专利汇可以提供离子回旋共振加热天线真空馈口陶瓷封结结构专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本 发明 公开了一种 离子回旋共振 加热天线 真空 馈口陶瓷封结结构,包括有陶瓷管,陶瓷管左、右端面为 金属化 端面,其特征在于:所述的陶瓷管左、右端内壁套装有第一、第二无 氧 铜 法兰 ,所述的第一、第二无氧铜法兰有环形外、内翻边沿经过真空 焊接 于陶瓷管左端金属化端面上,第一、第二不锈 钢 封结法兰焊接于第一、第二无氧铜法兰的环形外、内翻边沿上;第一、第二 不锈钢 封结法兰分别有环形外、内翻边,所述的环形外、内翻边外端逐步由厚变薄为锥形结构。法兰外端为锥形结构目的是通过延长 传热 路径和减少传热面积,从而达到减少陶瓷封接部件和内外导体焊接时对陶瓷的导热量,最终减少焊接时不锈钢法兰和陶瓷之间的热应 力 ,保证陶瓷封接部件和内外导体成功焊接。,下面是离子回旋共振加热天线真空馈口陶瓷封结结构专利的具体信息内容。
1、离子回旋共振加热天线真空馈口陶瓷封结结构,包括有陶瓷管,陶瓷管左、右端面为金属化端面,其特征在于:所述的陶瓷管左端内壁套装有第一无氧铜法兰,所述的第一无氧铜法兰有环形外翻边沿经过真空焊接于陶瓷管左端金属化端面上,第一不锈钢封结法兰经过真空焊接于第一无氧铜法兰环形外翻边沿上;陶瓷管右端外壁上套装有第二无氧铜法兰,所述的第二无氧铜法兰有环形内翻边沿经过真空焊接于陶瓷管右端金属化端面上,第二不锈钢封结法兰经过真空焊接于第一无氧铜法兰环形内翻边沿上;所述的第一、第二不锈钢封结法兰分别有环形外、内翻边,所述的环形外、内翻边外端逐步由厚变薄为锥形结构。
2、 根据权利要求l所述的离子回旋共振加热天线真空馈口陶瓷封结结构,其特 征在于所述的陶瓷管为绝缘95陶瓷圆柱体;所述的第一、第二不锈钢封结法 兰材料为316不锈钢材料;所述的真空焊接是指采用钎焊焊料在真空钎焊炉 中进行焊接。
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