模块400、旋干机600、搬运装置700及控制模块800。 [0031] 装载口100是用于将收纳于未图示的FOUP等盒的基板搬入镀覆装置1000，或者从镀覆装置1000将基板搬出到盒的模块。在本实施方式中4台装载口100在水平方向上排列配置，但装载口100的数量及配置是任意的。搬运机器人(干式机器人)110是用于搬运基板的机器人，构成为在装载口100、对准器120、预湿模块200及旋干机600之间交接基板。 [0032] 对准器120是用于将基板的定位平面、凹口等的位置对准规定的方向的模块。在本实施方式中配置有1台对准器120，但对准器120的数量及配置是任意的。预湿模块200通过用纯水或脱气水等处理液润湿镀覆处理前的基板的被镀覆面，从而将形成于基板表面的图案内部的空气置换为处理液。预湿模块200构成为实施预湿处理，该预湿处理是在镀覆时将图案内部的处理液置换为镀覆液由此易向图案内部供给镀覆液的处理。在本实施方式中，2台预湿模块200在上下方向上排列配置，但预湿模块200的数量及配置是任意的。 [0033] 镀覆模块400是用于对基板实施镀覆处理的模块。在本实施方式中，镀覆模块400包括隔着搬运装置700的行驶路配置在一侧的8台镀覆模块400A、和隔着搬运装置700的行驶路配置在相反侧的8台镀覆模块400B。在本实施方式中，设置有合计16台的镀覆模块400，但镀覆模块400的数量及配置是任意的。 [0034] 旋干机600是用于使镀覆处理后的基板高速旋转来使其干燥的干燥模块的一个形态。在本实施方式中，2台旋干机在上下方向上排列配置，但旋干机的数量及配置是任意的。搬运装置700是用于在镀覆装置1000内的多个模块间搬运基板的装置。控制模块800构成为控制镀覆装置1000的多个模块，例如能够由具备与操作人员之间的输入输出接口的通常的计算机或专用计算机构成。 [0035] 对镀覆装置1000进行的一系列的镀覆处理的一个例子进行说明。首先，将收纳于盒的基板搬入装载口100。接着，搬运机器人110从装载口100的盒中取出基板，将基板搬运至对准器120。对准器120将基板的定位平面、凹口等的位置对准规定的方向。搬运机器人110将由对准器120对准了方向的基板交接给预湿模块200。 [0036] 预湿模块200对基板实施预湿处理。搬运装置700将被实施了预湿处理的基板搬运至镀覆模块400。镀覆模块400对基板实施镀覆处理。 [0037] 搬运装置700为了进行复合镀覆处理，将被实施了镀覆处理的基板搬运至其他镀覆模块400，或者搬运至旋干机600。旋干机600对基板实施干燥处理。搬运机器人110从旋干机600接收基板，将实施了干燥处理的基板搬运至装载口100的盒。最后，从装载口100搬出收纳了基板的盒。 [0038] 接下来，对镀覆装置1000的详细内容进行说明。图2B是图2A的B‑B线的剖视图。图2C是图2B的C‑C线的剖视图。在图2A‑图2C中，为了方便，将搬运装置700的行驶方向设为X方向，将搬运机器人110的行驶方向设为Y方向，将铅垂方向设为Z方向。 [0039] 在图2A‑图2C中，作为第一处理模块的一个例子的预湿模块200及镀覆模块400A设置于虚线所示的第一模块框架402A。另外，控制模块800也设置于虚线所示的第一模块框架402A。另外，作为第二处理模块的一个例子的镀覆模块400B及旋干机600设置于虚线所示的第二模块框架402B。此外，如图2A及图2B中虚线所示，第一模块框架402A及第二模块框架 402B构成为包括邻接配置的多个模块框架。另外，在本实施方式中示出了2台控制模块800设置于第一模块框架402A的例子，但并不局限于此，控制模块800也可以设置于第二模块框架402B。 [0040] 图3是概略地表示一个实施方式的模块框架的一部分的结构的立体图。