一种玻璃粉浆丝网印刷装置 |
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| 申请号 | CN202311770588.4 | 申请日 | 2023-12-21 | 公开(公告)号 | CN117863712A | 公开(公告)日 | 2024-04-12 |
| 申请人 | 青岛金汇源电子有限公司; | 发明人 | 李德鹏; 徐海涛; 程文娟; 张光展; 王民; 李中亮; | ||||
| 摘要 | 本 发明 公开了丝网印刷技术领域的一种玻璃粉浆丝网印刷装置，包括放置板，所述放置板用于放置 晶圆 或芯片，所述放置板左右两侧均设置有承接板，两个所述承接板上均开容纳槽，两个所述容纳槽在合并时能够成为一个与晶圆或芯片重合的图形，通过两个承接板从晶圆或芯片的下方和周围进行 支撑 和限，使丝网印刷时处于晶圆或芯片外部的粉浆在透过丝网时受到承接板的阻拦，而不会将粉浆 挤压 到晶圆的 侧壁 上，并且承接板的顶端与晶圆或芯片的顶端处于同一 水 平高度，且承接板的存在扩大了与丝网的 接触 面，而不会在刮刀移动的过程中被挤压的粉浆透过丝网时改变处于晶圆或芯片周围的丝网的张 力 ，避免丝网的网眼出现移动，提高印刷的效果。 | ||||||
| 权利要求 | 1.一种玻璃粉浆丝网印刷装置，包括放置板(1)，所述放置板(1)用于放置晶圆或芯片，其特征在于：所述放置板(1)左右两侧均设置有承接板(2)，两个所述承接板(2)上均开容纳槽(3)，两个所述容纳槽(3)在合并时能够成为一个与晶圆或芯片重合的图形，两个所述承接板(2)下方均设置有驱动组，所述驱动组用于在丝网印刷之前驱动两个承接板(2)从两侧将放置板(1)给限制在两个容纳槽(3)内部、以及在印刷完成后驱动两个承接板(2)与放置板(1)分离，所述放置板(1)上开设有两个缺口(4)。 |
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| 说明书全文 | 一种玻璃粉浆丝网印刷装置技术领域[0001] 本发明涉及丝网印刷技术领域，具体为一种玻璃粉浆丝网印刷装置。 背景技术[0002] 在芯片制造过程中会把玻璃粉浆摊布于芯片或者是晶圆上，从而起到对芯片和晶圆的保护作用，涂覆玻璃粉浆一般用人工手动刀刮法把玻璃粉浆摊布于芯片上，这样摊涂的玻璃浆均匀性不一致，玻璃粉的利用率也较低，所以可采用丝网印刷方式进行涂覆，但通过丝网印刷时粉浆会受到倾斜的下压力和一个单方向的引导力，下压力用于使粉浆透过丝网，引导力进行方向限制，但丝网的覆盖面是远大于芯片的，当刮板倾斜的划过丝网时，处于下方的芯片会对正上方的粉浆起到承载的作用，此时粉浆就会透过丝网覆盖在芯片上表面，但芯片侧壁的圆周面是不对丝网上的粉浆进行承载的，就会容易使粉浆透过丝网附着在芯片的侧壁的圆周面上弄脏芯片，影响后续芯片的加工。 [0003] 基于此，本发明设计了一种玻璃粉浆丝网印刷装置，以解决上述问题。 发明内容[0004] 本发明的目的在于提供一种玻璃粉浆丝网印刷装置，以解决上述背景技术中提出的问题。 [0005] 为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种玻璃粉浆丝网印刷装置，包括放置板，所述放置板用于放置晶圆或芯片，所述放置板左右两侧均设置有承接板，两个所述承接板上均开容纳槽，两个所述容纳槽在合并时能够成为一个与晶圆或芯片重合的图形，两个所述承接板下方均设置有驱动组，所述驱动组用于在丝网印刷之前驱动两个承接板从两侧将放置板给限制在两个容纳槽内部、以及在印刷完成后驱动两个承接板与放置板分离，所述放置板上开设有两个缺口。 [0006] 作为本发明的进一步方案，所述驱动组包括支撑板，所述支撑板位于放置板一侧，所述支撑板的前后端均转动连接有支杆，两个所述支杆共同设置在承接板的底端，两个所述支杆用于对承接板进行支撑，两个所述支杆的转动轴上均套接有第一扭簧，两个所述支杆均固定连接有齿轮，两个所述齿轮下方均设置有齿条杆，两个所述齿条杆分别能够与两个所述齿轮啮合，两个所述支撑板之间设置有抬升组，所述抬升组位于所述放置板的正下方，所述抬升组用于驱动齿轮与齿条杆啮合。 [0007] 作为本发明的进一步方案，四个所述支杆分别滑动连接在两个承接板底部，四个所述支杆与承接板内壁之间均固定连接有第一弹簧，四个所述支杆侧壁均开设有竖直的滑槽，所述滑槽内部均滑动连接有驱动片，所述驱动片顶端均转动连接有驱动杆，四个所述驱动杆的顶端分别与两个承接板的前后侧壁转动连接； [0008] 四个所述齿条杆内部均滑动连接有竖杆，所述抬升组能带动四个所述竖杆和齿条杆同步上升，四个所述竖杆内部与齿条杆内壁之间均固定连接有第二弹簧，所述竖杆用于顶起驱动片，四个所述齿条杆侧壁均固定连接有延长边，所述延长边能够在齿条杆与齿轮啮合到极限位置时与支撑板的底部接触进而使齿条杆无法继续上升。 [0009] 作为本发明的进一步方案，所述抬升组包括H型杆和底座，四个所述竖杆分别固定连接在所述H型杆的四个端部，所述H型杆位于底座的正上方，所述底座与H型杆之间固定连接有两个第一气缸，所述H型杆外部滑动连接有T型杆，所述T型杆底端处于两个所述支撑板的正下方且T型杆底端的长度大于两个支撑板之间的距离，所述H型杆与T型杆之间固定连接有第三弹簧，所述T型杆顶端与放置板底部固定连接。 [0010] 作为本发明的进一步方案，所述放置板下方设置有支撑环，所述支撑环上开设有与放置板相匹配的凹槽，所述放置板位于凹槽内部，所述支撑环中部开设有通孔，所述T型杆穿过所述通孔，所述支撑环底部固定连接有若干个第二气缸，所述第二气缸的伸缩端均固定连接有挡片，所述挡片的内侧壁均转动连接有若干个滚轮，所述支撑环固定连接在两个所述支撑板之间。 [0011] 作为本发明的进一步方案，所述支撑板顶端固定连接有两个引导板，所述引导板的中间位置由竖直状态向一侧倾斜，两个所述引导板倾斜部位的内部均开设有引导槽，两个所述引导槽中共同滑动连接有刮板，所述刮板的底部与引导槽的底部之间均固定连接有第四弹簧，两个所述引导板侧壁上均固定连接有电机，两个所述引导板侧壁均转动连接有绕线轮，所述电机的输出端上君固定连接有拉绳，两个所述拉绳的另一端均绕过绕线轮与刮板固定连接； [0012] 两个所述引导板一侧均设置有挡板，所述挡板的端部均开设有倾斜面，所述挡板用于对刮板进行阻挡，两个所述挡板的底端均转动连接在支撑板上，两个所述挡板的转动轴上均套接有第二扭簧，两个所述挡板之间设置有挤压板，所述挤压板的前后端分别滑动连接在两个所述引导板内部，两个所述引导板内壁与挤压板之间均固定连接有第五弹簧。 [0013] 作为本发明的进一步方案，所述刮板底部均固定连接有抵制杆，所述承接板侧壁开设有槽边。 [0014] 作为本发明的进一步方案，两个所述容纳槽内壁均设置有支撑边。 [0015] 与现有技术相比，本发明的有益效果是： [0016] 1.通过两个承接板从晶圆或芯片的下方和周围进行支撑和限，使丝网印刷时处于晶圆或芯片外部的粉浆在透过丝网时受到承接板的阻拦，而不会将粉浆挤压到晶圆的侧壁上，并且承接板的顶端与晶圆或芯片的顶端处于同一水平高度，且承接板的存在扩大了与丝网的接触面，而不会在刮刀移动的过程中被挤压的粉浆透过丝网时改变处于晶圆或芯片周围的丝网的张力，避免丝网的网眼出现移动，提高印刷的效果。 [0017] 2.设置的缺口在取下晶圆或芯片时可以从缺口从下方将晶圆或者芯片从下方上顶下，从而取下，而不是从放置板上扣下晶圆，进而避免手指会触碰晶圆或者芯片的表面，避免影响印刷的结果。 [0019] 图1为本发明总体结构示意图； [0020] 图2为本发明抬升组的结构示意图； [0021] 图3为本发明支撑环与放置板的位置关系示意图； [0022] 图4为本发明驱动组与支撑板的位置关系示意图； [0023] 图5为本发明承接板与放置板在贴合时的位置关系示意图； [0024] 图6为本发明齿条杆的内部结构示意图； [0025] 图7为本发明驱动片、驱动杆和承接板的位置关系示意图； [0026] 图8为本发明挤压板与挡板和刮板的位置关系示意图； [0027] 图9为图8中A处的局部放大图； [0028] 图10为本发明挤压板与第五弹簧的连接关系示意图。 [0029] 附图中，各标号所代表的部件列表如下： [0030] 1、放置板；2、承接板；3、容纳槽；4、缺口；5、支撑板；6、支杆；7、第一扭簧；8、齿轮；9、齿条杆；10、第一弹簧；11、滑槽；12、驱动片；13、驱动杆；14、竖杆；15、第二弹簧；16、H型杆；17、底座；18、第一气缸；19、T型杆；20、第三弹簧；21、支撑环；22、第二气缸；23、挡片；24、滚轮；25、引导板；26、刮板；27、第四弹簧；28、电机；29、绕线轮；30、拉绳；31、挡板；32、倾斜面；33、第二扭簧；34、挤压板；35、第五弹簧；36、抵制杆；37、槽边；38、支撑边。 具体实施方式[0031] 请参阅图1‑10，本发明提供一种技术方案：一种玻璃粉浆丝网印刷装置，包括放置板1，所述放置板1用于放置晶圆或芯片，所述放置板1左右两侧均设置有承接板2，两个所述承接板2上均开容纳槽3，两个所述容纳槽3在合并时能够成为一个与晶圆或芯片重合的图形，两个所述承接板2下方均设置有驱动组，所述驱动组用于在丝网印刷之前驱动两个承接板2从两侧将放置板1给限制在两个容纳槽3内部、以及在印刷完成后驱动两个承接板2与放置板1分离，所述放置板1上开设有两个缺口4。 [0032] 上述方案在投入实际使用时，首先将芯片或晶圆放置到放置板1上，然后启动驱动组，驱动组工作时会带动两个承接板2从左右两侧向放置板1靠近，当承接板2移动到极限位置后放置板1会处于两个容纳槽3内部，此时两个容纳槽3会形成一个与放置板1重合的图形，并且承接板2的顶面是与晶圆或芯片的顶端处于同一水平高度的，然后工作人员将丝网放置到承接板2上方，而后将玻璃粉浆倒入丝网上方，此时使刮刀在丝网上方移动，即可使玻璃粉浆覆盖到晶圆或芯片上； [0033] 通过两个承接板2从晶圆或芯片的下方和周围进行支撑和限，使丝网印刷时处于晶圆或芯片外部的粉浆在透过丝网时受到承接板2的阻拦，而不会将粉浆挤压到晶圆的侧壁上，并且承接板2的顶端与晶圆或芯片的顶端处于同一水平高度，且承接板2的存在扩大了与丝网的接触面，而不会在刮刀移动的过程中被挤压的粉浆透过丝网时改变处于晶圆或芯片周围的丝网的张力，避免丝网的网眼出现移动，提高印刷的效果； [0034] 当丝网印刷完成后，拿下丝网和刮刀，然后再次启动组，此时驱动组会带动两个承接板2从两侧与放置板1分离，然后可以从缺口4从下方将晶圆或者芯片从下方上顶下，从而取下，而不是从放置板1上扣下晶圆，进而避免手指会触碰晶圆或者芯片的表面，避免影响印刷的结果。 [0035] 作为本发明的进一步方案，所述驱动组包括支撑板5，所述支撑板5位于放置板1一侧，所述支撑板5的前后端均转动连接有支杆6，两个所述支杆6共同设置在承接板2的底端，两个所述支杆6用于对承接板2进行支撑，两个所述支杆6的转动轴上均套接有第一扭簧7，两个所述支杆6均固定连接有齿轮8，两个所述齿轮8下方均设置有齿条杆9，两个所述齿条杆9分别能够与两个所述齿轮8啮合，两个所述支撑板5之间设置有抬升组，所述抬升组位于所述放置板1的正下方，所述抬升组用于驱动齿轮8与齿条杆9啮合。 [0036] 上述方案驱动组在工作时，晶圆或芯片放置到放置板1上之后先启动抬升组，抬升组工作时会带动齿条杆9直线上升、而后与齿轮8啮合并且带动齿轮8转动，齿轮8转动时会带动支杆6和承接板2绕支杆6的转动轴转动并且压缩第一扭簧7，支撑板5在未转动时是如图1和图4所示的状态，等到承接板2和支杆6转动时会向靠近放置板1的位置转动，当齿轮8与齿条杆9啮合到极限位置后两个承接板2就会与放置板1贴合，此时两个容纳槽3就会将放置板1和晶圆或芯片给包裹在内，然后即可将丝网放置到承接板2上开始印刷工作； [0037] 等到印刷工作完成后，将丝网和刮刀移到其他为位置，然后抬升组带动齿条杆9直线下降，齿条杆9下降时会与齿轮8啮合并且带动支杆6和承接板2向左右两侧转动，而在齿条杆9与齿轮8脱离啮合之后，通过设置的第一扭簧7能够继续带动承接板2转动，直到承接板2转动到极限位置。 [0038] 作为本发明的进一步方案，四个所述支杆6分别滑动连接在两个承接板2底部，四个所述支杆6与承接板2内壁之间均固定连接有第一弹簧10，四个所述支杆6侧壁均开设有竖直的滑槽11，所述滑槽11内部均滑动连接有驱动片12，所述驱动片12顶端均转动连接有驱动杆13，四个所述驱动杆13的顶端分别与两个承接板2的前后侧壁转动连接； [0039] 四个所述齿条杆9内部均滑动连接有竖杆14，所述抬升组能带动四个所述竖杆14和齿条杆9同步上升，四个所述竖杆14内部与齿条杆9内壁之间均固定连接有第二弹簧15，所述竖杆14用于顶起驱动片12，四个所述齿条杆9侧壁均固定连接有延长边，所述延长边能够在齿条杆9与齿轮8啮合到极限位置时与支撑板5的底部接触进而使齿条杆9无法继续上升。 [0040] 上述方案在工作时，当抬升组带动齿条杆9从齿轮8正下方上升时竖杆14是跟随齿条杆9同步上升的，等齿条杆9和竖杆14上升一定距离之后，齿条杆9会与齿轮8啮合并且带动支杆6和承接板2向靠近放置板1的方向转动，等到齿轮8与齿条杆9啮合到极限程度之后齿条杆9侧壁设置的延长边(如图6所示)就会与支撑板5的底壁接触，此时承接板2也转动到水平的位置，但此时承接板2的端部是距离放置板1具有一小段距离的，而此时抬升组是会继续带动竖杆14上升的，但竖杆14与齿条杆9滑动连接，而此时齿轮8被延长边进行限制后时无法继续上升的，所以此时抬升组继续带动竖杆14上升时竖杆14就会沿着齿条杆9内部向上滑动且拉伸第二弹簧15，且竖杆14是长于齿条杆9的，所以当竖杆14的顶端穿过齿条杆9后还是能够继续上滑的，那么此时竖杆14的顶端就会从下方顶起驱动片12，此时驱动片12就会沿着滑槽11向上滑动，此时驱动片12会顶起驱动杆13，驱动杆13的顶端是与承接板2转动连接的，而承接板2是与支杆6的顶端滑动连接的，当驱动杆13推动承接板2的时候承接板 2就会沿着支杆6滑动，从而使承接板2能够向放置板1靠近，进而使承接板2与放置板1贴合，从而对放置板1和其上方的晶圆或芯片能够处于容纳槽3内部，进而对晶圆和芯片的周围进行遮挡，此时抬升组就会停止工作，使第一弹簧10保持被拉伸的状态； [0041] 通过齿条杆9与齿轮8啮合到极限位置后使承接板2转动到水平的位置但不与放置板1接触，能够避免承接板2触碰到晶圆或芯片而造成晶圆和芯片受损，然后抬升组继续带动竖杆14上升使竖杆14的顶端推动驱动片12上升，而后驱动杆13推动承接板2移动，使承接板2从左右两侧向放置板1水平靠近，从而避免承接板2直接转动到放置板1两侧时触碰到晶圆的问题； [0042] 等到印刷完成后抬升组下降，而后第一弹簧10带动承接板2复位，然后竖杆14沿着齿条杆9下滑，等到第二弹簧15弹性复位后齿条杆9跟随竖杆14下降，直到复位。 [0043] 作为本发明的进一步方案，所述抬升组包括H型杆16和底座17，四个所述竖杆14分别固定连接在所述H型杆16的四个端部，所述H型杆16位于底座17的正上方，所述底座17与H型杆16之间固定连接有两个第一气缸18，所述H型杆16外部滑动连接有T型杆19，所述T型杆19底端处于两个所述支撑板5的正下方且T型杆19底端的长度大于两个支撑板5之间的距离，所述H型杆16与T型杆19之间固定连接有第三弹簧20，所述T型杆19顶端与放置板1底部固定连接。 [0044] 作为本发明的进一步方案，所述放置板1下方设置有支撑环21，所述支撑环21上开设有与放置板1相匹配的凹槽，所述放置板1位于凹槽内部，所述支撑环21中部开设有通孔，所述T型杆19穿过所述通孔，所述支撑环21底部固定连接有若干个第二气缸22，所述第二气缸22的伸缩端均固定连接有挡片23，所述挡片23的内侧壁均转动连接有若干个滚轮24，所述支撑环21固定连接在两个所述支撑板5之间。 [0045] 上述方案在工作时，待印刷的晶圆是放置在放置板1上的，然后启动第二气缸22，第二气缸22会缩短，第二气缸22缩短时会带动挡片23和滚轮24向放置板1靠近，第二气缸22缩短使滚轮24会与未标准放置到放置板1上的晶圆或芯片的侧壁接触，从而使晶圆或芯片能够向中间移动，但需要注意的是若需要对矩形的芯片进行印刷时要将第二气缸22设置在放置板1的前后左右的方向，等到第二气缸22缩短到极限位置后再将第二气缸22复位即可； [0046] 通过底座17对抬升组进行支撑，抬升组工作时第一气缸18会伸长，第一气缸18伸长时会带动H型杆16上升，H型杆16上升时会通过第三弹簧20带动T型杆19上升，T型杆19上升时带动放置板1上升，此时放置板1就会与支撑环21脱离接触，等到T型杆19的底端与两个支撑板5的底部接触后T型杆19就会无法上升，此时放置板1和晶圆也上升到极限位置，但第一气缸18是继续上升的，所以此时第三弹簧20会被拉伸，然后齿条杆9与齿轮8啮合，从而使承接板2和支杆6能够向放置板1转动靠近，等到齿条杆9与齿轮8啮合到极限程度后承接板2就会处于水平的状态，但距离放置板1是具有一小段距离的，然后第一气缸18继续伸长，而后竖杆14顶起驱动片12后驱动杆13推动杆承接板2向放置板1靠近并且与放置板1接触，而后即可进行印刷工作； [0047] 等到印刷完成后，第一气缸18直接缩短即可，此时承接板2会从中间向两侧直线分离，然后再向两侧转动复位。 [0048] 作为本发明的进一步方案，所述支撑板5顶端固定连接有两个引导板25，所述引导板25的中间位置由竖直状态向一侧倾斜，两个所述引导板25倾斜部位的内部均开设有引导槽，两个所述引导槽中共同滑动连接有刮板26，所述刮板26的底部与引导槽的底部之间均固定连接有第四弹簧27，两个所述引导板25侧壁上均固定连接有电机28，两个所述引导板25侧壁均转动连接有绕线轮29，所述电机28的输出端上君固定连接有拉绳30，两个所述拉绳30的另一端均绕过绕线轮29与刮板26固定连接； [0049] 两个所述引导板25一侧均设置有挡板31，所述挡板31的端部均开设有倾斜面32，所述挡板31用于对刮板26进行阻挡，两个所述挡板31的底端均转动连接在支撑板5上，两个所述挡板31的转动轴上均套接有第二扭簧33，两个所述挡板31之间设置有挤压板34，所述挤压板34的前后端分别滑动连接在两个所述引导板25内部，两个所述引导板25内壁与挤压板34之间均固定连接有第五弹簧35。 [0050] 作为本发明的进一步方案，所述刮板26底部均固定连接有抵制杆36，所述承接板2侧壁开设有槽边37。 [0051] 上述方案在工作时，因每一次印刷后都会有一定的粉浆残留在承接板2上，若不进行清理那么粉浆可能会凝固在承接板2上，这就会使承接板2表面的平整度受到破坏，或者是在还未凝固到承接板2上时直接在丝网下一次使用时附着在丝网上，造成丝网弄脏的情况，而这两种情况都是会影响丝网的印刷效果的； [0052] 但是在不进行印刷工作时两个承接板2都是位于两侧且处于倾斜的状态的，当第一气缸18伸长到一定程度后齿条杆9与齿轮8啮合驱动支杆6和承接板2向中间转动，而此时刮板26是位于承接板2一侧的，且是持续受到第四弹簧27的拉力的，且抵制杆36的底端是与槽边37接触的，不过受到承接板2与槽边37的阻挡而无法沿着引导板25下滑，所以刮板26此时是为未与承接板2接触的，但通过抵制杆36与槽边37的接触会使刮板26的刮除端的端面处于承接板2顶壁的延长线上； [0053] 当齿条杆9与齿轮8啮合时，承接板2会绕支杆6的转动轴向中间转动，而当承接板2转动时在第四弹簧27的拉动下刮板26就会沿着引导板25向下滑动，引导板25下滑时会拉动处于电机28输出轴上的拉绳30进行不断的放卷，即电机28的输出轴会跟随拉绳30的放卷而转动，通过绕线轮29则是对拉绳30进行支撑和减小摩擦的作用，在引导板25沿着引导板25下滑时就会对承接板2的顶壁进行刮除，等到承接板2即将转动到水平位置后刮板26也即将下滑到极限位置，此时承接板2的侧壁会暂时顶起刮板26沿着引导板25上滑一小段距离，然后承接板2就会与刮板26脱离接触，此时承接板2就会转动到水平位置，然后即可进行印刷工作； [0054] 此时启动电机28，电机28转动时会对拉绳30进行收卷的，并且时通过绕线轮29对拉绳30靠近上端的位置进行支撑，此时拉绳30的上端就会拉动刮板26沿着引导板25上滑，此时刮板26就会拉动第四弹簧27逐渐拉伸，等到拉绳30将刮板26快要拉动到最高处时刮板26的端部会与挡板31的倾斜面接触并且会同归倾斜面推动挡板31绕转动轴向一侧转动，并且压缩第二扭簧33，等到刮板26上升到极限位置后刮板26就会上升到挡板31的上方，此时第二扭簧33就会带动挡板31复位，此时挡板31会从下方将刮板26进行卡和，使刮板26在这一位置进行停留； [0055] 等到印刷工作完成后抬升组和驱动组都会开始工作，使承接板2从中间向两侧转动，等到承接板2转动到初始位置后承接板2的底端就会下压挤压板34，使挤压板34沿着引导板25下滑并且压缩第五弹簧35，而挤压板34在下滑时会从中间从两侧推动两个挡板31绕转动轴转动，进而使挡板31的顶端能与刮板26脱离，进而使刮板26能够不被阻挡，而收到第四弹簧27的拉伸，等到承接板2向中间转动时即可对承接板2表面进行清理； [0056] 在承接板2向中间转动时，通过刮板26能够将承接板2顶部残留的粉浆给清理下去，进而避免粉浆长时间得不到清理而凝固在刮板26表面而影响承接板2表面的平整度，进而避免影响丝网的印刷效率。 [0057] 作为本发明的进一步方案，两个所述容纳槽3内壁均设置有支撑边38。 [0058] 上述方案在工作时，两个承接板2移动到与放置板1接触的位置后支撑边38会处于放置板1下方，从而对放置板1进行稳固的支撑效果。 |
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