1.一种热塑性聚氨酯发泡片材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
(1)将隔离层复合至热塑性聚氨酯基膜上、收卷，得到复合卷材；
(2)将所述复合卷材在CO2气体环境中进行动态饱和处理，得到饱和复合卷材；
所述动态饱和处理包括第一阶段和第二阶段：所述第一阶段饱和的条件为：温度50‑90℃、压力10‑30MPa、持续时间1‑2小时；所述第二阶段饱和的条件为：温度20‑30℃、压力3‑
6MPa、持续时间2‑5小时；
(3)分离所述饱和复合卷材中的隔离层，然后升温发泡、辊压定型、裁切，得到所述热塑性聚氨酯发泡片材；所述辊压定型的温度为45‑80℃。
2.如权利要求1所述的热塑性聚氨酯发泡片材的制备方法，其特征在于，所述步骤(1)中，热塑性聚氨酯基膜的制备方法为：
将热塑性聚氨酯通过熔融挤出和流延工艺制备得到，所述热塑性聚氨酯的邵氏硬度为
50‑80D。
3.如权利要求2所述的热塑性聚氨酯发泡片材的制备方法，其特征在于，所述挤出的温度为190‑210℃。
4.如权利要求1所述的热塑性聚氨酯发泡片材的制备方法，其特征在于，所述步骤(1)中，对所述热塑性聚氨酯基膜进行预热处理后，再复合处理。
5.如权利要求1所述的热塑性聚氨酯发泡片材的制备方法，其特征在于，所述隔离层为
8‑200目多孔网布。
6.如权利要求1所述的热塑性聚氨酯发泡片材的制备方法，其特征在于，所述发泡的温度为100‑160℃。
7.如权利要求1所述的热塑性聚氨酯发泡片材的制备方法，其特征在于，所述辊压定型的压力为2‑8kPa。
8.如权利要求1‑7任一项所述热塑性聚氨酯发泡片材的制备方法制备得到的热塑性聚氨酯发泡片材。
9.一种抛光垫，其特征在于，所述抛光垫采用如权利要求8所述的热塑性聚氨酯发泡片材经剖皮、裁切、开槽、背胶制备得到。
10.一种抛光碳化硅的方法，其特征在于，包括以下步骤：
采用如权利要求9所述的抛光垫和碳化硅抛光液抛光碳化硅，至完成所述碳化硅的抛光；所述抛光垫的压缩率为1‑6％。