图3作为模块框架的一部分，示出了设置有4台镀覆模块400A的第一模块框架402A、设置有4台镀覆模块400B的第二模块框架402B以及配置于它们的下部的基座框架406。如图3所示，第一模块框架402A及第二模块框架402B是用于设置镀覆模块400等的骨架。第一模块框架402A及第二模块框架402B分别配置于用于设置镀覆模块400所使用的镀覆液的罐、及用于压送镀覆液的泵等的基座框架406上。 [0041] 各镀覆模块400A具有第一侧面405A，该第一侧面405A形成有用于在与搬运装置700之间进行基板的交接的基板搬入搬出口404(404‑1～404‑8)。另外，各预湿模块200具有第一侧面205，该第一侧面205形成有用于在与搬运装置700之间进行基板的交接的基板搬入搬出口204(204‑1、204‑2)。另一方面，各镀覆模块400B具有第二侧面405B，该第二侧面 405B形成有用于在与搬运装置700之间进行基板的交接的基板搬入搬出口404。另外，各旋干机600具有第二侧面605，该第二侧面605形成有用于在与搬运装置700之间进行基板的交接的基板搬入搬出口604。 [0042] 第一模块框架402A及第二模块框架402B以第一侧面405A、205与第二侧面405B、605对置的方式相互隔开间隔配置。由此，在第一侧面405A、205与第二侧面405B、605之间形成基板搬运空间701。在基板搬运空间701配置有搬运装置700。 [0043] ＜搬运装置的结构＞ [0044] 接下来，对搬运装置700的详细内容进行说明。如图2所示，搬运装置700具备：安装部件710‑1，其固定于第一模块框架402A的侧面(配置有基板搬入搬出口204及基板搬入搬出口404的侧面)；升降导轨716，其安装于安装部件710‑1；以及搬运机器人718，其具有用于保持基板的手部。 [0045] 安装部件710‑1是用于将升降导轨716及搬运机器人718安装于第一模块框架402A的侧面的部件。安装部件710‑1包括多个(在本实施方式中为3个)行驶导轨714(714‑1～714‑3)，多个行驶导轨714固定于第一模块框架402A及基座框架406的侧面并沿行驶方向(X方向)延伸。行驶导轨714‑1、714‑2配置于基板搬入搬出口204‑1、204‑2及基板搬入搬出口 404‑1～404‑8的Z方向的两侧。行驶导轨714‑3配置于行驶导轨714‑2的下部。此外，在本实施方式中，为了提高安装部件710‑1的刚性，示出了设置3个行驶导轨714的例子，但并不局限于此，也可以设置2个行驶导轨(行驶导轨714‑1、714‑2、或者行驶导轨714‑1、714‑3)。另外，在本实施方式中，示出了行驶导轨714‑2、714‑3固定于基座框架406的侧面的例子，但并不局限于此，行驶导轨714‑2、714‑3也可以固定于第一模块框架402A的侧面。 [0046] 升降导轨716构成为横跨多个行驶导轨714的侧面沿升降方向延伸，能够沿着多个行驶导轨714的侧面移动。具体而言，升降导轨716经由能够沿着行驶导轨714移动的滑动件715安装于行驶导轨714。升降导轨716构成为通过未图示的驱动部件(例如马达)沿着行驶导轨714移动。 [0047] 搬运机器人718是能够沿着升降导轨716升降的部件。具体而言，搬运机器人718构成为能够通过未图示的驱动部件(例如马达)沿着升降导轨716升降。搬运装置700使升降导轨716在行驶方向上移动，使搬运机器人718在升降方向上移动，由此能够在X方向及Z方向上搬运基板。由此，搬运装置700能够在成为基板的搬运目的地的处理模块的基板搬入搬出口前搬运基板。 [0048] 另外，搬运机器人718构成为能够使手部在水平面内以升降导轨716为中心旋转。由此，搬运机器人718能够在基板搬入搬出口前搬运基板之后，使手部旋转，由此经由安装部件710‑1将基板搬运至处理模块内。此外，搬运机器人718构成为能够将保持为水平的基板上下翻转。由此，搬运机器人718例如能够将被镀覆面向下，使进行了镀覆处理的基板翻转，将被镀覆面向上，搬运至旋干机600。 [0049] 此外，在图2所示的实施方式中，示出了安装部件710‑1包括多个行驶导轨714的例子，但并不限定于此。以下，对搬运装置700的变形例进行说明。图4A是表示一个实施方式的镀覆装置的整体结构的俯视图。图4B是图4A的B‑B线的剖视图。图4C是图4B的C‑C线的剖视图。图5是概略地表示一个实施方式的搬运装置的结构的立体图。 [0050] 如图4及图5所示，安装部件710‑2包括多个(在本实施方式中为4个)固定导轨712(712‑1～712‑4)，多个固定导轨712固定于第一模块框架402A的侧面并沿升降方向(Z方向)延伸。固定导轨712‑1、712‑2配置于基板搬入搬出口204‑1、204‑2及基板搬入搬出口404‑1～404‑4的X方向的两侧。固定导轨712‑3、712‑4配置于基板搬入搬出口404‑5～404‑8的X方向的两侧。 [0051] 另外，安装部件710‑2包括多个(在本实施方式中为3个)行驶导轨714(714‑1～714‑3)，多个行驶导轨714固定于多个固定导轨712并沿行驶方向(X方向)延伸。行驶导轨 714‑1、714‑2配置于基板搬入搬出口204‑1、204‑2及基板搬入搬出口404‑1～404‑8的Z方向的两侧。行驶导轨714‑3配置于行驶导轨714‑2的下部。 [0052] 如图4B所示，固定导轨712‑1、712‑2及行驶导轨714‑1、714‑2配置为包围基板搬入搬出口204‑1、204‑2及基板搬入搬出口404‑1～404‑4。另外，固定导轨712‑3、712‑4及行驶导轨714‑1、714‑2配置为包围基板搬入搬出口404‑5～404‑8。此外，行驶导轨714‑1～714‑3也可以在固定导轨712‑2、712‑3之间进行分割。在该情况下，能够将安装部件710‑2分割为包围基板搬入搬出口204‑1、204‑2及基板搬入搬出口404‑1～404‑4的第一安装部件、和包围基板搬入搬出口404‑5～404‑8的第二安装部件。由此，能够简便地进行将安装部件710‑2组装于镀覆装置1000时的搬运作业及安装作业。 [0053] 如图2B、2C、图4B、4C所示，镀覆装置1000包括配置于基板搬运空间701的上方的风扇过滤单元408。风扇过滤单元408是构成为对基板搬运空间701供给气体的风扇模块的一个例子。通过设置风扇过滤单元408，能够在基板搬运空间701形成清洁空气的下降流，因此能够去除基板搬运空间701内的颗粒等。 [0054] 根据本实施方式，安装部件710‑1、710‑2构成为包括隔着基板搬入搬出口204、404在Z轴方向隔开间隔配置的多个行驶导轨714，因此能够提高安装部件710‑1、710‑2的刚性。由此，升降导轨716能够在X方向上高速移动，因此能够使基于搬运装置700的基板的搬运速度提高，其结果是，能够使镀覆装置1000的生产率提高。 [0055] 除此之外，根据本实施方式，能够抑制颗粒附着于基板的被处理面(被镀覆面)。即，本实施方式的搬运装置700构成为经由安装部件710‑1、710‑2以壁挂方式固定于第一模块框架402A的侧面，升降导轨716及搬运机器人718沿着安装部件710‑1、710‑2的侧面移动。 因此，不需要像现有技术那样在风扇过滤单元408与基板之间设置用于提高刚性的部件。因此，能够从风扇过滤单元408对基板的被镀覆面以低流供给清洁空气，因此能够抑制颗粒附着于被处理面。 [0056] 另外，如图2A、2B、图4A、4B所示，搬运机器人(干式机器人)110配置于在搬运机器人718的行驶方向(X方向)与基板搬运空间701邻接配置的第一区域130。另外，在搬运机器人718的行驶方向(X方向)上与基板搬运空间701邻接地配置于第一区域130的相反侧的第二区域810形成有访问口802，该访问口802用于从镀覆装置1000的外部相对于配置于基板搬运空间701的搬运装置700进行访问。通过设置访问口802，作业者不用拆卸镀覆装置1000就能够经由访问口802容易地进行搬运装置700的维护作业。 [0057] 另外，在本实施方式中，基板搬运空间701被预湿模块200、镀覆模块400A、400B、旋干机600的侧面包围而形成。因此，也可以不设置用于形成基板搬运空间701的框体(框架及侧壁)，因此能够简化镀覆装置1000的构造。另外，在设置用于形成基板搬运空间701的框体的情况下，每当进行镀覆模块400A、400B等处理模块的X方向的尺寸变更时，需要制作用于形成基板搬运空间701的框体。相对于此，根据本实施方式，不需要制作用于形成基板搬运空间701的框体，因此能够灵活地变更处理模块的X方向的尺寸。 [0058] 接下来，对镀覆装置1000的变形例进行说明。图6A是表示一个实施方式的镀覆装置的整体结构的俯视图。图6B是图6A的B‑B线的剖视图。图6C是图6B的C‑C线的剖视图。图6所示的镀覆装置1000除了安装部件的结构以外，与图4所示的镀覆装置1000相同，因此针对相同的结构省略说明。 [0059] 如图6所示，安装部件710‑3与图4的安装部件710‑2相比，在没有设置固定导轨712‑2、712‑3的方面不同。具体而言，安装部件710‑3构成为包括固定导轨712‑1、712‑4和行驶导轨714‑1～714‑3。根据本实施方式，能够减少安装部件710‑3的部件数量，因此能够简化安装部件710‑3的搬运及组装作业。 [0060] 图7A是表示一个实施方式的镀覆装置的整体结构的俯视图。图7B是图7A的B‑B线的剖视图。图7C是图7B的C‑C线的剖视图。图7所示的镀覆装置1000除了安装部件的结构以外，与图4所示的镀覆装置1000相同，因此针对相同的结构省略说明。 [0061] 如图7所示，安装部件710‑4与图4的安装部件710‑2相比，包括追加的固定导轨712‑5～712‑7。具体而言，固定导轨712‑1、712‑5配置于基板搬入搬出口204‑1、204‑2的X方向的两侧。固定导轨712‑5、712‑6配置于基板搬入搬出口404‑1、404‑2的X方向的两侧。固定导轨712‑6、712‑2配置于基板搬入搬出口404‑3、404‑4的X方向的两侧。固定导轨712‑3、 712‑7配置于基板搬入搬出口404‑5、404‑6的X方向的两侧。根据本实施方式，由于设置有追加的固定导轨712‑5～712‑7，因此能够进一步提高安装部件710‑4的刚性，因此能够使基于搬运装置700的基板的搬运速度提高。 [0062] 图8A是表示一个实施方式的镀覆装置的整体结构的俯视图。图8B是图8A的B‑B线的剖视图。图8C是图8B的C‑C线的剖视图。图8所示的镀覆装置1000除了安装部件的结构以外，与图4所示的镀覆装置1000相同，因此针对相同的结构省略说明。 [0063] 如图8所示，安装部件710‑5与图4的安装部件710‑2相比，行驶导轨714‑1的设置位置不同。具体而言，行驶导轨714‑1、714‑2配置于基板搬入搬出口204‑2及基板搬入搬出口404‑2、404‑4、404‑6、404‑8的Z方向的两侧。根据本实施方式，在因与其他部件的干涉等理由而难以将行驶导轨714‑1设置于固定导轨712的顶部的情况下，也能够保持安装部件710‑ 5的刚性。 [0064] 以上，对几个本发明的实施方式进行了说明，但上述的发明的实施方式用于容易理解本发明，而并非限制本发明。本发明能够不脱离其主旨地进行变更、改进，并且本发明当然也包括其等效物。另外，在能够解决上述的课题的至少一部分的范围内、或者起到效果的至少一部分的范围内，能够进行权利要求书及说明书中记载的各构成要素的任意的组合或者省略。 [0065] 本申请作为一个实施方式，公开一种搬运装置，其构成为在升降方向及与升降方向正交的行驶方向搬运基板，其中，包括：安装部件，其固定于模块框架的侧面，该模块框架用于设置具有基板搬入搬出口的处理模块，上述安装部件包括多个行驶导轨，上述多个行驶导轨配置于上述基板搬入搬出口的升降方向的两侧，并沿行驶方向延伸；升降导轨，其横跨上述多个行驶导轨并沿升降方向延伸，能够沿着上述多个行驶导轨移动；以及搬运机器人，其能够沿着上述升降导轨升降，并具有用于保持基板的手部。 [0066] 另外，作为一个实施方式，本申请公开一种搬运装置，其中，上述安装部件进一步包括多个固定导轨，上述多个固定导轨固定于上述侧面并沿升降方向延伸，上述多个行驶导轨固定于上述多个固定导轨，上述多个固定导轨及上述多个行驶导轨配置为包围上述基板搬入搬出口。 [0067] 另外，作为一个实施方式，本申请公开一种搬运装置，其中，上述多个固定导轨及上述多个行驶导轨配置为在升降方向及行驶方向的至少一个方向排列，并包围设置于上述模块框架的多个处理模块的多个基板搬入搬出口。 [0068] 另外，作为一个实施方式，本申请公开一种基板处理装置，其中，包括：第一处理模块，其具有形成有基板搬入搬出口的第一侧面；第二处理模块，其具有形成有基板搬入搬出口的第二侧面；第一模块框架，其用于设置上述第一处理模块；第二模块框架，其用于设置上述第二处理模块，上述第二模块框架与上述第一模块框架隔开间隔配置，以便上述第一侧面与上述第二侧面对置；基板搬运空间，其通过被上述第一侧面和上述第二侧面包围而形成；以及上述记载的搬运装置，其配置于上述基板搬运空间并安装于上述第一模块框架或上述第二模块框架的侧面。 [0069] 另外，作为一个实施方式，本申请公开一种基板处理装置，其中，进一步包括风扇模块，上述风扇模块构成为配置于上述基板搬运空间的上方，并对上述基板搬运空间供给气体。 [0070] 另外，作为一个实施方式，本申请公开一种基板处理装置，其中，上述第一处理模块及上述第二处理模块包括对基板进行镀覆处理的镀覆模块。 [0071] 另外，作为一个实施方式，本申请公开一种基板处理装置，其中，上述第一处理模块进一步包括对基板进行预湿处理的预湿模块，上述第二处理模块进一步包括用于使基板干燥的干燥模块。 [0072] 另外，作为一个实施方式，本申请公开一种基板处理装置，其中，在上述搬运机器人的行驶方向上在与上述基板搬运空间邻接的第一区域配置有干式机器人，上述干式机器人用于在基板盒、上述预湿模块及上述干燥模块之间进行基板的交接，在上述搬运机器人的行驶方向上在上述第一区域的相反侧与上述基板搬运空间邻接的第二区域形成有访问口，上述访问口用于从基板处理装置的外部相对于配置于上述基板搬运空间的上述搬运装置进行访问。 [0073] 附图标记说明 [0074] 130…第一区域；200…预湿模块；204…侧面(基板搬入搬出口)；204、404…基板搬入搬出口；204…基板搬入搬出口；205…第一侧面；400…镀覆模块；402A…第一模块框架；402B…第二模块框架；404…基板搬入搬出口；405A…第一侧面；405B、605…第二侧面； 408…风扇过滤单元；600…旋干机；604…基板搬入搬出口；700…搬运装置；701…基板搬运空间；710‑1～710‑5…安装部件；712…固定导轨；714…行驶导轨；716…升降导轨；718…搬运机器人；802…访问口；810…第二区域；1000…镀覆装置。 |
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